直線導向器和交叉導向器的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及直線導向器和交叉導向器。
【背景技術】
[0002]已知有通過經(jīng)由滾動體的滾動接觸來引導機械的直線運動部的直線導向器。直線導向器包括:軌道；在該軌道上移動的滑架；和設置在軌道與滑架之間而在滑架內(nèi)循環(huán)的多個滾動體。
[0003]在例如需要以高加速度或高加速度變化率來驅(qū)動激振裝置等的直進運動部的用途中，對于組裝有直線導向器的機械裝置的性能，直線導向器(特別是滑架)的重量影響很大。
[0004]現(xiàn)有技術文獻
[0005]專利文獻
[0006]專利文獻1:日本特開平3-277810號公報【實用新型內(nèi)容】
[0007]實用新型要解決的技術問題
[0008]在專利文獻1中記載的現(xiàn)有的直線導向器中，在滑架中開設的安裝孔的配置不具有旋轉(zhuǎn)對稱性，此外，安裝孔全部為螺孔。因此，將滑架以彼此的移動方向相差90度的方式固定來組裝交叉導向器的情況下，需要經(jīng)由安裝板固定2個滑架，由此，增加了與安裝板對應的部件數(shù)，重量變重。
[0009]本實用新型是鑒于上述問題而完成的，其目的在于簡化交叉導向器的構造，實現(xiàn)交叉導向器的小型、輕量化。
[0010]用于解決問題的技術方案
[0011]根據(jù)本實用新型一實施方式，提供一種直線導向器，其包括軌道和在該軌道上移動的滑架，滑架具有設置了多個安裝孔的安裝面，多個安裝孔的排列具有以安裝面的垂線為對稱軸的4次旋轉(zhuǎn)對稱性(360° /4旋轉(zhuǎn)對稱)。
[0012]在上述直線導向器中，可以為以下結(jié)構，包括設置在軌道與滑架之間，伴隨滑架的移動而在軌道的軌道面上滾動的滾動體，滾動體為滾柱或滾珠。
[0013]在上述直線導向器中，可以為以下結(jié)構，安裝孔的中心軸與安裝面垂直。
[0014]在上述直線導向器中，可以為以下結(jié)構，安裝面設置在滑架的上表面，與安裝面垂直的滑架的上下方向為與滑架的移動方向垂直的方向，滑架的橫向為與上下方向和移動方向兩個方向垂直的方向，在滑架的橫向兩緣部中的移動方向中央部形成從上方看時為呈U字狀缺口的U字缺口部。
[0015]在上述直線導向器中，可以為以下結(jié)構，在滑架的橫向兩緣部中的移動方向兩端部形成從上方看時為呈L字狀缺口的L字缺口部。
[0016]在上述直線導向器中，可以為以下結(jié)構，滑架在U字缺口部與L字缺口部之間具有凸緣部，安裝孔形成于凸緣部。
[0017]在上述直線導向器中，可以為以下結(jié)構，多個安裝孔為切孔和螺孔的任一方。
[0018]根據(jù)本實用新型一實施方式，提供一種交叉導向器，其包括:第一直線導向器，其為上述直線導向器；第二直線導向器，其為上述直線導向器；和將第二直線導向器的滑架固定于第一直線導向器的滑架的螺栓，第一直線導向器的安裝孔為切孔，第二直線導向器的安裝孔為螺孔，通過將穿過第一直線導向器的切孔的螺栓擰入到第二直線導向器的螺孔中，第二直線導向器的滑架被直接固定于第一直線導向器的滑架。
[0019]在上述交叉導向器中，可以為以下結(jié)構，第一直線導向器的安裝面與第二直線導向器的安裝面重疊。
[0020]在上述交叉導向器中，可以為以下結(jié)構，第一直線導向器的滑架和第二直線導向器的滑架組裝成彼此的移動方向相差90度。
[0021]實用新型的效果
[0022]根據(jù)本實用新型的一實施方式，不使用中間臺就能夠構成直線導向器方式的交叉導向器，通過實現(xiàn)小型且輕量化而能夠提高激振裝置的頻率特性。
【附圖說明】
[0023]圖1是本實用新型實施方式的激振裝置的俯視圖。
[0024]圖2是本實用新型實施方式的激振裝置的側(cè)視圖。
[0025]圖3是本實用新型實施方式的激振裝置的側(cè)視圖。
