專利名稱：烘烤設(shè)備降溫裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種烘烤設(shè)備，尤其涉及一種于本體內(nèi)裝設(shè)液冷式 冷卻器，以達到降溫效果且不影響本體的密閉狀態(tài)的烘烤設(shè)備降溫裝置。
背景技術(shù)：
在一般半導體或液晶顯示器的相關(guān)制程中，對于一基板
(substrate)、晶圓(wafer)、或顯示面板(panel)的制備，烘烤(bake) 或預(yù)烘烤(pre-bake)的過程是不可或缺的，通常是利用紅外線等方式， 在進行涂布(coating)前后以及顯影(developingc)后，施以烘烤(bake) 的程序。
現(xiàn)有的烘烤設(shè)備，依使用者需求而有不同類型，其中以低氧化烘烤 設(shè)備來說， 一般設(shè)有一烤爐室，該烤爐室外側(cè)是包覆設(shè)有一循環(huán)室，該 烤爐室與循環(huán)室之間設(shè)有風扇以及若干孔洞，且烤爐室外設(shè)有加熱器，
借由風扇吹出加熱器所加溫的熱風，達到半導體制程所需要的水分干燥、 溶劑揮發(fā)、熱硬化處理、應(yīng)力(回火)處理等程序，由于在烘烤過程中， 往往并不需要較高含量的氧氣，以避免烘烤物過度氧化，因此烤爐室與 循環(huán)室對于外界是屬密閉狀態(tài)，并輸入氮氣進行烘烤流程；
在進行低氧化烘烤流程中，除了升溫速率要加快、平均加溫、以及 換氣速率要高之外，就是要具備有快速降溫以及低含氧量；現(xiàn)有烘烤設(shè) 備僅僅直接關(guān)閉加熱器，借由持續(xù)不斷送風，由烤爐室朝循環(huán)室進行循 環(huán)流動，慢慢帶走烘烤物的熱能，以達到降溫功效；然而，此種方式降 溫效率極差，由于進行低氧化烘烤，烤箱需與外界隔離，因此烤爐室內(nèi) 不斷循環(huán)的氣體是以相當慢的速度進行熱交換，使得下一次烘烤流程必 須耗費漫長時間等待前一次流程降溫，如此整體生產(chǎn)流程皆必須因此停 頓，十分不敷使用；因此有業(yè)者為了加快散熱速度而額外加裝排風設(shè)備， 雖可達到加快降溫的功效，但由￥排風設(shè)備將熱氣排放出去同時與外界 產(chǎn)生連通，使得烤爐室內(nèi)的氣體外泄，無法繼續(xù)維持密閉狀態(tài)，因此破
壞整體的密閉效果，反而使得含氧量上升，無法維持低氧化環(huán)境，無法 達到所需求的低氧化烘烤。
針對上述現(xiàn)有結(jié)構(gòu)所存在的問題，如何開發(fā)一種更具理想實用性的 創(chuàng)新結(jié)構(gòu)，實為使用消費者所群切企盼，亦是相關(guān)業(yè)者須努力研發(fā)突破 的目標及方向。
實用新型內(nèi)容
本實用新型所要解決的主要技術(shù)問題在于，克服現(xiàn)有技術(shù)存在的上 述缺陷，而提供一種烘烤設(shè)備降溫裝置，僅需切換冷卻器或加熱器，即 可達到降溫或是烘烤效果。
本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是
為達成前述的創(chuàng)作目的，本實用新型其本體包括一循環(huán)室以及一烘 烤設(shè)備內(nèi)爐，其中該循環(huán)室是設(shè)置于烘烤設(shè)備內(nèi)爐內(nèi)部，該循環(huán)室與 烘烤設(shè)備內(nèi)爐之間設(shè)有一風扇，且該循環(huán)室內(nèi)兩側(cè)分別設(shè)有柵盤，該柵 盤上是穿設(shè)有若干通風孔，該若干個通風孔是與烘烤設(shè)備內(nèi)爐連通，該 循環(huán)室內(nèi)其中一側(cè)的通風孔是與風扇連接，該循環(huán)室與烘烤設(shè)備內(nèi)爐間 