專利名稱：冷凝回收裝置及具有冷凝回收裝置的工藝設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)于一種回收裝置，且特別是有關(guān)于一種冷凝回收裝置及具有冷凝回
收裝置的工藝設(shè)備。 在半導(dǎo)體工藝或液晶顯示面板的濕式蝕刻工藝中，常需要使用到的工藝設(shè)備為去
光刻膠設(shè)備。圖l是現(xiàn)有一種去光刻膠設(shè)備的示意圖。請參照圖i，現(xiàn)有去光刻膠設(shè)備ioo 包括三個(gè)腔室110、 120、 130以及藥液回收管路140，其中藥液回收管路140連接腔室110、 120。 腔室110、 120內(nèi)的溫度為高溫(約攝氏80度)，而腔室130內(nèi)的溫度為常溫。待 去光刻膠的基板50會被依序送至腔室110、腔室120與腔室130內(nèi)，是通過噴嘴(圖未示) 將去光刻膠液噴于基板50上，以去除光刻膠。 由于去光刻膠液為高揮發(fā)性液體，且腔室110U20內(nèi)的溫度高達(dá)攝氏80度，所以 去光刻膠液被噴入后于腔室110、120會形成大量的蒸汽。藥液回收管路140可用于將腔室 110、 120內(nèi)的蒸汽抽離，以改善蒸汽外泄的情形并降低飽和蒸汽壓。藥液回收管路140的另 一端連接至廠務(wù)端的冷凝器60，所以腔室110U20內(nèi)的蒸汽會被抽至廠務(wù)端的冷凝器60。 蒸汽被冷凝器60冷凝后會被送至廠務(wù)端的回收裝置70，以對收集到的去光刻膠液進(jìn)行純 化的步驟，達(dá)到回收去光刻膠液的目的。 然而，廠務(wù)端所收集到的去光刻膠液含有大量雜質(zhì)，所以純化的步驟較為復(fù)雜，且 回收效益不彰。此外，因腔室110U20內(nèi)的蒸汽被大量抽離，導(dǎo)致必須不斷補(bǔ)充去光刻膠 液，且由于去光刻膠液的回收效率不佳，所以需補(bǔ)充大量的去光刻膠液，增加工藝成本。另 外，若要節(jié)省去光刻膠液的使用量，則需減少藥液回收管路140的抽氣量。然而，此將導(dǎo)致 腔室110、120內(nèi)充滿大量蒸汽，以致于腔室110、120內(nèi)的零件易受蒸汽影響而受損，而且腔 室110U20內(nèi)的蒸汽容易泄漏出來，危害工作人員的安全。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種冷凝回收裝置，以提升藥液的回收效率。 本發(fā)明另提出一種具冷凝回收裝置的工藝設(shè)備，以提升藥液的回收效率。 為達(dá)上述優(yōu)點(diǎn)，本發(fā)明提出一種冷凝回收裝置，其包括第一管體及冷凝管，其中冷
凝管配置于第一管體內(nèi)。第一管體具有進(jìn)氣端與出氣端，且第一管體的管壁設(shè)有第一開孔、
第二開孔與液體回收孔。冷凝管的冷卻劑輸入端與冷卻劑輸出端分別由第一開孔與第二開
孔穿出第一管體外。冷凝管于第一管體內(nèi)從鄰近第一開孔處螺旋彎折至鄰近第二開孔處，
以形成螺旋狀冷凝部。此螺旋狀冷凝部的內(nèi)徑沿預(yù)定方向而改變，而此預(yù)定方向是從第一
開孔指向第二開孔。 在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的螺旋狀冷凝部的內(nèi)徑沿預(yù)定方向逐漸變大。
在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的螺旋狀冷凝部的內(nèi)徑沿預(yù)定方向逐漸變小。
背景技術(shù)：
