專利名稱：模具和模具的制造方法以及防反射膜的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及模具和模具的制造方法以及防反射膜。有時也稱為壓模。另外，也能使用于印刷(包含納米印刷)。
背景技術(shù)：
在電視機、手機等所使用的顯示裝置、照相機透鏡等光學(xué)元件中，為了減少表面反射來提高光的透射量，通常實施防反射技術(shù)。這是因為例如，如光入射到空氣和玻璃的界面的情況那樣，在光通過折射率不同的介質(zhì)的界面的情況下，由于菲涅耳反射等，光的透射量減少，視覺識別性降低。近年來，作為防反射技術(shù)，在基板表面形成凹凸的周期被控制在可見光(λ = 380nm 780nm)的波長以下的微細的凹凸圖案的方法受到關(guān)注(參照專利文獻1至4)。構(gòu)成實現(xiàn)防反射功能的凹凸圖案的凸部的二維大小大于等于IOnm小于500nm。該方法利用了所謂的蛾眼(Motheye ；蛾子的眼睛)結(jié)構(gòu)的原理，使針對入射到基板的光的折射率沿著凹凸的深度方向從入射介質(zhì)的折射率到基板的折射率連續(xù)地發(fā)生變化，由此抑制想防止反射的波段的反射。蛾眼結(jié)構(gòu)具有如下等優(yōu)點除了能在寬廣的波段內(nèi)發(fā)揮入射角依存性小的防反射作用以外，還能應(yīng)用于很多的材料，能將凹凸圖案直接形成于基板。其結(jié)果是能以低成本提供高性能的防反射膜(或者防反射表面)。作為蛾眼結(jié)構(gòu)的制造方法，使用對鋁進行陽極氧化而得到的陽極氧化多孔氧化鋁層的方法受到關(guān)注(專利文獻2至4)。在此，簡單地說明對鋁進行陽極氧化而得到的陽極氧化多孔氧化鋁層。以往，利用了陽極氧化的多孔質(zhì)結(jié)構(gòu)體的制造方法作為能形成有規(guī)則地排列的納米級圓柱狀細孔 (微細凹部)的簡單方法而受到關(guān)注。當(dāng)將鋁基材浸漬到硫酸、草酸或者磷酸等酸性電解液或者堿性電解液中，將其作為陽極施加電壓時，能在鋁基材的表面同時進行氧化和溶解，形成在其表面具有細孔的氧化膜。該圓柱狀細孔相對于氧化膜垂直地進行取向且在一定的條件下(電壓、電解液的種類、溫度等)示出自我組織的規(guī)則性，因此，期望應(yīng)用于各種功能材料。在特定條件下形成的多孔氧化鋁層，當(dāng)從垂直于膜面的方向看時，取大致正六邊形的單元以二維最高密度進行填充的排列。各個單元在其中央具有細孔，細孔的排列具有周期性。單元是局部的被膜溶解和增長的結(jié)果所形成的，在被稱為阻擋層的細孔底部，被膜的溶解和增長同時進行。已知此時單元的尺寸、即相鄰的細孔的間隔(中心之間距離)相當(dāng)于阻擋層的厚度的大致2倍，與陽極氧化時的電壓大致成比例。另外，已知細孔的直徑依賴于電解液的種類、濃度、溫度等，但是，通常是單元的尺寸(從垂直于膜面的方向看時的單元的最長對角線的長度)的1/3左右。這樣的多孔氧化鋁的細孔在特定條件下形成具有高規(guī)則性(具有周期性)的排列、或者根據(jù)條件而在某種程度上規(guī)則性紊亂的排列、或者不規(guī)則(不具有周期性)的排列。
專利文獻2公開了如下方法使用在表面具有陽極氧化多孔氧化鋁膜的壓模來形成防反射膜(防反射表面)。另外，在專利文獻3中公開了如下技術(shù)通過反復(fù)進行鋁的陽極氧化和孔徑擴大處理來形成細孔孔徑連續(xù)變化的錐形形狀的凹部。另外，在專利文獻4中公開了如下技術(shù)使用微細凹部具有階梯狀側(cè)面的氧化鋁層來形成防反射膜。另外，如專利文獻1、2以及4所述，除了蛾眼結(jié)構(gòu)(微觀結(jié)構(gòu))以外，還設(shè)置比蛾眼結(jié)構(gòu)大的凹凸結(jié)構(gòu)(宏觀結(jié)構(gòu))，由此能對防反射膜(防反射表面)賦予防眩功能。構(gòu)成發(fā)揮防眩功能的凹凸的凸部的二維大小大于等于Iym小于等于100 μ m。在本說明書中引用專利文獻1、2以及4的全部公開內(nèi)容用于參考。通過利用陽極氧化多孔氧化鋁膜，能容易制造用于在表面形成蛾眼結(jié)構(gòu)的模具 (下面，稱為“蛾眼用模具”。)。特別是如專利文獻2和4所述，當(dāng)將鋁的陽極氧化膜的表面原樣作為模具來利用時，降低制造成本的效果大。將能形成蛾眼結(jié)構(gòu)的蛾眼用模具的表面的結(jié)構(gòu)稱為“反轉(zhuǎn)的蛾眼結(jié)構(gòu)”。作為使用蛾眼用模具的防反射膜的制造方法，已知使用光固化性樹脂的方法。首先，在基板上賦予光固化性樹脂。接著，在真空中將實施了脫模處理的蛾眼用模具的凹凸表面按壓于光固化性樹脂。然后，將光固化性樹脂填充到凹凸結(jié)構(gòu)中。接著，對凹凸結(jié)構(gòu)中的光固化性樹脂照射紫外線，使光固化性樹脂固化。然后，從基板分離蛾眼用模具，由此被轉(zhuǎn)印了蛾眼用模具的凹凸結(jié)構(gòu)的光固化性樹脂的固化物層形成于基板的表面。使用光固化性樹脂的防反射膜的制造方法記載于例如專利文獻4。此外，在非專利文獻1中公開了如下陽極氧化方法使用草酸的水溶液作為電解液，以比較低的電壓(40V)在鋁基板的鏡面進行陽極氧化(MA :mild ano dization ；溫和陽極氧化)后，以比較高的電壓(100 160V)進行陽極氧化(HA =Hard anodization ；強烈陽極氧化)。在非專利文獻1以利用自我組織化(self organization)形成具有規(guī)則性極高的細孔排列的多孔氧化鋁層為主題，能以上述的方法形成以現(xiàn)有的MA不能得到的具有 220-300nm的細孔間隔的規(guī)則性高的自我組織化多孔氧化鋁層。在MA工序中，為了防止HA 工序中的擊穿，需要形成厚度大于等于400nm的多孔氧化鋁層。細孔間隔由HA決定。另外，在非專利文獻1中公開了如下方法利用在MA和HA中形成空隙率不同的多孔氧化鋁層，交替地進行MA和HA，由此形成孔徑周期性地被調(diào)制的多孔氧化鋁層。記載了如下例子在使用壓模印刷275nm間隔的預(yù)圖案后，交替地反復(fù)進行施加電壓110V的