[0026]圖4是本實用新型實施方式的Z軸激振單元的俯視圖。
[0027]圖5是本實用新型實施方式的Z軸激振單元的側(cè)視圖。
[0028]圖6是本實用新型實施方式的Z軸激振單元的側(cè)視圖。
[0029]圖7是本實用新型實施方式的X軸激振單元的俯視圖。
[0030]圖8是本實用新型實施方式的X軸激振單元的側(cè)視圖。
[0031]圖9是本實用新型實施方式的X軸激振單元的正視圖。
[0032]圖10是本實用新型實施方式的垂直驅(qū)動用電動型致動器的側(cè)視圖。
[0033]圖11是本實用新型實施方式的垂直驅(qū)動用電動型致動器的正視圖。
[0034]圖12是本實用新型實施方式的垂直驅(qū)動用電動型致動器的縱截面圖。
[0035]圖13是放大本實用新型實施方式的水平驅(qū)動用電動型致動器的中立彈簧機構附近的縱截面圖。
[0036]圖14是本實用新型實施方式的交叉導向器的外觀圖。
[0037]圖15是本實用新型實施方式的A型直線導向器的俯視圖。
[0038]圖16是本實用新型實施方式的A型直線導向器的側(cè)視圖。
[0039]圖17是本實用新型實施方式的A型直線導向器的正視圖。
[0040]圖18是本實用新型實施方式的B型直線導向器的俯視圖。
[0041]圖19是本實用新型實施方式的B型直線導向器的側(cè)視圖。
[0042]圖20是本實用新型實施方式的B型直線導向器的正視圖。
[0043]圖21是說明安裝于中繼框架的頂板的軌道配置圖。
[0044]圖22是滾柱軸承式直線導向器的橫截面圖。
[0045]圖23是圖22的I 一 I截面圖。
[0046]圖24是表示直線導向器的滾柱與保持件的配置關系圖。
[0047]圖25是放大振動臺附近的俯視圖。
[0048]圖26是放大X軸激振單元的支承單元的彈簧機構附近的圖。
[0049]圖27是本實用新型實施方式的激振裝置的驅(qū)動控制系統(tǒng)的方塊圖。
[0050]圖28是球軸承式直線導向器的橫截面圖。
[0051]圖29是放大本實用新型第二實施方式的激振裝置的振動臺附近的俯視圖。
[0052]圖30是放大本實用新型第二實施方式的激振裝置的振動臺附近的側(cè)視圖。
[0053]圖31是本實用新型第二實施方式的Z軸激振單元的可動部外觀圖。
[0054]圖32是本實用新型第二實施方式的中繼框架外觀圖。
[0055]圖33是本實用新型第二實施方式的XY滑塊的Y軸軌道的立體圖。
[0056]圖34是放大本實用新型第三實施方式的激振裝置的振動臺附近的俯視圖。
[0057]圖35是放大本實用新型第四實施方式的激振裝置的振動臺附近的俯視圖。
[0058]圖36是放大本實用新型第四實施方式的激振裝置的振動臺附近的側(cè)視圖。
[0059]圖37是本實用新型第五實施方式的激振裝置的側(cè)視圖。
[0060]圖38是本實用新型第五實施方式的激振裝置的側(cè)視圖。
[0061]圖39是本實用新型第六實施方式的激振裝置的俯視圖。
[0062]圖40是本實用新型第六實施方式的激振裝置的側(cè)視圖。
【具體實施方式】
[0063]以下，參照【附圖說明】本實用新型的實施方式。
[0064]另外，各圖中就同一或?qū)囊刈⒂浲换驅(qū)姆?，并省略重復的說明。
[0065]<第一實施方式>
[0066]圖1是本實用新型第一實施方式的電動型3軸激振裝置1 (以下簡稱為“激振裝置1”)的機構部10的俯視圖。在以下的說明中，將圖1中的左右方向設為X軸方向(將右方向設為X軸正方向)，將上下方向設為Y軸方向(將下方向設為Y軸正方向)，將垂直于紙面的方向設為ζ軸方向(將從紙面背面?zhèn)瘸虮砻鎮(zhèn)鹊姆较蛟O為Z軸正方向)。另外，Z軸方向是鉛垂方向，且X軸和Y軸方向是水平方向。此外，圖2和圖3分別是激振裝置1的側(cè)視圖。另外，圖2是朝向Y軸負方向(圖1中的上方向)觀看激振裝置1的圖，圖3是朝向X軸負方向(圖1中的左方向)觀看激振裝置1的圖。