在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的螺旋狀冷凝部的內(nèi)徑沿預(yù)定方向逐漸變小后再逐 漸變大。 在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的第一管體為L型管體，且第一管體包括垂直段與 水平段，其中進(jìn)氣端位于垂直段，而出氣端位于水平段并位于進(jìn)氣端下方。第一開孔與第二 開孔位于垂直段，而液體回收孔位于水平段。此外，上述的冷凝回收裝置例如還包括擋片， 其設(shè)于水平段的內(nèi)壁，且位于液體回收孔與出氣端之間。 在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的第一管體沿直線延伸，且第一管體的進(jìn)氣端與出 氣端位于同一高度。此外，液體回收孔例如是位于第一開孔與第二開孔之間。另外，冷凝回 收裝置可還包括二擋片，設(shè)于第一管體的內(nèi)壁。此二擋片其中的一個(gè)位于液體回收孔與出 氣端之間，此二擋片其中的另一個(gè)位于液體回收孔與進(jìn)氣端之間。 在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的冷凝回收裝置還包括液體回收管，連接液體回收 孔。 在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的冷凝回收裝置還包括第二管體，包覆第一管體的 第一開孔與第二開孔之間的部分，其中第二管體內(nèi)適于通入冷卻劑。 在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的第二管體的管壁設(shè)有冷卻劑輸入孔與冷卻劑輸出 孔。 在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的冷凝回收裝置還包括噴液模塊。此噴液模塊具有 伸入第二管體內(nèi)的至少一噴嘴，以將冷卻劑噴至第一管體，且第二管體的管壁設(shè)有冷卻劑 輸出孔。 在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的冷凝回收裝置還包括冷卻劑供應(yīng)機(jī)臺，適于通過 冷凝管的冷卻劑輸入端提供冷卻劑至冷凝管內(nèi)。 在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的冷卻劑供應(yīng)機(jī)臺包含冷卻液體供應(yīng)機(jī)臺或冷卻氣 體供應(yīng)機(jī)臺。 為達(dá)上述優(yōu)點(diǎn)，本發(fā)明另提出一種具冷凝回收裝置的工藝設(shè)備，其包括至少一腔 室、藥液回收管路及上述的冷凝回收裝置。腔室內(nèi)適于容納藥液蒸汽，藥液回收管路連接至 腔室，而冷凝回收裝置設(shè)于藥液回收管路的路徑上。 在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的具冷凝回收裝置的工藝設(shè)備還包括至少一液體回 收槽，用以接收從液體回收孔流出的藥液。 在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的具冷凝回收裝置的工藝設(shè)備，其中冷凝回收裝置 還包括液體回收管，連接于液體回收孔與液體回收槽之間。 在本發(fā)明的冷凝回收裝置中，由于設(shè)在第一管體內(nèi)的冷凝管于第一開孔與第二開 孔之間形成螺旋狀冷凝部，且螺旋狀冷凝部的內(nèi)徑沿預(yù)定方向而改變，所以能有效冷凝藥 液蒸汽，以提升藥液的回收效率。此外，在本發(fā)明的具冷凝回收裝置的工藝設(shè)備中，因?qū)⑸?述的冷凝回收裝置設(shè)于藥液回收管路的路徑上，以在藥液被送回廠務(wù)端之前就對藥液進(jìn)行 回收，所以能提升藥液回收的效率。 為讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉較佳實(shí)施例， 并配合所附圖式，作詳細(xì)說明如下。