具有空隙而設(shè)為風道，而該風道內(nèi)設(shè)有一冷卻器以及一加熱器，該加熱 器啟動時該冷卻器是關(guān)閉，而冷卻器啟動時該加熱器是關(guān)閉；而該冷卻 器為液冷式的冷卻器，該冷卻器是連接設(shè)有冷卻水輸出端、冷卻水輸出 端設(shè)有一閥門以連接冷卻器，利用該冷卻水輸出端連接注入液體的設(shè)備， 并利用冷卻水輸出端排出液體，再借由閥門控制流量；當熱氣經(jīng)過風扇 加速吹出形成熱風，熱風是由鄰近風扇的通風孔進入循環(huán)室，并由循環(huán) 室另 一側(cè)的通風孔進入風道回到風扇，完成流動的循環(huán).。
前述的烘烤設(shè)備降溫裝置，其中風道內(nèi)設(shè)有一加熱器，該加熱器啟 動時該冷卻器是關(guān)閉，而冷卻器啟動時該加熱器是關(guān)閉，借由該加熱器 加溫氣體，并可避免冷卻器與加熱器同時啟動。
前述的烘烤設(shè)備降溫裝置，其中冷卻器為液冷式的冷卻器，該冷卻 器是連接設(shè)有冷卻水輸出端、冷卻水輸出端，設(shè)有一閥門以連接冷卻器， 利用該冷卻水輸出端連接注入液體的設(shè)備，并利用冷卻水輸出端排出液 體，再借由閥門控制流量。 '
前述的烘烤設(shè)備降溫裝置，其中本體設(shè)有水溫表、安全裝置、水流
量顯示裝置、流量開關(guān)/警報裝置，以提供使用者檢視用。
前述的烘烤設(shè)備降溫裝置，其中循環(huán)室設(shè)有若干個承置架，借該承 置架供放置待烘烤物。
由于進行低氧化烘烤流程時，往往配合烘烤內(nèi)容注入氣體如氮氣， 以減少本體內(nèi)氧氣含量，但是現(xiàn)有烘烤設(shè)備是利用關(guān)閉加熱器自然冷卻 或使用排風裝置降低溫度，但往往無法兼顧降溫速度以及含氧量，利用 自然冷卻方式降溫速度慢則含氧量低，造成生產(chǎn)速度延緩，而利用排風 裝置降溫速度高則使含氧量提高，破壞烤爐內(nèi)密封環(huán)境，無法達到所需 求的低氧化烘烤；本實用新型是于本體內(nèi)設(shè)置冷卻器，當加熱器啟動時，
冷卻器為關(guān)閉狀態(tài)，反之冷卻器啟動時加溫器為關(guān)閉狀態(tài)，以避免同時
啟動的能源浪費；由于本實用新型的冷卻器是裝設(shè)于本體內(nèi)，且采用液 冷式降溫，因此該本體是與外界呈密閉狀態(tài)，不因冷卻降溫過程而影響 密閉效果，如此可保持原有的含氧量，僅需調(diào)整風扇以及冷卻器液體流 速即可達到所需的快速降溫效果，以便于快速降溫，增加整體流程的生 產(chǎn)速度；又，該冷卻降溫流程是借由加溫烘烤流程相同的循環(huán)路線，僅 需切換冷卻器或加熱器，即可達到降溫或是烘烤效果。以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。


圖1是本實用新型烘烤設(shè)備降溫裝置頂面的透視示意圖。 圖2是本實用新型烘烤設(shè)備降溫裝置側(cè)面風流動方向的透視示意圖。 圖3是本實用新型烘烤設(shè)備降溫裝置頂面的本體背面的外觀示意圖。 圖4是本實用新型烘烤設(shè)備降溫裝置頂面的外觀立體示意圖。 圖中標號說明
1本體 2循環(huán)室 2 1柵盤
2 2通風孔 2 3承置架 3烘烤設(shè)備內(nèi)爐
3 1風道 3 2冷卻器
3 2 1廠務(wù)輸入端 3 2 2冷卻水輸入端 3 2 3冷卻水輸出端3 2 4閥門 3 2 5流量開關(guān)/警報裝置' 3 3加熱器 3 4風扇
4水溫表 5安全裝置
6水流量顯示裝置 7爐門具體實施方式
本實用新型是有關(guān)于一種烘烤設(shè)備降溫裝置，請參閱
圖1與圖2所 示，其本體1為一種循環(huán)式烘烤設(shè)備，主要包括一循環(huán)室2以及一烘烤 設(shè)備內(nèi)爐3，其中
