專利名稱：樹(shù)脂封止成形裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及利用樹(shù)脂材料將電子元件尤其是芯片狀的半導(dǎo)體裝置(以下稱為半導(dǎo)體芯片)與搭載該半導(dǎo)體芯片的基板一起進(jìn)行封止成形的樹(shù)脂封止成形裝置。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，從個(gè)人計(jì)算機(jī)、手機(jī)、數(shù)碼相機(jī)、家電產(chǎn)品等電子設(shè)備中可見(jiàn)，為了與競(jìng)爭(zhēng)產(chǎn)品的差別化更加明顯，具有要求更加專用的電子元件的趨勢(shì)。另外，通過(guò)縮短新產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)周期、低價(jià)格化、多功能化，使購(gòu)買更換的需求增加，導(dǎo)致電子設(shè)備的壽命縮短。因此，電子元件的生產(chǎn)需要為少量多品種、能變量生產(chǎn)。
另外，近年來(lái)為了應(yīng)對(duì)電子設(shè)備的小型化、多樣化、低成本化，對(duì)于用于這些電子設(shè)備的電子元件要求高密度安裝和多功能、低成本。由此，開(kāi)發(fā)了樹(shù)脂封止型半導(dǎo)體裝置的小型化、薄形化、多銷化得到進(jìn)展的所謂CSP(ChipSize Package)的組件群(FBGA，F(xiàn)LGA，SON，QFN等)。作為這些組件群的制法，使用一種將大量半導(dǎo)體元件排列在1片基板的單面上并電氣連接，用樹(shù)脂一并封止后，沿著各個(gè)組件外周進(jìn)行切斷分離，得到單個(gè)的組件的MAP制法(Matrix Array Packaging Method)。該制法比如在1片基板上搭載1000個(gè)半導(dǎo)體芯片，一次樹(shù)脂封止成形能將1000個(gè)半導(dǎo)體芯片進(jìn)行樹(shù)脂封止。
但是，將高密度地搭載在基板上的半導(dǎo)體芯片進(jìn)行電氣連接的作業(yè)中，若是傳統(tǒng)的引線結(jié)合法，則每片基板的引線結(jié)合工序所需的時(shí)間太長(zhǎng)，有時(shí)1小時(shí)只能生產(chǎn)數(shù)片。因此，存在為了樹(shù)脂封止數(shù)片基板、樹(shù)脂封止成形裝置的待機(jī)時(shí)間太長(zhǎng)的問(wèn)題。
針對(duì)這些問(wèn)題，近年來(lái)的樹(shù)脂封止成形裝置中，有一種如

圖14所示的，為了能少量多品種生產(chǎn)、變量生產(chǎn)，對(duì)最小構(gòu)成單位的造型單元可進(jìn)行增減的結(jié)構(gòu)(比如，參照專利文獻(xiàn)1專利第2932136號(hào))。
即，包括安裝有電子元件的樹(shù)脂封止前的引線框供給單元1；將該樹(shù)脂封止前引線框朝規(guī)定方向進(jìn)行排列的引線框排列單元2；樹(shù)脂片材供給單元3；將樹(shù)脂片材排列進(jìn)行搬出的樹(shù)脂片材搬出單元4；將電子元件進(jìn)行樹(shù)脂封止成形的造型單元5；將排列好的引線框及樹(shù)脂片材朝所述造型單元5進(jìn)行移送的裝運(yùn)器單元6；將成形后的樹(shù)脂封止完成的引線框進(jìn)行取出的取料器單元7；金屬模具的清潔器單元8；將樹(shù)脂封止完成后的引線框進(jìn)行移送的移送單元9；對(duì)樹(shù)脂封止完成后的引線框的澆口進(jìn)行除去的澆口除去單元10；將除去澆口后的樹(shù)脂封止完成后的引線框1分別卡接的拾取單元11；將卡接后的各個(gè)樹(shù)脂封止后的引線框個(gè)別收放在各料盒內(nèi)的引線框收放單元12；以及用于將上述各單元的各動(dòng)作連續(xù)且自動(dòng)進(jìn)行控制的控制器單元13等。
另外，不增減造型單元而作為可進(jìn)行少量多品種生產(chǎn)的樹(shù)脂封止成形裝置，有一種圖15所示的樹(shù)脂封止成形裝置(比如，參照專利文獻(xiàn)2日本專利特開(kāi)平9-314612號(hào)公報(bào))。
即，所述樹(shù)脂封止成形裝置包括將成形前的引線框21進(jìn)行裝填的材料裝填部22；將從上述材料裝填部22供給的成形前的引線框21進(jìn)行預(yù)先加熱的引線框的預(yù)先加熱部23；該成形前引線框的排列部24；供給樹(shù)脂片材25的樹(shù)脂片材的供給機(jī)構(gòu)26；將從上述供給機(jī)構(gòu)26供給的樹(shù)脂片材25進(jìn)行排列的樹(shù)脂片材的排列部27；將安裝在上述成形前引線框21上的電子元件用樹(shù)脂材料進(jìn)行封止成形的樹(shù)脂封止成形部28(樹(shù)脂封止成形用金屬模具)；將上述兩個(gè)排列部(24、27)的成形前引線框21和樹(shù)脂片材25向上述樹(shù)脂封止成形部28的規(guī)定位置進(jìn)行移送的材料供給機(jī)構(gòu)29(裝料器)；利用上述樹(shù)脂封止成形部28成形的成形件(封止后的引線框30)進(jìn)行收放的成形件收放部31；對(duì)與上述成形件連接的作為產(chǎn)品來(lái)說(shuō)是不需要的樹(shù)脂成形體32(不要的硬化物)進(jìn)行切除的不要樹(shù)脂成形體切除部33(澆口切除部)；將上述成形件30和不要樹(shù)脂成形體32向上述不要樹(shù)脂成形體切除部33進(jìn)行移送、且將上述成形件30移送至上述成形件收放部31進(jìn)行收放的成形件移送機(jī)構(gòu)34(取料器)；對(duì)上述金屬模具的模具面進(jìn)行清潔的清潔機(jī)構(gòu)35；以及用于對(duì)上述各部、各機(jī)構(gòu)進(jìn)行自動(dòng)控制的控制機(jī)構(gòu)36等。
