本發(fā)明涉及石英部件加工，特別是一種石英部件清洗設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、隨著科學技術(shù)的發(fā)展，現(xiàn)階段半導體技術(shù)是人類重點研究的領(lǐng)域，小到智能家電，中到汽車船舶，大到航空航天，全部都需要應(yīng)用到半導體技術(shù)，而其中石英部件為半導體技術(shù)中的核心部件。

2、石英部件是通過原料篩選、深加工，提取、設(shè)計蝕刻等一系列加工成品，而此過程中，需要保證石英部件表面的整潔，即避免加工過程中的碎屑或蝕刻溶液的殘留，對于石英部件的質(zhì)量造成影響的問題，因此需要對石英部件進行清洗與清潔處理，現(xiàn)有的清潔與清洗的方式多為沖洗或半自動化浸泡的方式除雜，不僅效率較低，且無法保證其清潔質(zhì)量，即容易存在雜質(zhì)殘留的問題，同時無法對石英部件進行連續(xù)的干燥處理，進而對石英部件的生產(chǎn)質(zhì)量產(chǎn)生不可逆的影響。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)中存在石英部件清潔效率差，且無法避免雜質(zhì)殘留的問題現(xiàn)有技術(shù)中，提出了本發(fā)明。

2、因此，本發(fā)明的目的是提供一種石英部件清洗設(shè)備。

3、為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：安裝部件：包括支撐架，設(shè)置于所述支撐架一側(cè)的接觸架，設(shè)置于所述支撐架一側(cè)的清洗槽，設(shè)置于所述清洗槽內(nèi)的隔板，以及設(shè)置于所述隔板一側(cè)的配合槽；移動部件：包括設(shè)置于所述接觸架內(nèi)的移動組件，設(shè)置于所述接觸架一側(cè)的驅(qū)動組件，設(shè)置于所述接觸架一側(cè)的限位組件，設(shè)置于所述接觸架一側(cè)的牽引組件，以及設(shè)置于所述接觸架一側(cè)的干燥組件；接觸部件：包括設(shè)置于所述接觸架內(nèi)的第一接觸組件，設(shè)置于所述接觸架內(nèi)的第二接觸組件，以及設(shè)置于所述接觸架內(nèi)的第二接觸組件。

4、作為本發(fā)明一種石英部件清洗設(shè)備的一種優(yōu)選方案，其中：所述移動組件包括開設(shè)在接觸架內(nèi)的移動槽，所述移動槽內(nèi)滑動連接有移動架，所述移動架的一側(cè)固定連接有滑動架，所述移動架的一側(cè)轉(zhuǎn)動連接有推進螺桿。

5、作為本發(fā)明一種石英部件清洗設(shè)備的一種優(yōu)選方案，其中：所述驅(qū)動組件包括固定連接在接觸架一側(cè)的推進電機，所述推進電機的輸出軸固定連接有驅(qū)動齒輪，所述接觸架的一側(cè)轉(zhuǎn)動連接有限位管，所述限位管的一端固定連接有轉(zhuǎn)動齒輪，所述轉(zhuǎn)動齒輪與驅(qū)動齒輪嚙合。

6、作為本發(fā)明一種石英部件清洗設(shè)備的一種優(yōu)選方案，其中：所述限位組件包括開設(shè)在接觸架兩側(cè)的限位槽，所述滑動架的一側(cè)固定連接有限位塊，所述限位塊滑動連接在限位槽內(nèi)。

7、作為本發(fā)明一種石英部件清洗設(shè)備的一種優(yōu)選方案，其中：所述旋轉(zhuǎn)組件包括轉(zhuǎn)動連接在移動架內(nèi)的旋轉(zhuǎn)管，所述旋轉(zhuǎn)管的一端固定連接有轉(zhuǎn)動架，所述轉(zhuǎn)動架內(nèi)轉(zhuǎn)動連接有擺動桿，所述擺動桿的一端固定連接有夾持底座，所述夾持底座的一側(cè)設(shè)有夾持架，所述夾持架的一側(cè)設(shè)有吸盤。

8、作為本發(fā)明一種石英部件清洗設(shè)備的一種優(yōu)選方案，其中：所述牽引組件包括開設(shè)在夾持底座一側(cè)的導向槽，所述導向槽內(nèi)滑動連接有牽引架，所述牽引架固定連接夾持架，所述夾持底座內(nèi)貫穿轉(zhuǎn)動連接有驅(qū)動螺桿，所述驅(qū)動螺桿貫穿螺紋連接牽引架，所述夾持底座的一側(cè)固定連接有牽引電機，所述牽引電機的輸出軸固定連接驅(qū)動螺桿。