圖1是現(xiàn)有一種去光刻膠設(shè)備的示意圖。
圖2是本發(fā)明一實(shí)施例的具有冷凝回收裝置的工藝設(shè)備的示意圖,
圖3是圖2中冷凝回收裝置的示意圖。
圖4是圖3的冷凝回收裝置的俯視示意圖。
圖5是本發(fā)明另一實(shí)施例的一種冷凝回收裝置的示意圖。
圖6是圖5的冷凝回收裝置的俯視示意圖。
圖7是本發(fā)明另一實(shí)施例的一種冷凝回收裝置的示意圖。
圖8是圖7的冷凝回收裝置的俯視示意圖。
圖9是本發(fā)明另一實(shí)施例的一種冷凝回收裝置的示意圖。
圖10是圖9的冷凝回收裝置的側(cè)視示意圖。
附圖標(biāo)號
50 :基板
60 :冷凝器
70:回收裝置
90 :蒸汽回收裝置
100 :去光刻膠設(shè)備
120、130、210、220、230 :腔室 240 :藥液回收管路
工藝設(shè)備
液體回收槽
300a、300b、400 :冷凝回收裝置
410 :第一管體
411 :進(jìn)氣端
412 :出氣端
413 :第一開孔
414 :第二開孔
415 :液體回收孔
110 140 200 250 300
310
311
312
313
314
315
316
317
320
321
322
323 330 340 350 352 354
:水平段
,420 :冷凝管 :冷卻劑輸入端 :冷卻劑輸出端 :螺旋狀冷凝部 ,430 :液體回收管 ,440 :擋片
,350b :第二管體
:冷卻劑輸入孔 :冷卻劑輸出孔
360 :噴液模塊
362 :噴嘴
D:預(yù)定方向
具體實(shí)施例方式
圖2是本發(fā)明一實(shí)施例的具有冷凝回收裝置的工藝設(shè)備的示意圖。請參照圖2，本 實(shí)施例的具冷凝回收裝置的工藝設(shè)備200可為去光刻膠設(shè)備，但不以此為限。此工藝設(shè)備 200包括至少一腔室(在本實(shí)施例中是以多個(gè)腔室210、220、230為例)、藥液回收管路240 及冷凝回收裝置300。腔室210、220、230內(nèi)適于容納藥液蒸汽，藥液回收管路240至少連接 至部分腔室(如連接到腔室210、220)，而冷凝回收裝置300設(shè)于藥液回收管路240的路徑 上。 上述的工藝設(shè)備200可還包括至少一液體回收槽250，而在本實(shí)施例中是以一個(gè) 液體回收槽250為例。此液體回收槽250用以接收在冷凝回收裝置300凝結(jié)成液體的藥液。 此外，藥液回收管路240的末端例如還連接至廠務(wù)端的蒸汽回收裝置90。
在本實(shí)施例的工藝設(shè)備200中，腔室210、220內(nèi)的溫度例如是高溫(如攝氏80 度)，當(dāng)噴嘴將藥液(如去光刻膠液)噴于進(jìn)入腔室210、220內(nèi)的基板(圖未示)時(shí)，由于 藥液具有高揮發(fā)性，所以在高溫下藥液容易形成藥液蒸汽。藥液回收管路240用以將藥液 蒸汽抽離腔室210、220，以改善蒸汽外泄的情形并降低飽和蒸汽壓。 本實(shí)施例的工藝設(shè)備200于藥液回收管路240的路徑上設(shè)置冷凝回收裝置300，以 通過冷凝回收裝置300來冷凝從腔室210、220抽出的藥液蒸汽，并通過液體回收槽250來 收集冷凝后的藥液。相較于現(xiàn)有技術(shù)，由于本實(shí)施例在藥液蒸汽被送至廠務(wù)端前就進(jìn)行藥 液回收，所以能大幅降低回收的藥液中的雜質(zhì)，進(jìn)而提升藥液回收效率。此外，由于本實(shí)施 例的工藝設(shè)備200的藥液回收效率較高，所以能減少補(bǔ)充新藥液的量，以節(jié)省藥液成本。如 此，不需通過減少藥液回收管路240的抽氣量來節(jié)省藥液的使用量，所以能保障工作人員 的安全。 下文將配合圖式來詳細(xì)說明本實(shí)施例的工藝設(shè)備所使用的冷凝回收裝置300。