專利文獻(xiàn)1的樹(shù)脂封止成形裝置，其結(jié)構(gòu)是分別驅(qū)動(dòng)引線框及樹(shù)脂片材移送至造型單元的裝運(yùn)器單元與將成形后的樹(shù)脂封止完成后的引線框取出的取料器單元。另外，移送單元和拾取單元與上述裝運(yùn)器單元、取料器單元為分開(kāi)設(shè)置、分別驅(qū)動(dòng)的結(jié)構(gòu)。因此，各單元需要獨(dú)立的高價(jià)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、驅(qū)動(dòng)裝置。另外，在進(jìn)行每個(gè)單元的品種切換的場(chǎng)合，對(duì)相互的調(diào)整麻煩、費(fèi)時(shí)。而且，上述樹(shù)脂封止裝置，為了也能應(yīng)對(duì)大量生產(chǎn)，造型單元能拆裝自如，因而從結(jié)構(gòu)上存在難以使裝置整體小型化的問(wèn)題。
另外，專利文獻(xiàn)2的樹(shù)脂封止成形裝置，材料供給機(jī)構(gòu)(裝料器)與成形件移送機(jī)構(gòu)(取料器)為分別驅(qū)動(dòng)的結(jié)構(gòu)，故分別需要高價(jià)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、驅(qū)動(dòng)裝置。另外，成形前引線框及所述材料供給機(jī)構(gòu)與上述成形件移送機(jī)構(gòu)配置在樹(shù)脂封止成形裝置的前面?zhèn)?，故裝置整體變長(zhǎng)，存在難以小型化的問(wèn)題。
有鑒于此，本發(fā)明的目的在于，提供一種容易進(jìn)行少量多品種生產(chǎn)、能變量生產(chǎn)、低成本、小型的樹(shù)脂封止成形裝置。
本

發(fā)明內(nèi)容
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的樹(shù)脂封止成形裝置包括沖壓?jiǎn)卧?；供給被成形件的被成形件供給單元；供給樹(shù)脂材料的樹(shù)脂材料供給單元；向沖壓?jiǎn)卧┙o被成形件的裝料器單元；從沖壓?jiǎn)卧〕鰳?shù)脂封止后的成形件的取料器單元；以及收放樹(shù)脂封止后成形件的成形件收放單元，其特征在于，所述裝料器單元及所述取料器單元放射狀配置并被一體化，以便能以轉(zhuǎn)動(dòng)軸心為中心相互形成90度的角度，并能以所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸心為中心一體地轉(zhuǎn)動(dòng)。
采用本發(fā)明，由于裝料器單元與取料器單元具有90度的角度，故能以轉(zhuǎn)動(dòng)軸心為中心一體地轉(zhuǎn)動(dòng)。因此，不需要分別在裝料器和取料器上設(shè)置高價(jià)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、驅(qū)動(dòng)裝置，能低成本地制造樹(shù)脂封止成形裝置。
因?qū)⒀b料器單元及取料器單元做成一體的結(jié)構(gòu)，故能得到比傳統(tǒng)技術(shù)占地面積小的小型的樹(shù)脂封止成形裝置。
作為本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)，也可將被成形件供給單元、沖壓?jiǎn)卧?、成形件收放單元以轉(zhuǎn)動(dòng)軸心為中心的90度的角度間隔依次配置。
本實(shí)施形態(tài)，裝料器及取料器也同樣，各單元以90度的角度間隔依次配置。因此，不同的單元可同時(shí)進(jìn)行作業(yè)，能得到作業(yè)效率高的樹(shù)脂封止成形裝置。
作為其他實(shí)施形態(tài)，也可利用裝料器從被成形件供給單元向沖壓?jiǎn)卧徇\(yùn)被成形件，利用取料器從沖壓?jiǎn)卧虺尚渭辗艈卧徇\(yùn)樹(shù)脂封止后的成形件。
本實(shí)施形態(tài)，僅利用裝料器從被成形件供給單元向沖壓?jiǎn)卧徇\(yùn)被成形件，僅利用取料器從沖壓?jiǎn)卧虺尚渭辗艈卧徇\(yùn)樹(shù)脂封止后的成形件。因此，不需要另外設(shè)置搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，品種切換作業(yè)簡(jiǎn)單，能得到廉價(jià)且小型的樹(shù)脂封止成形裝置。
作為其他實(shí)施形態(tài)，也可將被成形件供給單元、沖壓?jiǎn)卧?、將?shù)脂封止后的成形件和不要樹(shù)脂進(jìn)行分離的澆口切除單元以轉(zhuǎn)動(dòng)軸心為中心的90度的角度間隔依次配置。另外，也可將被成形件供給單元、沖壓?jiǎn)卧?、將?shù)脂封止后的成形件和不要樹(shù)脂進(jìn)行分離的澆口切除單元、成形件收放單元以轉(zhuǎn)動(dòng)軸心為中心的90度的角度間隔依次配置。
本實(shí)施形態(tài)，裝料器及取料器也同樣，各單元以90度的角度間隔依次配置。因此，包括對(duì)不要樹(shù)脂進(jìn)行分離的作業(yè)在內(nèi)，不同的單元可同時(shí)進(jìn)行作業(yè)，能得到作業(yè)效率更高的樹(shù)脂封止成形裝置。
作為新的實(shí)施形態(tài)，也可利用裝料器從被成形件供給單元向沖壓?jiǎn)卧徇\(yùn)被成形件，利用取料器從沖壓?jiǎn)卧驖部诔卧徇\(yùn)樹(shù)脂封止后的成形件。另外，也可利用裝料器從被成形件供給單元向沖壓?jiǎn)卧徇\(yùn)被成形件，利用取料器從沖壓?jiǎn)卧驖部诔卧?、及從澆口除去單元向成形件收放單元搬運(yùn)樹(shù)脂封止后的成形件。
本實(shí)施形態(tài)，僅利用裝料器從被成形件供給單元向沖壓?jiǎn)卧徇\(yùn)被成形件，僅利用取料器從沖壓?jiǎn)卧驖部诔卧⒓?或從澆口除去單元向成形件收放單元搬運(yùn)樹(shù)脂封止后的成形件。因此，不需要另外設(shè)置搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，品種切換作業(yè)簡(jiǎn)單，能得到廉價(jià)且小型的樹(shù)脂封止成形裝置。
作為不同的實(shí)施形態(tài)，也可將被成形件供給單元、樹(shù)脂材料供給單元以轉(zhuǎn)動(dòng)軸心為中心相互形成90度的角度進(jìn)行配置。
