一種維持室內(nèi)污染物濃度穩(wěn)定的潔凈室的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種維持室內(nèi)污染物濃度穩(wěn)定的潔凈室，可用于低溫多晶硅薄膜晶體管液晶顯示器廠房的潔凈室，包括潔凈空間和回風(fēng)通道；所述潔凈空間從上到下包括架構(gòu)空間、潔凈空間和循環(huán)空間，架構(gòu)空間和潔凈空間之間設(shè)有天花板；所述天花板上設(shè)有復(fù)數(shù)個風(fēng)機濾器單元；所述循環(huán)空間和/或回風(fēng)通道內(nèi)設(shè)有復(fù)數(shù)個過濾單元，所述過濾單元包括化學(xué)過濾器和風(fēng)機；還包括污染物濃度監(jiān)測機構(gòu)和控制系統(tǒng)。本實用新型的潔凈室可以用于低溫多晶硅薄膜晶體管液晶顯示器廠房，在循環(huán)空間和/或回風(fēng)通道內(nèi)設(shè)有復(fù)數(shù)個過濾單元，從而將化學(xué)過濾器過濾的潔凈空氣和直接從潔凈空間出來的空氣進行預(yù)混合，因而實現(xiàn)了維持潔凈空間內(nèi)污染物濃度恒定的控制。
【專利說明】一種維持室內(nèi)污染物濃度穩(wěn)定的潔凈室
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種維持室內(nèi)污染物濃度穩(wěn)定的潔凈室，能夠?qū)⑸a(chǎn)車間污染物濃度穩(wěn)定維持在期望范圍內(nèi)，可以用作為低溫多晶硅薄膜晶體管液晶顯示器廠房。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著電子等高新技術(shù)的發(fā)展，環(huán)境中污染物的濃度往往可能會對產(chǎn)品造成電性飄移或不穩(wěn)定的現(xiàn)象。目前的應(yīng)用需求，有兩大類別，一種是一定要低于某一極低值，此如12寸芯片廠；另一類則是容許污染物的存在，但污染物的濃度不可以有忽大忽小或不同位置的大變異的情況，此如低溫多晶硅薄膜晶體管液晶顯示器廠房。
[0003]以下即就低溫多晶硅薄膜晶體管液晶顯示器廠房說明如下:
[0004]現(xiàn)有技術(shù)中，TFT LCD可分為多晶硅(Poly-Si TFT)與非晶硅(a_Si TFT)，兩者的差異在于電晶體特性不同。多晶硅的分子結(jié)構(gòu)在一顆晶粒(Grain)中的排列狀態(tài)是整齊而有方向性的，因此電子移動率比排列雜亂的非晶硅快了 200-300倍；一般所稱的TFT-1XD是指非晶硅，技術(shù)成熟，為IXD的主流產(chǎn)品。而多晶硅品則主要包含高溫多晶硅(HTPS)與低溫多晶硅(LTPS) 二種產(chǎn)品。
[0005]低溫多晶娃(Low Temperature Poly-silicon ;簡稱LTPS)薄膜晶體管液晶顯示器(LTPS-TFT LCD)是目前非常流行的一種顯示器，其是在封裝過程中，利用準(zhǔn)分子鐳射作為熱源，鐳射光經(jīng)過投射系統(tǒng)后，會產(chǎn)生能量均勻分布的鐳射光束，投射于非晶硅結(jié)構(gòu)的玻璃基板上，當(dāng)非晶硅結(jié)構(gòu)玻璃基板吸收準(zhǔn)分子鐳射的能量后，會轉(zhuǎn)變成為多晶硅結(jié)構(gòu)，因整個處理過程都是在600°C以下完成，故一般玻璃基板皆可適用。