圖3是圖2中冷凝回收裝置的示意圖，而圖4是圖3的冷凝回收裝置的俯視示意 圖，其中圖4省略了第一管體的水平段。請參照圖3與圖4，上述的冷凝回收裝置300包括 第一管體310及冷凝管320，其中冷凝管320配置于第一管體310內(nèi)。第一管體310具有進(jìn) 氣端311與出氣端312，其中進(jìn)氣端311與出氣端312分別連接于工藝設(shè)備200的藥液回收 管路240 (示于圖2)。此外，第一管體310的管壁設(shè)有第一開孔313、第二開孔314與液體 回收孔315。 冷凝管320例如是金屬管，其具有冷卻劑輸入端321與冷卻劑輸出端322，其中冷 卻劑輸入端321與冷卻劑輸出端322分別由第一開孔313與第二開孔314穿出第一管體 310外。另外，冷凝管320于第一管體310內(nèi)從鄰近第一開孔313處螺旋彎折至鄰近第二開 孔314處，以形成螺旋狀冷凝部323。此螺旋狀冷凝部323的內(nèi)徑沿預(yù)定方向D而改變，而 此預(yù)定方向D是從第一開孔313指向第二開孔314。 在本實(shí)施例中，螺旋狀冷凝部323的內(nèi)徑例如是沿預(yù)定方向D逐漸變小后再逐漸 變大。但在其他實(shí)施例中，螺旋狀冷凝部323的內(nèi)徑可沿預(yù)定方向D逐漸變大、逐漸變小、或是逐漸變大后再逐漸變小。上述這些實(shí)施例僅為舉例之用，并非用以限定本發(fā)明的螺旋 狀冷凝部的內(nèi)徑變化方式。此外，本實(shí)施例的第一管體310例如為L型管體，其包括相連的 垂直段316與水平段317，其中進(jìn)氣端311位于垂直段316，而出氣端312位于水平段317 并位于進(jìn)氣端311下方。第一開孔313與第二開孔314例如是位于垂直段316，而液體回收 孔315例如是位于水平段317。 本實(shí)施例的冷凝回收裝置300可還包括冷卻劑供應(yīng)機(jī)臺(圖未示)。此冷卻劑供 應(yīng)機(jī)臺適于通過冷凝管320的冷卻劑輸入端321提供冷卻劑至冷凝管320內(nèi)。冷卻劑供應(yīng) 機(jī)臺可為冷卻液體供應(yīng)機(jī)臺或冷卻氣體供應(yīng)機(jī)臺。當(dāng)冷凝回收裝置300運(yùn)作時(shí)，冷卻劑可 從冷卻劑輸入端321持續(xù)通入冷凝管320內(nèi)，并從冷卻劑輸出端322流出冷凝管320外。
承上述，當(dāng)藥液蒸汽從第一管體310的進(jìn)氣端311進(jìn)入第一管體310內(nèi)后，冷凝管 320會與藥液蒸汽進(jìn)行熱交換，以使藥劑蒸汽凝結(jié)成液體。凝結(jié)后的藥液會從設(shè)于第一管體 310的水平段317的液體回收孔315通過液體回收管330而流至工藝設(shè)備200的液體回收 槽250內(nèi)，也就是說，液體回收槽250用以接收從液體回收孔315流出的藥液。由于冷凝管 320內(nèi)會持續(xù)通入冷卻劑，所以能提升冷凝管320與藥液蒸汽的熱交換效率，以使大量的藥 液蒸汽凝結(jié)，進(jìn)而提高藥液回收效率。此外，由于冷凝管320在第一管體310內(nèi)彎折形成螺 旋狀冷凝部323，當(dāng)藥液蒸汽經(jīng)過螺旋狀冷凝部323時(shí)，有較多的藥液蒸汽會接觸到螺旋狀 冷凝部323，所以能使更多的藥液蒸汽凝結(jié)，如此可進(jìn)一步提升藥液回收效率。