本實(shí)施形態(tài)，可將被成形件與樹(shù)脂材料從不同的位置進(jìn)行供給，故能得到設(shè)計(jì)自由度大的樹(shù)脂封止成形裝置。
作為其他實(shí)施形態(tài)，也可將金屬模具清潔器設(shè)置在與沖壓?jiǎn)卧噜彽奈恢谩?br> 本實(shí)施形態(tài)，能得到具有金屬模具清潔器的廉價(jià)、小型的樹(shù)脂封止成形裝置。
作為補(bǔ)充的實(shí)施形態(tài)，也可將供給樹(shù)脂材料的樹(shù)脂材料供給單元的樹(shù)脂材料交接位置設(shè)置在被成形件供給單元、沖壓?jiǎn)卧?、澆口除去單元及成形件收放單元中的任一個(gè)單元與裝料器單元及取料器單元的轉(zhuǎn)動(dòng)軸心之間。
本實(shí)施形態(tài)，能將樹(shù)脂材料交接位置根據(jù)需要配置在所需的位置上，因而能得到設(shè)計(jì)自由度大的樹(shù)脂封止成形裝置。
附圖的簡(jiǎn)單說(shuō)明圖1是表示本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置樹(shù)脂封止成形裝置的一實(shí)施形態(tài)的俯視剖視圖。
圖2是表示圖1所示的半導(dǎo)體裝置樹(shù)脂封止成形裝置的側(cè)視圖。
圖3是表示裝料器單元的詳細(xì)俯視剖視圖。
圖4是表示圖3所示的裝料器單元的A-A部分剖視圖。不過(guò)，取料器處于前進(jìn)的狀態(tài)。
圖5是表示圖3所示的裝料器單元的B-B部分剖視圖。不過(guò)，取料器處于前進(jìn)的狀態(tài)。
圖6是表示本實(shí)施形態(tài)的半導(dǎo)體裝置樹(shù)脂封止成形裝置的工序說(shuō)明圖，表示各單元處于原點(diǎn)位置的狀態(tài)。
圖7是表示本實(shí)施形態(tài)的半導(dǎo)體裝置樹(shù)脂封止成形裝置的工序說(shuō)明圖。
圖8是表示本實(shí)施形態(tài)的半導(dǎo)體裝置樹(shù)脂封止成形裝置的工序說(shuō)明圖。
圖9是表示本實(shí)施形態(tài)的半導(dǎo)體裝置樹(shù)脂封止成形裝置的工序說(shuō)明圖。
圖10是表示本實(shí)施形態(tài)的半導(dǎo)體裝置樹(shù)脂封止成形裝置的工序說(shuō)明圖。
圖11是表示本實(shí)施形態(tài)的半導(dǎo)體裝置樹(shù)脂封止成形裝置的工序說(shuō)明圖。
圖12是表示本實(shí)施形態(tài)的半導(dǎo)體裝置樹(shù)脂封止成形裝置的工序說(shuō)明圖。
圖13是表示本實(shí)施形態(tài)的半導(dǎo)體裝置樹(shù)脂封止成形裝置的工序說(shuō)明圖。
圖14是表示作為傳統(tǒng)例的專利文獻(xiàn)1的樹(shù)脂封止成形裝置的俯視圖。
圖15是表示作為傳統(tǒng)例的專利文獻(xiàn)2的樹(shù)脂封止成形裝置的俯視圖。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)1如圖1至13所示，是應(yīng)用于半導(dǎo)體裝置樹(shù)脂封止成形裝置100的場(chǎng)合。
半導(dǎo)體裝置樹(shù)脂封止成形裝置100如圖1及圖2所示，包括基板供給單元101；片材供給單元200(圖2)；沖壓?jiǎn)卧?00；金屬模具清潔單元400；澆口除去單元500；成形件收放單元600；以及裝運(yùn)器單元700。
基板供給單元101、沖壓?jiǎn)卧?00、澆口除去單元500、成形件收放單元600以圖4所示的裝運(yùn)器單元700的轉(zhuǎn)動(dòng)軸心702為中心，在順時(shí)針?lè)较蛞来闻湓O(shè)。片材供給單元200配設(shè)在裝運(yùn)器單元700的下方側(cè)，片材供給單元200的片材往返梭202配設(shè)在沖壓?jiǎn)卧?00與裝運(yùn)器單元700之間。而且，模具清潔單元400與沖壓?jiǎn)卧?00相鄰設(shè)置。
基板供給單元101如圖1及圖2所示，由料盒提升器102、基板進(jìn)給機(jī)構(gòu)103、預(yù)熱器104構(gòu)成。
即，料盒提升器102搭載有收放了被成形件即多個(gè)樹(shù)脂封止前的基板105的進(jìn)料盒106，基板進(jìn)給機(jī)構(gòu)103每當(dāng)從進(jìn)料盒106取出樹(shù)脂封止前的基板105就使1片基板上升。利用基板進(jìn)給機(jī)構(gòu)103的卡盤107夾住進(jìn)料盒106內(nèi)的樹(shù)脂封止前的基板105，在預(yù)熱器104上確定取出位置。預(yù)熱器104由氣缸等上下可移動(dòng)地構(gòu)成，在將樹(shù)脂封止前的基板105交給后敘的裝料器單元800時(shí)上升?；骞┙o單元101并不局限于本實(shí)施例那樣，從進(jìn)料盒106供給樹(shù)脂封止前的基板105的方法，也可從樹(shù)脂封止工序前的工序等利用傳送帶等自動(dòng)地進(jìn)行供給。
基板供給單元101的各組成部分可根據(jù)基板105的種類對(duì)寬度、長(zhǎng)度進(jìn)行適宜的變更。另外，不設(shè)置預(yù)熱器104的場(chǎng)合，可僅設(shè)置從進(jìn)料盒106取出樹(shù)脂封止前的基板105時(shí)成為導(dǎo)向的導(dǎo)軌等。
片材供給單元200如圖1及圖2所示，是用于從球狀送料器201向片材往復(fù)梭202內(nèi)裝填封止用樹(shù)脂材料即多個(gè)片材203，將片材203向后敘的裝料器800進(jìn)行交接的。片材往復(fù)梭202在對(duì)裝料器800的片材交接位置204(圖1)處，能相對(duì)于紙面正交的方向進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)。而且，片材往復(fù)梭202可對(duì)應(yīng)于后敘的下模301的釜306的間隔及片材203的外形尺寸進(jìn)行適宜的更換。另外，片材203的供給機(jī)構(gòu)并不局限于球狀送料器，也可使用料盒方式、空氣壓送方式等各種方式。
