一種新風(fēng)機組的冷卻水熱回收系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域,特別是涉及一種新風(fēng)機組的冷卻水熱回收系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]微電子芯片產(chǎn)品的高質(zhì)量、高精度以及高成品率使得其需要具有高潔凈度的生產(chǎn)環(huán)境。芯片的制造工藝要求在恒溫恒濕潔凈的環(huán)境中進行。這種恒溫恒濕且有高潔凈度的環(huán)境為潔凈室或潔凈廠房。所謂恒溫恒濕是指溫度和相對濕度在一個很小范圍內(nèi)變化。而潔凈室提供這種恒溫恒濕的條件是由潔凈室內(nèi)所配置的空調(diào)系統(tǒng)來完成的,即潔凈室用新風(fēng)機組(Make up air unit,MUA)系統(tǒng)。
[0003]傳統(tǒng)的潔凈室新風(fēng)機組(MAU)系統(tǒng)機箱中的設(shè)計如圖1所示,系統(tǒng)中從進風(fēng)端口至出風(fēng)端口依次設(shè)置有:進風(fēng)風(fēng)閥、過濾器(初效過濾器和中效過濾器)、預(yù)熱盤管、預(yù)冷盤管、加濕器、再冷盤管106、再熱盤管107、送風(fēng)動力設(shè)備、化學(xué)過濾器、高效過濾器以及出風(fēng)風(fēng)閥。
[0004]由于夏季包含過渡季節(jié)(七、八、九月),過渡季節(jié)時期新風(fēng)經(jīng)過再冷盤管106后溫度是9.5°C,為滿足潔凈室的制程要求,需要再經(jīng)過再熱盤管107加熱至16°C?,F(xiàn)有技術(shù)中,利用中央熱水系統(tǒng)20為再熱盤管107加熱,需要消耗大量的市政蒸汽,中央熱水系統(tǒng)20的內(nèi)部結(jié)構(gòu)如圖2所示。另外,現(xiàn)有技術(shù)中,再冷盤管106通過如圖3所示的冷卻水系統(tǒng)進行降溫。對于現(xiàn)有的中央熱水系統(tǒng)20,存在如下問題:由于熱水側(cè)的閥門不能關(guān)緊,因此在非維修階段不能更換及維修有嚴(yán)重內(nèi)漏的熱交換器,這將對冬季的熱水供應(yīng)造成很大風(fēng)險,甚至?xí)绊懻5纳a(chǎn)運營。而對于現(xiàn)有的冷卻水系統(tǒng)30,其制冷機組所產(chǎn)生的熱量是通過冷卻回水送到冷卻塔散發(fā)在大氣中,散熱需要消耗冷卻塔風(fēng)機大量的電能。夏季冷卻回水平均溫度為36°C,散熱后水溫可降到28.5°C,這部分熱量是屬于廢熱,沒有被充分利用而直接排放到大氣中。
【實用新型內(nèi)容】
[0005]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點,本實用新型的目的在于提供一種新風(fēng)機組的冷卻水回收系統(tǒng),用于解決現(xiàn)有技術(shù)中無法停止生產(chǎn)來對中央熱水系統(tǒng)進行維修、以及加熱新風(fēng)機組需要消耗大量市政蒸汽等的問題。
[0006]為實現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的,本實用新型提供一種新風(fēng)機組的冷卻水熱回收系統(tǒng),所述新風(fēng)機組的冷卻水熱回收系統(tǒng)至少包括:熱交換器、水泵以及變頻器;
[0007]所述熱交換器通過第一管道與新風(fēng)機組中的制冷機組相連;所述熱交換器還通過第二管道與所述新風(fēng)機組中的制熱機組相連,所述第二管道上設(shè)置有水泵,所述變頻器連接于所述水泵,用于控制所述水泵的泵水頻率。
[0008]作為新風(fēng)機組的冷卻水熱回收系統(tǒng)的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu),所述制冷機組為再冷盤管,所述制熱機組為再熱盤管。
[0009]作為新風(fēng)機組的冷卻水熱回收系統(tǒng)的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu),所述冷卻水回收系統(tǒng)還包括膨脹水箱,所述膨脹水箱分別與所述第一管道和第二管道相連。
[0010]作為新風(fēng)機組的冷卻水熱回收系統(tǒng)的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu),所述熱交換器還與冷卻水系統(tǒng)相連,所述冷卻水系統(tǒng)包括冷卻塔。
[0011]作為新風(fēng)機組的冷卻水熱回收系統(tǒng)的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu),所述制熱機組還通過第三管道與中央熱水系統(tǒng)相連接,所述第三管道上設(shè)置有氣動閥。