該循環(huán)室2設(shè)置于烘烤設(shè)備內(nèi)爐3內(nèi)部，該循環(huán)室2內(nèi)兩側(cè)分別設(shè) 有柵盤2 1 ，該柵盤2 1上穿設(shè)有若干通風孔2 2 ，該若干個通風孔2 2是與烘烤設(shè)備內(nèi)爐3連通，而該循環(huán)室2內(nèi)其中一側(cè)的通風孔2 2是 與一風扇3 4連接，該風扇3 4是設(shè)置于烘烤設(shè)備內(nèi)爐3與循環(huán)室2之 間；該柵盤2 l上是于通風孔2 2間設(shè)有若干承置架2 3，該承置架2 3是供放置待烘烤物，該循環(huán)室2與烘烤設(shè)備內(nèi)爐3間具有空隙而設(shè)為 風道3 1，以供風向流通循環(huán)用；
該風道3 1內(nèi)設(shè)有冷卻器3 2及加熱器3 3 ，該冷卻器3 2與加熱 器3 3無法同時啟動，即該加熱器3 3啟動時該冷卻器3 2是關(guān)閉，而 冷卻器3 2啟動時該加熱器3 3是關(guān)閉；該冷卻器3 2為液冷式的冷卻 器3 2，該冷卻器3 2是于本體1由外朝內(nèi)插入設(shè)置，該冷卻器3 2與 本體1的接縫處是利用耐高溫硅利康膠黏合，以保持本體1的密閉效果， 且該冷卻器3 2是于本體1背面朝外接設(shè)有冷卻水輸入端3 2 2 、冷卻 水輸出端3 2 3設(shè)有輸入端3 2 1 ，利用輸入端3 2 1接設(shè)廠房設(shè)備注 入液體進入冷卻器3 2的冷卻水輸出端3 2 2，并利用冷卻水輸出端3 2 3排出液體帶走熱量，該輸入端3 2 l是接設(shè)有一閥門3 2 4，以調(diào) 整控制液量；
由于進行低氧化烘烤流程時，往往配合烘烤內(nèi)容注入氣體如氮氣， 以減少本體l內(nèi)氧氣含量；如圖2所示，當烘烤流程進行時，該風扇3 4及加熱器3 3是啟動，由于加熱器3 3啟動則冷卻器3 2是呈關(guān)閉狀 態(tài)，使氣體利用風扇3 4加速成為風流，由通風孔2 2進入循環(huán)室2， 并由循環(huán)室2另一端的通風孔2 2進入風道3 1，借由風道3 l內(nèi)的加 熱器3 3使氣體加溫，加溫后的氣體又回到風扇3 4完成加溫烘烤循環(huán)， 借此使風扇3 4吹出熱風達到烘烤的功效；
當烘烤流程完畢，進行降溫時，冷卻器3 2是啟動該加熱器3 3自 動關(guān)閉，則風扇3 4所吹出熱風借由烘烤流程相同的循環(huán)流經(jīng)風道3 1， 并借由風道3 1內(nèi)的冷卻器3 2降溫回到風扇3 4 ，借此完成冷卻降溫 的循環(huán)，以達到降溫的功效，且完全不影響本體l的密閉效果，而維持 低氧化環(huán)境。
如圖3所示，該本體1背面可看出該冷卻器3 2設(shè)有冷卻水輸入端 3 2 2以及冷卻水輸出端3 2 3，該本體1背面于冷卻器3 2朝外端是 接設(shè)有輸入端3 2 1，鄰近輸入端3 2 1是接設(shè)有閥門3 2 4，并設(shè)有 水溫表4 、安全裝置5 、水流量顯示裝置6 、流量開關(guān)/警報裝置3 2 5，以顯示目前流量、溫度，且當使用狀況異常時，發(fā)出警訊以提醒使 用者，而由圖3亦可清楚看到。
如圖4所示，當使用者開啟該本體l的爐門7時，僅能觀看到循環(huán) 室2 、以及循環(huán)室2兩側(cè)柵盤2 1上的承置架2 3 、通風孔2 2，該烘 烤設(shè)備內(nèi)爐2是受包覆而未顯露于外，借此維持該烘烤設(shè)備內(nèi)爐2與循 環(huán)室3的流通但不影響其循環(huán)路線；當爐門7密閉進行烘烤或是降溫流 程時，是由烘烤設(shè)備內(nèi)爐3的風扇3 4 、循環(huán)室2 、風道3 1 、又回到 風扇3 4，借此以密閉方式進行循環(huán)流動，以維持最佳的密閉效果。