磷酸水溶液)和施加電壓137V的ΗΑ(0. 015M草酸水溶液)，由此形成細孔間隔為 275nm、孔徑周期性地被調(diào)制的縱橫比高的多孔氧化鋁層。MA工序和HA工序的施加電壓均設(shè)定為通過自我組織化而形成具有275nm的細孔間隔的多孔氧化鋁層?，F(xiàn)有技術(shù)文獻專利文獻專利文獻1 特表2001-517319號公報專利文獻2 特表2003-531962號公報專利文獻3 特開2005-156695號公報專利文獻4 國際公開第2006/059686號
非專禾0 文獻 1 :ffoo Lee, Ran Ji, Ulrich Gosele&Kornelius Nielsch, Fast fabrication of long-range ordered porous alumina membranes by hard anodization, Nature Materials 20 August 2006, vol.5,741-74
發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題本發(fā)明人用專利文獻4所記載的方法反復(fù)進行鋁基材的表面的陽極氧化和蝕刻來制作蛾眼用模具的結(jié)果是，有時在第1次陽極氧化中所形成的細孔的內(nèi)面在第2次以后的陽極氧化中形成多個微細孔。在1個細孔中形成有多個微細孔的結(jié)構(gòu)的相鄰孔的間隔短，所以當(dāng)例如使用具有該結(jié)構(gòu)的蛾眼用模具制作防反射膜時，容易產(chǎn)生被轉(zhuǎn)印物的表面的多個突起彼此連在一起而成束的粘連現(xiàn)象。在多個突起彼此成束之處，如后所述，作為防反射膜的性能降低。本發(fā)明是為了解決上述問題而完成的，其主要目的在于提供能抑制在1個細孔中形成多個微細孔的模具的制造方法。用于解決問題的方案在本發(fā)明的模具的制造方法中，上述模具在表面具有反轉(zhuǎn)的蛾眼結(jié)構(gòu)，上述反轉(zhuǎn)的蛾眼結(jié)構(gòu)具有從表面的法線方向觀看時的二維大小大于等于50nm小于500nm的多個凹部，上述模具的制造方法包含工序(a)，對鋁基材的表面進行陽極氧化，由此形成具有多個微細凹部的多孔氧化鋁層；工序(b)，在上述工序(a)之后，使上述多孔氧化鋁層與蝕刻液接觸，由此使上述多孔氧化鋁層的上述多個微細凹部擴大；以及工序(c)，在上述工序(b)之后，進一步對上述表面進行陽極氧化，由此使上述多個微細凹部成長，在上述工序 (c)中施加的電壓高于在上述工序(a)中施加的電壓。在某實施方式中，上述工序(C)之后的上述微細凹部的數(shù)量密度小于上述工序 (a)之后的上述微細凹部的數(shù)量密度的1. 26倍。在某實施方式中，上述工序(a)和上述工序(C)在相同的電解液中進行。在某實施方式中，上述工序(a)中的上述多孔氧化鋁層的厚度方向的成長速度大于等于0. 5nm/sec小于等于;35nm/sec。在某實施方式中，上述工序(C)中的上述多孔氧化鋁層的厚度方向的成長速度大于等于0. 5nm/sec小于等于;35nm/sec。在某實施方式中，上述工序(a)和上述工序(C)在相同的電解液中進行，上述工序 (a)中的上述多孔氧化鋁層的厚度方向的成長速度小于上述工序(c)中的上述多孔氧化鋁層的厚度方向的成長速度。在某實施方式中，包含如下工序在上述工序(a)之前，對上述鋁基材的表面進行陽極氧化，由此形成阻擋型氧化鋁層。在某實施方式中，上述多個微細凹部的中心間隔的平均值大于等于180nm。在某實施方式中，在上述工序(c)之后還進行上述工序(b)和上述工序(c)。本發(fā)明的模具是利用上述任一種制造方法制作的模具，上述模具具有多孔氧化鋁層，上述多孔氧化鋁層在表面具有反轉(zhuǎn)的蛾眼結(jié)構(gòu)，上述反轉(zhuǎn)的蛾眼結(jié)構(gòu)具有從表面的法線方向觀看時的二維大小大于等于50nm小于500nm的多個凹部。
本發(fā)明的其它模具是利用上述任一種制造方法制作的模具，上述模具具有多孔氧化鋁層，上述多孔氧化鋁層在表面具有反轉(zhuǎn)的蛾眼結(jié)構(gòu)，上述反轉(zhuǎn)的蛾眼結(jié)構(gòu)具有從表面的法線方向觀看時的二維大小大于等于50nm小于500nm的多個凹部，上述多個凹部的中心間隔大于等于50nm小于500nm，上述多個凹部的形狀為圓錐狀，上述多個凹部的縱橫比大于等于0. 5小于等于6. 0。在此，所謂多個凹部的縱橫比是指凹部的深度相對于二維大小 (直徑)之比。本發(fā)明的防反射膜是使用上述模具制作的防反射部件，其在表面設(shè)有多個凸部， 上述多個凸部具有直徑大于等于50nm小于等于500nm的底面，上述多個凸部以不具有周期性的方式配置，在上述表面存在多個上述多個凸部中的2個以上的凸部彼此接觸的部位， 上述2個以上的凸部彼此接觸的部位的數(shù)量密度小于等于1. 3個/ μ m2。在此，所謂“不具有周期性”是指例如，上述多個凸部中的某凸部的頂點和離上述某凸部的頂點最近的凸部的頂點的距離與上述多個凸部中的其它凸部的頂點和離上述其它凸部的頂點最近的凸部的頂點的距離不同。在某實施方式中，當(dāng)進行上述工序(b)時，上述多孔氧化鋁層的空隙率增大16% 以上以下。在此，所謂多孔氧化鋁層的空隙率是指在多孔氧化鋁層的表面上，細孔的開口部在每單位面積中所占的面積的比例。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明，可提供能抑制在1個細孔中形成多個微細孔的模具的制造方法。


