本實(shí)用新型涉及硅片切割技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種硅片切割設(shè)備附件循環(huán)清洗裝置。

背景技術(shù)：

現(xiàn)有的硅片切割工藝中，通常需要在硅片切割完成后對(duì)硅片設(shè)備的附件進(jìn)行清洗，普遍采用的做法是：將附件放在自來水管下方直接沖洗。這種方法雖然簡單方便，但沖洗用水量大，浪費(fèi)水資源，而且附件上沖洗下來的砂漿直接從自來水下水排出，并不回收利用，浪費(fèi)資源。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的問題，本實(shí)用新型提供一種硅片切割設(shè)備附件循環(huán)清洗裝置

為實(shí)現(xiàn)以上技術(shù)目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是：一種硅片切割設(shè)備附件循環(huán)清洗裝置，包括箱體、縱向隔板、網(wǎng)狀隔板、清洗噴嘴和水泵，所述縱向隔板將箱體劃分為清洗室和水泵室，所述網(wǎng)狀隔板橫向設(shè)置于清洗室內(nèi)部上方且與清洗室內(nèi)壁活動(dòng)連接，所述網(wǎng)狀隔板下方為貯液空間，所述清洗噴嘴設(shè)于網(wǎng)狀隔板上方，所述水泵室內(nèi)設(shè)有水泵，所述清洗噴嘴的進(jìn)水口通過軟管與水泵的出水口相連，所述水泵的進(jìn)水口與貯液空間相連通。

從以上描述可以看出，本實(shí)用新型具備以下優(yōu)點(diǎn)：

1.利用水泵將貯液池內(nèi)的廢水重新用于沖洗，循環(huán)利用，節(jié)約水資源；

2.網(wǎng)狀隔板濾得的砂漿可重新投入工廠的砂漿在線回收系統(tǒng)進(jìn)行利用，降低生產(chǎn)成本。

作為改進(jìn)，所述箱體底部還設(shè)有滾輪；通過滾輪移動(dòng)清洗裝置，便于多場地應(yīng)用。

作為改進(jìn)，所述清洗室的外壁上設(shè)有用于觀察貯液空間的觀察窗；通過觀察窗觀察貯液空間內(nèi)液體情況，確定是否繼續(xù)循環(huán)利用。

作為改進(jìn)，所述清洗室的外壁下部設(shè)有排液口；通過排液口將無法再重復(fù)利用的清洗液排放。

作為改進(jìn)，所述網(wǎng)狀隔板下方還設(shè)有漏斗形過濾網(wǎng)，所述漏斗形過濾網(wǎng)與清洗室內(nèi)壁活動(dòng)連接；二重過濾，提高貯液空間內(nèi)液體的潔凈度，增加循環(huán)利用次數(shù)，同時(shí)過濾網(wǎng)搜集的砂漿可以進(jìn)入砂漿在線回收系統(tǒng)重新利用。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實(shí)用新型漏斗形過濾網(wǎng)的結(jié)構(gòu)示意圖；

附圖標(biāo)記：1.箱體、2.縱向隔板、3.網(wǎng)狀隔板、4.清洗噴嘴、5.水泵、6.貯液空間、7.滾輪、8.觀察窗、9.排液口、10.漏斗形過濾網(wǎng)。

具體實(shí)施方式

結(jié)合圖1至圖2，詳細(xì)說明本實(shí)用新型的一個(gè)具體實(shí)施例，但不對(duì)本實(shí)用新型的權(quán)利要求做任何限定。

如圖1所示，一種硅片切割設(shè)備附件清洗裝置，包括箱體1、縱向隔板2、網(wǎng)狀隔板3、清洗噴嘴4和水泵5，所述縱向隔板2將箱體1劃分為清洗室和水泵室，所述網(wǎng)狀隔板3橫向設(shè)置于清洗室內(nèi)部上方且與清洗室內(nèi)壁活動(dòng)連接，所述網(wǎng)狀隔板3下方為貯液空間6，所述清洗噴嘴4設(shè)于網(wǎng)狀隔板3上方，所述水泵室內(nèi)設(shè)有水泵5，所述清洗噴嘴4的進(jìn)水口通過軟管與水泵5的出水口相連，所述水泵5的進(jìn)水口與貯液空間6相連通。

