專利名稱：自動(dòng)化潔凈倉(cāng)儲(chǔ)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型是關(guān)于一種倉(cāng)儲(chǔ)，特別是關(guān)于一種提高倉(cāng)儲(chǔ)內(nèi)儲(chǔ)存格潔凈度的自動(dòng)化潔凈倉(cāng)儲(chǔ)。
背景技術(shù)：
目前晶圓、制藥、TFT、LCD業(yè)界常用的倉(cāng)儲(chǔ)制造方式有兩種，一種是直接由無(wú)塵室天花板的外部供風(fēng)系統(tǒng)提供潔凈空氣，經(jīng)由導(dǎo)流管路導(dǎo)引氣體至倉(cāng)儲(chǔ)側(cè)壁出風(fēng)，如圖1所示。這種倉(cāng)儲(chǔ)包括二側(cè)風(fēng)道204、存放物料的第一、第二儲(chǔ)存架體201、202的儲(chǔ)存格203及搬移物料的一組存取單元30，其設(shè)計(jì)方法、構(gòu)造簡(jiǎn)單，外部供風(fēng)系統(tǒng)10具有多數(shù)個(gè)風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元101(FFU)，該多數(shù)個(gè)風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元101將潔凈空氣流入各儲(chǔ)存格203并排出倉(cāng)儲(chǔ)，由于該風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元101的出口阻抗較大，導(dǎo)致各儲(chǔ)存格203內(nèi)氣流速度不快，使儲(chǔ)存格203內(nèi)污染粒子的排除能力較低。
為了加強(qiáng)倉(cāng)儲(chǔ)內(nèi)部污染粒子的排除與阻擋能力，因而有側(cè)邊風(fēng)道裝設(shè)風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元提供側(cè)向水平氣流的設(shè)計(jì)出現(xiàn)，如圖2所示。于側(cè)邊風(fēng)道204裝設(shè)多數(shù)個(gè)風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元101的設(shè)計(jì)方式，對(duì)倉(cāng)儲(chǔ)確實(shí)能提高第一、第二儲(chǔ)存架體201、202的儲(chǔ)存格203內(nèi)水平層流速度，然而這種設(shè)計(jì)方式需要搭配大量薄型的風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元101，增加許多的制造與維護(hù)成本。
上述兩種倉(cāng)儲(chǔ)設(shè)計(jì)的方式是直接由外部供風(fēng)系統(tǒng)供風(fēng)與排氣，并沒有任何的內(nèi)部循環(huán)機(jī)制，且為了加強(qiáng)倉(cāng)儲(chǔ)內(nèi)的潔凈度，需要在倉(cāng)儲(chǔ)的兩側(cè)風(fēng)道裝設(shè)多數(shù)個(gè)風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元以提供儲(chǔ)存格內(nèi)側(cè)向水平氣流，如此增加氣流流速可增強(qiáng)污染粒子的濾除，提高倉(cāng)儲(chǔ)內(nèi)的潔凈度。但增加多數(shù)個(gè)風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元雖可增強(qiáng)倉(cāng)儲(chǔ)的潔凈度，其制造與維護(hù)的成本甚高，為了同時(shí)考量提高潔凈度及降低成本，必需找出更適當(dāng)?shù)姆椒朔陨洗嬖诘膯栴}。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的主要目的是提供一種可加強(qiáng)倉(cāng)儲(chǔ)內(nèi)部循環(huán)氣流的自動(dòng)化潔凈倉(cāng)儲(chǔ)，利用風(fēng)機(jī)搭配風(fēng)道與濾網(wǎng)的設(shè)計(jì)方式制造額外的內(nèi)部循環(huán)系統(tǒng)于倉(cāng)儲(chǔ)內(nèi)，并通過(guò)由外部供風(fēng)系統(tǒng)提供空氣直接進(jìn)入倉(cāng)儲(chǔ)內(nèi)，風(fēng)機(jī)吸入潔凈空氣并傳送至各風(fēng)道，經(jīng)過(guò)濾網(wǎng)將潔凈空氣進(jìn)一步地阻隔污染粒子而進(jìn)入第一、第二儲(chǔ)存架體的儲(chǔ)存格內(nèi)，最后儲(chǔ)存格內(nèi)的潔凈空氣又傳回風(fēng)機(jī)的入口以達(dá)成一內(nèi)部循環(huán)。