9、作為本發(fā)明一種石英部件清洗設(shè)備的一種優(yōu)選方案，其中：所述干燥組件包括固定連接在滑動架一側(cè)的固定架，所述固定架的一側(cè)固定連接有風機，所述風機的出風口處固定連通有輸送管，所述輸送管的一端固定連接有連接環(huán)，所述連接環(huán)轉(zhuǎn)動連接旋轉(zhuǎn)管。

10、作為本發(fā)明一種石英部件清洗設(shè)備的一種優(yōu)選方案，其中：所述第一接觸組件包括轉(zhuǎn)動連接在移動架內(nèi)的轉(zhuǎn)動管，所述轉(zhuǎn)動管的側(cè)壁固定連接有第一齒輪，所述轉(zhuǎn)動管的一端轉(zhuǎn)動連接有支撐環(huán)，所述旋轉(zhuǎn)管的側(cè)壁開設(shè)有第一卡槽，所述擺動桿的側(cè)壁開設(shè)有第二卡槽，所述轉(zhuǎn)動管與旋轉(zhuǎn)管的內(nèi)壁均固定連接有卡塊，所述卡塊滑動連接在第一卡槽、第二卡槽內(nèi)。

11、作為本發(fā)明一種石英部件清洗設(shè)備的一種優(yōu)選方案，其中：所述第二接觸組件包括轉(zhuǎn)動連接在轉(zhuǎn)動管側(cè)壁的定位架，所述定位架的側(cè)壁轉(zhuǎn)動連接有第二齒輪，所述第二齒輪固定連接旋轉(zhuǎn)管。

12、作為本發(fā)明一種石英部件清洗設(shè)備的一種優(yōu)選方案，其中：所述第三接觸組件包括轉(zhuǎn)動連接在轉(zhuǎn)動管一端的連接環(huán)，所述連接環(huán)的一端固定連接有第三齒輪，所述第三齒輪轉(zhuǎn)動連接轉(zhuǎn)動管，所述轉(zhuǎn)動環(huán)內(nèi)螺紋連接有推進螺管，所述接觸架的一端滑動連接有保持架，所述保持架內(nèi)滑動連接有齒板。

13、本發(fā)明一種石英部件清洗設(shè)備的有益效果：通過移動組件、驅(qū)動組件、干燥組件以及接觸部件等結(jié)構(gòu)，可對石英部件進行夾持沖洗，通過旋轉(zhuǎn)的方式，既起到對石英部件沖洗清潔的同時，通過旋轉(zhuǎn)的方式，可避免碎屑殘留卡住的問題，同時可加快清潔劑與石英部件的脫離，同時配合干燥部件，可實現(xiàn)石英部件的快速干燥處理，避免多種清洗劑之間相互影響的問題，提高石英部件的整體清潔質(zhì)量以及效率。

技術(shù)特征：

1.一種石英部件清洗設(shè)備，其特征在于：包括，

2.如權(quán)利要求1所述一種石英部件清洗設(shè)備，其特征在于：所述移動組件（201）包括開設(shè)在接觸架（102）內(nèi)的移動槽（201a），所述移動槽（201a）內(nèi)滑動連接有移動架（201b），所述移動架（201b）的一側(cè)固定連接有滑動架（201c），所述移動架（201b）的一側(cè)轉(zhuǎn)動連接有推進螺桿（201d）。

3.如權(quán)利要求2所述一種石英部件清洗設(shè)備，其特征在于：所述驅(qū)動組件（202）包括固定連接在接觸架（102）一側(cè)的推進電機（202a），所述推進電機（202a）的輸出軸固定連接有驅(qū)動齒輪（202b），所述接觸架（102）的一側(cè)轉(zhuǎn)動連接有限位管（202c），所述限位管（202c）的一端固定連接有轉(zhuǎn)動齒輪（202d），所述轉(zhuǎn)動齒輪（202d）與驅(qū)動齒輪（202b）嚙合。

4.如權(quán)利要求3所述一種石英部件清洗設(shè)備，其特征在于：所述限位組件（203）包括開設(shè)在接觸架（102）兩側(cè)的限位槽（203a），所述滑動架（201c）的一側(cè)固定連接有限位塊（203b），所述限位塊（203b）滑動連接在限位槽（203a）內(nèi)。

5.如權(quán)利要求4所述一種石英部件清洗設(shè)備，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)組件（204）包括轉(zhuǎn)動連接在移動架（201b）內(nèi)的旋轉(zhuǎn)管（204a），所述旋轉(zhuǎn)管（204a）的一端固定連接有轉(zhuǎn)動架（204b），所述轉(zhuǎn)動架（204b）內(nèi)轉(zhuǎn)動連接有擺動桿（204c），所述擺動桿（204c）的一端固定連接有夾持底座（204d），所述夾持底座（204d）的一側(cè)設(shè)有夾持架（204e），所述夾持架（204e）的一側(cè)設(shè)有吸盤（204f）。