沖壓?jiǎn)卧?00如圖1及圖2所示，由上模302和下模301構(gòu)成。尤其是如圖2所示，下模301安裝在可動(dòng)臺(tái)板303上，另一方面，上模302安裝在上部固定臺(tái)板304上?？蓜?dòng)臺(tái)板303及上部固定臺(tái)板304支承于4根連接桿305上。因此，上述可動(dòng)臺(tái)板303借助公知的模具開(kāi)閉機(jī)構(gòu)沿著連接桿305上下方向進(jìn)行滑動(dòng)。而且，在下模301上設(shè)有投入片材203的多個(gè)釜306。片材加壓用的柱塞(未圖示)利用公知的輸送機(jī)構(gòu)可上下移動(dòng)地收放在釜306內(nèi)。
下模301、上模302及柱塞可根據(jù)基板105及片材203的種類進(jìn)行適當(dāng)更換。
模具清潔單元400如圖1所示，在利用后敘的取料器單元900將樹(shù)脂封止完成后的基板901及不要樹(shù)脂902(圖10)從下模301搬出后，進(jìn)入開(kāi)模后的上模302和下模301之間。利用刷子401對(duì)上模302與下模301的合模面進(jìn)行清刷、真空抽吸，以對(duì)合模面進(jìn)行清掃。也可邊對(duì)合模面吹風(fēng)邊進(jìn)行上述清掃作業(yè)。
澆口除去單元500如圖1所示，是將從后敘的取料器單元900獲到的樹(shù)脂封止完成后的基板901與不要樹(shù)脂902進(jìn)行分離的單元。在澆口除去單元500的下方側(cè)設(shè)有廢棄箱501，可廢棄不要樹(shù)脂902。澆口單元500通過(guò)更換各組成部件，可應(yīng)對(duì)具有各種形狀的樹(shù)脂封止完成后的基板901和不要樹(shù)脂902。另外，也可不設(shè)置本澆口除去單元500，在模具內(nèi)自動(dòng)地將樹(shù)脂封止后的基板與不要樹(shù)脂進(jìn)行分離。該場(chǎng)合，不需要澆口除去單元500，也可設(shè)置夾著樹(shù)脂封止后的基板901，對(duì)基板901的翹度進(jìn)行矯正的基板矯正單元，以替代澆口除去單元500。
成形件收放單元600如圖1所示，是從取料器單元900接收樹(shù)脂封止后的基板901并進(jìn)行收放的單元，可設(shè)置將樹(shù)脂封止后的基板901層疊收放的出料盒601。不過(guò)，出料盒601并不局限于本實(shí)施例那樣的將樹(shù)脂封止后的基板901重疊收放的形式，也可使用從料盒的側(cè)方將樹(shù)脂封止后的基板滑動(dòng)進(jìn)行收放的形式。另外，成形件的收放方法，并不局限于收放在出料盒內(nèi)的方法，也可使用設(shè)置有傳送帶等搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，自動(dòng)地搬運(yùn)至樹(shù)脂封止裝置外的成形件收放單元。
裝運(yùn)器單元700如圖1至圖6所示，由轉(zhuǎn)動(dòng)部701、裝料器單元800、取料器單元900構(gòu)成。尤其是，將裝料器單元800與取料器單元900大致L字形接合成一體化懸吊的上述轉(zhuǎn)動(dòng)部701能以轉(zhuǎn)動(dòng)軸心702為中心可轉(zhuǎn)動(dòng)地得到支承。
轉(zhuǎn)動(dòng)部701如圖4所示，由基座板703、上板704、轉(zhuǎn)動(dòng)軸705及單元基座板718構(gòu)成。
上述基座板703安裝在半導(dǎo)體裝置樹(shù)脂封止成形裝置100的框架108上，上板704借助支柱707安裝在基座板703的下部。在上板704的下部固定有軸承座708，轉(zhuǎn)動(dòng)軸705通過(guò)軸承709轉(zhuǎn)動(dòng)自如地安裝在軸承座內(nèi)部。在轉(zhuǎn)動(dòng)軸705的上部安裝有同步皮帶輪710，在其下部安裝有轉(zhuǎn)動(dòng)板711，同時(shí)借助同步皮帶712與同步皮帶輪713連接。該同步皮帶輪713安裝在固定于上述上板704的支架714上的伺服電機(jī)715的轉(zhuǎn)動(dòng)軸716上。
因此，伺服電機(jī)715的旋轉(zhuǎn)力，通過(guò)同步皮帶輪713、同步皮帶712、同步皮帶輪710、轉(zhuǎn)動(dòng)軸705使轉(zhuǎn)動(dòng)板711轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使裝運(yùn)器單元700以轉(zhuǎn)動(dòng)軸702為中心轉(zhuǎn)動(dòng)。
在轉(zhuǎn)動(dòng)板711的下部通過(guò)支柱717安裝有單元基座板718。裝料器800和取料器900分別安裝在上述單元基座板718的上下面，相互形成90度的角度。
裝料器900如圖3及圖5所示，是將樹(shù)脂封止前的基板105和片材203搬運(yùn)至下模301的單元，由搬入單元801、滑動(dòng)單元850構(gòu)成。上述滑動(dòng)單元850可朝與轉(zhuǎn)動(dòng)軸心702正交的方向往復(fù)移動(dòng)。
搬入單元801，在收放片材203的片材座802的側(cè)面的一方安裝有連接塊803，另一方固定有滑動(dòng)軸804。突出銷866由未圖示的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)引導(dǎo)，將前端從片材插入孔813的上部插入的狀態(tài)下可上下移動(dòng)地安裝在片材座802的上部。另外，在安裝在片材座802的側(cè)面的連接塊803的下方設(shè)有連通片材插入孔813的銷孔868，止動(dòng)銷862由未圖示的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)引導(dǎo)，安裝成將前端插入銷孔868內(nèi)的狀態(tài)下，可出入片材插入孔813內(nèi)。在滑動(dòng)軸804的固定于片材座802的一側(cè)的相反側(cè)，安裝有連接塊805。在滑動(dòng)軸804上通過(guò)襯套806安裝有一對(duì)桿807。該桿807的側(cè)面安裝有夾住樹(shù)脂封止前的基板105的卡盤爪808，在上部安裝有銷809。在上述連接塊803及連接塊805上形成可與后敘的連接塊859及連接塊860滑動(dòng)嵌合的凸部810。
