本技術(shù)涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，具體涉及一種排液裝置。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體行業(yè)中，設(shè)備的清洗是一個(gè)非常重要的步驟。清洗設(shè)備可以確保設(shè)備的正常運(yùn)行，并且能夠提高制程的效率和質(zhì)量。然而，在清洗過程中，液體很容易滲漏到防漏盤中，這可能會(huì)導(dǎo)致排液效果不佳，進(jìn)而影響整個(gè)設(shè)備的使用和制程時(shí)間。

2、防漏盤是一種用于收集和排放液體的裝置，通常位于設(shè)備的底部。它的主要功能是防止液體滲漏到設(shè)備的其他部分，同時(shí)確保液體能夠有效地排出。如果防漏盤的排液效果不佳，液體可能會(huì)滯留在設(shè)備中，導(dǎo)致設(shè)備無法正常運(yùn)行或制程時(shí)間延長(zhǎng)。

3、目前，現(xiàn)有技術(shù)通常采用重力排液的方式來排放防漏盤中的廢水。這種方法的原理是利用重力將廢水從防漏盤中排出。然而，由于重力排液的效果受到多種因素的影響，如液體的黏度等，導(dǎo)致排液效果不穩(wěn)定，以及排液不完全，最終導(dǎo)致半導(dǎo)體制造的設(shè)備無法正常運(yùn)行或者工作效率降低。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問題，現(xiàn)提供一種排液裝置。

2、具體技術(shù)方案如下：一種排液裝置，其特征在于，所述排液裝置包括防漏盤、排水箱及抽水裝置；

3、還包括：

4、連通管道，所述連通管道包括連接至所述抽水裝置的抽水接口，連接至所述防漏盤的第一接口以及連接至所述排水箱的第二接口；

5、常開氣動(dòng)閥，設(shè)置于所述第一連接通道上；

6、常閉氣動(dòng)閥，設(shè)置于所述第二連接通道上；

7、通氣裝置，分別連接所述常開氣動(dòng)閥和所述常閉氣動(dòng)閥；

8、當(dāng)所述通氣裝置未通氣時(shí)：

9、所述常開氣動(dòng)閥打開，所述第一連接通道被開啟，同時(shí)所述常閉氣動(dòng)閥關(guān)閉，所述第二連接通道被關(guān)閉；以及

10、當(dāng)所述通氣裝置通氣時(shí)：

11、所述常開氣動(dòng)閥關(guān)閉，所述第一連接通道被關(guān)閉，同時(shí)所述常閉氣動(dòng)閥打開，所述第二連接通道被開啟。

12、優(yōu)選的，所述第一連接通道與所述第二連接通道于一連接節(jié)點(diǎn)匯合形成連接所述抽水裝置的抽水通道。

13、優(yōu)選的，所述常開氣動(dòng)閥和所述常閉氣動(dòng)閥被設(shè)置于同一閥片上。

14、優(yōu)選的，還包括：

15、第一單向閥，所述第一單向閥設(shè)置于所述第一連接通道上，并位于所述控制裝置與所述防漏盤之間。

16、優(yōu)選的，還包括：

17、第二單向閥，所述第二單向閥設(shè)置于所述抽水裝置的出口處。

18、優(yōu)選的，還包括：

19、壓力表，所述壓力表設(shè)置于所述抽水裝置的出口與所述第二單向閥之間。

20、優(yōu)選的，所述抽水裝置為抽水泵。

21、上述技術(shù)方案具有如下優(yōu)點(diǎn)或有益效果：

22、本實(shí)用新型中通過控制裝置控制抽水裝置抽出防漏盤以及排水箱的廢水，通過抽水裝置可以有效的減少防漏盤的積液產(chǎn)生，以及本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于后期維護(hù)，節(jié)省時(shí)間以及人工。

技術(shù)特征：

1.一種排液裝置，其特征在于，所述排液裝置包括防漏盤、排水箱及抽水裝置；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的排液裝置，其特征在于，所述第一連接通道與所述第二連接通道于一連接節(jié)點(diǎn)匯合形成連接所述抽水裝置的抽水通道。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的排液裝置，其特征在于，所述常開氣動(dòng)閥和所述常閉氣動(dòng)閥被設(shè)置于同一閥片上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的排液裝置，其特征在于，還包括：

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的排液裝置，其特征在于，還包括：

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的排液裝置，其特征在于，還包括：

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的排液裝置，其特征在于，所述抽水裝置為抽水泵。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開一種排液裝置，其中，排液裝置包括防漏盤、排水箱及抽水裝置；還包括：連通管道，連通管道包括連接至抽水裝置的抽水接口，連接至防漏盤的第一接口以及連接至排水箱的第二接口；常開氣動(dòng)閥，設(shè)置于第一連接通道上；常閉氣動(dòng)閥，設(shè)置于第二連接通道上；通氣裝置，分別連接常開氣動(dòng)閥和常閉氣動(dòng)閥。本技術(shù)中通過控制裝置控制抽水裝置抽出防漏盤以及排水箱的廢水，通過抽水裝置可以有效的減少防漏盤的積液產(chǎn)生，以及本技術(shù)的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于后期維護(hù)，節(jié)省時(shí)間以及人工。

技術(shù)研發(fā)人員：黃豪亮,劉大威,徐銘,屠國強(qiáng)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：江蘇啟微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231229
技術(shù)公布日：2025/1/2