圖1 (a) (e)是用于說明本發(fā)明的實施方式的蛾眼用模具100A的制造方法的示意截面圖。圖2(a) (e)是用于說明比較例的蛾眼用模具200A的制造方法的示意截面圖。圖3 (a)、(b)、(c)分別是示出實施例1、實施例2、比較例1的蛾眼用模具的表面的 SEM像的圖。圖4是用于說明使用蛾眼用模具100A形成防反射膜的工序的示意截面圖。圖5是示出產(chǎn)生了粘連的防反射膜的表面部分的立體圖(SEM像)的圖。圖6(a)、(b)、(c)是分別示出防反射膜110A、110B、210A的表面的SEM像的圖。圖7是用于說明防反射膜IlOA的散射光強度的測定系統(tǒng)的示意圖。圖8是示出防反射膜110A、110B、210A的散射光強度的波長依存性的坐標(biāo)圖。圖9(a)、(b)、(c)、(d)、(e)是分別示出防反射膜 300A、300B、300C、300D、300E 的表面的SEM像的圖。圖10是示出防反射膜300A、300B、300C、300D、300E的散射光強度的波長依存性的
坐標(biāo)圖。圖11 (a) (c)是用于說明在預(yù)先形成阻擋型氧化鋁層后形成多孔氧化鋁層的方法的示意截面圖。
具體實施例方式下面，參照

本發(fā)明的實施方式的蛾眼用模具及其制造方法，但本發(fā)明不限于例示的實施方式。此外，在此對采用鋁膜的鋁基材的例子進行說明，該鋁膜是在基板 (例如玻璃基板)上使用薄膜沉積技術(shù)所形成的，但鋁基材可以是鋁的塊材。如圖1 (b) (d)所示，本發(fā)明的實施方式的模具的制造方法包含如下工序?qū)︿X基材10的表面(鋁膜18的表面18s)進行陽極氧化，由此形成具有多個微細凹部14p的多孔氧化鋁層14的工序(圖1 (b))；使多孔氧化鋁層14與蝕刻液接觸，由此使多孔氧化鋁層 14的多個微細凹部14p擴大的工序(圖1(c))；以及進一步對表面進行陽極氧化，由此使多個微細凹部14p成長的工序(圖1(d))。在本發(fā)明的實施方式的模具的制造方法中，在第2 次陽極氧化的施加電壓大于第1次陽極氧化的施加電壓的方面具有1個特征。根據(jù)本發(fā)明的實施方式的模具的制造方法，能制造在表面具有反轉(zhuǎn)的蛾眼結(jié)構(gòu)的模具，反轉(zhuǎn)的蛾眼結(jié)構(gòu)具有從表面的法線方向觀看時的二維大小大于等于50nm小于500nm的多個凹部。下面， 參照圖1(a) (e)說明本發(fā)明的實施方式的蛾眼用模具的制造方法。首先，如圖1 (a)所示，準(zhǔn)備具有玻璃基板16和沉積于玻璃基板16上的鋁膜18的鋁基材10。例如，準(zhǔn)備使用真空蒸鍍法或者濺射法在玻璃基板16上形成厚度1 μ m的鋁膜 18的鋁基材10。接著，如圖1(b)所示，對基材10的表面(鋁膜18的表面18s)進行陽極氧化，由此形成具有多個細孔14p (微細凹部)的多孔氧化鋁層14。多孔氧化鋁層14具有多孔層和阻擋層，多孔層具有細孔14p。多孔氧化鋁層14例如通過在酸性的電解液中對表面18s 進行陽極氧化而形成。在形成多孔氧化鋁層14的工序中使用的電解液例如是包含選自包括草酸、酒石酸、磷酸、鉻酸、檸檬酸、蘋果酸的組的酸的水溶液。例如，如后述的實施例1那樣，使用草酸水溶液(濃度0.6wt%、液溫5°C )以施加電壓80V對鋁膜18的表面18s進行 25秒鐘陽極氧化，由此形成多孔氧化鋁層14。接著，如圖1(c)所示，通過使多孔氧化鋁層14與氧化鋁的蝕刻劑接觸而蝕刻規(guī)定量，由此擴大細孔14p的孔徑。在此，采用濕式蝕刻，由此能大致各向同性地蝕刻細孔壁和阻擋層。調(diào)節(jié)蝕刻液的種類、濃度以及蝕刻時間，由此能控制蝕刻量(即，細孔14p的大小和深度)。作為蝕刻液，能使用例如10質(zhì)量％的磷酸、甲酸、乙酸、檸檬酸等有機酸的水溶液、 鉻酸磷酸混合水溶液。例如，如后述的實施例1那樣，使用磷酸(lmol/L(升)、30°C )進行 25分鐘蝕刻。接著，如圖1 (d)所示，再次對鋁膜18部分地進行陽極氧化，由此使細孔14p在深度方向成長并且加厚多孔氧化鋁層14。在第2次陽極氧化工序中，施加比在第1次陽極氧化工序中施加的電壓高的電壓。例如，如后述的實施例1那樣，在第2次陽極氧化工序中，施加比在第1次陽極氧化工序中施加的電壓80V高的90V，使用草酸水溶液(濃度0. 6wt%, 液溫5°C )進行18秒鐘陽極氧化，由此使細孔14p成長。在第2次陽極氧化工序中比第1 次陽極氧化工序升高施加電壓，由此如后面詳述，在第2次陽極氧化工序中，能難以生成在第1次陽極氧化工序所形成的細孔的內(nèi)面形成有多個微細孔的結(jié)構(gòu)(下面也稱為“形成有多個微細孔的細孔”。)。第2次陽極氧化工序只要在與第1次陽極氧化工序相同的電解液中進行即可。而且，然后根據(jù)需要使多孔氧化鋁層14與氧化鋁的蝕刻劑接觸而進一步蝕刻，由此進一步擴大細孔14p的孔徑。作為蝕刻液，在此也優(yōu)選使用上述的蝕刻液，實際上，只要使用相同的蝕刻液即可。
這樣，反復(fù)進行上述的陽極氧化工序和蝕刻工序，由此如圖1(e)所示，得到具有多孔氧化鋁層14的蛾眼用模具100A，多孔氧化鋁層14具有期望的凹凸形狀。此外，為了形成防反射性能優(yōu)良的防反射膜，優(yōu)選細孔14p的從表面的法線方向觀看時的二維大小大于等于IOnm小于500nm(上述專利文獻1、2以及4)，進一步優(yōu)選大于等于50nm小于500nm。本發(fā)明人反復(fù)進行陽極氧化和蝕刻來制作蛾眼用模具的結(jié)果是，有時在第1次陽極氧化所形成的細孔內(nèi)在第2次陽極氧化工序中形成有多個微細孔。根據(jù)本發(fā)明的實施方式的蛾眼用模具的制造方法，將第2次陽極氧化的施加電壓設(shè)為大于第1次陽極氧化的施加電壓，由此能減少形成有多個微細孔的細孔的數(shù)量。下面詳細說明該情況。