本裝置首次使用時(shí)，將待清洗附件放置在網(wǎng)狀隔板3上，引入自來水管進(jìn)行沖洗，沖洗產(chǎn)生的污水經(jīng)網(wǎng)狀隔板3過濾后進(jìn)入貯液空間6，當(dāng)貯液空間6內(nèi)的過濾水液面達(dá)到一定高度時(shí)，斷掉自來水管，開啟水泵，水泵將貯液空間6內(nèi)的過濾水泵入清洗噴嘴，重新用于沖洗，沖洗產(chǎn)生的污水經(jīng)網(wǎng)狀隔板3過濾后再次進(jìn)入貯液空間，從而實(shí)現(xiàn)循環(huán)清洗的功能，同時(shí)網(wǎng)狀隔板濾得的砂漿可重新投入工廠的砂漿在線回收系統(tǒng)進(jìn)行利用，降低生產(chǎn)成本。

為了在不同場地應(yīng)用，在箱體1底部增設(shè)滾輪7，利用滾輪7方便地移動(dòng)清洗裝置。

由于循環(huán)清洗一定次數(shù)后，貯液空間6內(nèi)的水不再滿足清洗要求，需要更換，因此在清洗室的外壁上增設(shè)用于觀察貯液空間6的觀察窗8和用于排出貯液空間6內(nèi)過濾水的排液口9，利用觀察窗8觀察貯液空間6內(nèi)過濾水情況，確定是否繼續(xù)循環(huán)利用，如果需要停止循環(huán)使用則利用排液口9將貯液空間6內(nèi)的過濾水排出。

由于經(jīng)網(wǎng)狀隔板3過濾后產(chǎn)生的過濾水中仍然含有可以回收利用的砂漿成分，故在網(wǎng)狀隔板3下方增設(shè)漏斗形過濾網(wǎng)10(如圖2所示)，漏斗形過濾網(wǎng)10與清洗室內(nèi)壁活動(dòng)連接，漏斗形過濾網(wǎng)10對(duì)沖洗產(chǎn)生的過濾水進(jìn)行二重過濾，不僅能夠提高貯液空間內(nèi)過濾水潔凈度、增加過濾水循環(huán)利用次數(shù)，而且還能夠搜集砂漿，當(dāng)砂漿積存到一定量時(shí)，取下網(wǎng)狀隔板3，再取出漏斗形過濾網(wǎng)10，將漏斗形過濾網(wǎng)10內(nèi)的砂漿加入工廠的砂漿在線回收系統(tǒng)，進(jìn)行重新利用。

綜上所述，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)：

1.利用網(wǎng)狀隔板、清洗噴嘴和水泵實(shí)現(xiàn)清洗廢水的循環(huán)利用，節(jié)約水資源；

2.網(wǎng)狀隔板濾得的砂漿可重新投入工廠的砂漿在線回收系統(tǒng)進(jìn)行利用，降低生產(chǎn)成本。

3.箱體底部安裝有滾輪，移動(dòng)方便快捷，便于不同場地應(yīng)用；

4.設(shè)置觀察窗和排液口，便于清洗循環(huán)過濾水的定時(shí)更換；

5.利用漏斗形過濾網(wǎng)實(shí)現(xiàn)二重過濾，提高過濾水潔凈度，增加過濾水循環(huán)次數(shù)，同時(shí)再次搜集可回收利用的砂漿。

可以理解的是，以上關(guān)于本實(shí)用新型的具體描述，僅用于說明本實(shí)用新型而并非受限于本實(shí)用新型實(shí)施例所描述的技術(shù)方案。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，仍然可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行修改或等同替換，以達(dá)到相同的技術(shù)效果；只要滿足使用需要，都在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。