本實(shí)施例的冷凝回收裝置300可還包括擋片340，其設(shè)于第一管體310的水平段 317的內(nèi)壁，且位于液體回收孔315與出氣端312之間。擋片340的設(shè)置可防止被凝結(jié)成液 體的藥液從第一管體310的出氣端312流出。如此，可增加藥液從液體回收孔315流出的 量，進(jìn)而提升藥液回收效率。 圖5是本發(fā)明另一實(shí)施例的一種冷凝回收裝置的示意圖，而圖6是圖5的冷凝回 收裝置的俯視示意圖，其中圖6省略了第一管體的水平段。請參照圖5與圖6，本實(shí)施例的 冷凝回收裝置300a與圖3的冷凝回收裝置300相似，其差別處在冷凝回收裝置300a還包 括第二管體350。第二管體350包覆第一管體310的第一開孔313與第二開孔314之間的 部分。第二管體350內(nèi)適于通入冷卻劑。更詳細(xì)地說，第二管體350的材質(zhì)例如為金屬，且 第二管體350固定于第一管體310。第二管體350的管壁設(shè)有冷卻劑輸入孔352與冷卻劑 輸出孔354，當(dāng)冷凝回收裝置300a運(yùn)作時(shí)，冷卻劑可從冷卻劑輸入孔352持續(xù)通入第二管體 350內(nèi)，并從冷卻劑輸出孔354流出第二管體350外。 在本實(shí)施例的冷凝回收裝置300a中，通入第二管體350內(nèi)的冷卻劑能與第一管體 310進(jìn)行熱交換，以降低第一管體310的管壁的溫度。如此，當(dāng)?shù)谝还荏w310內(nèi)的藥液蒸汽 接觸到第一管體310的管壁時(shí)，因第一管體310的管壁溫度較低，所以能提升第一管體310 的管壁與藥液蒸汽之間的熱交換效果，以使更多的藥液蒸汽凝結(jié)成液體。因此，相較于冷凝 回收裝置300，本實(shí)施例的冷凝回收裝置300a具有更高的藥液回收效率。
圖7是本發(fā)明另一實(shí)施例的一種冷凝回收裝置的示意圖，而圖8是圖7的冷凝回 收裝置的俯視示意圖，其中圖8省略了第一管體的水平段。請參照圖7與圖8，本實(shí)施例的 冷凝回收裝置300b與圖5的冷凝回收裝置300a相似，其差別處在冷凝回收裝置300b還包 括噴液模塊360。此噴液模塊360具有伸入第二管體350b內(nèi)的至少一噴嘴362，在本實(shí)施 例中是以多個(gè)噴嘴362為例。具體而言，第二管體350b包括多個(gè)冷卻劑輸入孔352，而噴嘴362是通過這些冷卻劑輸入孔352伸入第二管體350b內(nèi)。當(dāng)冷凝回收裝置300b運(yùn)作時(shí)，噴 嘴362用以將冷卻劑噴至第一管體310，且冷卻劑會從冷卻劑輸出孔354流出第二管體350 外。 與上述的冷凝回收裝置300a相似，由于本實(shí)施例的冷凝回收裝置300b的噴液模 塊360可用以降低第一管體310的管壁的溫度，所以能提升第一管體310的管壁與藥液蒸 汽之間的熱交換效果，進(jìn)而增加藥液回收效率。此外，冷凝回收裝置300a、300b皆可應(yīng)用于 圖2的工藝設(shè)備200，以提升工藝設(shè)備200的藥液回收效率。 圖9是本發(fā)明另一實(shí)施例的一種冷凝回收裝置的示意圖，而圖10是圖9的冷凝回 收裝置的側(cè)視示意圖。請參照圖9與圖10，本實(shí)施例的冷凝回收裝置400與圖3的冷凝回 收裝置300相似，主要差別處在于冷凝回收裝置400的第一管體410是沿直線延伸，且第一 管體410的進(jìn)氣端411與出氣端412是位于同一高度。換言之，第一管體410為直線狀管 體，且第一管體410是水平設(shè)置。此外，設(shè)置于第一管體410內(nèi)的冷凝管420其結(jié)構(gòu)與圖3 的冷凝管320相似，在此將不對冷凝管420進(jìn)行詳細(xì)說明。