首先，參照圖2說明將第1次陽極氧化工序的施加電壓和第2次陽極氧化工序的施加電壓設(shè)為相同的現(xiàn)有的蛾眼用模具的制造方法、以及在第1次和第2次陽極氧化工序的施加電壓相同的情況下產(chǎn)生較多形成有多個微細孔的細孔。首先，如圖2 (a)所示，準(zhǔn)備具有玻璃基板56和沉積于玻璃基板56上的鋁膜58的鋁基材50。接著，如圖2(b)所示，對基材50的表面(鋁膜58的表面58s)進行陽極氧化，由此形成具有多個細孔54p的多孔氧化鋁層54。例如，如后述的比較例1那樣，使用草酸水溶液(濃度0. 6wt%、液溫5°C )以施加電壓80V對鋁膜58的表面58s進行陽極氧化，由此形成多孔氧化鋁層M。接著，如圖2(c)所示，蝕刻多孔氧化鋁層54，由此擴大細孔Mp的孔徑。接著，如圖2 (d)所示，再次對鋁膜58部分地進行陽極氧化，由此使細孔54p在深度方向成長并且加厚多孔氧化鋁層54。在第2次陽極氧化工序中施加的電壓與在第1次陽極氧化工序中施加的電壓相同。例如，如后述的比較例1那樣，在第2次陽極氧化工序中， 施加與在第1次陽極氧化工序中施加的電壓相同大小的80V。然后，反復(fù)進行蝕刻工序和陽極氧化工序，得到圖2(e)所示的蛾眼用模具200A。本發(fā)明人將第1次陽極氧化工序的施加電壓和第2次陽極氧化工序的施加電壓設(shè)為相同來制作蛾眼用模具的結(jié)果是如圖2(d)中示意性示出的細孔Mp’那樣，有時在第1 次陽極氧化工序(圖2(b))形成的多個細孔的一部分的內(nèi)面形成有多個微細孔。這樣，認為能按如下方式說明形成有多個微細孔的細孔產(chǎn)生的原因。此外，下面將細孔Mp’的結(jié)構(gòu)稱為“在1個細孔中形成有微細孔的結(jié)構(gòu)”或者“形成有多個微細孔的細孔”。首先，說明通過施加一定電壓的陽極氧化形成多孔氧化鋁層的機理。一般，通過施加一定電壓的陽極氧化形成多孔氧化鋁層的機理被分為以下的4個模式I IV進行說明。模式I 在陽極氧化的初始階段，在鋁的表面形成薄的阻擋層。當(dāng)鋁的表面平坦時，均勻地形成平坦的薄的阻擋層。整體的電流密度單調(diào)減少。模式II 在阻擋層變厚的過程中，通過阻擋層的體積膨脹而在表面形成凹凸。當(dāng)在表面形成凹凸時，伴隨于此，施加于阻擋層的電場的強度產(chǎn)生分布(同時電流密度也產(chǎn)生分布)。其結(jié)果是引起局部溶解。模式III 在電場集中的凹部，由于電場和/或局部的溫度上升，電解液的溶解力提高，形成細孔。細孔的底部變?yōu)橥胄?，引起溶解的界面的面積增大的結(jié)果是，整體的電流密度上升。模式IV —部分細孔的成長停止，其它細孔成長。細孔的數(shù)量為一定，穩(wěn)定地繼續(xù)成長。整體的電流密度再次降低。此時，阻擋層的厚度不變化。阻擋層的厚度由陽極氧化中的施加電壓決定。在此，已知經(jīng)由細孔的穩(wěn)定成長過程而得到的多孔氧化鋁層的細孔間隔的大小依賴于施加電壓的大小。之所以在細孔內(nèi)容易形成多個微細孔認為起因于如下情況如下所示，在第1次陽極氧化后進行蝕刻，由此阻擋層變薄以及細孔底部被擴大。認為如下進行蝕刻工序，阻擋層變薄，由此從模式II起在細孔內(nèi)重新進行陽極氧化，因此重新形成微細孔。認為在第1次陽極氧化中到達模式III IV，但認為由于阻擋層變薄而在第2次陽極氧化中返回模式III之前的狀態(tài)。認為其結(jié)果是，在第2次陽極氧化中， 在細孔內(nèi)重新進行模式II III或者II IV，重新形成微細孔。另外，認為如下由于進行蝕刻工序則細孔底部被擴大，在多個部位容易形成上述新的微細孔。細孔底部因蝕刻而被擴大，由此底部的曲率變小。因此認為與未進行蝕刻的情況相比，施加比較高的電場的范圍寬廣。認為如下在該情況下，例如在細孔底部具有微小的凹凸形狀時，以凹凸形狀為契機、電場產(chǎn)生分布而在多個部位集中電場，在多個部位產(chǎn)生局部溶解。另外，之所以當(dāng)?shù)?次和第2次陽極氧化的施加電壓相同時在第1次陽極氧化所形成的細孔內(nèi)容易形成多個微細孔也被認為如下。為了在利用第1次陽極氧化所形成的細孔內(nèi)形成多個微細孔，需要以比利用第1次陽極氧化所形成的多孔氧化鋁層的細孔間隔小的間隔形成細孔。在此，認為在陽極氧化時實際施加于鋁基材的表面的電壓(有效電壓) 具有分布。認為該有效電壓的分布起因于例如電解液的局部的濃度分布。認為如下因為有效電壓越小越容易以小的間隔形成細孔，所以在第2次陽極氧化中有效電壓比較低的鋁基材的表面部分，在第1次陽極氧化所形成的細孔內(nèi)容易重新以小的間隔形成微細孔。認為通過進行蝕刻而在上述的有效電壓比較低的部分容易重新形成微細孔。為了進行第2次陽極氧化，需要在形成比細孔底部的已經(jīng)形成的阻擋層的厚度厚的阻擋層的條件下進行第2次陽極氧化。這是因為在形成比細孔底部的已經(jīng)形成的阻擋層的厚度薄的阻擋層的條件下進行第2次陽極氧化的情況下，對鋁基材未提供充分的電流，所以未進行陽極氧化。一般，在細孔間隔與阻擋層的厚度之間大致比例關(guān)系成立，所以為了重新形成微細孔，需要進行形成薄的阻擋層的陽極氧化。認為如上所述，在蛾眼用模具的制造工序中， 通過在第1次陽極氧化后進行蝕刻，阻擋層變薄，所以即使是電壓比較低的部分，也容易進行形成微細孔的陽極氧化。在本發(fā)明的實施方式的制造方法中，通過升高第2次施加電壓，能在細孔內(nèi)難以形成多個微細孔。能認為在形成有上述的多個微細孔的細孔中，在第1次陽極氧化中所形成的細孔內(nèi)以小的間隔形成有微細孔。如上所述，經(jīng)由細孔的穩(wěn)定成長過程而得到的多孔氧化鋁層的細孔間隔的大小依賴于施加電壓的大小。當(dāng)施加電壓大時，形成有細孔間隔大的多孔氧化鋁層。在第2次陽極氧化中升高施加電壓，由此難以以小的間隔形成微細孔，所以在第1次陽極氧化中所形成的細孔內(nèi)難以形成多個微細孔。另外，通過升高第2次陽極氧化的施加電壓，上述的電壓比較低的、容易重新形成微細孔的部分的有效電壓變高，所以認為在細孔內(nèi)以第2次陽極氧化難以形成多個微細孔。
