專利名稱:液晶制程中爐體的雙路循環(huán)冷卻系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及冷卻系統(tǒng),尤其涉及一種液晶制程中爐體的雙路循環(huán)冷卻系統(tǒng)。
背景技術(shù):
在現(xiàn)有液晶制程中的烘干、固化、退火等步驟都需要用到用于加熱的爐體。參見圖1,其為現(xiàn)有液晶制程中一種爐體的立體結(jié)構(gòu)示意圖?,F(xiàn)有液晶制程中所使用的爐體10,因要保持爐體10內(nèi)的潔凈等級(jí),爐體10內(nèi)通常配有供排氣系統(tǒng),通過凈化管11通入潔凈空氣,使?fàn)t體10內(nèi)形成正壓,并通過排氣管12向外排氣,氣體流動(dòng)方向以箭頭表示。此外,爐體10的遮板側(cè)13和后維修門側(cè)14均可以打開以操作爐體10的內(nèi)部。
為保證液晶產(chǎn)品的質(zhì)量,爐體需要時(shí)常進(jìn)行養(yǎng)護(hù)。目前,液晶制程上所采用的爐體在維護(hù)時(shí)必須先將爐內(nèi)溫度降下來才能進(jìn)行人為養(yǎng)護(hù),但由于目前爐體內(nèi)降溫采用自然冷卻的方式,從高溫150°C (示例溫度)降至60°C以下所需時(shí)間較長(zhǎng)(約6小時(shí)),成為整條液晶產(chǎn)線保養(yǎng)耗時(shí)的瓶頸。這是由于爐體降溫時(shí)間較長(zhǎng),而此段時(shí)間由于高溫導(dǎo)致人員無法進(jìn)行保養(yǎng),屬無效時(shí)間。因無效時(shí)間過長(zhǎng),導(dǎo)致了爐體保養(yǎng)耗時(shí)過長(zhǎng),單臺(tái)爐體至少需要一天,從而導(dǎo)致整條產(chǎn)線(Line)的保養(yǎng)時(shí)間過長(zhǎng)。
發(fā)明內(nèi)容
因此,本發(fā)明的目的在于提供一種加速爐體內(nèi)降溫速度的液晶制程中爐體的雙路循環(huán)冷卻系統(tǒng)。為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供一種液晶制程中爐體的雙路循環(huán)冷卻系統(tǒng),包括水泵、水槽、抽水管、回流管、第一冷卻管路及第二冷卻管路,所述水泵、水槽、抽水管及回流管位于爐體外部,所述第一冷卻管路和第二冷卻管路為位于爐體內(nèi)部的平行并列的兩排冷卻管路;所述水泵經(jīng)由抽水管將水槽中容納的冷卻物抽至爐體內(nèi)部的第一冷卻管路和第二冷卻管路中,冷卻物帶走爐體內(nèi)部的熱量后再經(jīng)由回流管排入水槽中,第一冷卻管路和第二冷卻管路內(nèi)冷卻物流動(dòng)方向相反。其中,所述水泵為自吸式水泵。其中,所述冷卻物為液晶滴入制程的回收水。其中,所述水槽為供磨邊制程使用的液晶滴入制程回收水的暫存緩沖。其中,所述第一冷卻管路及第二冷卻管路為不銹鋼管。其中,所述第一冷卻管路及第二冷卻管路為陶瓷管。其中,所述第一冷卻管路安裝于爐體內(nèi)部的排氣管中。其中,所述第二冷卻管路安裝于爐體內(nèi)部的排氣管中。其中,所述第一冷卻管路及第二冷卻管路安裝于爐體內(nèi)部的排氣管中。其中,所述第一冷卻管路及第二冷卻管路的管路形狀為方波形折線。本發(fā)明液晶制程中爐體的雙路循環(huán)冷卻系統(tǒng)可以加速爐內(nèi)降溫速度,減少無效的降溫時(shí)間,從而縮短整條產(chǎn)線的保養(yǎng)維護(hù)時(shí)間,提高生產(chǎn)效率;本發(fā)明采用冷卻水循環(huán)系統(tǒng),在爐體內(nèi)加裝雙路冷卻水循環(huán)系統(tǒng),通過水泵將緩沖槽(Buffer Tank)中的水抽至爐體內(nèi),幾乎不用增加任何成本,使整個(gè)爐體降溫均勻;可以依現(xiàn)有爐體進(jìn)行改造,用較小的費(fèi)用達(dá)到較好的冷卻效果。
下面結(jié)合附圖,通過對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式