[0006]低溫多晶硅薄膜晶體管液晶顯示器具有高分辨率、高色彩飽和度、成本低廉的優(yōu)勢，被寄予厚望成為新一波的顯示器。藉由其高電路整合特性與低成本的優(yōu)勢，在中小尺寸顯示面板的應(yīng)用上有著絕對的優(yōu)勢。LTPS-TFT LCD具有高分辨率、反應(yīng)速度快、高亮度、高開口率等優(yōu)點，加上由于LTPS-TFT IXD的硅結(jié)晶排列較a-Si有次序，使得電子移動率相對高100倍以上，可以將外圍驅(qū)動電路同時制作在玻璃基板上，達到系統(tǒng)整合的目標(biāo)、節(jié)省空間及驅(qū)動IC的成本。同時，由于驅(qū)動IC線路直接制作于面板上，可以減少組件的對外接點，增加可靠度、維護更簡單、縮短組裝制程時間及降低EMI特性，進而減少應(yīng)用系統(tǒng)設(shè)計時程及擴大設(shè)計自由度。
[0007]總所周知的，用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室對于氣相污染物(一般是指含B、P、硅氧化物等有機物)的濃度要求非?？量?，例如，對于12寸晶圓廠的20nm產(chǎn)品，其氣相污染物的濃度必修小于lppt，因此其對潔凈室的要求非常高，因此成本極高。而對于低溫多晶硅薄膜晶體管液晶顯示器廠房的潔凈室而言，其對于氣相污染物(一般是指含B、P、硅氧化物等有機物)的濃度并沒有半導(dǎo)體廠房的潔凈室那么苛刻，其允許氣相污染物的濃度較高，但卻要求整個潔凈室空間內(nèi)各處的污染物的濃度在某一范圍內(nèi)保持一定的穩(wěn)定性，意即不允許某時段于潔凈車間內(nèi)出現(xiàn)污染物的濃度突然過高或持續(xù)飆高或某處濃度極高而某處濃度極低的情況。[0008]為了過濾去除有機污染物，現(xiàn)有的方法都是在潔凈室的天花板上的風(fēng)機濾器單元(FFU)的入風(fēng)口處設(shè)置化學(xué)過濾器，參加附圖1所示。而對于目前常規(guī)的化學(xué)過濾器而言，初始狀態(tài)時，其吸附有機污染物的效果較好，可以獲得污染物濃度較低的潔凈空氣，但隨著使用時間的延長，其除雜效果會越來越差，獲得的潔凈空氣中的污染物濃度也越來越高。因此，從天花板上的風(fēng)機濾器單元送下來的潔凈空氣中的污染物濃度會隨著化學(xué)過濾器的使用時間的延長而越來越高，直到無法滿足污染物濃度要求。此時，一般會對化學(xué)過濾器進行更換。
[0009]然而，由于低溫多晶硅薄膜晶體管液晶顯示器廠房對潔凈室的要求是整個潔凈室空間內(nèi)各處的污染物的濃度于任何時間內(nèi)能夠穩(wěn)定保持在一定范圍內(nèi)，但天花板上的風(fēng)機濾器單元的化學(xué)過濾器更換，不論是全面更換或部份更換，都將導(dǎo)致潔凈室空間內(nèi)污染物的濃度突然下降或不同位置的污染物濃度產(chǎn)生極大差異，因此，造成極大的矛盾與產(chǎn)品適應(yīng)調(diào)整期，對生產(chǎn)造成損失。
[0010]因此，開發(fā)一種能維持潔凈空間內(nèi)污染物濃度恒定的潔凈室，對于低溫多晶硅薄膜晶體管液晶顯示器廠房或具有類似穩(wěn)定污染物濃度范圍的產(chǎn)業(yè)具有積極的現(xiàn)實意義。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011]本實用新型的目的是提供一種維持室內(nèi)污染物濃度穩(wěn)定的潔凈室，能夠?qū)⑸a(chǎn)車間污染物濃度穩(wěn)定維持在期望范圍內(nèi)，例如用于低溫多晶硅薄膜晶體管液晶顯示器廠房的潔凈室。
[0012]為達到上述發(fā)明目的，本實用新型采用的技術(shù)方案是:一種維持室內(nèi)污染物濃度穩(wěn)定的潔凈室，包括新風(fēng)輸送系統(tǒng)、排氣系統(tǒng)、潔凈空間和回風(fēng)通道；
[0013]所述潔凈空間從上到下包括架構(gòu)空間、潔凈空間和循環(huán)空間，架構(gòu)空間和潔凈空間之間設(shè)有天花板；所述天花板上設(shè)有復(fù)數(shù)個風(fēng)機濾器單元；