此設(shè)計(jì)方式可增強(qiáng)倉(cāng)儲(chǔ)內(nèi)儲(chǔ)存格的風(fēng)量并增加氣流速度，使加速污染粒子的濾除，能阻絕污染粒子進(jìn)入儲(chǔ)存格以提高內(nèi)部物料于儲(chǔ)存格內(nèi)的潔凈度，其制造與維護(hù)的成本也較低，故可達(dá)到同時(shí)考量制造成本及空氣的潔凈度。
為達(dá)成上述目的與功效，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)手段及構(gòu)造，茲就本實(shí)用新型較佳實(shí)施例詳加說(shuō)明其特征與功能如下，以利于完全了解。


圖1是為現(xiàn)有的倉(cāng)儲(chǔ)結(jié)構(gòu)一的示意圖；圖2是為現(xiàn)有的倉(cāng)儲(chǔ)結(jié)構(gòu)二的示意圖；及圖3是為本實(shí)用新型自動(dòng)化潔凈倉(cāng)儲(chǔ)的示意圖。
主要組件符號(hào)說(shuō)明10 外部供風(fēng)系統(tǒng)101 風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元20 內(nèi)部循環(huán)系統(tǒng)201 第一儲(chǔ)存架體202 第二儲(chǔ)存架體
203 儲(chǔ)存格204 風(fēng)道205 濾網(wǎng)206 風(fēng)機(jī)30 存取單元具體實(shí)施方式
請(qǐng)參閱圖3是為本實(shí)用新型自動(dòng)化潔凈倉(cāng)儲(chǔ)的示意圖，本實(shí)用新型自動(dòng)化潔凈倉(cāng)儲(chǔ)包括一外部供風(fēng)系統(tǒng)10、一內(nèi)部循環(huán)系統(tǒng)20及一存取單元30，該外部供風(fēng)系統(tǒng)10設(shè)有多數(shù)個(gè)風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元101，將空氣過(guò)濾后送入倉(cāng)儲(chǔ)內(nèi)。而該內(nèi)部循環(huán)系統(tǒng)20是包括有一第一儲(chǔ)存架體201、一第二儲(chǔ)存架體202、二風(fēng)道204、多數(shù)個(gè)濾網(wǎng)205及二風(fēng)機(jī)206，該第一、第二儲(chǔ)存架體201、202是設(shè)置于倉(cāng)儲(chǔ)內(nèi)，其具有多數(shù)個(gè)儲(chǔ)存格203，供存放物料。而該儲(chǔ)存格203環(huán)境空間需要高的潔凈度以儲(chǔ)存物料。該二風(fēng)道204是分別設(shè)置于倉(cāng)儲(chǔ)內(nèi)壁與該第一、第二儲(chǔ)存架體201、202的周側(cè)，并分別與該多數(shù)個(gè)儲(chǔ)存格203連通。該每一儲(chǔ)存格203與該風(fēng)道204連通處設(shè)置有一濾網(wǎng)205，讓流入該每一儲(chǔ)存格203內(nèi)的空氣，均可經(jīng)過(guò)該濾 205，使空氣中的污染粒子濾除并讓風(fēng)速達(dá)到均勻分布的目的。該二風(fēng)機(jī)206是裝設(shè)于該倉(cāng)儲(chǔ)內(nèi)，裝設(shè)于該倉(cāng)儲(chǔ)下方左右兩側(cè)較佳，且與該風(fēng)道204連接，亦即該風(fēng)機(jī)206的入口處是吸取外部供風(fēng)系統(tǒng)10的潔凈空氣及部分倉(cāng)儲(chǔ)內(nèi)部空氣，出口處是與該倉(cāng)儲(chǔ)內(nèi)的兩側(cè)風(fēng)道204連接。該存取單元30是設(shè)置于倉(cāng)儲(chǔ)內(nèi)的第一、第二儲(chǔ)存架體201、202間，其包括有機(jī)械手臂等器具作存取作用，該存取單元30是用以存取物料或傳遞物料。
本實(shí)用新型實(shí)施例于運(yùn)作時(shí)，該外部供風(fēng)系統(tǒng)10將外部空氣經(jīng)過(guò)該多數(shù)個(gè)風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元101進(jìn)行一次過(guò)濾，以濾除空氣中的污染粒子，再將潔凈空氣氣流集中由倉(cāng)儲(chǔ)中央較大的入口進(jìn)入該倉(cāng)儲(chǔ)內(nèi)部，可作為該倉(cāng)儲(chǔ)本身的外氣來(lái)源，維持該倉(cāng)儲(chǔ)內(nèi)部正壓狀態(tài)，熱量排除與排除該倉(cāng)儲(chǔ)內(nèi)部產(chǎn)生污染粒子的用途。接著，潔凈空氣進(jìn)入該風(fēng)機(jī)206入口處前，先經(jīng)過(guò)一濾網(wǎng)205再作進(jìn)一步的污染粒子濾除才進(jìn)入該風(fēng)機(jī)206入口處，隨著該風(fēng)機(jī)206的運(yùn)轉(zhuǎn)將潔凈空氣導(dǎo)入該倉(cāng)儲(chǔ)兩側(cè)的風(fēng)道204，同時(shí)，于該風(fēng)道204與該復(fù)數(shù)儲(chǔ)存格203間設(shè)有多數(shù)個(gè)濾網(wǎng)205，使?jié)崈艨諝庠僖淮螌⒖諝庵械奈廴玖Ｗ訛V除并分配到各儲(chǔ)存格203內(nèi)，而該多數(shù)個(gè)儲(chǔ)存格203內(nèi)的潔凈空氣已經(jīng)多次的污染粒子濾除并達(dá)到一定的潔凈度，最后該多數(shù)個(gè)儲(chǔ)存格203內(nèi)的潔凈空氣再傳入該倉(cāng)儲(chǔ)內(nèi)便完成一次內(nèi)部循環(huán)過(guò)程。
