一種針測機(jī)承載盤的降溫裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種針測機(jī)承載盤的降溫裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅芯片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓。半導(dǎo)體的生產(chǎn)和制造在不斷的發(fā)展中形成了完善的生產(chǎn)流程。一般是芯片電路設(shè)計-晶圓的制造-晶圓的測試-晶圓的切割研磨-芯片的封裝-成品芯片的測試。晶圓的測試是將晶圓從工作臺上移送到針測機(jī)測試頭下面，并將探針卡上的針腳壓在晶粒上，形成良好的電氣接觸。半導(dǎo)體生產(chǎn)制造過程中，晶圓測試時有不同制程需求，不同制程有不同測試溫度需求，但是高溫轉(zhuǎn)換為常溫時，需要目前需要使用風(fēng)扇進(jìn)行降溫，將風(fēng)扇置于承載盤上方或側(cè)方，接通電源以電吹風(fēng)的方式降溫。但是采用電吹風(fēng)降溫，容易回溫，完全達(dá)到穩(wěn)定常溫需要時間比較長；使用外接風(fēng)扇，人員操作時容易磕碰到承載盤，導(dǎo)致承載盤變形影響承載盤的精度；使用風(fēng)扇降溫后針測機(jī)承載盤上容易存留灰塵或其他顆粒，針測時晶圓遇到顆粒有暗裂或破片風(fēng)險。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型的目的針對上述現(xiàn)有技術(shù)的問題，提供一種針測機(jī)承載盤的降溫裝置，通過風(fēng)機(jī)、進(jìn)氣管、壓縮空氣閥門、連接管、中空密封裝置構(gòu)成外部吹氣裝置對承載盤進(jìn)行吹氣降溫，具有結(jié)構(gòu)簡單、使用方便、降溫效果好的特點。
[0004]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用的技術(shù)方案是:
[0005]—種針測機(jī)承載盤的降溫裝置，包括風(fēng)機(jī)、進(jìn)氣管、壓縮空氣開關(guān)、進(jìn)氣接口、中空密封裝置、承載盤，所述風(fēng)機(jī)與進(jìn)氣管、壓縮空氣開關(guān)依次連接，所述進(jìn)氣接口安裝在中空密封裝置上，所述壓縮空氣開關(guān)通過連接管與進(jìn)氣接口相連，所述中空密封裝置的下表面開設(shè)有出氣孔，所述出氣孔的下方固定有所述承載盤。
[0006]進(jìn)一步地，所述風(fēng)機(jī)為直流變頻風(fēng)機(jī)。
[0007]進(jìn)一步地，所述壓縮空氣開關(guān)上安裝有手柄。
[0008]進(jìn)一步地，所述進(jìn)氣管與壓縮空氣開關(guān)螺紋連接。
[0009]進(jìn)一步地，所述進(jìn)氣管為內(nèi)螺紋，所述壓縮空氣開關(guān)為外螺紋。
[0010]進(jìn)一步地，所述中空密封裝置為鋁合金裝置。
[0011]進(jìn)一步地，所述中空密封裝置下表面開設(shè)有3排出氣孔。
[0012]本實用新型的有益效果:一種針測機(jī)承載盤的降溫裝置，通過風(fēng)機(jī)、進(jìn)氣管、壓縮空氣閥門、連接管、中空密封裝置構(gòu)成外部吹氣裝置對承載盤進(jìn)行吹氣降溫，具有結(jié)構(gòu)簡單、使用方便、降溫效果好的特點；能夠有效地避免降溫過程導(dǎo)致的承載盤磕碰；能夠清除針測機(jī)承載盤上存留的灰塵或其他顆粒，有效地避免存留顆粒造成的暗裂和破片風(fēng)險。
【附圖說明】
[0013]圖1為本實用新型降溫裝置結(jié)構(gòu)圖；
[0014]相關(guān)元件符號說明:
[0015]1、風(fēng)機(jī)；2、進(jìn)氣管；3、壓縮空氣開關(guān)；4、手柄；5、連接管；6、進(jìn)氣接口 ；7、中空密封裝置；8承載盤。
【具體實施方式】
[0016]為了使本實用新型實現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合具體圖示，進(jìn)一步闡述本實用新型。
[0017]具體實施時，結(jié)合圖1，一種針測機(jī)承載盤的降溫裝置，包括風(fēng)機(jī)1、進(jìn)氣管2、壓縮空氣開關(guān)3、連接管5、進(jìn)氣接口 6、中空密封裝置7、承載盤8。風(fēng)機(jī)I與進(jìn)氣管2、壓縮空氣開關(guān)3依次連接，進(jìn)氣接口 6安裝在中空密封裝置7上，壓縮空氣開關(guān)3通過連接管5與進(jìn)氣接口 6相連。中空密封裝置7的下表面開設(shè)有出氣孔，出氣孔的下方固定有承載盤8。
