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一種全自動超純水制備系統(tǒng)的制作方法

文檔序號:12237698閱讀:387來源:國知局
一種全自動超純水制備系統(tǒng)的制作方法與工藝

本發(fā)明涉及一種超純水制備系統(tǒng),具體涉及一種全自動超純水制備系統(tǒng),屬于水處理設(shè)備領(lǐng)域。



背景技術(shù):

超純水,電阻率達(dá)到的水。常用于集成電路工業(yè)中用于半導(dǎo)體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等,此外,其他固態(tài)電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路和真空管等的制作也都要使用超純水。

水是實驗室中使用最多的物質(zhì),大量被應(yīng)用于各類分析檢測科研試驗中,在配制化學(xué)試劑中水也是使用最多的溶劑。在儀器分析,高純分析,痕量分析實驗及配制化學(xué)試劑過程中,所使用的水的純度非常重要,水中的多余離子和可溶性有機(jī)物及雜質(zhì)會對實驗分析造成干擾,導(dǎo)致檢測結(jié)果不準(zhǔn)確,運行操作人員如果根據(jù)不準(zhǔn)確的檢測結(jié)果,進(jìn)行錯誤的操作及調(diào)整,就可能會帶來不必要的損失。大多數(shù)電廠的化學(xué)實驗室都存在實驗用水制取困難、繁瑣且成本高,系統(tǒng)內(nèi)及國內(nèi)大多數(shù)電廠化驗室都是采取樹脂柱處理除鹽水的簡易方法來取得實驗用水。這種老式的制水方法無法完全徹底的去除水中的多余離子,對于會影響實驗結(jié)果的可溶性有機(jī)物也是不能去除的,無法完全滿足實驗用水的需求,因此我們提出一種全自動超純水制備系統(tǒng)。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

本發(fā)明為解決電廠實驗室用水的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)過低,影響測量及實驗的準(zhǔn)確性的問題,進(jìn)而提出一種全自動超純水制備系統(tǒng)。

本發(fā)明為解決上述問題采取的技術(shù)方案是:本發(fā)明包括自來水箱、低壓開關(guān)、濾網(wǎng)、進(jìn)水閥、進(jìn)水壓力檢測器、原水水質(zhì)檢測器、漏水保護(hù)器、預(yù)處理組件、高壓泵、反滲透組件、純水水質(zhì)檢測器、EDI膜堆、呼吸器、增壓泵、雙向閥、純水流量計、純水取樣閥、純水端過濾器、消毒盒、多級樹脂柱、囊式過濾器、單向閥、超純水水質(zhì)檢測器、消毒法、循環(huán)閥、超純水流量計、超純水取樣閥和超純水終端過濾器,所述自來水箱的出水口與低壓開關(guān)的進(jìn)水口連通,所述自來水箱與低壓開關(guān)的連接處固定安裝有濾網(wǎng),所述低壓開關(guān)的出水口與進(jìn)水閥的進(jìn)水口連通,所述進(jìn)水閥的出水口與進(jìn)水壓力檢測器的進(jìn)水口連通,所述進(jìn)水壓力檢測器的出水口與原水水質(zhì)檢測器的進(jìn)水口連通,所述原水水質(zhì)檢測器的出水口與漏水保護(hù)器的進(jìn)水口連通,所述漏水保護(hù)器與預(yù)處理組件的連通,所述預(yù)處理組件與高壓泵連通,所述高壓泵與反滲透組件連通,所述反滲透組件的第一出水口與純水水質(zhì)檢測器的進(jìn)水口連通,所述純水水質(zhì)檢測器的出水口與EDI膜堆的進(jìn)水口連接,所述EDI膜堆的第一出水口與呼吸器的進(jìn)水口連通,所述呼吸器的出水口通過水管與增壓泵連通,所述增壓泵通過三通接頭分別與純水管和雙向閥連通,且出水管的中部固定安裝有純水流量計,所述純水流量計的出水口與純水取樣閥連通,所述純水取樣閥與純水端過濾器連通,所述雙向閥的一端與消毒盒連通,所述雙向閥的另一端與多級樹脂柱連通,所述多級樹脂柱與囊式過濾器連通,所述囊式過濾器與單向閥連通,所述單向閥與超純水水質(zhì)檢測器連通,所述超純水水質(zhì)檢測器與消毒閥連通,所述消毒閥的一端與循環(huán)閥連通,所述消毒閥的另一端與超純水流量計連通,所述超純水流量計與超純水取樣閥連通,所述超純水取樣閥與超純水終端過濾器連通。