詳細(xì)描述,將使本發(fā)明的技術(shù)方案及其他有益效果顯而易見。附圖中,圖I為現(xiàn)有液晶制程中爐體的立體結(jié)構(gòu)示意圖;圖2為本發(fā)明液晶制程中爐體的雙路循環(huán)冷卻系統(tǒng)一較佳實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖;圖3為本發(fā)明液晶制程中爐體的雙路循環(huán)冷卻系統(tǒng)一較佳實(shí)施例的第一冷卻管路及第二冷卻管路的結(jié)構(gòu)示意圖;圖4為依照本發(fā)明改造現(xiàn)有液晶制程中爐體得到的排氣管的側(cè)視圖;圖5為圖4中排氣管的主視圖。
具體實(shí)施例方式參見圖2,其為本發(fā)明液晶制程中爐體的雙路循環(huán)冷卻系統(tǒng)一較佳實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。該液晶制程中爐體的雙路循環(huán)冷卻系統(tǒng)包括水泵2、水槽5、抽水管3、回流管4、第一冷卻管路及第二冷卻管路。爐體I外部增加水泵(Pump) 2及相關(guān)循環(huán)管路抽水管3、回流管4,采用一無需加入引水的自吸式水泵2,將水槽(Water Tank) 5中的回收水6抽至爐體I內(nèi)部的冷卻系統(tǒng)內(nèi),帶走熱量后再排入水槽(Water Tank)5中?;厥账?作為冷卻物為液晶滴入制程(ODF)的回收水,利用冷卻水的低溫、高比熱的特性,將爐體I內(nèi)熱量及時(shí)排出爐外,使?fàn)t溫迅速降低。冷卻物采用現(xiàn)有液晶制程中的回收水,實(shí)現(xiàn)回收水綜合重復(fù)利用,降低成本。抽水管3、回流管4中的回收水6按照箭頭方向流動(dòng),按實(shí)線三角箭頭方向流經(jīng)爐體I內(nèi)的第一冷卻管路,按虛線三角箭頭方向流經(jīng)爐體I內(nèi)的第二冷卻管路。水槽5為液晶滴入制程(ODF)中洗凈機(jī)(清洗機(jī))回收水的暫存緩沖(Buffer),以供磨邊制程使用,實(shí)現(xiàn)回收水的高效循環(huán)利用。雙路冷卻水循環(huán)系統(tǒng)可以加裝在現(xiàn)有的爐體上,幾乎不用增加任何成本而且基于現(xiàn)有的液晶制程來實(shí)現(xiàn)。參見圖3,其為本發(fā)明液晶制程中爐體的雙路循環(huán)冷卻系統(tǒng)一較佳實(shí)施例的第一冷卻管路及第二冷卻管路的結(jié)構(gòu)示意圖。第一冷卻管路7和第二冷卻管路8為位于爐體I內(nèi)部的平行并列的兩排冷卻管路,第一冷卻管路7及第二冷卻管路8的管路形狀可以為方波形折線。為達(dá)到降溫迅速及降溫速率等同,特采用雙路循環(huán),分別從爐體I最下段和最上段接入平行并列的兩排冷卻管路,第一冷卻管路7和第二冷卻管路8為完全或大體上平行并列,兩管路內(nèi)冷卻水采用反向流動(dòng),既加快冷卻速度,又可使整個(gè)爐體I降溫均勻,以免發(fā)生事故。第一冷卻管路7及第二冷卻管路8可采用不銹鋼(SUS)管或高強(qiáng)度耐高溫導(dǎo)熱的陶瓷管。盡可能長(zhǎng)的冷卻管路形狀可以實(shí)現(xiàn)較好的降溫效果,兩排冷卻管路形狀相同且冷卻水流動(dòng)方向相反可以保證降溫均勻。如果依現(xiàn)有爐體的結(jié)構(gòu)進(jìn)行改造,可以用較小的費(fèi)用達(dá)到較好的冷卻效果。參見圖4及圖5為依照本發(fā)明改造現(xiàn)有液晶制程中爐體得到的排氣管的側(cè)視圖,圖5為圖4中排氣管的主視圖。排氣管22為爐體中已有的管路結(jié)構(gòu),改造時(shí)只需對(duì)排氣管22進(jìn)行改造,在排氣管22內(nèi)部嵌入新增的冷卻管路15,排氣管22和冷卻管路15之間形成氣體排出通道16,冷卻管路15內(nèi)形成冷卻水通道17,這樣生產(chǎn)時(shí)供排氣系統(tǒng)可正常使用,保養(yǎng)時(shí)冷卻管路15也可使用,以帶走熱量,確保爐體盡快降溫。基于現(xiàn)有液晶制程中爐體的排氣管實(shí)際分布情況,兩路冷卻管路可以全部安裝于排氣管中,也可以一部分設(shè)置于排氣管中,一部分設(shè)置于排氣管外。通過改造原有的爐體,可以省去重新制造和更換爐體的費(fèi)用。