[0012]作為新風(fēng)機組的冷卻水熱回收系統(tǒng)的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu),所述第二管道上還設(shè)置有與所述水泵并聯(lián)連接的備用水泵,所述備用水泵上連接有相應(yīng)的備用變頻器。
[0013]作為新風(fēng)機組的冷卻水熱回收系統(tǒng)的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu),所述第一管道和第二管道上均設(shè)置有閥門。
[0014]作為新風(fēng)機組的冷卻水熱回收系統(tǒng)的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu),所述熱交換器為板式熱交換器。
[0015]如上所述,本實用新型的新風(fēng)機組的冷卻水熱回收系統(tǒng),包括:熱交換器、水泵以及變頻器;所述熱交換器通過第一管道與新風(fēng)機組中的制冷機組相連;所述熱交換器通過第二管道與所述新風(fēng)機組中的制熱機組相連,所述第二管道上設(shè)置有水泵,所述變頻器連接于所述水泵,用于控制所述水泵的泵水頻率。該熱回收系統(tǒng)中,可以利用制冷機組的冷卻回水的熱量來加熱新風(fēng)機組中的制熱機組,減少原來中央熱水系統(tǒng)換熱用的蒸汽耗量,節(jié)約能量,并且不停止生產(chǎn)就可以實現(xiàn)中央熱水系統(tǒng)的檢修。
【附圖說明】
[0016]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中新風(fēng)機組的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]圖2為現(xiàn)有技術(shù)中對新風(fēng)機組進行加熱的中央熱水系統(tǒng)示意圖。
[0018]圖3為現(xiàn)有技術(shù)中用來冷卻新風(fēng)機組的冷卻水系統(tǒng)。
[0019]圖4為本實用新型新風(fēng)機組的冷卻水熱回收系統(tǒng)的示意圖。
[0020]圖5為本實用新型新風(fēng)機組的冷卻水熱回收系統(tǒng)的工作示意圖。
[0021]元件標(biāo)號說明
[0022]10冷卻水熱回收系統(tǒng)
[0023]101熱交換器
[0024]102水泵
[0025]103變頻器
[0026]104第一管道
[0027]105第二管道
[0028]106制冷機組
[0029]107制熱機組
[0030]108膨脹水箱
[0031]109第三管道
[0032]110氣動閥
[0033]111備用水泵
[0034]112備用變頻器
[0035]113閥門
[0036]20中央熱水系統(tǒng)
[0037]30冷卻水系統(tǒng)
【具體實施方式】
[0038]以下由特定的具體實施例說明本實用新型的實施方式,熟悉此技術(shù)的人士可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實用新型的其他優(yōu)點及功效。
[0039]請參閱附圖。須知,本說明書所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等,均僅用以配合說明書所揭示的內(nèi)容,以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀,并非用以限定本實用新型可實施的限定條件,故不具技術(shù)上的實質(zhì)意義,任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整,在不影響本實用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達成的目的下,均應(yīng)仍落在本實用新型所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時,本說明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語,亦僅為便于敘述的明了,而非用以限定本實用新型可實施的范圍,其相對關(guān)系的改變或調(diào)整,在無實質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下,當(dāng)亦視為本實用新型可實施的范疇。
[0040]本實用新型提供一種新風(fēng)機組的冷卻水熱回收系統(tǒng)10,如圖4所示,所述新風(fēng)機組的冷卻水熱回收系