本發(fā)明的有益效果是:1、該全自動超純水制備系統(tǒng),通過設(shè)置原水水質(zhì)檢測、純水水質(zhì)檢測和超純水水質(zhì)檢測器對每個處理及過濾階段的水質(zhì)進(jìn)行有效的檢測和分析然后進(jìn)行不同方向的處理,直至水質(zhì)達(dá)到高質(zhì)量超純水的要求;2、該全自動超純水制備系統(tǒng),通過設(shè)置多級樹脂柱、囊式過濾器、消毒盒、反滲透組件和EDI膜堆進(jìn)行多重處理、過濾和檢測,有效的去除了水中多余離子和可溶性有機(jī)物,提高了超純水的質(zhì)量。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)流程示意圖,圖2是圖1中A處放大圖。

具體實施方式

具體實施方式一:結(jié)合圖1和圖2說明本實施方式,本實施方式所述一種全自動超純水制備系統(tǒng)包括自來水箱1、低壓開關(guān)2、濾網(wǎng)3、進(jìn)水閥4、進(jìn)水壓力檢測器5、原水水質(zhì)檢測器6、漏水保護(hù)器7、預(yù)處理組件8、高壓泵9、反滲透組件10、純水水質(zhì)檢測器11、EDI膜堆12、呼吸器13、增壓泵14、雙向閥15、純水流量計16、純水取樣閥17、純水端過濾器18、消毒盒19、多級樹脂柱20、囊式過濾器21、單向閥22、超純水水質(zhì)檢測器23、消毒法24、循環(huán)閥25、超純水流量計26、超純水取樣閥27和超純水終端過濾器28,所述自來水箱1的出水口與低壓開關(guān)2的進(jìn)水口連通,所述自來水箱1與低壓開關(guān)2的連接處固定安裝有濾網(wǎng)3,所述低壓開關(guān)2的出水口與進(jìn)水閥4的進(jìn)水口連通,所述進(jìn)水閥4的出水口與進(jìn)水壓力檢測器5的進(jìn)水口連通,所述進(jìn)水壓力檢測器5的出水口與原水水質(zhì)檢測器6的進(jìn)水口連通,所述原水水質(zhì)檢測器6的出水口與漏水保護(hù)器7的進(jìn)水口連通,所述漏水保護(hù)器7與預(yù)處理組件8的連通,所述預(yù)處理組件8與高壓泵9連通,所述高壓泵9與反滲透組件10連通,所述反滲透組件10的第一出水口與純水水質(zhì)檢測器11的進(jìn)水口連通,所述純水水質(zhì)檢測器11的出水口與EDI膜堆12的進(jìn)水口連接,所述EDI膜堆12的第一出水口與呼吸器13的進(jìn)水口連通,所述呼吸器13的出水口通過水管與增壓泵14連通,所述增壓泵14通過三通接頭分別與純水管和雙向閥15連通,且出水管的中部固定安裝有純水流量計16,所述純水流量計16的出水口與純水取樣閥17連通,所述純水取樣閥17與純水端過濾器18連通,所述雙向閥15的一端與消毒盒19連通,所述雙向閥15的另一端與多級樹脂柱20連通,所述多級樹脂柱20與囊式過濾器21連通,所述囊式過濾器21與單向閥22連通,所述單向閥22與超純水水質(zhì)檢測器23連通,所述超純水水質(zhì)檢測器23與消毒閥24連通,所述消毒閥24的一端與循環(huán)閥25連通,所述消毒閥24的另一端與超純水流量計26連通,所述超純水流量計26與超純水取樣閥27連通,所述超純水取樣閥27與超純水終端過濾器28連通。