另外，第一管體410的液體回收 孔415例如是位于第一開孔413與第二開孔414之間，且液體回收孔415例如是設(shè)于冷凝 管420下方。液體回收管430的一端連接液體回收孔415，另一端可連接到工藝設(shè)備的液體 回收槽(圖未示)。 本實(shí)施例的冷凝回收裝置400應(yīng)用于工藝設(shè)備時(shí)，冷凝回收裝置400可設(shè)置于藥 液回收管路的水平段。此外，本實(shí)施例的冷凝回收裝置400與圖3的冷凝回收裝置300的 功能及優(yōu)點(diǎn)相似，在此將不再重述。另外，冷凝回收裝置400可還包括設(shè)于第一管體410的 內(nèi)壁的二擋片440。此二擋片440其中的一個(gè)位于液體回收孔415與出氣端412之間，此二 擋片440其中的另一個(gè)位于液體回收孔415與進(jìn)氣端411之間。擋片440的設(shè)置可防止被 凝結(jié)成液體的藥液從第一管體410的出氣端412或進(jìn)氣端411流出，以增加藥液從液體回 收孔415流出的量，進(jìn)而提升藥液回收效率。 值得一提的是，圖5的冷凝回收裝置300a的第二管體350及圖7的冷凝回收裝置 300b的第二管體350b與噴液模塊360都可應(yīng)用于本實(shí)施例的冷凝回收裝置400，以進(jìn)一步 提升冷凝回收裝置400的藥液回收效率。 綜上所述，本發(fā)明的冷凝回收裝置及具有其的工藝設(shè)備至少具有下列優(yōu)點(diǎn)
1.本發(fā)明的工藝設(shè)備將冷凝回收裝置設(shè)于藥液回收管路的路徑上，以在藥液被送 回廠務(wù)端之前就對藥液進(jìn)行回收。如此，能大幅降低回收的藥液中的雜質(zhì)，所以能提升藥液 回收效率，進(jìn)而節(jié)省藥液成本。 2.在本發(fā)明的冷凝回收裝置中，由于螺旋狀冷凝部的內(nèi)徑沿預(yù)定方向而改變，所 以能使較多的藥液蒸汽與接觸到螺旋狀冷凝部，并與螺旋狀冷凝部進(jìn)行熱交換，如此能提 升藥液的回收效率。 雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭示如上，然其并非用以限定本發(fā)明，本發(fā)明所屬技 術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許的更動與潤飾，因 此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
一種冷凝回收裝置，其特征在于，該裝置包括一第一管體，具有一進(jìn)氣端與一出氣端，且該第一管體的管壁設(shè)有一第一開孔、一第二開孔與一液體回收孔；以及一冷凝管，配置于所述第一管體內(nèi)，且該冷凝管的一冷卻劑輸入端與一冷卻劑輸出端分別由所述第一開孔與所述第二開孔穿出所述第一管體外，其中所述冷凝管于所述第一管體內(nèi)從鄰近所述第一開孔處螺旋彎折至鄰近所述第二開孔處，以形成一螺旋狀冷凝部，且該螺旋狀冷凝部的內(nèi)徑沿一預(yù)定方向而改變，該預(yù)定方向是從所述第一開孔指向所述第二開孔。
2. 如權(quán)利要求1所述的冷凝回收裝置，其特征在于，所述螺旋狀冷凝部的內(nèi)徑沿所述 預(yù)定方向逐漸變大。
3. 如權(quán)利要求1所述的冷凝回收裝置，其特征在于，所述螺旋狀冷凝部的內(nèi)徑沿所述 預(yù)定方向逐漸變小。
4. 如權(quán)利要求1所述的冷凝回收裝置，其特征在于，所述螺旋狀冷凝部的內(nèi)徑沿所述 預(yù)定方向逐漸變小后再逐漸變大。
5. 如權(quán)利要求1所述的冷凝回收裝置，其特征在于，所述第一管體為L型管體，且所述 第一管體包括一垂直段與一水平段，所述進(jìn)氣端位于所述垂直段，所述出氣端位于所述水 平段并位于所述進(jìn)氣端下方，所述第一開孔與所述第二開孔位于所述垂直段，所述液體回 收孔位于所述水平段。