滑動(dòng)單元850配置在單元基座板718的上面，可在與轉(zhuǎn)動(dòng)軸心702正交的方向往復(fù)移動(dòng)，將上述搬入單元801拆裝自如地設(shè)置在前端上。該滑動(dòng)單850由基座板851、滑動(dòng)導(dǎo)軌852構(gòu)成。塊853立設(shè)在單元基座板718的上部，直線導(dǎo)向件854(圖3)安裝在該塊853上。滑動(dòng)導(dǎo)軌852固定在安裝在基座板851的上面的桿855上，由直線導(dǎo)向件854引導(dǎo)。
另外，在基座板851的下面固定有卡盤爪開(kāi)閉用作動(dòng)器856、分度柱塞858、連接塊859、連接塊860。在基座板851的上面固定有片材頂出氣缸861。而且，在連接塊859及連接塊860上分別安裝有止動(dòng)銷811。而且，在連接塊860的側(cè)面通過(guò)支架863固定有片材止動(dòng)氣缸864。在連接塊859及連接塊860的相對(duì)面上形成導(dǎo)向用槽865?？蓪崛雴卧?01的連接塊803及連接塊805的凸部810與上述槽865滑動(dòng)嵌合。
裝運(yùn)器單元700處于圖1所示的狀態(tài)時(shí)，搬入單元801通過(guò)滑動(dòng)單元850朝X方向滑動(dòng)嵌合，由止動(dòng)銷811定位，由分度柱塞858固定。搬入單元801可根據(jù)基板105及片材203的種類容易地適當(dāng)更換。
搬入單元801與滑動(dòng)單元850連接時(shí)，安裝在搬入單元801的桿807的上部的銷809與卡盤爪開(kāi)閉用作動(dòng)器856嵌合。而且，突出銷866與片材頂出氣缸861連接，止動(dòng)銷862與片材止動(dòng)氣缸864連接。當(dāng)卡盤爪開(kāi)閉用作動(dòng)器856動(dòng)作，則卡盤爪808進(jìn)行開(kāi)閉，可保持樹(shù)脂封止前的基板105。當(dāng)片材203從片材座802的下方側(cè)插入，則使片材止動(dòng)氣缸864動(dòng)作，將止動(dòng)銷862頂出，使片材203不會(huì)落下。片材頂出氣缸861使片材203從上方頂出，以將片材203可靠地投入下模301的釜306內(nèi)。
而且，絲桿870與滑軌852平行地安裝在架在桿855上的塊869上。上述絲桿870的一端通過(guò)螺母871與安裝在單元基座板718上的座塊872連接。該螺母871安裝在螺母座873內(nèi)。上述螺母座873通過(guò)軸承874可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在座塊872內(nèi)。在螺母座873上安裝有同步皮帶輪875，通過(guò)同步皮帶876與同步皮帶輪877連接。該同步皮帶輪877安裝在立設(shè)于單元基座板718的上面的支架719的電機(jī)720的轉(zhuǎn)動(dòng)軸721上。
因此，電機(jī)720的轉(zhuǎn)動(dòng)力通過(guò)同步皮帶輪877、同步皮帶876、同步皮帶輪875、螺母座873，使螺母871轉(zhuǎn)動(dòng)，該轉(zhuǎn)動(dòng)運(yùn)動(dòng)變換為直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)，使滑動(dòng)單元850進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)。
裝運(yùn)器單元700進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，滑動(dòng)單元850朝轉(zhuǎn)動(dòng)軸702的方向進(jìn)行移動(dòng)(后退)。
取料器單元900如圖3至圖5所示，是用于將樹(shù)脂封止后的基板901及不要樹(shù)脂902(圖10)從下模301搬運(yùn)至澆口切除單元500的單元。將由澆口切除單元500分離后的樹(shù)脂封止后的基板901搬運(yùn)至成形件收放單元600的出料盒601，同時(shí)，將不要樹(shù)脂902廢棄在廢棄箱501內(nèi)。
取料器900與裝料器800的結(jié)構(gòu)大致相同，由搬出單元903、滑動(dòng)單元950構(gòu)成。上述滑動(dòng)單元950可在與轉(zhuǎn)動(dòng)軸心702正交的方向進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)。
搬出單元903，截面為T字形的滑動(dòng)塊906固定在安裝有對(duì)不要樹(shù)脂902進(jìn)行真空吸附的吸附襯墊的集成塊(マニホ一ルドブロック)905上。而且，滑動(dòng)軸907固定在上述集成塊905的側(cè)面。板908安裝在集成塊905上固定有滑動(dòng)軸907的一側(cè)的相反側(cè)。另外，一對(duì)桿910通過(guò)襯套909(圖3)安裝在滑動(dòng)軸907上。抓住樹(shù)脂封止后的基板901的卡盤爪911安裝在該桿910的側(cè)面，銷912安裝在其上面。
滑動(dòng)單元950安裝在單元基座板718的下面，可朝與轉(zhuǎn)動(dòng)軸心702正交的方向往復(fù)移動(dòng)，搬出單元903可拆裝地安裝在前端上。該滑動(dòng)單元950由基座板951、滑動(dòng)導(dǎo)軌952、可動(dòng)板953構(gòu)成。在單元基座板718的下面立設(shè)塊954，在該塊954(圖3)上安裝有直線導(dǎo)向件955(圖3)?；瑒?dòng)導(dǎo)軌952固定在安裝在基座板951的上面的塊956上，由直線導(dǎo)向件955導(dǎo)向。在基座板951的上面立設(shè)塊957，在該塊957上安裝有直線導(dǎo)向件958。在基座板951的上面安裝有可動(dòng)板上下氣缸959。