[0014]所述循環(huán)空間和/或回風(fēng)通道內(nèi)設(shè)有復(fù)數(shù)個過濾單元，所述過濾單元包括化學(xué)過濾器和風(fēng)機；
[0015]還包括污染物濃度監(jiān)測機構(gòu)和控制系統(tǒng)；所述污染物濃度監(jiān)測機構(gòu)設(shè)于潔凈空間內(nèi)；所述各個過濾單元的風(fēng)機均由所述控制系統(tǒng)控制。
[0016]上文中，所述風(fēng)機濾器單元(FFU，F(xiàn)an Filter Units)為現(xiàn)有技術(shù)。
[0017]所述各個過濾單元的風(fēng)機均由所述控制系統(tǒng)控制，即控制系統(tǒng)可以控制風(fēng)機的轉(zhuǎn)速，從而實現(xiàn)風(fēng)速的調(diào)整。
[0018]所述污染物濃度監(jiān)測機構(gòu)屬于現(xiàn)有技術(shù)，其檢測得到的信號會傳至控制系統(tǒng)，再由控制系統(tǒng)控制過濾單元的風(fēng)速，從而實現(xiàn)潔凈空氣內(nèi)污染物濃度的調(diào)整。具體的，當(dāng)檢測得到的潔凈空氣內(nèi)污染物濃度偏高時，可以由控制系統(tǒng)控制加大過濾單元的風(fēng)速，增加過濾空氣的數(shù)量，從而拉低潔凈空氣內(nèi)的污染物濃度；反之，當(dāng)檢測得到的潔凈空氣內(nèi)污染物濃度偏低時，可以由控制系統(tǒng)控制減小過濾單元的風(fēng)速(甚至使某些過濾單元停機)，減小過濾空氣的數(shù)量，該方式雖然拉高了潔凈空氣內(nèi)的污染物濃度，但仍在允許的濃度范圍內(nèi)；顯然，該方式大大降低了能耗，節(jié)約了成本。此外，在化學(xué)過濾器使用一段時間后，可以對部分化學(xué)過濾器進行更換(進一步的，可以將多個化學(xué)過濾設(shè)置成一個群組，從而變成多個過濾單元群組，然后對過濾單元群組輪流進行更換)，而不需要整體更換，降低了工作量，進一步節(jié)約了成本。
[0019]上述技術(shù)方案中，所述控制系統(tǒng)具有變頻機構(gòu)。即該控制系統(tǒng)具有變頻功能，可以更好地控制風(fēng)機的轉(zhuǎn)速，從而實現(xiàn)風(fēng)速的調(diào)整。
[0020]上述技術(shù)方案中，所述污染物濃度監(jiān)測機構(gòu)為offline污染物濃度監(jiān)測機構(gòu)。當(dāng)然也可以選用online污染物濃度監(jiān)測機構(gòu)。這些都是現(xiàn)有設(shè)備。
[0021]上述技術(shù)方案中，所述過濾單元包括機架，以及設(shè)于機架上的風(fēng)機和化學(xué)過濾器。
[0022]由于上述技術(shù)方案運用，本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點:
[0023]1、本實用新型設(shè)計得到了一種維持室內(nèi)污染物濃度穩(wěn)定的潔凈室，能夠?qū)⑸a(chǎn)車間污染物濃度穩(wěn)定維持在期望范圍內(nèi)，可以用作為低溫多晶硅薄膜晶體管液晶顯示器廠房的潔凈室，在循環(huán)空間和/或回風(fēng)通道內(nèi)設(shè)有復(fù)數(shù)個過濾單元，從而將化學(xué)過濾器過濾的潔凈空氣和直接從潔凈空間出來的空氣進行預(yù)混合，因而實現(xiàn)了維持潔凈空間內(nèi)污染物濃度恒定的控制，可以使?jié)崈艨臻g內(nèi)的污染物濃度雖處在略高的狀態(tài)，但潔凈空間各處的污染物濃度卻可保持一致。
[0024]2、本實用新型的過濾單元通過控制系統(tǒng)進行控制連接，由控制系統(tǒng)控制過濾單元的風(fēng)速，從而實現(xiàn)了潔凈空氣內(nèi)污染物濃度的調(diào)整，配合污染物濃度監(jiān)測機構(gòu)，可以使?jié)崈艨臻g內(nèi)的污染物濃度始終滿足規(guī)定的要求。