較佳地，為了更有效地提高倉(cāng)儲(chǔ)內(nèi)儲(chǔ)存格的空氣潔凈度，選擇適當(dāng)?shù)娘L(fēng)機(jī)及馬達(dá)裝設(shè)于倉(cāng)儲(chǔ)內(nèi)，透過(guò)改變馬達(dá)的轉(zhuǎn)速以增加該風(fēng)機(jī)的運(yùn)轉(zhuǎn)速度與循環(huán)風(fēng)量，即可增強(qiáng)流入儲(chǔ)存格氣流流速，有效阻止污染粒子進(jìn)入儲(chǔ)存格內(nèi)部，并配合濾網(wǎng)更可快速濾除倉(cāng)儲(chǔ)內(nèi)部污染粒子。
綜合上述，本實(shí)用新型的自動(dòng)化潔凈倉(cāng)儲(chǔ)通過(guò)由外部供風(fēng)系統(tǒng)及內(nèi)部循環(huán)系統(tǒng)使流入倉(cāng)儲(chǔ)內(nèi)的空氣透過(guò)濾網(wǎng)作多次的污染粒子濾除，利用風(fēng)機(jī)增強(qiáng)流入儲(chǔ)存格內(nèi)的氣流流速并配合濾網(wǎng)即可快速濾除倉(cāng)儲(chǔ)內(nèi)部污染粒子及有效阻止污染粒子進(jìn)入儲(chǔ)存格內(nèi)部，以提升儲(chǔ)存格內(nèi)空氣的潔凈度。
權(quán)利要求1.一種自動(dòng)化潔凈倉(cāng)儲(chǔ)，其特征在于包括一外部供風(fēng)系統(tǒng)，具有多數(shù)個(gè)風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元并提供潔凈空氣于倉(cāng)儲(chǔ)內(nèi)；及一內(nèi)部循環(huán)系統(tǒng)，包括一第一儲(chǔ)存架體，具有多數(shù)個(gè)儲(chǔ)存格；一第二儲(chǔ)存架體，具有多數(shù)個(gè)儲(chǔ)存格；二風(fēng)道，設(shè)置于倉(cāng)儲(chǔ)的周側(cè)，分別與該第一、第二儲(chǔ)存架體的多數(shù)個(gè)儲(chǔ)存格連通；多數(shù)個(gè)濾網(wǎng)，設(shè)置于該每一儲(chǔ)存格與該風(fēng)道間的位置；及二風(fēng)機(jī)，該二風(fēng)機(jī)裝設(shè)于倉(cāng)儲(chǔ)下方兩側(cè)內(nèi)，且與該風(fēng)道連接。
2.如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)化潔凈倉(cāng)儲(chǔ)，其特征在于，所述該外部供風(fēng)系統(tǒng)是將潔凈空氣由倉(cāng)儲(chǔ)上方中央進(jìn)入。
3.如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)化潔凈倉(cāng)儲(chǔ)，其特征在于，更包括一存取單元，該存取單元是設(shè)置于該第一、第二儲(chǔ)存架體間。
4.如權(quán)利要求3所述的自動(dòng)化潔凈倉(cāng)儲(chǔ)，其特征在于，所述該存取單元包括有一機(jī)械手臂。
專利摘要本實(shí)用新型一種自動(dòng)化潔凈倉(cāng)儲(chǔ)，是通過(guò)由具有風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元的外部供風(fēng)系統(tǒng)提供潔凈空氣于倉(cāng)儲(chǔ)內(nèi)，并由內(nèi)部循環(huán)系統(tǒng)的風(fēng)機(jī)配合風(fēng)道、濾網(wǎng)使流入倉(cāng)儲(chǔ)內(nèi)的空氣透過(guò)濾網(wǎng)作多次的污染粒子濾除，風(fēng)機(jī)可增強(qiáng)流入第一、第二儲(chǔ)存架體的儲(chǔ)存格內(nèi)的氣流流速使儲(chǔ)存格內(nèi)污染粒子的濾除能力增高，故通過(guò)內(nèi)部循環(huán)系統(tǒng)的循環(huán)運(yùn)作以提升空氣的潔凈度。
文檔編號(hào)F24F13/28GK2923597SQ20062011269
公開日2007年7月18日 申請(qǐng)日期2006年5月9日 優(yōu)先權(quán)日2006年5月9日
發(fā)明者陳俊杰, 楊國(guó)祥, 陳建良 申請(qǐng)人:財(cái)團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院