6. 如權(quán)利要求5所述的冷凝回收裝置，其特征在于，該裝置還包括一擋片，設(shè)于所述水 平段的內(nèi)壁，且位于所述液體回收孔與所述出氣端之間。
7. 如權(quán)利要求1所述的冷凝回收裝置，其特征在于，所述第一管體沿一直線延伸，且所 述第一管體的所述進(jìn)氣端與所述出氣端位于同一高度。
8. 如權(quán)利要求7所述的冷凝回收裝置，其特征在于，所述液體回收孔位于所述第一開 孔與所述第二開孔之間。
9. 如權(quán)利要求7所述的冷凝回收裝置，其特征在于，該裝置還包括二擋片，設(shè)于所述第 一管體的內(nèi)壁，且所述擋片其中的一個(gè)位于所述液體回收孔與所述出氣端之間，所述擋片 其中的另一個(gè)位于所述液體回收孔與所述進(jìn)氣端之間。
10. 如權(quán)利要求1所述的冷凝回收裝置，其特征在于，該裝置還包括一液體回收管，連 接所述液體回收孔。
11. 如權(quán)利要求1所述的冷凝回收裝置，其特征在于，該裝置還包括一第二管體，包覆 所述第一管體的所述第一開孔與所述第二開孔之間的部分，其中所述第二管體內(nèi)適于通入 一冷卻劑。
12. 如權(quán)利要求11所述的冷凝回收裝置，其特征在于，所述第二管體的管壁設(shè)有一冷 卻劑輸入孔與一冷卻劑輸出孔。
13. 如權(quán)利要求11所述的冷凝回收裝置，其特征在于，該裝置還包括一噴液模塊，具有 伸入所述第二管體內(nèi)的至少一噴嘴，以將所述冷卻劑噴至所述第一管體，且所述第二管體 的管壁設(shè)有一冷卻劑輸出孔。
14. 如權(quán)利要求1所述的冷凝回收裝置，其特征在于，該裝置還包括一冷卻劑供應(yīng)機(jī) 臺，適于通過所述冷凝管的所述冷卻劑輸入端提供一冷卻劑至所述冷凝管內(nèi)。
15. 如權(quán)利要求14所述的冷凝回收裝置，其特征在于，所述冷卻劑供應(yīng)機(jī)臺包含冷卻 液體供應(yīng)機(jī)臺或冷卻氣體供應(yīng)機(jī)臺。
16. —種具有冷凝回收裝置的工藝設(shè)備，其特征在于，該工藝設(shè)備包括 至少一腔室，該腔室內(nèi)適于容納一藥液蒸汽； 一藥液回收管路，連接至所述腔室；一冷凝回收裝置，設(shè)于所述藥液回收管路的路徑上，其中該冷凝回收裝置包括 一第一管體，具有分別連接所述藥液回收管路的一進(jìn)氣端與一出氣端，且所述第一管 體的管壁設(shè)有一第一開孔、一第二開孔與一液體回收孔；以及 一冷凝管，配置于所述第一管體內(nèi)，且所述冷凝管的一冷卻劑輸入端與一冷卻劑輸出 端分別由所述第一開孔與所述第二開孔穿出所述第一管體外，其中所述冷凝管于所述第一 管體內(nèi)從鄰近所述第一開孔處螺旋彎折至鄰近所述第二開孔處，以形成一螺旋狀冷凝部， 且所述螺旋狀冷凝部的內(nèi)徑沿一預(yù)定方向而改變，該預(yù)定方向是從所述第一開孔指向所述 第二開孔。
17. 如權(quán)利要求16所述的具有冷凝回收裝置的工藝設(shè)備，其特征在于，該工藝設(shè)備還 包括至少一液體回收槽，用以接收從所述液體回收孔流出的藥液。
18. 如權(quán)利要求17所述的具有冷凝回收裝置的工藝設(shè)備，其特征在于，所述冷凝回收 裝置還包括一液體回收管，連接于所述液體回收孔與所述液體回收槽之間。
19. 如權(quán)利要求16所述的具有冷凝回收裝置的工藝設(shè)備，其特征在于，所述螺旋狀冷 凝部的內(nèi)徑沿所述預(yù)定方向逐漸變大。
20. 如權(quán)利要求16所述的具有冷凝回收裝置的工藝設(shè)備，其特征在于，所述螺旋狀冷 凝部的內(nèi)徑沿所述預(yù)定方向逐漸變小。
