專利名稱：甩干式恒溫烘箱的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種恒溫烘箱裝置，特別涉及一種利用先甩干加后烘干的方法， 用于烘干各種形狀大小不同基板的甩干式恒溫烘箱。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有技術(shù)中，在物理和化學(xué)方法的鍍膜過程中，均需用平整潔凈的玻璃、硅片和 PVC等作為基板；通常情況下，經(jīng)清洗后的基板表面會附有殘留水滴，主要是利用高溫及其 鼓風(fēng)技術(shù)經(jīng)高溫蒸發(fā)直接烘干殘留水滴及附著的水分。但是，傳統(tǒng)的烘箱在烘干對潔凈度 要求很高的基板時(shí)，通過高溫條件下水分蒸發(fā)后，水滴處會留有水漬，水漬中殘留有污染 物，這是傳統(tǒng)的烘箱存在的主要缺陷；不僅使薄膜的純度下降，而且致使后續(xù)鍍膜的均勻 性、附著力、平整度等較差，嚴(yán)重影響了鍍膜的質(zhì)量和使用壽命。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，經(jīng)設(shè)計(jì)改進(jìn)提供一種將清洗后的 基板利用真空吸附的方法置于烘箱內(nèi)的甩干轉(zhuǎn)盤表面，通過帶真空吸附轉(zhuǎn)盤高速旋轉(zhuǎn)的離 心力將基板上的殘留水滴甩干，再對烘箱的溫度進(jìn)行設(shè)定，利用高溫烘干基板上所吸附水 分子的甩干式恒溫烘箱。該裝置可有效避免基板因殘留水滴而直接高溫烘干致使基板表面 出現(xiàn)水漬的缺陷；具有吸附基板效果好，甩干效率高，易于操作，性能穩(wěn)定可靠，擴(kuò)展了使用 范圍的特點(diǎn)。為實(shí)現(xiàn)所述目的，本實(shí)用新型采用了如下的技術(shù)方案一種甩干式恒溫烘箱，包括 烘箱箱體，石棉，基板，電機(jī)主軸，電機(jī)，電機(jī)調(diào)速器，鼓風(fēng)機(jī)，萬向輪，通氣孔，烘干架，散熱 窗，石英加熱管，熱電偶，溫控儀，抽氣管，機(jī)械泵，真空抽氣孔，環(huán)形平板圈，甩干轉(zhuǎn)盤；所述 在烘箱箱體內(nèi)設(shè)置有規(guī)格不同的甩干轉(zhuǎn)盤，甩干轉(zhuǎn)盤與電機(jī)主軸相連接，在甩干轉(zhuǎn)盤的表 面上設(shè)有數(shù)個(gè)真空抽氣孔，其真空抽氣孔沿著轉(zhuǎn)盤呈同心環(huán)狀排列，并通過電機(jī)主軸與抽 氣管連通；電機(jī)主軸與電機(jī)連接，電機(jī)與電機(jī)調(diào)速器連接；抽氣管與機(jī)械泵相連接；在烘箱 箱體內(nèi)設(shè)置了由石英加熱管、熱電偶以及溫控儀經(jīng)線路連接組成的溫控系統(tǒng)。所述電機(jī)主軸為空心軸。所述在甩干轉(zhuǎn)盤上面設(shè)有若干個(gè)環(huán)形平板圈。所述在烘箱箱體的上端設(shè)有通氣孔。所述在烘箱箱體內(nèi)設(shè)有烘干架及其散熱窗。本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比其優(yōu)點(diǎn)是1、采用改進(jìn)后的烘箱裝置，可用于烘干各種規(guī)格或形狀大小不同的基板，應(yīng)用領(lǐng) 域廣泛；2、經(jīng)改進(jìn)后的烘箱裝置，可使基板表面干凈無水漬，可有效保證基板的潔凈度，為 后續(xù)高質(zhì)量鍍膜工藝奠定了良好的基礎(chǔ)；3、該裝置采用真空抽氣孔的排列形成可根據(jù)帶烘干的基板形狀進(jìn)行定制，以滿足不同形狀的基板吸附和甩干，擴(kuò)展了使用范圍；4、該裝置采用帶真空吸附轉(zhuǎn)盤，且甩干轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)速可調(diào)的技術(shù)，具有吸附基板效果 好，甩干效率高，易于操作，性能穩(wěn)定可靠的特點(diǎn)。

