專利名稱：利用半成品方式的二段式光學(xué)對(duì)象成形的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明關(guān)于一種利用模制方式制造的光學(xué)對(duì)象，特別但不限于關(guān)于一種晶圓級(jí)光學(xué)透鏡，其利用模具成形。
背景技術(shù)：
行動(dòng)電話、個(gè)人數(shù)字助理、筆記型計(jì)算機(jī)及其它電子產(chǎn)品通常包括影像裝置，如攝影機(jī)，其組裝成晶圓級(jí)光學(xué)組件，其主要零件通 常包括透鏡組件(包括一個(gè)以上堆棧的透鏡)以及設(shè)置在下方的影像傳感器，晶圓級(jí)攝影機(jī)通常是利用晶圓級(jí)封裝技術(shù)所制造，其制程例如包括形成光學(xué)晶圓、對(duì)準(zhǔn)晶圓的數(shù)層、切割晶圓、及最后封裝成獨(dú)立的攝影模塊。光學(xué)晶圓包括多個(gè)小型獨(dú)立透鏡，其形成于基板晶圓上，且可以利用數(shù)種技術(shù)，例如利用主晶圓、模具或壓印機(jī)，以便將透鏡形成于基板晶圓上，各光學(xué)晶圓通常具有多個(gè)透鏡及/或間隔，然后將晶圓切割，因此各攝影模塊本身通常僅具有透鏡及/或間隔。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明揭露一種透鏡，例如是應(yīng)用于晶圓級(jí)攝影機(jī)的透鏡，其利用高分子材料及至少一個(gè)模具形成半成品透鏡，其中，半成品透鏡至少部分固化，且在其固化過程中，可以產(chǎn)生凹陷或收縮。然后，將另一高分子材料加入透鏡中，并利用相同的模具配合隔板，或利用第二模具，以形成第一表面層，其用以將半成品透鏡的形狀修飾成預(yù)期最終透鏡形狀。在實(shí)施例中，第一表面層的折射率近似或等同于半成品透鏡的折射率；在實(shí)施例中，透鏡形成于基板上；在實(shí)施例中，利用送模(send master)或模具對(duì)以形成具有上曲率及下曲率的透鏡，其利用第二高分子材料在透鏡的與第一表面層相對(duì)的表面上形成第二表面層。


圖IA至圖IC顯示利用習(xí)知硬模壓印方式在基板上形成透鏡的剖面示意圖；圖2A至圖2C顯示利用軟模壓印方式在基板上形成透鏡的剖面示意圖；圖3A至圖3H顯示試誤過程的剖面示意圖，其利用連續(xù)修飾模具數(shù)次的方式，以達(dá)到預(yù)期規(guī)格的最終透鏡產(chǎn)物；圖4A與圖4B顯示制程的剖面示意圖，其利用兩次成形操作以鑄模方式制造透鏡，其中，兩次成形操作分別使用各別的模具，以便制造預(yù)期的最終透鏡產(chǎn)物；圖5A至圖顯示制程的剖面示意圖，其利用兩次成形操作以鑄模方式制造透鏡，其中，兩次成形操作可使用同一個(gè)模具，以便制造預(yù)期的最終透鏡產(chǎn)物；圖6A與圖6B顯示本發(fā)明實(shí)施例的袋裝形式的透鏡及懸空形式的透鏡的剖面示意圖；圖7A與圖7B顯示習(xí)知的袋裝形式的凸透鏡及袋裝形式的凹透鏡的剖面示意圖；圖8A至圖SC顯示制程的剖面示意圖，其以鑄模方式形成袋裝形式的透鏡，而且其分別利用兩個(gè)模具或利用一個(gè)模具配合一個(gè)或數(shù)個(gè)垂直隔板的組合進(jìn)行鑄模；以及
圖9A至圖9C顯示制程的剖面示意圖，其以鑄模方式形成懸空形式的透鏡，而且其分別利用兩個(gè)模具或利用一個(gè)模具配合一個(gè)或數(shù)個(gè)垂直隔板的組合進(jìn)行鑄模。
具體實(shí)施例方式以下將參照相關(guān)