[0025]3、本實用新型充分利用了潔凈空間內(nèi)現(xiàn)有的潔凈空氣，降低了消耗，而且實現(xiàn)了對部分化學(xué)過濾器進行更換(進一步的，可以將多個化學(xué)過濾設(shè)置成一個群組，從而變成多個過濾單元群組，然后對過濾單元群組輪流進行更換)，而不需要整體更換，降低了工作量，大大節(jié)約了成本。
[0026]4、本實用新型的結(jié)構(gòu)簡單，易于制備，適于推廣應(yīng)用。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0027]圖1是【背景技術(shù)】中的潔凈室的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖2為本實用新型實施例一的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029]圖3為圖2的氣流不意圖；
[0030]圖4是本實用新型實施例二的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0031]圖5是本實用新型實施例一中過濾單元的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0032]其中:1、回風(fēng)通道；2、過濾單元；3、化學(xué)過濾器；4、架構(gòu)空間；5、潔凈空間；6、循環(huán)空間；7、天花板；8、風(fēng)機濾器單元；9、風(fēng)機；10、機架。
【具體實施方式】
[0033]下面結(jié)合附圖及實施例對本實用新型作進一步描述:
[0034]實施例一
[0035]參見圖2、3、5所示，一種維持室內(nèi)污染物濃度穩(wěn)定的潔凈室，可以用于低溫多晶硅薄膜晶體管液晶顯示器廠房的潔凈室，包括新風(fēng)輸送系統(tǒng)、排氣系統(tǒng)、潔凈空間系統(tǒng)和回風(fēng)通道I ;
[0036]所述潔凈空間系統(tǒng)從上到下包括架構(gòu)空間4、潔凈空間5和循環(huán)空間6，架構(gòu)空間和潔凈空間之間設(shè)有天花板7 ;所述天花板上設(shè)有復(fù)數(shù)個風(fēng)機濾器單元8 ;[0037]所述循環(huán)空間內(nèi)設(shè)有復(fù)數(shù)個過濾單元2，所述過濾單元包括化學(xué)過濾器3和風(fēng)機9 ；
[0038]還包括污染物濃度監(jiān)測機構(gòu)和控制系統(tǒng)；所述污染物濃度監(jiān)測機構(gòu)設(shè)于潔凈空間內(nèi)；所述各個過濾單元的風(fēng)機均由所述控制系統(tǒng)控制。
[0039]所述控制系統(tǒng)具有變頻機構(gòu)。
[0040]所述污染物濃度監(jiān)測機構(gòu)為offline污染物濃度監(jiān)測機構(gòu)。
[0041]所述過濾單元包括機架10，以及設(shè)于機架上的風(fēng)機9和化學(xué)過濾器3，參加圖5所
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[0042]所述污染物濃度監(jiān)測機構(gòu)屬于現(xiàn)有技術(shù)，其檢測得到的信號會傳至控制系統(tǒng)，再由控制系統(tǒng)控制過濾單元的風(fēng)速，從而實現(xiàn)潔凈空氣內(nèi)污染物濃度的調(diào)整。