本發(fā)明人使用如蛾眼用模具200A(圖2(e))的比較多地形成了形成有多個微細孔的細孔的模具制作防反射膜時，如后所述，產(chǎn)生如下問題容易產(chǎn)生被轉(zhuǎn)印物的表面的多個突起(也稱為“多個凸部”。)相互連在一起而成束的粘連現(xiàn)象。利用本發(fā)明的實施方式的制造方法制作的蛾眼用模具100A(圖1(e))與蛾眼用模具200A相比形成有多個微細孔的細孔少，所以在使用蛾眼用模具100A制作防反射膜的情況下，與使用蛾眼用模具200A相比，具有能減小產(chǎn)生粘連現(xiàn)象的部位的數(shù)量密度的優(yōu)點。本發(fā)明的實施方式的蛾眼用模具的制造方法也能使用于具有期望的縱橫比的蛾眼用模具的制造。通過減小縱橫比，能抑制上述粘連的產(chǎn)生。在此，所謂蛾眼用模具的縱橫比是細孔的深度相對于二維大小(直徑)之比。此外，例如通過調(diào)節(jié)陽極氧化時間來調(diào)節(jié)細孔的深度，由此能調(diào)節(jié)細孔的縱橫比。調(diào)查縱橫比和粘連密度的關(guān)系的實驗如后詳述。接著，對形成有多個微細孔的細孔的數(shù)量密度進行說明。形成有多個微細孔的細孔的數(shù)量密度例如通過調(diào)節(jié)第1次陽極氧化的施加電壓和第2次陽極氧化的施加電壓之差而能變化。如例如后述的實施例1和2中所示，對于形成有多個微細孔的細孔的數(shù)量密度， 與相對于第1次施加電壓80V將第2次施加電壓設(shè)為90V的實施例1 (形成有多個微細孔的細孔的數(shù)量密度2. 44)相比將第2次電壓設(shè)為100V的實施例2 (形成有多個微細孔的細孔的數(shù)量密度0. 81)能減小。另外，在實施例1和2中，使第2次陽極氧化的施加電壓大于第1次陽極氧化的施加電壓，由此能使第2次陽極氧化工序后的多孔氧化鋁層的微細凹部的數(shù)量密度(包含細孔和在細孔內(nèi)所形成的微細孔的全部微細凹部的數(shù)量密度)小于第1次陽極氧化后的微細凹部的數(shù)量密度的1. 26倍。另外，優(yōu)選第1次陽極氧化的施加電壓和第2次陽極氧化的施加電壓之差大于等于第1次陽極氧化的施加電壓的8分之1，進一步優(yōu)選大于等于4分之1。此外，如果第2 次陽極氧化的施加電壓比第1次陽極氧化的施加電壓稍微大，則能降低形成有多個微細孔的細孔的數(shù)量密度。此外，一般當(dāng)陽極氧化的施加電壓比較大(例如150V程度)時，有時產(chǎn)生鋁膜的斷線。因此，優(yōu)選第2次陽極氧化的施加電壓在不超過150V的范圍增大。接著，對各工序中的多孔氧化鋁層的厚度方向的成長速度進行說明?；诳刂菩缘挠^點，優(yōu)選第1次陽極氧化工序中的多孔氧化鋁層的厚度方向的成長速度小于等于 35nm/sec0根據(jù)本發(fā)明人的研究，在多孔氧化鋁層的成長速度超過35nm/sec的情況下，有時不能對鋁基材的表面整體均勻地進行陽極氧化。另外，基于生產(chǎn)率的觀點，優(yōu)選第1次陽極氧化工序中的多孔氧化鋁層的厚度方向的成長速度大于等于0. 5nm/sec0基于同樣的理由，優(yōu)選第2次陽極氧化工序中的多孔氧化鋁層的厚度方向的成長速度大于等于0. 5nm/ sec小于等于35nm/sec。此外，一般多孔氧化鋁層的厚度方向的成長速度可根據(jù)例如電解液的種類、電解液的濃度以及施加電壓而變化。如果電解液的種類和濃度相同，則施加電壓越高，多孔氧化鋁層的成長速度越大。另外，如果施加電壓相同，則電解液的濃度越高，成長速度越大。如上所述，在本發(fā)明的實施方式的蛾眼用模具的制造方法中，第1次和第2次陽極氧化只要在相同的電解液中進行即可。此時，在本發(fā)明的實施方式的制造方法中第2次陽極氧化工序的施加電壓大于第1次陽極氧化工序的施加電壓，所以第2次陽極氧化工序的多孔氧化鋁層的厚度方向的成長速度大于第1次陽極氧化工序的多孔氧化鋁層的厚度方向的成長速度。此外，在后述的實施例1、2、比較例1的陽極氧化中，多孔氧化鋁層的成長速度是 3. 6 9. Onm/sec。接著，說明多孔氧化鋁層的空隙率的優(yōu)選范圍。蛾眼用模具100A(作為圖1(e))， 優(yōu)選空隙率大于等于75%小于等于95%。為了將蛾眼用模具IOOA的空隙率設(shè)為大于等于 75%小于等于95%，優(yōu)選如下例如，如后述的實施例1和2那樣，交替地進行5次(陽極氧化5次，蝕刻4次)陽極氧化工序和蝕刻工序，由此在制作蛾眼用模具IOOA的情況下，每進行1次蝕刻工序，空隙率增大16%以上以下。此外，在本說明書中，所謂多孔氧化鋁層的空隙率是指在開口面上，細孔的開口部在每單位面積中所占的面積的比例?？障堵适菍⒓毧椎拈_口部近似為圓來計算。即，由多孔氧化鋁層的表面的SEM像測定細孔的半徑，由該半徑計算出圓的面積來求出空隙率。在本發(fā)明的實施方式的制造方法中，為了增大細孔間隔(細孔的中心間隔)(例如大于等于ISOnm)，優(yōu)選在上述的第1次陽極氧化工序之前形成阻擋型氧化鋁層。形成阻擋型氧化鋁層的方法、形成阻擋型氧化鋁層的實驗例將后述。下面示出實施例和比較例，更詳細地說明本發(fā)明的實施方式的陽極氧化層的形成方法。(實施例1-2、比較例1)實施例1和2的蛾眼用模具具有圖1 (e)所示的蛾眼用模具IOOA的構(gòu)成。按照如下進行參照圖1 (a) (e)說明的制造工序。此外，實施例1和2在第2次以后的陽極氧化中施加的電壓和處理時間互相不同。作為基材10 (圖1 (a))，使用在5cm見方的玻璃基板16 (厚度0. 7mm)上用濺射法形成厚度ι μ m的鋁膜18而制作的基材。此外，鋁膜18通過進行5次沉積厚度為200nm的鋁層的工序而形成。