本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例，其中相同的元件將以相同的元件符號(hào)加以說明。在本說明書中，“實(shí)施例”表示本發(fā)明的特定的特征、結(jié)構(gòu)包括于本發(fā)明的至少一個(gè)實(shí)施例中，因此，以下敘述中，在不同段落提及“本實(shí)施例中”，并不限定為相同實(shí)施例，而且，下列的各種特定特征及結(jié)構(gòu)皆可以適當(dāng)方式結(jié)合于一個(gè)以上的實(shí)施例中。 透鏡復(fù)制可以達(dá)成晶圓級(jí)光學(xué)系統(tǒng)的量產(chǎn)，其可以利用各種復(fù)制技術(shù)進(jìn)行，如模具成形，舉例而言，可以利用硬模壓印的模具，如圖IA所示，硬模壓印100(材料為玻璃或鋼材)向下施壓于滴復(fù)制材料110上，其中，復(fù)制材料110例如為UV固化高分子，且其預(yù)先涂布于基板晶圓120上；另外，復(fù)制材料110亦可以是可通過催化劑固化的樹脂材料、或熱固化塑料。當(dāng)硬模壓印100向下壓住高分子材料時(shí)，高分子材料會(huì)形成模具的形狀(如圖IB所示)，然后利用UV光照射、加熱、使用催化劑等方式，使其固化；如圖IC所示，接著將硬模壓印100從基板晶圓120上脫離，在基板晶圓120上會(huì)留下透鏡層150，其包括獨(dú)立形式的透鏡130。然而，若將過多的復(fù)制材料110預(yù)先設(shè)置于基板晶圓120上，則在透鏡下方會(huì)形成多余層140。另外，亦可以利用軟模壓印的模具，如圖2A所示，軟模壓印200的材料例如為橡膠(如聚二甲基硅氧烷，PDMS)，復(fù)制材料210例如為UV環(huán)氧樹脂高分子，且其預(yù)先涂布于軟模壓印200上；如圖2B所示，軟模壓印200向下施壓于基板晶圓120，并將高分子復(fù)制材料210轉(zhuǎn)印到基板晶圓120上，然后進(jìn)行鑄模以便利用高分子復(fù)制材料210形成透鏡，其中，可利用UV光照射以固化高分子復(fù)制材料210，然后將軟模壓印200從基板晶圓120上脫離，在基板晶圓120上會(huì)留下透鏡層230，其包括獨(dú)立形式的多個(gè)透鏡220，如圖2C所示。在透鏡成形后，其外觀形狀可能會(huì)在高分子固化過程中產(chǎn)生變化，例如產(chǎn)生收縮或凹陷，其中，收縮現(xiàn)象與透鏡材料(如環(huán)氧樹脂)的固化特性有關(guān)；如收縮等的形狀變化會(huì)導(dǎo)致透鏡產(chǎn)品不符合壓印的形狀，甚至不符合預(yù)期的透鏡設(shè)計(jì)規(guī)格。有數(shù)種方法可以消除不需要的收縮效應(yīng)，其中一種方法是利用模具成形方式進(jìn)行收縮的補(bǔ)償，例如可以利用硬模壓印100，其具有收縮補(bǔ)償形狀，以便形成收縮前超標(biāo)的透鏡，其略大于預(yù)期目標(biāo)，此設(shè)計(jì)用以當(dāng)超標(biāo)的透鏡收縮成較小尺寸時(shí)，其最終形狀會(huì)符合預(yù)期的透鏡設(shè)計(jì)規(guī)格。然而，此方法是利用試誤方式進(jìn)行，所以通常相當(dāng)麻煩，其由于收縮現(xiàn)象有時(shí)無(wú)法完全按照預(yù)測(cè)，而且其可能依據(jù)溫度及精確的材料組成而產(chǎn)生變化。圖3A至圖3H顯示此習(xí)知制程的范例，首先，制造第一試驗(yàn)?zāi)＞?00，其具有與預(yù)期透鏡形狀匹配的凹槽，如圖3A所示，利用第一試驗(yàn)?zāi)＞?00將高分子材料310鑄模于基板120上，以便形成第一試驗(yàn)透鏡320 (如圖3B所示)，當(dāng)?shù)谝辉囼?yàn)透鏡320進(jìn)行固化時(shí)，其從原先的模制尺寸332收縮成第一縮小透鏡330 (如圖3C所示)；比較第一縮小透鏡330與預(yù)期的透鏡規(guī)格，工程師可以評(píng)估第一試驗(yàn)?zāi)＞?00上的凹槽必須放大多少，并依此制造第二試驗(yàn)?zāi)＞?05，如圖3D所示，此時(shí)，第一試驗(yàn)?zāi)＞?00將被舍棄；然后，進(jìn)行另一個(gè)模制成形操作，其利用第二試驗(yàn)?zāi)＞?05以鑄模方式將較大量的高分子材料315形成于基板120上，如圖3E所示，進(jìn)而形成第二試驗(yàn)透鏡325 (如圖3F所示)；若第二試驗(yàn)透鏡325的材料為UV光固化高分子、或可催化固化的環(huán)氧樹脂高分子、或熱塑型塑料時(shí)，則在進(jìn)行其固化或冷卻時(shí)，第二試驗(yàn)透鏡325會(huì)從原先的模制尺寸334收縮成第二縮小透鏡335 (如圖3G所示)；經(jīng)過上述步驟得到的第二縮小透鏡335會(huì)更接近預(yù)期的透鏡規(guī)格，但是，若未達(dá)預(yù)期，則必須反復(fù)進(jìn)行上述的試誤程序，直到制得近似于預(yù)期透鏡形狀的最終透鏡產(chǎn)物340，如圖3H所示。