專利名稱：堿性排氣加藥系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)加工過程中的廢液處理，尤其是一種用于堿排系統(tǒng)的加藥系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體制程所產(chǎn)生的空氣污染物經(jīng)集氣系統(tǒng)收集之后，需要再經(jīng)過妥善的處理， 使空氣中污染物含量不致危害自然的情況下，才能夠予以排放。半導(dǎo)體制程所可能排放之空氣污染物相當(dāng)多種，各種污染物所適用的處理方法也各不相同。半導(dǎo)體制造的生產(chǎn)設(shè)備皆在嚴(yán)格控制之下的無塵室中操作，主要有氧化爐、擴散爐、清洗槽、顯影劑、離子植入機及金屬濺鍍機(CVD)等。這些生產(chǎn)設(shè)備在操作時均可能產(chǎn)生酸堿性氣體、有機性氣體與特殊毒性氣體三種污染物。對于堿性氣體，如氨氣，一般采用在制程設(shè)備之后就地加以處理一次之后，再進入位于廠房之外的以洗滌塔為主的中央廢氣處理系統(tǒng)進行二次處理，主要是利用化學(xué)酸堿中和的原理，即利用大量的水或酸，如H2SO4, 對其進行洗凈處理至達標(biāo)后排放。目前，在半導(dǎo)體廠，現(xiàn)有的堿性排氣(Ammonia exhaust) AEX加藥系統(tǒng)均采用外購成品硫酸作為堿排系統(tǒng)的中和藥劑，一方面，增加了購買、運輸成本；另一方面硫酸作為一種具有強烈腐蝕性的化工用品，運輸使用過程中存在一定的危險性，需要經(jīng)過審批才準(zhǔn)許使用，管制甚為嚴(yán)格，可能造成無法及時獲取，影響堿排系統(tǒng)的正常運作，無法使廢氣達標(biāo)排放，給自然環(huán)境造成破壞。

實用新型內(nèi)容針對以上缺陷，本實用新型的目的是提供一種堿性排氣加藥系統(tǒng)，可有效利用生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢酸液，減少廢液處理成本。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)—種堿性排氣加藥系統(tǒng)，包括堿排加藥桶及與其連接的外購硫酸輸送管路，所述堿排加藥桶還建有與廢酸桶連接的泵送管路，所述廢酸桶用于盛裝來自濕法機臺生產(chǎn)過程中所產(chǎn)生的廢酸處理液。優(yōu)選地，所述泵送管路采用兩臺酸泵并聯(lián)。本實用新型所述的堿性排氣加藥系統(tǒng)，通過設(shè)置廢酸桶及相應(yīng)的泵送管路與現(xiàn)有堿排加藥桶相連接，可將半導(dǎo)體制程中來自濕法機臺的廢酸處理液引自現(xiàn)有的堿排中心處理系統(tǒng)，一方面提供了新的堿排藥劑來源，節(jié)省了外購硫酸的成本，同時保證了系統(tǒng)運行的可靠性；另一方面達到了廢酸液就地處理，減少了相應(yīng)的污染源，減少了廢酸液的外運處理費用，具有良好的生產(chǎn)和社會效益。

下面根據(jù)實施例與附圖對本實用新型作進一步詳細(xì)說明。[0011]圖1是本實用新型所述改進的堿性排氣加藥系統(tǒng)工藝流程圖。圖中1、堿排加藥桶；2、硫酸輸送泵；3、廢酸桶；4、廢酸輸送泵；5、泵送管路。
具體實施方式
如圖1所示，給出了本實用新型所述改進的堿性排氣加藥系統(tǒng)工藝流程圖。堿排加藥桶1用作整個堿性廢氣中央處理系統(tǒng)的藥劑罐，其建有管路至洗滌塔。 堿排加藥桶1通過硫酸輸送泵2與外輸硫酸入口相連接，可使用外購的硫酸作為系統(tǒng)的藥劑。同時，堿排加藥桶1還通過廢酸輸送泵4、泵送管路5連接至廢酸桶3，所述廢酸桶 3用于盛裝來自濕法機臺生產(chǎn)過程中所產(chǎn)生的廢酸處理液，平時作為堿排系統(tǒng)的藥劑使用， 在其量不足時可采用外購硫酸作相應(yīng)的補充。為保證系統(tǒng)可靠性和方便相應(yīng)泵的檢修，泵送管路5采用耐酸材質(zhì)，如非金屬管路；所述硫酸輸送泵2和廢酸輸送泵4均采用酸泵，可耐受酸液的腐蝕，并采用兩臺并聯(lián)的形式，可通過閥門的操作實現(xiàn)一用一備的目的。本實用新型所述堿性排氣加藥系統(tǒng)，將半導(dǎo)體FAB廠內(nèi)產(chǎn)生的廢酸液作為堿排系統(tǒng)的中和藥劑，減少或完全代替外購的硫酸，并且保留了原加藥管路，在特殊情況下，仍可采用外送方式供應(yīng)。節(jié)省了外購硫酸和運輸處理廢酸液的成本，并達成了以廢治廢的目的， 有良好的生產(chǎn)效益和社會效益。以上顯示和描述了本實用新型的主要特征以及所具有的優(yōu)點，本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，在不脫離本實用新型主旨和范圍的前提下本實用新型還會有一些變化與改進，如改變部件的型號，采用不同類型的泵、閥門等，這些變化和改進都落入本實用新型要求保護的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種堿性排氣加藥系統(tǒng)，包括堿排加藥桶及與其連接的外購硫酸輸送管路，其特征在于，所述堿排加藥桶還建有與廢酸桶連接的泵送管路，所述廢酸桶用于盛裝來自濕法機臺生產(chǎn)過程中所產(chǎn)生的廢酸處理液。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種堿性排氣加藥系統(tǒng)，其特征在于所述泵送管路采用兩臺酸泵并聯(lián)。
專利摘要本實用新型公開一種堿性排氣加藥系統(tǒng)，包括堿排加藥桶及與其連接的外購硫酸輸送管路，所述堿排加藥桶還建有與廢酸桶連接的泵送管路，所述廢酸桶用于盛裝來自濕法機臺生產(chǎn)過程中所產(chǎn)生的廢酸處理液。本實用新型所述的堿性排氣加藥系統(tǒng)，通過設(shè)置廢酸桶及相應(yīng)的泵送管路與現(xiàn)有堿排加藥桶相連接，可將半導(dǎo)體制程中來自濕法機臺的廢酸處理液引自現(xiàn)有的堿排中心處理系統(tǒng)，一方面提供了新的堿排藥劑來源，節(jié)省了外購硫酸的成本，同時保證了系統(tǒng)運行的可靠性；另一方面達到了廢酸液就地處理，減少了相應(yīng)的污染源，減少了廢酸液的外運處理費用，具有良好的生產(chǎn)和社會效益。
文檔編號C02F1/66GK201952270SQ20102066559
公開日2011年8月31日 申請日期2010年12月17日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月17日
發(fā)明者莊建春 申請人:無錫華潤上華半導(dǎo)體有限公司, 無錫華潤上華科技有限公司