使用基材10交替地進行5次(5次陽極氧化，4次蝕刻)陽極氧化工序和蝕刻工序，由此制作蛾眼用模具100A。在實施例1和2的任一個中，第1次陽極氧化工序都使用草酸水溶液(濃度0. 6wt%、液溫5°C )，施加80V的電壓進行25秒鐘。第2次以后的陽極氧化工序與第1次陽極氧化工序相同，使用電解液，在實施例1中以施加電壓90V進行18秒鐘，在實施例2中以施加電壓IOOV進行10秒鐘。蝕刻工序使用磷酸水溶液(濃度lmol/L、 液溫30°C )進行25分鐘。比較例1在施加相同的電壓進行全部的陽極氧化工序的方面與實施例1及2不同。5次陽極氧化工序均使用草酸水溶液(濃度0. 6wt%、液溫5°C )施加80V的電壓進行 25秒鐘。蝕刻工序與實施例1及2的蝕刻條件相同。實施例1、2、比較例1的第2次以后的陽極氧化時間以實施例1、2、比較例1的任一個的模具的多孔氧化鋁層的細孔的深度都成為相同程度QOOnm程度)的方式進行調(diào)節(jié)。圖3(a)、(b)、(c)分別示出實施例1、2、比較例1的蛾眼用模具的表面的SEM像。 如圖3(a) (c)所示，在實施例1、2、比較例1的任一個中得到在表面整體形成有多個大致圓錐狀的細孔的蛾眼用模具?？磮D3(c)可知在比較例1的蛾眼用模具的多孔氧化鋁層產(chǎn)生大量形成有2 3個程度的微細孔的細孔。比較圖3(c)、圖3(a)以及(b)可知看到比較例1的蛾眼用模具中形成有這樣的多個微細孔的細孔與實施例1及2相比多。表1示出在圖3(a) (c)所示的范圍(3 μ mX 2 μ m( = 6 μ m2))中計算出的形成有多個微細孔的細孔的個數(shù)和數(shù)量密度。
[表1]
實施例 1實施例 2比較例 1第1次陽極氧化的施加電壓(V)808080第1次陽極氧化的時間(sec)252525第1次陽極氧化的多孔氧化鋁層的成長速度 (nm/sec )3.63.63.6第2次以后的陽極氧化的施加電壓(V )9010080第2次以后的陽極氧化的時間(sec )181025第2次以后的陽極氧化的多孔氧化鋁層的成長速度(nm/sec )5.09.03.6形成有多個微細孔的細孔的個數(shù)(個)15550形成有多個微細孔的細孔的數(shù)量密度(個/μηι2)2.440.818.14 —....如表1所示，實施例1和2的任一個與比較例1的蛾眼用模具相比，都能減小形成有多個微細孔的細孔的數(shù)量密度。這樣，通過使第2次陽極氧化的施加電壓大于第1次陽極氧化的施加電壓，與使第1次和第2次陽極氧化的施加電壓相同的情況相比，形成有多個微細孔的細孔的數(shù)量減少。另外，當(dāng)比較實施例1和2時，實施例2與實施例1相比形成有多個微細孔的細孔的數(shù)量密度小。S卩，與第1次相比，第2次的電壓越高，形成有多個微細孔的細孔的數(shù)量密度越小。 這被認為如下。如上所述，在形成多孔氧化鋁層的陽極氧化中，施加電壓越大，形成細孔間隔越大的多孔氧化鋁層。為了在利用第1次陽極氧化所形成的細孔內(nèi)形成微細孔，需要以比第1次細孔間隔小的間隔形成細孔。因此認為第2次電壓越大，越難以以小的間隔形成細孔，結(jié)果是形成有多個微細孔的細孔的數(shù)量密度變小。實施例2能減小形成有多個微細孔的細孔的數(shù)量密度的理由也能說明如下。認為如下如上所述，在陽極氧化時實際施加于鋁基材的電壓(有效電壓)具有分布，在有效電壓比較低的部分，在第1次陽極氧化中所形成的細孔內(nèi)容易形成多個微細孔。認為如下實施例2的第2次陽極氧化的施加電壓大，所以與實施例1相比，可重新形成有多個微細孔的部分(有效電壓比較低的部分)的有效電壓變大，由此難以重新形成微細孔。認為其結(jié)果是，與實施例1相比，能減少可重新有多個微細孔的細孔的數(shù)量。另外，在比較例1的蛾眼用模具中，在第1次陽極氧化中每1 μ m2形成30個程度的細孔。形成有多個微細孔的細孔的數(shù)量密度為8. 14個/ μ m2，所以第2次陽極氧化工序后的多孔氧化鋁層的微細凹部的數(shù)量密度(包含細孔及在細孔內(nèi)所形成的微細孔的全部微細凹部的數(shù)量密度)為第1次陽極氧化后的微細凹部的數(shù)量密度的1.沈倍。在實施例1和2中，第2次陽極氧化的微細凹部的增加比例分別為1. 08倍和1. 03倍。在實施例1和 2中，通過增大第2次陽極氧化的施加電壓，能將第2次陽極氧化的微細凹部的增加比例設(shè)為小于U倍。另外，如后面詳述，使用實施例1、2、比較例1的蛾眼用模具制作防反射膜的結(jié)果是，與使用比較例1的蛾眼用模具得到的防反射膜相比，使用實施例1、2的蛾眼用模具得到的防反射膜能降低粘連密度O個以上的凸部彼此接觸的部位的數(shù)量密度)。接著，參照圖4對使用利用本發(fā)明的實施方式的制造方法制作的蛾眼用模具100A 的防反射膜的制造方法進行說明。首先，如圖4所示，準(zhǔn)備蛾眼用模具100A。接著，以在被加工物42的表面與模具之間施加紫外線固化樹脂32的狀態(tài)對紫外線固化樹脂32照射紫外線(UV)，由此使紫外線固化樹脂32固化。紫外線固化樹脂32可以預(yù)先施加在被加工物42的表面，也可以預(yù)先施加在模具的模具面(具有蛾眼結(jié)構(gòu)的面)。 作為紫外線固化樹脂，能使用例如丙烯酸系樹脂。然后，從被加工物42分離蛾眼用模具100A，由此被轉(zhuǎn)印了蛾眼用模具100A的凹凸結(jié)構(gòu)的紫外線固化樹脂32的固化物層形成于被加工物42的表面。此外，作為構(gòu)成蛾眼結(jié)構(gòu)的凸部，優(yōu)選具有直徑大于等于50nm小于等于500nm的底面。另外，為了防止無用的衍射光的產(chǎn)生，優(yōu)選以不具有周期性的方式配置凸部。在此， 所謂“不具有周期性”是指例如，多個凸部中的某凸部的頂點和離某凸部的頂點最近的凸部的頂點的距離與多個凸部中的其它凸部的頂點和離其它凸部的頂點最近的凸部的頂點的距離不同。