一般而言，需要2次、3次或更多次數(shù)的模具加工，以得到最終模具，其能夠用來(lái)模制符合透鏡設(shè)計(jì)規(guī)格的透鏡。本發(fā)明揭露一種制程，其可以不需采用試誤方式的反復(fù)程序，而是利用兩個(gè)以上的連續(xù)且附加的模制成形操作，將最終透鏡形成于平板基板上；在實(shí)施例中，可以利用兩個(gè)模具以鑄模形成透鏡于平板基板上，在第一模制成形操作中，如圖4A所示，利用第一模具(或稱基體模具)以模制方式在基板120上形成第一透鏡，然后進(jìn)行至少部分固化，而在此固化過程中，可以允許第一透鏡產(chǎn)生收縮。在產(chǎn)生收 縮后，第一透鏡變成半成品透鏡410(或稱基體410)，其中，用來(lái)形成基體410的透鏡材料的量通常僅為預(yù)期形成最終透鏡的所有材料的大部分，但非為全部，例如，在實(shí)施例中，可利用預(yù)期的所有透鏡材料的約95%至99%來(lái)形成基體410。經(jīng)過鑄模程序并固化基體后，基體會(huì)產(chǎn)生收縮；由于基體包括最終透鏡的大部分材料，因此在上述的固化步驟完成后，大部分的變形或較大的收縮現(xiàn)象會(huì)形成在基體410上。 上述的基體410可近似于預(yù)期的最終透鏡的預(yù)期設(shè)計(jì)規(guī)格，例如，基體410的測(cè)量尺寸僅比預(yù)期的最終透鏡的尺寸小約10微米。在基體410產(chǎn)生收縮后，可以利用第二模具進(jìn)行第二模制成形操作，以便將薄層的外加高分子420轉(zhuǎn)印至基體410上，如圖4B所示，其中，第二模具(或稱透鏡模具)可以具有如同預(yù)期最終透鏡的正確透鏡形狀，或者可以具有針對(duì)預(yù)期最終透鏡的收縮補(bǔ)償?shù)男⌒揎?，而在第二模制成形操作中，轉(zhuǎn)印至基體410上的外加材料的量可以例如約為透鏡材料的總量的1%至5%，因此，基體材料與外加材料的總和約等于最終透鏡的透鏡材料的100%。由于用來(lái)鑄模形成薄層420的材料僅為小量的透鏡材料，所以薄層420相對(duì)于最終透鏡形狀而言僅產(chǎn)生微小的收縮；此外，由于薄層420的材料可以與基體的材料相同或近似，而其尺寸收縮程度與材料的量成正比，且薄層420遠(yuǎn)薄于基體，所以薄層的收縮對(duì)整體透鏡尺寸變化的影響相當(dāng)小，因此，薄層420的最終形狀的收縮現(xiàn)象遠(yuǎn)小于基體的收縮現(xiàn)象的影響，而且薄層可以回填并補(bǔ)償基體的收縮，通過上述方式，包括基體410及薄層420的最終透鏡430可以更接近預(yù)期最終透鏡形狀的設(shè)計(jì)形狀，以符合透鏡設(shè)計(jì)規(guī)格。通過上述的數(shù)個(gè)分開外加的模制操作，可以在基體410與薄層420之間形成界面，為了避免此界面造成歪曲、反射、或散射，基體410及薄層420可以是由相同透鏡材料所構(gòu)成，或是由具有相同或近似的光學(xué)特性的材料所構(gòu)成，例如包括基體410的折射率。此外，薄層材料420的黏性低于基體材料的黏性，但其具有相同或近似的折射率，以利于進(jìn)行薄層420的模制成形。在實(shí)施例中，薄層材料420與基體410的材料相同，且其具有相同的折射率；在另一實(shí)施例中，薄層材料420與基體410的折射率不同，且薄層材料420的折射率為基體410的折射率的5%以內(nèi)；在另一實(shí)施例中，薄層材料420的折射率為基體410的折射率的10%以內(nèi)。