可動(dòng)板953的下面安裝有導(dǎo)向塊960、導(dǎo)向塊961、卡盤爪開(kāi)閉用作動(dòng)器962、止動(dòng)銷963。另外，板964安裝在可動(dòng)板953的上面，通過(guò)該板964與可動(dòng)板上下氣缸959的活塞965上。而且，可動(dòng)板上部953上固定有分度柱塞966。導(dǎo)軌967固定在導(dǎo)向塊960的側(cè)面，由直線導(dǎo)向件958導(dǎo)向，可動(dòng)板953可上下移動(dòng)。
上述搬出單元903的滑動(dòng)塊906可滑動(dòng)地與由導(dǎo)向塊960、導(dǎo)向塊961及可動(dòng)板953所形成的截面大致為T字形的槽部969嵌合，并由分度柱塞966固定。
裝運(yùn)器單元700從圖1所示的狀態(tài)朝順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)90度時(shí)，搬出單元903可通過(guò)滑動(dòng)單元950朝X方向滑動(dòng)移動(dòng)，由止動(dòng)銷963定位，同時(shí)可由分度柱塞966固定。而且，上述搬出單元903可根據(jù)基板及片材的種類容易地適當(dāng)更換。
搬出單元903與可動(dòng)板953連接時(shí)，安裝在上述搬出單元903的桿910的上面的銷912與卡盤爪開(kāi)閉用作動(dòng)器962嵌合。當(dāng)卡盤爪開(kāi)閉用作動(dòng)器962動(dòng)作，則卡盤爪911進(jìn)行開(kāi)閉，可將樹(shù)脂封止后的基板901進(jìn)行保持。另外，通過(guò)上述可動(dòng)板上下氣缸959的動(dòng)作，可使可動(dòng)板953上下移動(dòng)。因此，樹(shù)脂封止成形后，抓住由推頂銷(未圖示)從下模301頂出的樹(shù)脂封止后的基板901，可將不要樹(shù)脂902進(jìn)行吸附，從下模301取出。
而且，絲桿971通過(guò)支架970與滑動(dòng)導(dǎo)軌952平行地安裝在基座板951的上面，該絲桿971的一端與裝料器單元800相同，通過(guò)螺母與安裝在單元基座板718的下面的座塊973(圖5)連接。該螺母安裝在螺母座上。上述螺母座通過(guò)軸承可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在座塊973內(nèi)。而且，同步皮帶輪976安裝在上述螺母座上，通過(guò)同步皮帶977與同步皮帶輪978連接。上述同步皮帶輪978安裝在電機(jī)723的轉(zhuǎn)動(dòng)軸上，該電機(jī)723固定在立設(shè)在單元基座板718的下面的支架722上。
因此，電機(jī)723的轉(zhuǎn)動(dòng)力通過(guò)同步皮帶輪978、同步皮帶977、同步皮帶輪976、螺母座使螺母轉(zhuǎn)動(dòng)，該轉(zhuǎn)動(dòng)運(yùn)動(dòng)變換為直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)，使滑動(dòng)單元950往復(fù)運(yùn)動(dòng)。裝運(yùn)器單元700進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，滑動(dòng)單元950朝轉(zhuǎn)動(dòng)軸702方向移動(dòng)(后退)。
下面，對(duì)上述結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體裝置樹(shù)脂封止成形裝置100的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。
圖6所示的裝運(yùn)器單元700的轉(zhuǎn)動(dòng)位置作為原點(diǎn)位置(絕對(duì)坐標(biāo)0度)，將順時(shí)針?lè)较蜃鳛檎较蜻M(jìn)行說(shuō)明。
首先，如圖7所示，從載放在基板供給單元101的料盒提升器102上的進(jìn)料盒106，利用基板進(jìn)給機(jī)構(gòu)103的卡盤107將樹(shù)脂封止前的基板105一片片抓住，抽出在預(yù)熱器104上進(jìn)行定位。當(dāng)樹(shù)脂封止前的基板105從上述進(jìn)料盒106抽出，料盒提升器102就上升1片基板的大小，隨后下一個(gè)樹(shù)脂封止前的基板105處于被抽出的狀態(tài)。此時(shí)，裝料器800的搬入單元801的片材座802處于片材交接位置204，將片材供給單元200的搭載有片材203的片材軸202上升至片材座802的正下方。將搭載在片材座802上的片材203用未圖示的推頂器頂出，從片材座802的下方開(kāi)口部插入。當(dāng)片材203插入片材座802，則使片材止動(dòng)氣缸864動(dòng)作，將止動(dòng)銷862頂出，以使片材203不從片材座802落下(圖5)。
下面，如圖8所示，將裝運(yùn)器單元700朝逆時(shí)針?lè)较蜣D(zhuǎn)動(dòng)90度(絕對(duì)坐標(biāo)-90度)。然后，使裝料器單元800的滑動(dòng)單元850前進(jìn)，使搬入單元801位于預(yù)熱器104的上部。使裝載了樹(shù)脂封止前的基板105的預(yù)熱器104上升后，卡盤爪開(kāi)閉用作動(dòng)器856動(dòng)作，利用搬入單元801的卡盤爪808抓住樹(shù)脂封止前的基板105進(jìn)行保持(圖5)。
然后，使預(yù)熱器104下降，使滑動(dòng)單元850后退后，如圖9所示，將裝運(yùn)器單元700朝順時(shí)針?lè)较蜣D(zhuǎn)動(dòng)90度(絕對(duì)坐標(biāo)0度)。使裝料器單元800的滑動(dòng)單元850前進(jìn)，將搬入單元801插入打開(kāi)的上模302與下模301之間，在下模301上的規(guī)定位置處進(jìn)行待機(jī)。然后，使下模301稍微上升后，打開(kāi)搬入單元801的卡盤爪808，將樹(shù)脂封止前的基板105載放在下模301上。而且，從片材座802拉回止動(dòng)銷862，使片材頂出銷866頂出，將片材203投入下模301的釜306內(nèi)。