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)連接示意圖圖2是圖1中甩干轉(zhuǎn)盤A的俯視圖圖中，1-烘箱箱體、2-石棉、3-基板、4-電機(jī)主軸、5-電機(jī)、6-電機(jī)調(diào)速器、7_鼓風(fēng) 機(jī)、8-萬向輪、9-通氣孔、10-烘干架、11-散熱窗、12-石英加熱管、13-熱電偶、14-溫控儀、 15-抽氣管、16-機(jī)械泵、17-真空抽氣孔、18-環(huán)形平板圈、19-轉(zhuǎn)盤中心，A和Al、A2-甩干
轉(zhuǎn)盤；
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖及實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明參見圖1，一種甩干式恒溫烘箱，由烘箱箱體1、石棉2、基板3、電機(jī)主軸4、電機(jī)5、 電機(jī)調(diào)速器6、鼓風(fēng)機(jī)7、萬向輪8、通氣孔9、烘干架10、散熱窗11、石英加熱管12、熱電偶 13、溫控儀14、抽氣管15、機(jī)械泵16、真空抽氣孔17、環(huán)形平板圈18、轉(zhuǎn)盤中心19及其甩干 轉(zhuǎn)盤A和A1、A2所構(gòu)成；所述烘箱箱體1內(nèi)設(shè)置有規(guī)格不同的甩干轉(zhuǎn)盤A和A1、A2，亦可根 據(jù)需要，在同一烘箱中設(shè)置多組甩干單元，其甩干轉(zhuǎn)盤A和Al、A2與電機(jī)主軸4相連接，電 機(jī)主軸4為空心軸，電機(jī)主軸4與電機(jī)5連接，電機(jī)5與電機(jī)調(diào)速器6連接；其電機(jī)主軸4 可以同時(shí)帶動2 3個(gè)不同規(guī)格的轉(zhuǎn)盤，電機(jī)轉(zhuǎn)速可以在500 2000RPM范圍內(nèi)連續(xù)可調(diào)； 甩干轉(zhuǎn)盤A由電機(jī)5帶動做高速圓周運(yùn)動，轉(zhuǎn)盤高速旋轉(zhuǎn)的離心力去除基板上殘留水滴；甩 干轉(zhuǎn)盤A和Al、A2表面上設(shè)有數(shù)個(gè)真空抽氣孔17，真空抽氣孔17沿著轉(zhuǎn)盤呈同心環(huán)狀排 列，所有的真空抽氣孔17均通過電機(jī)主軸4與抽氣管15連通；真空抽氣孔17也可以以適 當(dāng)方式排列，用于吸附各種規(guī)格的基板，無需機(jī)械夾持，不會對樣品造成機(jī)械損傷；真空抽 氣孔17的排列形成可根據(jù)帶烘干的基板3形狀進(jìn)行定制，以滿足不同形狀的基板吸附和甩 干；同一塊轉(zhuǎn)盤可以吸附形狀相似，大小不同的系列基板，從而擴(kuò)展了甩干式恒溫烘箱的使 用范圍。所述在烘箱箱體1上端設(shè)有通氣孔9，由鼓風(fēng)機(jī)7通過通氣孔9對烘箱內(nèi)鼓風(fēng)，加 快空氣流動，以烘干基板表面吸附的水分子。所述在烘箱箱體1內(nèi)設(shè)有烘干架10及其散熱 窗11，烘干架10用于放置無需甩干的物品并對其烘干；散熱窗11用于熱交換。抽氣管15 與機(jī)械泵16相連接，機(jī)械泵16可以通過抽氣管15及電機(jī)主軸4對真空抽氣孔17抽氣；一 臺機(jī)械泵可以同時(shí)對幾臺甩干式恒溫烘干機(jī)抽真空。所述在烘箱箱體1內(nèi)設(shè)置了由石英加 熱管12、熱電偶13及溫控儀14經(jīng)線路連接組成的溫控系統(tǒng)；利用溫度控制儀14可預(yù)設(shè)定 烘箱要達(dá)到的目標(biāo)溫度，通過石英加熱管12進(jìn)行加熱，由熱電偶13對烘箱內(nèi)溫度進(jìn)行實(shí)時(shí) 監(jiān)測，并可通過溫度控制儀14進(jìn)行閉環(huán)控制，使烘箱保持預(yù)定的溫度，還可以通過溫控系 統(tǒng)進(jìn)行溫度定時(shí)調(diào)節(jié)；烘箱外殼夾層中的石棉2主要用于保溫，利用高溫對基板進(jìn)一步加 熱。參見圖2，在甩干轉(zhuǎn)盤A上面設(shè)有若干個(gè)環(huán)形平板圈18，用于堵塞基板未覆蓋的真 空抽氣孔17 ；在甩干轉(zhuǎn)盤A的中心位置設(shè)為轉(zhuǎn)盤中心19。[0020] 工作時(shí)，以轉(zhuǎn)盤中心19為中心放置基板3，利用甩干轉(zhuǎn)盤A上所設(shè)的環(huán)形平板圈 18堵塞基板3上未覆蓋的真空抽氣孔17 ；打開機(jī)械泵16可以通過抽氣管15及電機(jī)主軸4 對真空抽氣孔17抽氣，此時(shí)基板3的上下表面已形成壓差，基板被吸附在甩干轉(zhuǎn)盤A表面； 打開電機(jī)，利用電機(jī)調(diào)速器6設(shè)定合適轉(zhuǎn)速，甩干轉(zhuǎn)盤A帶動基板3高速旋轉(zhuǎn)，在一定時(shí)間 內(nèi)，利用離心力就可將基板表面殘留水滴甩干；再對烘箱的溫度進(jìn)行設(shè)定，進(jìn)一步利用高溫 烘干基板上吸附的水分子。