在實(shí)施例中，薄層420可以不需要設(shè)置其它中間層而可直接黏設(shè)于基體410上，且其折射率相當(dāng)接近基體410的折射率，以使得在薄層420與基體410的邊界422不會(huì)產(chǎn)生反射；在另一實(shí)施例中，在可能的界面(如薄層420與基體410的邊界422)中可以設(shè)置中間物質(zhì)，如折射率匹配及連結(jié)材料；此外，在完成薄層420的鑄模成形后，可以進(jìn)行另一個(gè)制程步驟以減緩任何可能的界面效應(yīng)，例如，可以利用回流步驟以縮小薄層420與基體410之間的界面，其在界面混合基體與薄層的材料，因此部分的薄層420會(huì)混入基體410的厚度中。在特定情況下，例如當(dāng)利用PDMS軟模壓印進(jìn)行鑄模成形時(shí)，形成于平板基板上的透鏡主要會(huì)在垂直方向上產(chǎn)生收縮，另外，此可壓縮且類似橡膠的天然的PDMS亦可以增加收縮及變形。在另一實(shí)施例中，當(dāng)使用兩個(gè)以上連續(xù)外加的模制成形操作以制造位于平板基板上的透鏡，可以利用第一模具500(如圖5A所示)進(jìn)行鑄模成形以形成半成品透鏡或基體510于基板120上(如圖5B所不);然后，在第一模具500上加入或數(shù)個(gè)隔板540,以構(gòu)成第二模具550 (如圖5C所示)，其中第二模具550用以轉(zhuǎn)印薄層520于基體510上(如圖所示)。在許多實(shí)施例中，基體510與薄層520共同形成的最終透鏡形狀530相當(dāng)接近預(yù)期最終透鏡形狀的預(yù)期設(shè)計(jì)規(guī)格，因此不需要其它補(bǔ)償；若需要進(jìn)行修飾，則通過上述模具方式所制造的透鏡的待修飾程度將遠(yuǎn)小于習(xí)知透鏡制造程序所需的修飾程度。除了上述形成于平板基板上的透鏡的形式外，透鏡亦可以其它形式存在，舉例而言，在另一實(shí)施例中，透鏡以袋裝形式存在，其將隔板600設(shè)置于透鏡610之間，然后設(shè)置于基板120上(如圖6A所示)；在另一實(shí)例中，可以制造懸空的透鏡620，其中，透鏡620設(shè)置且提升于隔板600之間(如圖6B所示)。如圖7A所示，由于外力(如來(lái)自隔板側(cè)壁的橫向應(yīng)力)的關(guān)系，所以袋裝形式的透鏡或懸空形式的透鏡會(huì)面臨到控制透鏡變形的問題，利用模具720以鑄模方式形成袋裝形式的凸透鏡710于基板120上，其中，袋裝形式的凸透鏡710被隔板700固定，另外，空隙730作為溢流空間，以便允許透鏡的側(cè)邊740產(chǎn)生溢流。如橫向應(yīng)力750的外力會(huì)使得收縮補(bǔ)償?shù)念A(yù)測(cè)更加困難，并使得使用收縮補(bǔ)償模具(如圖3E所示)的制程的再現(xiàn)性降低，例如，除了垂直變形或收縮外，橫向應(yīng)力750可能會(huì)導(dǎo)致橫向變形或收縮，其可能會(huì)受到隔板700的限制，而導(dǎo)致更多的透鏡變形。除了隔板700的橫向應(yīng)力的影響外，溢流突出至空隙730的透鏡材料所形成的透鏡側(cè)邊740會(huì)加劇橫向應(yīng)力750，圖7B顯示一種說明此現(xiàn)象的例子，其中，模具725用以鑄模形成袋裝形式的凹透鏡715于基板120上，其固定于隔板700之間，而模具725周圍的空隙735可以作為溢流空間，以便允許透鏡側(cè)邊745溢流、并容許模具725與基板120之間可以有輕微的對(duì)準(zhǔn)誤差，如橫向應(yīng)力755的外力會(huì)使得收縮補(bǔ)償?shù)目刂聘永щy，而凹透鏡的實(shí)施例受到橫向應(yīng)力的影響可能比凸透鏡的實(shí)施例更多。另外，部分實(shí)施例可能受到重力的影響，在透鏡側(cè)邊745的溢流透鏡材料可能會(huì)放大橫向應(yīng)力755，且可能會(huì)導(dǎo)致明顯的橫向變形或收縮。