另外，所謂“不具有周期性”是指例如，如果從某細孔的重心朝向與該細孔相鄰的全部細孔各自的重心的矢量總和大于等于矢量的全長的5%，則可以說實際上不具有周期性。另外，優(yōu)選構(gòu)成蛾眼結(jié)構(gòu)的凸部的形狀為圓錐狀。當(dāng)凸部為圓錐狀時，能提高防反射作用。因此，優(yōu)選蛾眼用模具的細孔的形狀為圓錐狀。另外，蛾眼用模具100A的多孔氧化鋁層的細孔的從表面的法線方向觀看時的二維大小與細孔間隔(細孔的中心間隔)大致相同。為了制作防反射性能優(yōu)良的防反射膜，優(yōu)選細孔的二維大小和細孔間隔大于等于50nm 小于500nm。細孔的形狀、大小能通過調(diào)節(jié)陽極氧化的條件、次數(shù)和/或蝕刻的條件、次數(shù)等而變更。如比較例1那樣，使用利用將第1次陽極氧化工序的施加電壓和第2次陽極氧化工序的施加電壓設(shè)為相同的現(xiàn)有的制造方法制作的蛾眼用模具，利用與上述的防反射膜的制造方法同樣的方法制作防反射膜的結(jié)果是，產(chǎn)生很多被轉(zhuǎn)印物的表面的多個突起彼此連在一起而成束的粘連現(xiàn)象。具有如下問題當(dāng)產(chǎn)生粘連現(xiàn)象的部位多時，如后所述，與非彩色的色差ΔΕ變大。圖5示出產(chǎn)生了粘連的被加工物的表面部分的立體SEM像。圖5是后述的防反射膜300C的表面的一部分。此外，為了說明，對防反射膜300C的表面擦水，由此較多地產(chǎn)生粘連。如圖5所示，在被加工物的表面，多個突起0 5個)撓曲地接觸。此外，圖5所示的防反射膜的表面的蛾眼結(jié)構(gòu)的底面的直徑的平均值為180nm，高度的平均值為200nm。如比較例1的蛾眼用模具200A那樣，當(dāng)在1個細孔中形成有多個微細孔的部分多時，在被加工物的表面多個突起容易接觸。在1個細孔中形成有多個微細孔的部分，相鄰的孔(微細孔)彼此的間隔小。因此，當(dāng)轉(zhuǎn)印該結(jié)構(gòu)時，被加工物的表面的突起彼此容易接觸。 另外，在形成有多個微細孔的細孔(圖2(d)所示的Mp’ )中，多個微細孔相對于細孔的內(nèi)面垂直地形成，所以相對于模具面傾斜地形成。認為如下粘連由于突起彼此撓曲地(即， 斜向地傾斜)接觸而產(chǎn)生，所以斜向地形成的微細孔被轉(zhuǎn)印而形成的突起容易成為粘連的產(chǎn)生原因。接著，說明如下實驗結(jié)果調(diào)查使用實施例1、2以及比較例1的蛾眼用模具制作的防反射膜(下面分別稱為防反射膜110A、110B、210A。)的粘連的個數(shù)(數(shù)量密度)、散射光強度，并且根據(jù)散射光強度的波長色散來評價散射光的顏色。使用實施例1和2的蛾眼用模具(蛾眼用模具100A)，利用參照圖4說明的方法制作防反射膜110A、110B。作為被加工物42使用TAC膜。以在TAC膜的表面與模具之間施加紫外線固化樹脂的狀態(tài)對紫外線固化樹脂照射紫外線(2J/cm2)，由此使紫外線固化樹脂固化。 此外，TAC膜為了氣泡不進入而用輥使其貼合。然后，從TAC膜分離蛾眼用模具，由此得到被轉(zhuǎn)印有蛾眼用模具的凹凸結(jié)構(gòu)的紫外線固化樹脂的固化物層形成于TAC膜上的防反射膜。圖6(a)和(b)分別示出防反射膜IlOA和IlOB的表面的SEM像，表2示出粘連的個數(shù)和密度。由圖6(a)、(b)的SEM像計算出以多個突起接觸的結(jié)構(gòu)作為粘連的個數(shù)和密度。圖6(a)和(b)所示的范圍中的粘連的個數(shù)分別為6和1。由粘連的個數(shù)計算出圖6 (a) 和(b)所示的范圍(4μπιΧ5μπι( = 20μπι2))中防反射膜1IOA和1IOB的表面的粘連的數(shù)量密度O個以上的突起接觸的部位的數(shù)量密度)的結(jié)果是，分別為0.3和0.05。另外，使用比較例1的蛾眼用模具(蛾眼用模具200Α)，利用與上述同樣的方法制作防反射膜210Α。由防反射膜210Α的表面的SEM像(圖6(c))計算出粘連的個數(shù)和密度的結(jié)果是，分別為22和1.1。因此，通過使用實施例1和2的蛾眼用模具，與比較例1相比能降低粘連的產(chǎn)生。 另外，使用實施例2的蛾眼用模具制作的防反射膜的粘連密度與實施例1相比小。該情況被認為起因于實施例2的蛾眼用模具的形成有多個微細孔的細孔少。接著，參照圖7和圖8說明對基于防反射膜110Α、110Β以及210Α的散射光強度的波長依存性進行調(diào)查的結(jié)果。圖7是示意性示出防反射膜IlOA的散射光強度的測定系統(tǒng)的圖。如圖7所示，將防反射膜IlOA固定于透明丙烯酸板46，從相對于透明丙烯酸板46的內(nèi)面設(shè)置成θ 1(在此為30° )的角度的光源M照射光，使用相對于透明丙烯酸板46的表面設(shè)置成Θ2(在此為30° )的角度的亮度計52 (超低亮度分光放射計(SR-UL1、T0PC0N公司制造))測定散射光強度(圖7中用箭頭示意性示出散射光。)。作為光源M使用標(biāo)準(zhǔn)光D65。相對于透明丙烯酸板46，在光源M的相反側(cè)和亮度計52的相反側(cè)分別配置吸收體56a和56b。此外，將Θ1和Θ2設(shè)為30°是為了除去正反射成分。另外，在光源M的相反側(cè)和亮度計52 的相反側(cè)分別配置吸收體56a和56b是為了除去雜散光。光源M的亮度設(shè)為3cd/m2。光源M和防反射膜IlOA的距離(圖7所示的11)設(shè)為15cm，亮度計52和防反射膜IlOA的距離(圖7所示的12)設(shè)為40cm。亮度計52的測定角設(shè)為2°。另外，測定波長范圍設(shè)為 380 780nm。圖8是示出防反射膜110A、110B、210A的散射光強度(亮度(cd/m2))的波長依存性的坐標(biāo)圖。