權(quán)利要求一種甩干式恒溫烘箱，包括烘箱箱體(1)，石棉(2)，基板(3)，電機(jī)主軸(4)，電機(jī)(5)，電機(jī)調(diào)速器(6)，鼓風(fēng)機(jī)(7)，萬向輪(8)，通氣孔(9)，烘干架(10)，散熱窗(11)，石英加熱管(12)，熱電偶(13)，溫控儀(14)，抽氣管(15)，機(jī)械泵(16)，真空抽氣孔(17)，環(huán)形平板圈(18)，轉(zhuǎn)盤中心(19)，甩干轉(zhuǎn)盤(A)；其特征在于在烘箱箱體(1)內(nèi)設(shè)置有規(guī)格不同的甩干轉(zhuǎn)盤(A)，甩干轉(zhuǎn)盤(A)與電機(jī)主軸(4)相連接，在甩干轉(zhuǎn)盤(A)的表面上設(shè)有數(shù)個(gè)真空抽氣孔(17)，其真空抽氣孔(17)沿著轉(zhuǎn)盤呈同心環(huán)狀排列，并通過電機(jī)主軸(4)與抽氣管(15)連通；電機(jī)主軸(4)與電機(jī)(5)連接，電機(jī)(5)與電機(jī)調(diào)速器(6)連接，抽氣管(15)與機(jī)械泵(16)相連接；在烘箱箱體(1)內(nèi)設(shè)置了由石英加熱管(12)、熱電偶(13)及溫控儀(14)經(jīng)線路連接組成的溫控系統(tǒng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的甩干式恒溫烘箱，其特征在于所述電機(jī)主軸(4)為空心軸。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的甩干式恒溫烘箱，其特征在于所述在甩干轉(zhuǎn)盤(A)上面設(shè) 有若干個(gè)環(huán)形平板圈(18)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的甩干式恒溫烘箱，其特征在于所述在烘箱箱體(1)上端設(shè) 有通氣孔(9)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的甩干式恒溫烘箱，其特征在于所述在烘箱箱體(1)內(nèi)設(shè)有 烘干架(10)及其散熱窗(11)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種甩干式恒溫烘箱，其烘箱箱體內(nèi)設(shè)置有規(guī)格不同的甩干轉(zhuǎn)盤，甩干轉(zhuǎn)盤與電機(jī)主軸相連接，電機(jī)主軸與電機(jī)連接，電機(jī)與電機(jī)調(diào)速器連接；甩干轉(zhuǎn)盤表面上設(shè)有真空抽氣孔，真空抽氣孔沿著轉(zhuǎn)盤呈同心環(huán)狀排列，所有的真空抽氣孔均通過電機(jī)主軸與抽氣管連通；烘箱箱體內(nèi)設(shè)置了由石英加熱管、熱電偶及溫控儀經(jīng)線路連接組成的溫控系統(tǒng)；可將清洗后的基板利用真空吸附的方法置于烘箱內(nèi)的甩干轉(zhuǎn)盤表面，通過帶真空吸附轉(zhuǎn)盤高速旋轉(zhuǎn)的離心力將基板上的殘留水滴甩干，再對烘箱的溫度進(jìn)行設(shè)定，將基板上吸附的水分子利用高溫烘干；具有甩干效率高，吸附基板效果好，易于操作，性能穩(wěn)定可靠，適用范圍廣的特點(diǎn)。
文檔編號F26B5/08GK201731729SQ201020254310
公開日2011年2月2日 申請日期2010年7月8日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月8日
發(fā)明者張國賓 申請人:張國賓