[0018]為了節(jié)約能源，風(fēng)機(jī)采用直流變頻風(fēng)機(jī)。
[0019]為了便于人工手動操作壓縮空氣開關(guān)，在壓縮空氣開關(guān)上安裝有手柄4。為了便于進(jìn)氣管與壓縮空氣開關(guān)的安裝，進(jìn)氣管與壓縮空氣開關(guān)采用螺紋形式連接，進(jìn)氣管采用內(nèi)螺紋，壓縮空氣開關(guān)采用外螺紋。
[0020]為了提高降溫裝置的使用壽命，中空密封裝置可以采用鋁合金裝置。為了進(jìn)一步地提高降溫效果，中空密封裝置下表面開設(shè)有3排出氣孔。
[0021]針測機(jī)承載盤的降溫裝置，通過風(fēng)機(jī)、進(jìn)氣管、壓縮空氣閥門、連接管、中空密封裝置構(gòu)成外部吹氣裝置對承載盤進(jìn)行吹氣降溫，可將針測機(jī)承載盤從100攝氏度降至35攝氏度降溫時間從原來的60分鐘縮短至15分鐘；具有結(jié)構(gòu)簡單、使用方便、降溫效果好的特點；能夠有效地避免降溫過程導(dǎo)致的承載盤磕碰；能夠清除針測機(jī)承載盤上存留的灰塵或其他顆粒，有效地避免存留顆粒造成的暗裂和破片風(fēng)險。
[0022]上面所述的實施例僅僅是對本實用新型的優(yōu)選實施方式進(jìn)行描述，并非對本實用新型的構(gòu)思和范圍進(jìn)行限定。在不脫離本實用新型設(shè)計構(gòu)思的前提下，本領(lǐng)域普通人員對本實用新型的技術(shù)方案做出的各種變型和改進(jìn)，均應(yīng)落入到本實用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項】
1.一種針測機(jī)承載盤的降溫裝置，其特征在于:包括風(fēng)機(jī)、進(jìn)氣管、壓縮空氣開關(guān)、進(jìn)氣接口、中空密封裝置、承載盤，所述風(fēng)機(jī)與進(jìn)氣管、壓縮空氣開關(guān)依次連接，所述進(jìn)氣接口安裝在中空密封裝置上，所述壓縮空氣開關(guān)通過連接管與進(jìn)氣接口相連，所述中空密封裝置的下表面開設(shè)有出氣孔，所述出氣孔的下方固定有所述承載盤。2.按照權(quán)利要求1所述的一種針測機(jī)承載盤的降溫裝置，其特征在于:所述風(fēng)機(jī)為直流變頻風(fēng)機(jī)。3.按照權(quán)利要求1所述的一種針測機(jī)承載盤的降溫裝置，其特征在于:所述壓縮空氣開關(guān)上安裝有手柄。4.按照權(quán)利要求3所述的一種針測機(jī)承載盤的降溫裝置，其特征在于:所述進(jìn)氣管與壓縮空氣開關(guān)螺紋連接。5.按照權(quán)利要求4所述的一種針測機(jī)承載盤的降溫裝置，其特征在于:所述進(jìn)氣管為內(nèi)螺紋，所述壓縮空氣開關(guān)為外螺紋。6.按照權(quán)利要求1所述的一種針測機(jī)承載盤的降溫裝置，其特征在于:所述中空密封裝置為鋁合金裝置。7.按照權(quán)利要求6所述的一種針測機(jī)承載盤的降溫裝置，其特征在于:所述中空密封裝置下表面開設(shè)有3排出氣孔。
【專利摘要】本實用新型公開了一種針測機(jī)承載盤的降溫裝置，包括風(fēng)機(jī)、進(jìn)氣管、壓縮空氣開關(guān)、進(jìn)氣接口、中空密封裝置、承載盤，所述風(fēng)機(jī)與進(jìn)氣管、壓縮空氣開關(guān)依次連接，所述進(jìn)氣接口安裝在中空密封裝置上，所述壓縮空氣開關(guān)通過連接管與進(jìn)氣接口相連，所述中空密封裝置的下表面開設(shè)有出氣孔，所述出氣孔的下方固定有所述承載盤。本實用新型降溫裝置，通過風(fēng)機(jī)、進(jìn)氣管、壓縮空氣閥門、連接管、中空密封裝置構(gòu)成外部吹氣裝置對承載盤進(jìn)行吹氣降溫，具有結(jié)構(gòu)簡單、使用方便、降溫效果好的特點；能夠有效地避免降溫過程導(dǎo)致的承載盤磕碰；能夠清除針測機(jī)承載盤上存留的灰塵或其他顆粒，有效地避免存留顆粒造成的暗裂和破片風(fēng)險。
【IPC分類】F25D1/00, H01L21/66
【公開號】CN205227963
【申請?zhí)枴緾N201520828829
【發(fā)明人】沈順金
【申請人】安徽超元半導(dǎo)體有限公司
【公開日】2016年5月11日
【申請日】2015年10月22日