以上所述，僅是本實用新型的較佳實施例而己，并非對本實用新型 作任何形式上的限制，凡是依據(jù)本實用新型的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所 作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實用新型技術(shù)方案的 范圍內(nèi)。
綜上所述，本實用新型在結(jié)構(gòu)設(shè)計、使用實用性及成本效益上，完 全符合產(chǎn)業(yè)發(fā)展所需，且所揭示的結(jié)構(gòu)亦具有前所未有的創(chuàng)新構(gòu)造，具 有新穎性、創(chuàng)造性、實用性，符合有關(guān)新型專利要件的規(guī)定，故依法提 起申請。
權(quán)利要求1. 一種烘烤設(shè)備降溫裝置，其特征在于，其本體包括一循環(huán)室以及一烘烤設(shè)備內(nèi)爐，其中該循環(huán)室是設(shè)置于烘烤設(shè)備內(nèi)爐內(nèi)部，該循環(huán)室與烘烤設(shè)備內(nèi)爐之間設(shè)有一風扇，且該循環(huán)室內(nèi)兩側(cè)分別設(shè)有柵盤，該柵盤上穿設(shè)有若干通風孔，該若干個通風孔是與烘烤設(shè)備內(nèi)爐連通，該循環(huán)室內(nèi)其中一側(cè)的通風孔是與風扇連接，該循環(huán)室與烘烤設(shè)備內(nèi)爐間具有空隙而設(shè)為風道，而該風道內(nèi)設(shè)有一冷卻器。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的烘烤設(shè)備降溫裝置，其特征在于所述 風道內(nèi)設(shè)有一加熱器，該加熱器啟動時該冷卻器是關(guān)閉，而冷卻器啟動時該加熱器是關(guān)閉。
3. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的烘烤設(shè)備降溫裝置，其特征在于所述 冷卻器為液冷式的冷卻器，該冷卻器是連接設(shè)有冷卻水輸出端、冷卻水 輸出端，設(shè)有一閥門以連接冷卻器，利用該冷卻水輸出端連接注入液體 的設(shè)備，并利用冷卻水輸出端排出液體，再借由閥門控制流量。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的烘烤設(shè)備降溫裝置，其特征在于所述 本體設(shè)有水溫表、安全裝置、水流量顯示裝置、流量開關(guān)/警報裝置。
5. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的烘烤設(shè)備降溫裝置，其特征在于所述 循環(huán)室設(shè)有若干個承置架。
專利摘要一種烘烤設(shè)備降溫裝置，其本體包括一循環(huán)室以及一烘烤設(shè)備內(nèi)爐，其中該循環(huán)室是設(shè)置于烘烤設(shè)備內(nèi)爐內(nèi)部，該循環(huán)室與烘烤設(shè)備內(nèi)爐之間設(shè)有一風扇，且該循環(huán)室內(nèi)兩側(cè)分別設(shè)有柵盤，該柵盤上穿設(shè)有若干通風孔，該若干個通風孔是與烘烤設(shè)備內(nèi)爐連通，該循環(huán)室內(nèi)其中一側(cè)的通風孔是與風扇連接，該循環(huán)室與烘烤設(shè)備內(nèi)爐間具有空隙而設(shè)為風道，而該風道內(nèi)設(shè)有一冷卻器。本實用新型僅需切換冷卻器或加熱器，即可達到降溫或是烘烤效果。
文檔編號F27B17/00GK201210223SQ20082011137
公開日2009年3月18日 申請日期2008年4月18日 優(yōu)先權(quán)日2008年4月18日
發(fā)明者呂邦超, 廖美鳳 申請人:志圣工業(yè)股份有限公司