具體實施方式二:結(jié)合圖1和圖2說明本實施方式,本實施方式所述一種全自動超純水制備系統(tǒng)的反滲透組件10的第二出水口分別與濃水手動調(diào)節(jié)閥一29的進(jìn)水口和沖洗閥30的進(jìn)水口連通,且濃水手動調(diào)節(jié)閥一29的出水口與沖洗閥30的出水口均和集流管31的進(jìn)水口連通。其它組成及連接關(guān)系與具體實施方式一相同。

具體實施方式三:結(jié)合圖1和圖2說明本實施方式,本實施方式所述一種全自動超純水制備系統(tǒng)的集流管31有四個進(jìn)水管,且集流管31的第三進(jìn)水口通過第二沖洗閥32與純水水質(zhì)檢測器11連通。其它組成及連接關(guān)系與具體實施方式一相同。

具體實施方式四:結(jié)合圖1和圖2說明本實施方式,本實施方式所述一種全自動超純水制備系統(tǒng)的EDI膜堆12的第二出水口通過三通接頭分別與濃水手動調(diào)節(jié)閥二33和EDI沖洗閥34連通,且濃水手動調(diào)節(jié)閥二33和EDI沖洗閥34的出水口均與集流管31的第四進(jìn)水口連通。其它組成及連接關(guān)系與具體實施方式一相同。

具體實施方式五:結(jié)合圖1和圖2說明本實施方式,本實施方式所述一種全自動超純水制備系統(tǒng)的集流管31的出水口均與循環(huán)閥25的進(jìn)水口和增壓泵14的進(jìn)水口連通。其它組成及連接關(guān)系與具體實施方式一相同。

具體實施方式六:結(jié)合圖1和圖2說明本實施方式,本實施方式所述一種全自動超純水制備系統(tǒng)的單向閥22的出水口與消毒盒19的出水口均和超純水水質(zhì)檢測器23的進(jìn)水口連通。其它組成及連接關(guān)系與具體實施方式一相同。

該文中出現(xiàn)的電器元件均與外界的主控器及220V市電電連接,并且主控器可為計算機(jī)等起到控制的常規(guī)已知設(shè)備。

綜上所述,該全自動超純水制備系統(tǒng),通過設(shè)置原水水質(zhì)檢測6、純水水質(zhì)檢測11和超純水水質(zhì)檢測器23對每個處理及過濾階段的水質(zhì)進(jìn)行有效的檢測和分析然后進(jìn)行不同方向的處理,直至水質(zhì)達(dá)到高質(zhì)量超純水的要求,通過設(shè)置多級樹脂柱20、囊式過濾器21、消毒盒19、反滲透組件10和EDI膜堆12進(jìn)行多重處理、過濾和檢測,有效的去除了水中多余離子和可溶性有機(jī)物,提高了超純水的質(zhì)量,解決了電廠實驗室用水的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)過低,影響測量及實驗的準(zhǔn)確性的問題。

需要說明的是,在本文中,諸如第一和第二等之類的關(guān)系術(shù)語僅僅用來將一個實體或者操作與另一個實體或操作區(qū)分開來,而不一定要求或者暗示這些實體或操作之間存在任何這種實際的關(guān)系或者順序。而且,術(shù)語“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含,從而使得包括一系列要素的過程、方法、物品或者設(shè)備不僅包括那些要素,而且還包括沒有明確列出的其他要素,或者是還包括為這種過程、方法、物品或者設(shè)備所固有的要素。在沒有更多限制的情況下,由語句“包括一個……”限定的要素,并不排除在包括所述要素的過程、方法、物品或者設(shè)備中還存在另外的相同要素。

以上所述,僅是本發(fā)明的較佳實施例而已,并非對本發(fā)明作任何形式上的限制,雖然本發(fā)明已以較佳實施例揭露如上,然而并非用以限定本發(fā)明,任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員,在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi),當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容做出些許更動或修飾為等同變化的等效實施例,但凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案內(nèi)容,依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實質(zhì),在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi),對以上實施例所作的任何簡單的修改、等同替換與改進(jìn)等,均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的保護(hù)范圍之內(nèi)。

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