本申請涉及車間設(shè)備溫控，尤其是涉及一種熱回收裝置和熱回收利用設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、碳化硅(sic)作為新興的第三代半導(dǎo)體核心材料，具有寬禁帶、高臨界擊穿電場強度、高電子遷移率以及良好的抗輻照性和化學(xué)穩(wěn)定性等優(yōu)異性，這使其成為一種廣泛應(yīng)用的重要襯底晶片材料，在航空器件、新能源汽車、軌道交通和家用電器等領(lǐng)域展現(xiàn)了良好的應(yīng)用前景。

2、車間內(nèi)碳化硅工藝生產(chǎn)中，部分機臺(設(shè)備)在運行時會產(chǎn)生大量熱量，從而影響車間內(nèi)設(shè)備的性能。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本申請的目的在于提供一種熱回收裝置和熱回收利用設(shè)備，可以將發(fā)熱設(shè)備運行時的熱量進行回收利用，節(jié)約能源，同時緩解溫升現(xiàn)象，盡量避免影響其他設(shè)備的運行節(jié)約能源。

2、本申請的實施例可以這樣實現(xiàn)：

3、第一方面，本實用新型提供一種熱回收裝置，包括熱排外管路、排外管路和回風(fēng)管路；

4、所述熱排外管路包括熱排外管道以及設(shè)置于所述熱排外管道內(nèi)的換熱器，所述熱排外管道的進風(fēng)端用于與車間內(nèi)的發(fā)熱設(shè)備的排風(fēng)口連接，所述熱排外管道的出風(fēng)端與所述排外管路的進風(fēng)端和所述回風(fēng)管路的進風(fēng)端均連接；

5、所述排外管路的出風(fēng)端連通至外界大氣環(huán)境，所述回風(fēng)管路的出風(fēng)端用于連接車間的送回風(fēng)夾層。

6、在可選的實施方式中，所述熱排外管路還包括設(shè)置于所述熱排外管道的第一風(fēng)閥，所述第一風(fēng)閥能夠使所述熱排外管道導(dǎo)通或截止。

7、在可選的實施方式中，所述熱排外管路還包括設(shè)置于所述熱排外管道內(nèi)的排風(fēng)機，所述排風(fēng)機的負壓側(cè)對應(yīng)于所述熱排外管道的進風(fēng)端，所述排風(fēng)機的正壓側(cè)對應(yīng)于所述熱排外管道的出風(fēng)端。

8、在可選的實施方式中，所述排外管路和所述回風(fēng)管路可擇一導(dǎo)通。

9、在可選的實施方式中，所述熱排外管路還包括設(shè)置于所述熱排外管道的溫度傳感器，所述溫度傳感器位于所述換熱器的下游側(cè)，所述排外管路和所述回風(fēng)管路能夠根據(jù)所述溫度傳感器的檢測結(jié)果擇一導(dǎo)通。

10、在可選的實施方式中，所述排外管路包括排外管道以及設(shè)置于所述排外管道的第二風(fēng)閥，所述排外管道的進風(fēng)端與所述熱排外管道的出風(fēng)端連接，所述排外管道的出風(fēng)端連通至外界大氣環(huán)境，所述第二風(fēng)閥能夠使所述排外管道導(dǎo)通或截止。

11、在可選的實施方式中，所述回風(fēng)管路包括回風(fēng)管道以及設(shè)置于所述回風(fēng)管道的第三風(fēng)閥，所述回風(fēng)管道的進風(fēng)端與所述熱排外管道的出風(fēng)端連接，所述回風(fēng)管道的出風(fēng)端用于連接送回風(fēng)夾層，所述第三風(fēng)閥能夠使所述回風(fēng)管道導(dǎo)通或截止。

12、在可選的實施方式中，所述換熱器包括風(fēng)箱以及設(shè)置在風(fēng)箱內(nèi)的換熱盤管。

13、在可選的實施方式中，所述熱排外管道還具有用于與車間的送回風(fēng)夾層連通的進風(fēng)口。

14、第二方面，本實用新型提供一種熱回收利用設(shè)備，包括循環(huán)管路和前述實施方式任一項所述熱回收裝置，所述循環(huán)管路包括輸水管道、回水管道以及設(shè)置于所述輸水管道或所述回水管道的輸送泵，所述輸水管道的進水端用于與取熱設(shè)備的出水口連接，所述輸水管道的出水端與所述換熱器的進水口連接，所述回水管道的進水端與所述換熱器的出水口連接，所述回水管道的出水端用于與取熱設(shè)備的進水口連接。

15、與現(xiàn)有技術(shù)中相比，本申請實施例的有益效果包括，例如：

16、通過熱排外管道將車間內(nèi)發(fā)熱設(shè)備運行時產(chǎn)生的熱量引入到換熱器，換熱器可以與其他需要用到熱量的設(shè)備連接，從而通過換熱器可以吸收經(jīng)過自身空氣的部分熱量，從而降低熱排外管道內(nèi)位于換熱器下游的空氣溫度，同時換熱器吸收的熱量可以提供給其他需要熱量的取熱設(shè)備使用，例如純水站供水加熱、新風(fēng)空調(diào)再熱預(yù)熱盤管使用等等，從而實現(xiàn)熱量的回收利用，而且發(fā)熱設(shè)備的運行時的溫升現(xiàn)象也可以緩解，從而盡量避免影響其他設(shè)備的運行，此外，熱排外管道內(nèi)經(jīng)過換熱器吸收熱量后的空氣則可以通過排外管路排至車間外大氣環(huán)境和/或通過回風(fēng)管路送入送回風(fēng)夾層以進入到車間內(nèi)，節(jié)約能源。