此外，若透鏡材料的量改變，使得溢流的透鏡材料745的量隨著改變時(shí)，收縮補(bǔ)償?shù)睦щy度亦隨著增加，因?yàn)椴糠謱?shí)施例可能會(huì)有不同的垂直及/或橫向變形或收縮。以下舉例說明利用本發(fā)明的方法制造袋裝形式的透鏡，如圖8A所示，在實(shí)施例中，利用第一模具(如PDMS軟模模具820)鑄模形成半成品透鏡810于基板120上，其中半成品透鏡810固定于隔板800之間，在半成品透鏡810完成收縮及硬化后，利用第二模具(如PDMS軟模模具825)將少量的透鏡材料轉(zhuǎn)印至半成品透鏡810上，以形成薄層815，如 圖8B所示。在另一實(shí)施例中，在利用模具820鑄模形成半成品透鏡810 (如圖8A所示)后，將垂直隔板或夾鐵805加至隔板800上，如圖8C所示，然后可以再次利用相同的模具820、并添加少量透鏡材料以便形成薄層815于半成品透鏡810上(如圖SC所示)，其中，垂直隔板或夾鐵805用以控制上薄層815的厚度。其中，袋裝形式的透鏡的結(jié)構(gòu)及操作參數(shù)與設(shè)置于平板基板上的透鏡的結(jié)構(gòu)及操作參數(shù)相似，例如，半成品透鏡810可以構(gòu)成透鏡材料總量的95%至99%，由于收縮通常與體積成正比，所以大部分的收縮或變形效應(yīng)會(huì)發(fā)生在添加薄層815前；在另一實(shí)例中，半成品透鏡810的測(cè)量尺寸比預(yù)期的最終透鏡的尺寸小約10微米，所以半成品透鏡810相當(dāng)接近預(yù)期最終透鏡形狀。在另一實(shí)例中，在半成品透鏡810與薄層815之間具有界面，其可能造成表面相關(guān)誤差，如在界面可能產(chǎn)生光線歪曲、折射或反射，因此，半成品透鏡810與薄層815可以由相同透鏡材料所制造，或是不同透鏡材料但具有相同或近似的光學(xué)折射率， 以減少或消除界面的折射及反射。此外，亦可以將中間物質(zhì)(如折射率匹配材料)設(shè)置于可能的界面；在完成鑄模成形薄層815后，可以再進(jìn)行步驟(如回流步驟)，以便混合薄層815至基體810中，進(jìn)而減輕界面效果。與袋裝形式的透鏡相同，懸空形式的透鏡固定于隔板之間，換言之，對(duì)懸空形式的透鏡而言，在進(jìn)行透鏡的鑄模成形時(shí)，其上表面及下表面皆需要進(jìn)行鑄模成形，以下列舉數(shù)個(gè)懸空形式的透鏡的實(shí)施例。在實(shí)施例中，如圖9A所示，其同時(shí)利用第一上模具922及第一下模具924進(jìn)行鑄模成形以形成半成品透鏡910于隔板900之間，在半成品透鏡910完成收縮后，利用第二上模具926 (如圖9B所示)及第二下模具928將少量的透鏡材料轉(zhuǎn)印至半成品透鏡910的上表面及下表面上，以形成上薄層912及下薄層914。在另一實(shí)施例中，在利用上模具922及下模具924鑄模形成半成品透鏡910 (如圖9A所示)后，將垂直隔板或夾鐵905加至隔板900的上方及下方上,如圖9C所示，然后可以再次利用相同的上模具922及下模具924，以便形成上薄層912及下薄層914于半成品透鏡910上(如圖9C所示)，其中，垂直隔板905用以控制上薄層912及下薄層914的厚度。其中，懸空形式的透鏡的結(jié)構(gòu)及操作參數(shù)與袋裝形式的透鏡的結(jié)構(gòu)及操作參數(shù)相似，例如，半成品透鏡910可以構(gòu)成透鏡材料總量的95%至99%，因此大部分的收縮或變形效應(yīng)會(huì)發(fā)生在半成品透鏡910 ;在另一實(shí)例中，半成品透鏡910的測(cè)量尺寸比預(yù)期最終透鏡形狀的尺寸小約10微米，所以可以通過添加材料使得半成品透鏡910相當(dāng)接近預(yù)期最終透鏡形狀。在另一實(shí)例中，在半成品透鏡910與上薄層912及下薄層914之間具有界面，其可能造成表面相關(guān)誤差，如在界面可能產(chǎn)生光線歪曲(如前述的袋裝形式的透鏡的敘述)，其中，半成品透鏡910與上薄層912及下薄層914可以由相同透鏡材料所制造，或是不同透鏡材料但具有相同或近似的光學(xué)折射率，以減少或消除界面效果。