綜上,使用本發(fā)明液晶制程中爐體的雙路循環(huán)冷卻系統(tǒng)對(duì)爐溫進(jìn)行冷卻后能有效加速爐體降溫過程,節(jié)省設(shè)備維護(hù)時(shí)間,提高生產(chǎn)效率;本發(fā)明在爐體內(nèi)加裝雙路冷卻水循環(huán)系統(tǒng),幾乎不用增加任何成本,使整個(gè)爐體降溫均勻;可以依現(xiàn)有爐體進(jìn)行改造,用較小的費(fèi)用達(dá)到較好的冷卻效果。以上所述,對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,可以根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案和技術(shù)構(gòu)思作出其他各種相應(yīng)的改變和變形,而所有這些改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明后附的權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種液晶制程中爐體的雙路循環(huán)冷卻系統(tǒng),其特征在于,包括水泵、水槽、抽水管、回流管、第一冷卻管路及第二冷卻管路,所述水泵、水槽、抽水管及回流管位于爐體外部,所述第一冷卻管路和第二冷卻管路為位于爐體內(nèi)部的平行并列的兩排冷卻管路;所述水泵經(jīng)由抽水管將水槽中容納的冷卻物抽至爐體內(nèi)部的第一冷卻管路和第二冷卻管路中,冷卻物帶走爐體內(nèi)部的熱量后再經(jīng)由回流管排入水槽中,第一冷卻管路和第二冷卻管路內(nèi)冷卻物流動(dòng)方向相反。
2.如權(quán)利要求I所述的液晶制程中爐體的雙路循環(huán)冷卻系統(tǒng),其特征在于,所述水泵為自吸式水泵。
3.如權(quán)利要求I所述的液晶制程中爐體的雙路循環(huán)冷卻系統(tǒng),其特征在于,所述冷卻物為液晶滴入制程的回收水。
4.如權(quán)利要求I所述的液晶制程中爐體的雙路循環(huán)冷卻系統(tǒng),其特征在于,所述水槽為供磨邊制程使用的液晶滴入制程回收水的暫存緩沖。
5.如權(quán)利要求I所述的液晶制程中爐體的雙路循環(huán)冷卻系統(tǒng),其特征在于,所述第一冷卻管路及第二冷卻管路為不銹鋼管。
6.如權(quán)利要求I所述的液晶制程中爐體的雙路循環(huán)冷卻系統(tǒng),其特征在于,所述第一冷卻管路及第二冷卻管路為陶瓷管。
7.如權(quán)利要求I所述的液晶制程中爐體的雙路循環(huán)冷卻系統(tǒng),其特征在于,所述第一冷卻管路安裝于爐體內(nèi)部的排氣管中。
8.如權(quán)利要求I所述的液晶制程中爐體的雙路循環(huán)冷卻系統(tǒng),其特征在于,所述第二冷卻管路安裝于爐體內(nèi)部的排氣管中。
9.如權(quán)利要求I所述的液晶制程中爐體的雙路循環(huán)冷卻系統(tǒng),其特征在于,所述第一冷卻管路及第二冷卻管路安裝于爐體內(nèi)部的排氣管中。
10.如權(quán)利要求I所述的液晶制程中爐體的雙路循環(huán)冷卻系統(tǒng),其特征在于,所述第一冷卻管路及第二冷卻管路的管路形狀為方波形折線。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種液晶制程中爐體的雙路循環(huán)冷卻系統(tǒng),包括水泵、水槽、抽水管、回流管、第一冷卻管路及第二冷卻管路,所述水泵、水槽、抽水管及回流管位于爐體外部,所述第一冷卻管路和第二冷卻管路為位于爐體內(nèi)部的平行并列的兩排冷卻管路;所述水泵經(jīng)由抽水管將水槽中容納的冷卻物抽至爐體內(nèi)部的第一冷卻管路和第二冷卻管路中,冷卻物帶走爐體內(nèi)部的熱量后再經(jīng)由回流管排入水槽中,第一冷卻管路和第二冷卻管路內(nèi)冷卻物流動(dòng)方向相反。本發(fā)明液晶制程中爐體的雙路循環(huán)冷卻系統(tǒng)可以加速爐內(nèi)降溫速度,減少無效的降溫時(shí)間,從而縮短整條產(chǎn)線的保養(yǎng)維護(hù)時(shí)間,提高生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)F27D9/00GK102628651SQ20121013309
公開日2012年8月8日 申請(qǐng)日期2012年4月28日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月28日
發(fā)明者鄧?guó)欗w 申請(qǐng)人:深圳市華星光電技術(shù)有限公司