[0067]如圖1所示，激振裝置1的機構部10包括:在其上表面固定被測體(未圖示)的振動臺400 ;對振動臺400分別在X軸、Y軸和Z軸方向上進行激振的3個激振單元(X軸激振單元100、Y軸激振單元200和Ζ軸激振單元300);和安裝各激振單元100、200和300的裝置底座500。
[0068]圖4是Ζ軸激振單元300的俯視圖，圖5和圖6是Ζ軸激振單元300的側(cè)視圖。另夕卜，圖5是朝向Υ軸負方向觀看Ζ軸激振單元300的圖，圖6是朝向X軸負方向觀看Ζ軸激振單元300的圖。
[0069]此外，圖7、圖8和圖9分別是X軸激振單元100的俯視圖、側(cè)視圖和正視圖。另夕卜，圖7、圖8和圖9分別是朝向Ζ軸負方向、Υ軸負方向和X軸負方向觀看X軸激振單元100的圖。
[0070]各激振單元100、200和300是分別包括電動型致動器(音圈馬達)的直動激振單元。振動臺400與各激振單元100、200和300分別經(jīng)由作為滑動連結(jié)機構的兩軸滑塊(YZ滑塊160、ZX滑塊260和XY滑塊360)而連結(jié)。激振裝置1使用各激振單元100、200和300，對振動臺400和固定于振動臺400上的被測體在正交3軸方向上進行激振。
[0071 ]圖27是表示激振裝置1的驅(qū)動控制系統(tǒng)la的概略結(jié)構的方塊圖。驅(qū)動控制系統(tǒng)la包括:控制整個裝置動作的控制部20 ;計測振動臺400的振動的計測部30 ;對控制部20供給電力的電源部40 ;和與外部進行輸入輸出的接口部50。
[0072]接口部50包括例如與用戶之間進行輸入輸出的用戶接口、用于與LAN(局域網(wǎng)絡)等各種網(wǎng)絡連接的網(wǎng)絡接口、用于與外部機器連接的USB(通用串行總線)和與GPIB(通用接口總線)等各種通信接口中的一個以上。此外，用戶接口例如包含各種操作開關、顯示器、LCD(液晶顯示器)等各種顯示設備、鼠標或觸控墊等各種指示裝置、觸控屏幕、攝影機、打印機、掃描儀、蜂鳴器、揚聲器、麥克風、存儲卡讀寫器等各種輸入輸出裝置中的一個以上。
[0073]計測部30包括安裝于振動臺400的3軸振動傳感器(3軸振動拾取器)32，將3軸振動傳感器32輸出的信號(例如速度信號或加速度信號)放大并數(shù)字轉(zhuǎn)換后傳送至控制部20。另外，3軸振動傳感器32獨立檢測X軸、Y軸和Z軸方向的振動。此外，計測部30根據(jù)3軸振動傳感器32的信號來計算表示振動臺400的振動狀態(tài)的各種參數(shù)(例如，速度、加速度、振幅、功率譜密度等)，并傳送至控制部20。控制部20根據(jù)經(jīng)接口部50輸入的激振波形和來自計測部30的信號，控制輸入至各激振單元100、200和300的驅(qū)動線圈(后述)的交流電流大小和頻率，能夠以希望的振幅和頻率使振動臺400發(fā)生振動。
[0074]接著，說明各激振單元100、200和300的構造。如后述，X軸激振單元100和Y軸激振單元200分別包括水平驅(qū)動用電動型致動器(以下簡稱為“水平致動器”)100A和200A。另外，Z軸激振單元300包括鉛垂驅(qū)動用電動型致動器(以下簡稱為“鉛垂致動器”)300A。
[0075]鉛垂致動器300A包括用于支承被測體和振動臺的重量(靜載荷)的空氣彈簧330(后述)。另外，水平致動器100A和200A分別包括施加使振動臺返回中立位置(原點、基準位置)的復原力的中立彈簧(復位彈簧，回位彈簧，neutral spring)機構130、230(后述)。X軸激振單元100和Y軸激振單元200除了包括中立彈簧機構130、230以取代空氣彈簧330之外，與Z軸激振單元300的結(jié)構相同，所以代表各激振單元，對Z軸激振單元300的結(jié)構進行詳細說明。
[0076]圖10是鉛垂致動器300A的側(cè)視圖，圖11是其正視圖。此外，圖12是Z軸激振單元300 (