樹(shù)脂封止前的基板105載放在下模301上，當(dāng)片材203投入釜306內(nèi)后，下模301稍下降，裝料器單元800的滑動(dòng)單元850進(jìn)行后退。此時(shí)，搬入單元801的片材座802處于片材交接位置204，進(jìn)行上述片材的交接。
然后，使下模301上升進(jìn)行合模，由上模302和下模301夾住樹(shù)脂封止前的基板105而形成空腔，將柱塞(未圖示)朝上頂，對(duì)片材203加熱熔化，將樹(shù)脂對(duì)空腔內(nèi)進(jìn)行充填。
空腔內(nèi)充填的樹(shù)脂硬化后，下降下模301，使上模302與下模301打開(kāi)。此時(shí)，上模302的推頂銷(未圖示)頂出，將樹(shù)脂封止后的基板901和不要樹(shù)脂902朝下模301上頂出。而且，下模301與上模302打開(kāi)的同時(shí)，如圖10所示，將裝運(yùn)器單元700朝逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)90度(絕對(duì)坐標(biāo)-90度)。使取料器900的滑動(dòng)單元950前進(jìn)，進(jìn)入打開(kāi)的上模302與下模301之間，將搬出單元903定位在下模301上的規(guī)定位置。然后，使下模301的推頂銷(未圖示)頂出，使樹(shù)脂封止后的基板901和不要樹(shù)脂902從下模301頂出，同時(shí)，使搬出單元903下降。利用卡盤爪911抓住樹(shù)脂封止后的基板901，利用吸附襯墊904對(duì)不要樹(shù)脂902進(jìn)行吸附。然后使搬出單元903上升，將樹(shù)脂封止后的基板901和不要樹(shù)脂902進(jìn)行保持的狀態(tài)下，使滑動(dòng)單元950后退。
在取料器單元900的滑動(dòng)單元950進(jìn)行后退的同時(shí)，模具清潔單元400對(duì)上模302和下模301的合模面進(jìn)行清刷，真空抽吸，開(kāi)始清潔。
另外，在取料器單元900進(jìn)行上述動(dòng)作期間，使裝料器單元800的滑動(dòng)單元850前進(jìn)，進(jìn)行上述樹(shù)脂封止前的基板105的接收動(dòng)作。
在取料器單元900從下模301搬出樹(shù)脂封止后的基板901和不要樹(shù)脂902，裝料器800接收樹(shù)脂封止前的基板105后，如圖11所示，將裝運(yùn)器單元700朝順時(shí)針?lè)较蜣D(zhuǎn)動(dòng)90度(絕對(duì)坐標(biāo)0度)。使取料器單元900的滑動(dòng)單元950前進(jìn)，將樹(shù)脂封止后的基板901和不要樹(shù)脂902搬運(yùn)至澆口切除單元500。然后使對(duì)樹(shù)脂封止后的基板901和不要樹(shù)脂902進(jìn)行保持的搬出單元903下降，打開(kāi)卡盤爪911的同時(shí)，解除吸附襯墊904的吸附，將樹(shù)脂封止后的基板901和不要樹(shù)脂902載放在澆口除去單元500上。然后使搬出單元903上升，滑動(dòng)單元950后退。
另外，模具清掃結(jié)束后，立即使裝料器800的滑動(dòng)單元850前進(jìn)，如上所述，將樹(shù)脂封止前的基板105和片材203向下模301供給，滑動(dòng)單元850后退后，沖壓?jiǎn)卧?00進(jìn)行與上述相同的樹(shù)脂封止作業(yè)。
在不利用取料器單元900將樹(shù)脂封止后的基板901從澆口切除單元500搬運(yùn)至成形件收放單元600的場(chǎng)合，將滑動(dòng)單元950后退，則成為圖7所示的狀態(tài)，重復(fù)上述的動(dòng)作。
當(dāng)取料器單元900的滑動(dòng)單元950后退，則澆口除去單元500將樹(shù)脂封止后的基板901與不要樹(shù)脂902分離，將不要樹(shù)脂902廢棄在廢棄箱501內(nèi)。當(dāng)澆口切除單元500結(jié)束分離作業(yè)后，如圖12所示，再次使取料器單元900的滑動(dòng)單元950前進(jìn)，使搬出單元903下降。然后關(guān)閉卡盤爪911，抓住樹(shù)脂封止后的基板901進(jìn)行保持。然后，使搬出單元903上升，滑動(dòng)單元950后退。
取料器單元900從澆口切除單元500取出樹(shù)脂封止后的基板901后，如圖13所示，將裝運(yùn)器單元700朝順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)90度(絕對(duì)坐標(biāo)90度)。然后，使取料器單元900的滑動(dòng)單元950前進(jìn)，將搬出單元903定位在設(shè)置在成形件收放單元600上的出料盒601的上部。然后，打開(kāi)卡盤爪911，將樹(shù)脂封止后的基板901收放在出料盒601內(nèi)，使滑動(dòng)單元950后退。
接著，如圖7所示，使裝運(yùn)器單元700朝逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)90度(絕對(duì)坐標(biāo)0度)。以后，重復(fù)與上述相同的動(dòng)作。
上述實(shí)施形態(tài)1中，片材供給單元200的片材軸202配置在沖壓?jiǎn)卧?00與裝運(yùn)器單元700之間，且設(shè)有片材交接位置204。因此，實(shí)施形態(tài)1中，裝料器800將片材203收放在片材座802內(nèi)后，轉(zhuǎn)動(dòng)-90度(絕對(duì)坐標(biāo)-90度)。然后，上述裝料器單元800從預(yù)熱器104接收樹(shù)脂封止前的基板105后，轉(zhuǎn)動(dòng)+90度，使絕對(duì)坐標(biāo)為0度。將片材203及樹(shù)脂封止前的基板105供給沖壓?jiǎn)卧?00的下模301。
而且，作為實(shí)施形態(tài)1的其他使用例子，比如，也可考慮上述裝料器單元800從預(yù)熱器104接收樹(shù)脂封止前的基板105后，轉(zhuǎn)動(dòng)+90度。而且，以絕對(duì)坐標(biāo)0度從片材軸202接收片材203，然后將片材203及樹(shù)脂封止前的基板105供給沖壓?jiǎn)卧?00的下模301內(nèi)的方法。