具體的，當(dāng)檢測得到的潔凈空氣內(nèi)污染物濃度偏高時，可以由控制系統(tǒng)控制加大過濾單元的風(fēng)速，增加過濾空氣的數(shù)量，從而拉低潔凈空氣內(nèi)的污染物濃度；反之，當(dāng)檢測得到的潔凈空氣內(nèi)污染物濃度偏低時，可以由控制系統(tǒng)控制減小過濾單元的風(fēng)速(甚至使某些過濾單元停機)，減小過濾空氣的數(shù)量，該方式雖然拉高了潔凈空氣內(nèi)的污染物濃度，但仍在允許的濃度范圍內(nèi)；顯然，該方式大大降低了能耗，節(jié)約了成本。此外，在化學(xué)過濾器使用一段時間后，可以對部分化學(xué)過濾器進行更換(進一步的，可以將多個化學(xué)過濾設(shè)置成一個群組，從而變成多個過濾單元群組，然后對過濾單元群組輪流進行更換)，而不需要整體更換，降低了工作量，進一步節(jié)約了成本。
[0043]實施例二
[0044]參見圖4所示，一種用于低溫多晶硅薄膜晶體管液晶顯示器廠房的潔凈室，包括新風(fēng)輸送系統(tǒng)、排氣系統(tǒng)、潔凈空間系統(tǒng)和回風(fēng)通道；
[0045]所述潔凈空間系統(tǒng)從上到下包括架構(gòu)空間、潔凈空間和循環(huán)空間，架構(gòu)空間和潔凈空間之間設(shè)有天花板，潔凈空間和循環(huán)空間之間設(shè)有高架地板和混凝土板；
[0046]所述天花板上設(shè)有復(fù)數(shù)個風(fēng)機濾器單元；
[0047]所述回風(fēng)通道內(nèi)設(shè)有復(fù)數(shù)個過濾單元2，所述過濾單元包括化學(xué)過濾器和風(fēng)機；
[0048]還包括污染物濃度監(jiān)測機構(gòu)和控制系統(tǒng)；所述污染物濃度監(jiān)測機構(gòu)設(shè)于潔凈空間內(nèi)；所述各個過濾單元的風(fēng)機均由所述控制系統(tǒng)控制。
[0049]所述控制系統(tǒng)具有變頻機構(gòu)。
【權(quán)利要求】
1.一種維持室內(nèi)污染物濃度穩(wěn)定的潔凈室，包括新風(fēng)輸送系統(tǒng)、排氣系統(tǒng)、潔凈空間系統(tǒng)和回風(fēng)通道⑴； 所述潔凈空間系統(tǒng)從上到下包括架構(gòu)空間(4)、潔凈空間(5)和循環(huán)空間(6)，架構(gòu)空間和潔凈空間之間設(shè)有天花板(7);所述天花板上設(shè)有復(fù)數(shù)個風(fēng)機濾器單元(8);其特征在于: 所述循環(huán)空間和/或回風(fēng)通道內(nèi)設(shè)有復(fù)數(shù)個過濾單元(2)，所述過濾單元包括化學(xué)過濾器⑶和風(fēng)機(9)； 還包括污染物濃度監(jiān)測機構(gòu)和控制系統(tǒng)；所述污染物濃度監(jiān)測機構(gòu)設(shè)于潔凈空間內(nèi)；所述各個過濾單元的風(fēng)機均由所述控制系統(tǒng)控制。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的潔凈室，其特征在于:所述控制系統(tǒng)具有變頻機構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的潔凈室，其特征在于:所述污染物濃度監(jiān)測機構(gòu)為offline污染物濃度監(jiān)測機構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的潔凈室，其特征在于:所述過濾單元包括機架(10)，以及設(shè)于機架上的風(fēng)機和化學(xué)過濾器。
【文檔編號】F24F3/16GK203823957SQ201420112881
【公開日】2014年9月10日 申請日期:2014年3月13日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月13日
【發(fā)明者】楊政諭 申請人:亞翔系統(tǒng)集成科技（蘇州）股份有限公司