21. 如權(quán)利要求16所述的具有冷凝回收裝置的工藝設(shè)備，其特征在于，所述螺旋狀冷 凝部的內(nèi)徑沿所述預(yù)定方向逐漸變小后再逐漸變大。
22. 如權(quán)利要求16所述的具有冷凝回收裝置的工藝設(shè)備，其特征在于，所述第一管體 為L型管體，且所述第一管體包括一垂直段與一水平段，所述進(jìn)氣端位于所述垂直段，所述 出氣端位于所述水平段并位于所述進(jìn)氣端下方，所述第一開孔與所述第二開孔位于所述垂 直段，所述液體回收孔位于所述水平段。
23. 如權(quán)利要求22所述的具有冷凝回收裝置的工藝設(shè)備，其特征在于，所述冷凝回收 裝置還包括一擋片，設(shè)于所述水平段的內(nèi)壁，且位于所述液體回收孔與所述出氣端之間。
24. 如權(quán)利要求16所述的具有冷凝回收裝置的工藝設(shè)備，其特征在于，所述第一管體 沿一直線延伸，且所述第一管體的所述進(jìn)氣端與所述出氣端位于同一高度。
25. 如權(quán)利要求24所述的具有冷凝回收裝置的工藝設(shè)備，其特征在于，所述液體回收 孔位于所述第一開孔與所述第二開孔之間。
26. 如權(quán)利要求24所述的具有冷凝回收裝置的工藝設(shè)備，其特征在于，所述冷凝回收 裝置還包括二擋片，設(shè)于所述第一管體的內(nèi)壁，且所述擋片其中的一個(gè)位于所述液體回收 孔與所述出氣端之間，所述擋片其中的另一個(gè)位于所述液體回收孔與所述進(jìn)氣端之間。
27. 如權(quán)利要求16所述的具有冷凝回收裝置的工藝設(shè)備，其特征在于，所述冷凝回收 裝置還包括一第二管體，包覆所述第一管體的所述第一開孔與所述第二開孔之間的部分， 其中所述第二管體內(nèi)適于通入一冷卻劑。
28. 如權(quán)利要求27所述的具有冷凝回收裝置的工藝設(shè)備，其特征在于，所述第二管體 的管壁設(shè)有一冷卻劑輸入孔與一冷卻劑輸出孔。
29. 如權(quán)利要求27所述的具有冷凝回收裝置的工藝設(shè)備，其特征在于，所述冷凝回收裝置還包括一噴液模塊，具有伸入所述第二管體內(nèi)的至少一噴嘴，以將所述冷卻劑噴至所 述第一管體，且所述第二管體的管壁設(shè)有一冷卻劑輸出孔。
30. 如權(quán)利要求16所述的具有冷凝回收裝置的工藝設(shè)備，其特征在于，所述冷凝回收 裝置還包括一冷卻劑供應(yīng)機(jī)臺，適于通過所述冷凝管的所述冷卻劑輸入端提供一冷卻劑至 所述冷凝管內(nèi)。
31. 如權(quán)利要求30所述的具有冷凝回收裝置的工藝設(shè)備，其特征在于，所述冷卻劑供 應(yīng)機(jī)臺包含冷卻液體供應(yīng)機(jī)臺或冷卻氣體供應(yīng)機(jī)臺。
全文摘要
本發(fā)明提供一種冷凝回收裝置，包括第一管體及冷凝管，其中冷凝管配置于第一管體內(nèi)。第一管體具有進(jìn)氣端與出氣端，且第一管體的管壁設(shè)有第一開孔、第二開孔與液體回收孔。冷凝管的冷卻劑輸入端與冷卻劑輸出端分別由第一開孔與第二開孔穿出第一管體外。冷凝管于第一管體內(nèi)從鄰近第一開孔處螺旋彎折至鄰近第二開孔處，以形成螺旋狀冷凝部。此螺旋狀冷凝部的內(nèi)徑沿預(yù)定方向而改變，而此預(yù)定方向是從第一開孔指向第二開孔。此冷凝回收裝置具有較佳的回收效率。此外，本發(fā)明另提出一種具有此冷凝回收裝置的工藝設(shè)備。
文檔編號F28B1/00GK101701776SQ20091020943
公開日2010年5月5日 申請日期2009年10月30日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月30日
發(fā)明者林士能, 陳信全 申請人:友達(dá)光電股份有限公司