圖8中對防反射膜110A、110B、210A分別用虛線、粗線、點線示出。從圖8可知在全部的波長區(qū)域中，散射光強度按防反射膜210A、110A、110B的順序變小。該情況被認為起因于粘連密度按上述順序變小。另外，由散射光強度的波長依存性評價散射光的顏色。使用以D65作為光源的散射光強度的波長色散和CIE 1931等顏色函數(shù)計算出三刺激值XYZ，求出LW表色系中的a*、 b*。將(f+b，172設(shè)為與非彩色的色差ΔΕ。表2示出對防反射膜110A、110B、210A求出的色差ΔΕ。優(yōu)選防反射膜的與非彩色的色差小，特別優(yōu)選小于等于3.0。這是因為當(dāng)與非彩色的色差大時，在作為顯示裝置的防反射膜使用的情況下，使顯示面板的顏色再現(xiàn)性降低。另外，一般當(dāng)對比的2個物體的色差超過3. 0時，則能識別它們的顏色不同，所以當(dāng)防反射膜的與非彩色的色差超過3. 0 時，色差大到與非彩色比較時能識別顏色的不同的程度，不優(yōu)選。防反射膜110A、110B以及 210A均能將與非彩色的色差ΔΕ設(shè)為小于等于3. 0。[表2]
權(quán)利要求
1.一種模具的制造方法，上述模具在表面具有反轉(zhuǎn)的蛾眼結(jié)構(gòu)，上述反轉(zhuǎn)的蛾眼結(jié)構(gòu)具有從表面的法線方向觀看時的二維大小大于等于50nm小于500nm的多個凹部，上述模具的制造方法包含工序(a)，對鋁基材的表面進行陽極氧化，由此形成具有多個微細凹部的多孔氧化鋁層；工序(b)，在上述工序(a)之后，使上述多孔氧化鋁層與蝕刻液接觸，由此使上述多孔氧化鋁層的上述多個微細凹部擴大；以及工序(c)，在上述工序(b)之后，進一步對上述表面進行陽極氧化，由此使上述多個微細凹部成長，在上述工序(c)中施加的電壓高于在上述工序(a)中施加的電壓。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的模具的制造方法，上述工序(c)之后的上述微細凹部的數(shù)量密度小于上述工序(a)之后的上述微細凹部的數(shù)量密度的1. 倍。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的模具的制造方法，上述工序(a)和上述工序(c)在相同的電解液中進行。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的模具的制造方法，上述工序(a)中的上述多孔氧化鋁層的厚度方向的成長速度小于上述工序(c)中的上述多孔氧化鋁層的厚度方向的成長速度。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項所述的模具的制造方法，包含工序(d)在上述工序(a)之前，對上述鋁基材的表面進行陽極氧化，由此形成阻擋型氧化鋁層。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中的任一項所述的模具的制造方法， 上述多個微細凹部的中心間隔的平均值大于等于180nm。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中的任一項所述的模具的制造方法， 在上述工序(c)之后還進行上述工序(b)和上述工序(C)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中的任一項所述的模具的制造方法， 上述鋁基材具有基板和沉積于上述基板上的鋁膜。
9.一種模具，是利用權(quán)利要求1至8中的任一項所述的制造方法制作的模具，上述模具具有多孔氧化鋁層，上述多孔氧化鋁層在表面具有反轉(zhuǎn)的蛾眼結(jié)構(gòu)，上述反轉(zhuǎn)的蛾眼結(jié)構(gòu)具有從表面的法線方向觀看時的二維大小大于等于50nm小于500nm的多個凹部。
10.一種模具，是利用權(quán)利要求1至8中的任一項所述的制造方法制作的模具，上述模具具有多孔氧化鋁層，上述多孔氧化鋁層在表面具有反轉(zhuǎn)的蛾眼結(jié)構(gòu)，上述反轉(zhuǎn)的蛾眼結(jié)構(gòu)具有從表面的法線方向觀看時的二維大小大于等于50nm小于500nm的多個凹部，上述多個凹部的中心間隔大于等于50nm小于500nm，上述多個凹部的形狀為圓錐狀，上述多個凹部的縱橫比大于等于0. 5小于等于6. 0。
11.一種防反射膜，是使用權(quán)利要求9或10所述的模具制作的防反射膜，上述防反射膜在表面設(shè)有多個凸部，上述多個凸部具有直徑大于等于50nm小于500nm 的底面，上述多個凸部以不具有周期性的方式配置，在上述表面存在多個上述多個凸部中的2個以上的凸部彼此接觸的部位， 上述2個以上的凸部彼此接觸的部位的數(shù)量密度小于等于1. 3個/ μ m2。
全文摘要
本發(fā)明的蛾眼用模具的制造方法包含工序(a)，對鋁膜(18)的表面(18s)進行陽極氧化，由此形成具有多個微細凹部(14p)的多孔氧化鋁層(14)；工序(b)，在工序(a)之后，使多孔氧化鋁層與蝕刻液接觸，由此使多孔氧化鋁層的多個微細凹部擴大；以及工序(c)，在工序(b)之后，進一步對表面進行陽極氧化，由此使多個微細凹部成長，在工序(c)中施加的電壓高于在工序(a)中施加的電壓。根據(jù)本發(fā)明，可提供能抑制在1個細孔中形成多個微細孔的模具的制造方法。
文檔編號B29C33/38GK102575372SQ20108004512
公開日2012年7月11日 申請日期2010年10月8日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月9日
發(fā)明者今奧崇夫, 石動彰信, 箕浦潔 申請人:夏普株式會社