6.如權(quán)利要求5所述一種石英部件清洗設(shè)備，其特征在于：所述牽引組件（205）包括開設(shè)在夾持底座（204d）一側(cè)的移動槽（201a），所述移動槽（201a）內(nèi)滑動連接有牽引架（205b），所述牽引架（205b）固定連接夾持架（204e），所述夾持底座（204d）內(nèi)貫穿轉(zhuǎn)動連接有驅(qū)動螺桿（205c），所述驅(qū)動螺桿（205c）貫穿螺紋連接牽引架（205b），所述夾持底座（204d）的一側(cè)固定連接有牽引電機（205d），所述牽引電機（205d）的輸出軸固定連接驅(qū)動螺桿（205c）。

7.如權(quán)利要求6所述一種石英部件清洗設(shè)備，其特征在于：所述干燥組件（206）包括固定連接在滑動架（201c）一側(cè)的固定架（206a），所述固定架（206a）的一側(cè)固定連接有風機（206b），所述風機（206b）的出風口處固定連通有輸送管（206c），所述輸送管（206c）的一端固定連接有連接環(huán)（303a），所述連接環(huán)（303a）轉(zhuǎn)動連接旋轉(zhuǎn)管（204a）。

8.如權(quán)利要求7所述一種石英部件清洗設(shè)備，其特征在于：所述第一接觸組件（301）包括轉(zhuǎn)動連接在移動架（201b）內(nèi)的轉(zhuǎn)動管（301a），所述轉(zhuǎn)動管（301a）的側(cè)壁固定連接有第一齒輪（301b），所述轉(zhuǎn)動管（301a）的一端轉(zhuǎn)動連接有支撐環(huán)（301c），所述旋轉(zhuǎn)管（204a）的側(cè)壁開設(shè)有第一卡槽（301d），所述擺動桿（204c）的側(cè)壁開設(shè)有第二卡槽（301e），所述轉(zhuǎn)動管（301a）與旋轉(zhuǎn)管（204a）的內(nèi)壁均固定連接有卡塊，所述卡塊滑動連接在第一卡槽（301d）、第二卡槽（301e）內(nèi)。

9.如權(quán)利要求8所述一種石英部件清洗設(shè)備，其特征在于：所述第二接觸組件（302）包括轉(zhuǎn)動連接在轉(zhuǎn)動管（301a）側(cè)壁的定位架（302a），所述定位架（302a）的側(cè)壁轉(zhuǎn)動連接有第二齒輪（302b），所述第二齒輪（302b）固定連接旋轉(zhuǎn)管（204a）。

10.如權(quán)利要求9所述一種石英部件清洗設(shè)備，其特征在于：所述第三接觸組件（303）包括轉(zhuǎn)動連接在轉(zhuǎn)動管（301a）一端的連接環(huán)（303a），所述連接環(huán)（303a）的一端固定連接有第三齒輪（303b），所述第三齒輪（303b）轉(zhuǎn)動連接轉(zhuǎn)動管（301a），所述轉(zhuǎn)動環(huán)內(nèi)螺紋連接有推進螺管（303c），所述接觸架（102）的一端滑動連接有定位架（302a），所述定位架（302a）內(nèi)滑動連接有齒板（303e）。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及石英部件加工技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種石英部件清洗設(shè)備，其包括安裝部件，包括支撐架，設(shè)置于所述支撐架一側(cè)的接觸架，設(shè)置于所述支撐架一側(cè)的清洗槽，設(shè)置于所述清洗槽內(nèi)的隔板，以及設(shè)置于所述隔板一側(cè)的配合槽；移動部件，包括設(shè)置于所述接觸架內(nèi)的移動組件，設(shè)置于所述接觸架一側(cè)的驅(qū)動組件，設(shè)置于所述接觸架一側(cè)的限位組件，設(shè)置于所述接觸架一側(cè)的牽引組件，通過旋轉(zhuǎn)的方式，既起到對石英部件沖洗清潔的同時，通過旋轉(zhuǎn)的方式，可避免碎屑殘留卡住的問題，同時可加快清潔劑與石英部件的脫離，同時配合干燥部件，可實現(xiàn)石英部件的快速干燥處理，避免多種清洗劑之間相互影響的問題，提高石英部件的整體清潔質(zhì)量以及效率。

技術(shù)研發(fā)人員：周伯成,賀賢漢,張繼月,周歡,阮安俊
受保護的技術(shù)使用者：安徽富樂德科技發(fā)展股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/9