此外，亦可以將中間物質(zhì)(如折射率匹配材料)設(shè)置于可能的界面；在完成鑄模成形上薄層912及下薄層914后，可以再進(jìn)行回流步驟或其它步驟，以便混合界面的上薄層912及下薄層914與半成品透鏡910的材料，進(jìn)而減輕可能的界面效果。需注意的是，本發(fā)明的透鏡制造方法用以形成各種透鏡，如凸透鏡、凹透鏡、球面透鏡或非球面透鏡等，所形成的透鏡的形狀依據(jù)用來(lái)形成透鏡的模具而定。以上所述僅是舉例性，而非限制性。任何未脫離本發(fā)明的精神與范疇，而對(duì)其進(jìn)行的等效修改或變更，均應(yīng)包括在權(quán)利要求所限定的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種透鏡，其特征在于，包括 基體，形成所述透鏡的最終體積的主體，其中所述基體由可模制材料所形成，且所述可模制材料于固化過程中產(chǎn)生收縮；以及 上層，形成于所述基體上方； 其中，包括所述基體與所述上層的組合物構(gòu)成或接近于預(yù)期最終透鏡形狀，而且所述上層的光學(xué)折射率近似于所述基體的折射率。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的透鏡，其特征在于，所述上層包括透鏡材料，且所述透鏡材料的折射率與所述基體的折射率的差異在所述基體的折射率的10%以內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的透鏡，其特征在于，所述基體構(gòu)成所述透鏡的總體積的95%至 99%。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的透鏡，其特征在于，所述基體包括缺陷變形，且所述上層修飾所述缺陷變形，使得所述透鏡符合設(shè)計(jì)規(guī)格。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的透鏡，其特征在于，所述缺陷變形對(duì)應(yīng)所述基體于所述固化過程的所述收縮。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的透鏡，其特征在于，所述基體的測(cè)量尺寸小于所述透鏡的設(shè)計(jì)規(guī)格達(dá)約10微米。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的透鏡，其特征在于，所述基體與所述上層形成界面，其實(shí)質(zhì)上充滿折射率匹配材料。
8.根據(jù)權(quán)利要求I所述的透鏡，其特征在于，還包括下薄層，設(shè)置于所述第一部位下方，其中所述下薄層的折射率實(shí)質(zhì)上近似于所述基體的折射率。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的透鏡，其特征在于，所述基體構(gòu)成所述透鏡的總體積的95%至 99%。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的透鏡，其特征在于，所述基體包括缺陷變形，且所述下薄層修飾所述缺陷變形，使得所述透鏡符合設(shè)計(jì)規(guī)格。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的透鏡，其特征在于，所述缺陷變形部對(duì)應(yīng)所述基體于成形過程后產(chǎn)生的收縮。
12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的透鏡，其特征在于，所述基體的測(cè)量尺寸小于所述透鏡的設(shè)計(jì)規(guī)格約10微米。
13.根據(jù)權(quán)利要求8所述的透鏡，其特征在于，所述主部位(所述基體)與所述下薄層形成界面，其實(shí)質(zhì)上充滿折射率匹配及連結(jié)材料。