技術(shù)特征：

1.一種熱回收裝置(100)，其特征在于，包括熱排外管路(110)、排外管路(120)和回風(fēng)管路(130)；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱回收裝置(100)，其特征在于，所述熱排外管路(110)還包括設(shè)置于所述熱排外管道(111)的第一風(fēng)閥(113)，所述第一風(fēng)閥(113)能夠使所述熱排外管道(111)導(dǎo)通或截止。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱回收裝置(100)，其特征在于，所述熱排外管路(110)還包括設(shè)置于所述熱排外管道(111)內(nèi)的排風(fēng)機(114)，所述排風(fēng)機(114)的負壓側(cè)對應(yīng)于所述熱排外管道(111)的進風(fēng)端，所述排風(fēng)機(114)的正壓側(cè)對應(yīng)于所述熱排外管道(111)的出風(fēng)端。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱回收裝置(100)，其特征在于，所述排外管路(120)和所述回風(fēng)管路(130)可擇一導(dǎo)通。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的熱回收裝置(100)，其特征在于，所述熱排外管路(110)還包括設(shè)置于所述熱排外管道(111)的溫度傳感器(116)，所述溫度傳感器(116)位于所述換熱器(112)的下游側(cè)，所述排外管路(120)和所述回風(fēng)管路(130)能夠根據(jù)所述溫度傳感器(116)的檢測結(jié)果擇一導(dǎo)通。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項所述的熱回收裝置(100)，其特征在于，所述排外管路(120)包括排外管道(121)以及設(shè)置于所述排外管道(121)的第二風(fēng)閥(122)，所述排外管道(121)的進風(fēng)端與所述熱排外管道(111)的出風(fēng)端連接，所述排外管道(121)的出風(fēng)端連通至外界大氣環(huán)境，所述第二風(fēng)閥(122)能夠使所述排外管道(121)導(dǎo)通或截止。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項所述的熱回收裝置(100)，其特征在于，所述回風(fēng)管路(130)包括回風(fēng)管道(131)以及設(shè)置于所述回風(fēng)管道(131)的第三風(fēng)閥(132)，所述回風(fēng)管道(131)的進風(fēng)端與所述熱排外管道(111)的出風(fēng)端連接，所述回風(fēng)管道(131)的出風(fēng)端用于連接送回風(fēng)夾層，所述第三風(fēng)閥(132)能夠使所述回風(fēng)管道(131)導(dǎo)通或截止。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱回收裝置(100)，其特征在于，所述換熱器(112)包括風(fēng)箱以及設(shè)置在風(fēng)箱內(nèi)的換熱盤管。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱回收裝置(100)，其特征在于，所述熱排外管道(111)還具有用于與車間的送回風(fēng)夾層連通的進風(fēng)口(115)。

10.一種熱回收利用設(shè)備，其特征在于，包括循環(huán)管路(200)和權(quán)利要求1-9任一項所述熱回收裝置(100)，所述循環(huán)管路(200)包括輸水管道(210)、回水管道(220)以及設(shè)置于所述輸水管道(210)或所述回水管道(220)的輸送泵(230)，所述輸水管道(210)的進水端用于與取熱設(shè)備(300)的出水口連接，所述輸水管道(210)的出水端與所述換熱器(112)的進水口連接，所述回水管道(220)的進水端與所述換熱器(112)的出水口連接，所述回水管道(220)的出水端用于與取熱設(shè)備(300)的進水口連接。

技術(shù)總結(jié)
本申請公開一種熱回收裝置和熱回收利用設(shè)備，通過熱排外管道將車間內(nèi)發(fā)熱設(shè)備運行時產(chǎn)生的熱量引入到換熱器，換熱器可以與其他需要用到熱量的設(shè)備連接，從而通過換熱器可以吸收經(jīng)過自身空氣的部分熱量，從而降低熱排外管道內(nèi)位于換熱器下游的空氣溫度，同時換熱器吸收的熱量可以提供給其他需要熱量的取熱設(shè)備使用，例如純水站供水加熱、新風(fēng)空調(diào)再熱預(yù)熱盤管使用等等，從而實現(xiàn)熱量的回收利用，而且發(fā)熱設(shè)備的運行時的溫升現(xiàn)象也可以緩解，從而盡量避免影響其他設(shè)備的運行，此外，熱排外管道內(nèi)經(jīng)過換熱器吸收熱量后的空氣則可以通過排外管路排至車間外大氣環(huán)境和/或通過回風(fēng)管路送入送回風(fēng)夾層以進入到車間內(nèi)，節(jié)約能源。

技術(shù)研發(fā)人員：張宗勝,衛(wèi)元元,張旭,楊銀鵬
受保護的技術(shù)使用者：通威微電子有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240515
技術(shù)公布日：2024/12/26