采用該使用例子，在剛要將成形材料供給沖壓?jiǎn)卧?00之前接收片材203，故粘附在片材203上的粉塵不會(huì)在移動(dòng)路徑中飛散，這是很好的。而且，上述的其他使用例只要更改動(dòng)作程序即可，容易進(jìn)行更改。
實(shí)施形態(tài)2，是通過(guò)改變片材軸202的位置、將片材交接位置204配置在基板供給單元101與裝運(yùn)器單元700之間的情況。
采用本實(shí)施形態(tài)，是將片材交接位置204配置在基板供給單元101與裝運(yùn)器單元700之間。因此，在取料器單元900進(jìn)入上模302和下模301之間取出樹(shù)脂封止后的基板901期間，裝料器單元800可同時(shí)進(jìn)行樹(shù)脂封止前的基板105的接收動(dòng)作以及進(jìn)行從上述片材軸202接收片材203的動(dòng)作。其結(jié)果，具有可提高裝置的作業(yè)效率、縮短裝置整體循環(huán)時(shí)間的優(yōu)點(diǎn)。
片材軸202并不一定要設(shè)置在與片材供給單元200同一的位置，也可設(shè)置在分開(kāi)的位置。更具體地說(shuō)，也可將樹(shù)脂材料交接位置204設(shè)置在基板供給單元101、沖壓?jiǎn)卧?00、澆口切除單元500及成形件收放單元600中的任一個(gè)單元與裝料器單元800及取料器單元900的轉(zhuǎn)動(dòng)軸心702之間。
產(chǎn)業(yè)上利用的可能性本發(fā)明的上述樹(shù)脂封止成形裝置，當(dāng)然也可適用于對(duì)其他電子元件進(jìn)行樹(shù)脂封止的場(chǎng)合。
權(quán)利要求
1.一種樹(shù)脂封止成形裝置，包括沖壓?jiǎn)卧还┙o被成形件的被成形件供給單元；供給樹(shù)脂材料的樹(shù)脂材料供給單元；向沖壓?jiǎn)卧┙o被成形件的裝料器單元；從沖壓?jiǎn)卧〕鰳?shù)脂封止后的成形件的取料器單元；以及收放樹(shù)脂封止后的成形件的成形件收放單元，其特征在于，所述裝料器單元及所述取料器單元放射狀配置并被一體化，以便能以轉(zhuǎn)動(dòng)軸心為中心相互形成90度的角度，并能以所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸心為中心一體地轉(zhuǎn)動(dòng)。
2.如權(quán)利要求1所述的樹(shù)脂封止成形裝置，其特征在于，被成形件供給單元、沖壓?jiǎn)卧?、成形件收放單元，以轉(zhuǎn)動(dòng)軸心為中心的90度的角度間隔依次配置。
3.如權(quán)利要求1或2所述的樹(shù)脂封止成形裝置，其特征在于，利用裝料器從被成形件供給單元向沖壓?jiǎn)卧徇\(yùn)被成形件，利用取料器從沖壓?jiǎn)卧虺尚渭辗艈卧徇\(yùn)樹(shù)脂封止后的成形件。
4.如權(quán)利要求1所述的樹(shù)脂封止成形裝置，其特征在于，被成形件供給單元、沖壓?jiǎn)卧?、將?shù)脂封止后的成形件和不要樹(shù)脂進(jìn)行分離的澆口切除單元以轉(zhuǎn)動(dòng)軸心為中心的90度的角度間隔依次配置。
5.如權(quán)利要求4所述的樹(shù)脂封止成形裝置，其特征在于，將被成形件供給單元、沖壓?jiǎn)卧?、將?shù)脂封止后的成形件和不要樹(shù)脂進(jìn)行分離的澆口切除單元、成形件收放單元，以轉(zhuǎn)動(dòng)軸心為中心的90度的角度間隔依次配置。
6.如權(quán)利要求4或5所述的樹(shù)脂封止成形裝置，其特征在于，利用裝料器從被成形件供給單元向沖壓?jiǎn)卧徇\(yùn)被成形件，利用取料器從沖壓?jiǎn)卧驖部诔卧徇\(yùn)樹(shù)脂封止后的成形件。
7.如權(quán)利要求4至6中任一項(xiàng)所述的樹(shù)脂封止成形裝置，其特征在于，利用裝料器從被成形件供給單元向沖壓?jiǎn)卧徇\(yùn)被成形件，利用取料器從沖壓?jiǎn)卧驖部诔卧?、及從澆口除去單元向成形件收放單元搬運(yùn)樹(shù)脂封止后的成形件。
8.如權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的樹(shù)脂封止成形裝置，其特征在于，被成形件供給單元、樹(shù)脂材料供給單元，以轉(zhuǎn)動(dòng)軸心為中心相互形成90度的角度進(jìn)行配置。
9.如權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的樹(shù)脂封止成形裝置，其特征在于，金屬模具清潔單元設(shè)在與沖壓?jiǎn)卧噜彽奈恢谩?br> 10.如權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的樹(shù)脂封止成形裝置，其特征在于，供給樹(shù)脂材料的樹(shù)脂材料供給單元的樹(shù)脂材料交接位置，設(shè)在被成形件供給單元、沖壓?jiǎn)卧?、澆口除去單元及成形件收放單元中的任一個(gè)單元與裝料器單元及取料器單元的轉(zhuǎn)動(dòng)軸心之間。
全文摘要
一種樹(shù)脂封止成形裝置，將裝料器單元(800)及取料器單元(900)放射狀配置并被一體化，以便能以裝運(yùn)器單元(700)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸心(702)為中心相互形成90度的角度，支承為能以所述裝運(yùn)器單元(700)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸心(702)為中心一體地轉(zhuǎn)動(dòng)。采用本發(fā)明，能容易進(jìn)行少量多品種生產(chǎn)、可進(jìn)行變量生產(chǎn)，且成本低廉，小型。
文檔編號(hào)B29C45/06GK1611339SQ20041008990
公開(kāi)日2005年5月4日 申請(qǐng)日期2004年10月29日 優(yōu)先權(quán)日2003年10月30日
發(fā)明者緒方健治, 田中裕一 申請(qǐng)人:第一精工株式會(huì)社