14.一種透鏡制造方法，其特征在于，包括下列步驟 利用第一模具模制形成半成品透鏡；以及 利用第二模具于所述半成品透鏡上形成上層，其中所述半成品透鏡包括缺陷變形，其于模制形成所述半成品透鏡后，通過所述半成品透鏡的收縮而形成，而且所述上層實(shí)質(zhì)上修飾所述缺陷變形； 其中，所述半成品透鏡構(gòu)成透鏡的最終體積的主體。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其特征在于，模制形成所述半成品透鏡的步驟包括形成所述半成品透鏡于平板上。
16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其特征在于，模制形成所述半成品透鏡的步驟包括形成所述半成品透鏡于隔板之間。
17.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其特征在于，還包括 利用第三模具于所述半成品透鏡下方形成下層。
18.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其特征在于，所述第二模具包括所述第一模具及隔板的組合。
19.一種透鏡制造方法，其特征在于，包括下列步驟 利用第一組模具模制形成半成品透鏡的上表面及下表面，其中所述半成品透鏡的材料于形成后產(chǎn)生收縮；以及 利用第二組模具于所述半成品透鏡上方模制形成上層，并于所述半成品透鏡下方模制形成下層， 其中，所述半成品透鏡構(gòu)成透鏡的最終體積的主體。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其特征在于，模制形成所述上層及所述下層的步驟包括利用于模制形成后產(chǎn)生收縮的材料來(lái)形成所述上層及所述下層。
21.一種透鏡制造方法，其特征在于，包括下列步驟 利用上模具及透鏡材料形成半成品透鏡； 插入至少一個(gè)隔板于所述上模具的下方； 加入另一透鏡材料于所述半成品透鏡與所述上模具之間；以及 利用所述上模具于所述半成品透鏡上方形成上層，并通過所述隔板控制所述上層的厚度； 其中，所述半成品透鏡構(gòu)成透鏡的最終體積的主體。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的方法，其特征在于，利用所述上模具形成所述半成品透鏡的步驟包括形成所述半成品透鏡于平板上。
23.根據(jù)權(quán)利要求21所述的方法，其特征在于，所述半成品透鏡形成于隔板之間。
24.一種透鏡制造方法，其特征在于，包括下列步驟 利用包括上模具及下模具的組模具，以利用透鏡材料分別形成半成品透鏡的上表面及下表面； 插入至少一個(gè)隔板于所述上模具與所述下模具之間； 加入另一透鏡材料于所述半成品透鏡與所述上模具之間、及所述半成品透鏡與所述下模具之間；以及 利用所述組模具將所述另一透鏡材料形成上層于所述半成品透鏡上方，并形成下層于所述半成品透鏡下方； 其中，所述半成品透鏡構(gòu)成透鏡的最終體積的主體。
全文摘要
本發(fā)明提供一種透鏡，例如是應(yīng)用于晶圓級(jí)攝影機(jī)的透鏡，其利用高分子材料及至少一個(gè)模具形成半成品透鏡，其構(gòu)成透鏡的最終體積的主體，其中，半成品透鏡可以被硬化，且在其硬化過程中，可以產(chǎn)生凹陷或收縮。然后，將另一高分子材料加入透鏡中，并利用相同的模具配合隔板，或利用第二模具，以形成第一表面層，其用以將半成品透鏡的形狀修飾成預(yù)期最終透鏡形狀。在實(shí)施例中，第一表面層的折射率近似或等同于半成品透鏡的折射率；在實(shí)施例中，透鏡形成于基板上；在實(shí)施例中，利用送模(send master)或模具對(duì)以形成具有上曲率及下曲率的透鏡，其利用第二高分子材料在透鏡與第一表面層相對(duì)的表面上形成第二表面層。
文檔編號(hào)B29D11/00GK102636823SQ201210029689
公開日2012年8月15日 申請(qǐng)日期2012年2月8日 優(yōu)先權(quán)日2011年2月9日
發(fā)明者丹尼斯·J·加拉格爾, 里吉斯·S·凡 申請(qǐng)人:全視技術(shù)有限公司