基于幅材的化學(xué)浴沉積裝置的制造方法
【專利摘要】所公開的是用于處理幅材的方法和系統(tǒng)。幅材(402)具有第一表面、與第一表面相對(duì)的第二表面，并且包括磁性材料。例示性系統(tǒng)包括處理床(202)，其經(jīng)配置以當(dāng)幅材的第一表面經(jīng)歷一個(gè)或多個(gè)處理步驟時(shí)支撐幅材。系統(tǒng)也包括相對(duì)于處理床放置的磁體(300)以便在幅材上施加朝向處理床拉動(dòng)幅材(403)的中心的磁力。系統(tǒng)進(jìn)一步包括傳送帶(404)，其經(jīng)配置以使幅材在處理床(202)上移動(dòng)。傳送帶(404)具有第一接觸表面和與第一接觸表面相對(duì)的第二接觸表面。第一接觸表面經(jīng)配置以接觸幅材的第二表面，并且第二接觸表面經(jīng)配置以接觸處理床。
【專利說(shuō)明】基于幅材的化學(xué)浴沉積裝置
[0001 ] 相關(guān)申請(qǐng)的交叉參考
[0002]本申請(qǐng)要求于2013年12月20日提交的美國(guó)臨時(shí)申請(qǐng)案第61/918,748號(hào)的優(yōu)先權(quán)，其公開內(nèi)容以全文引用的方式并入本文中。
技術(shù)領(lǐng)域
[0003]本發(fā)明涉及基于幅材的化學(xué)浴沉積。
【背景技術(shù)】
[0004]在實(shí)例中，在柔性襯底上的薄膜太陽(yáng)能電池包括設(shè)置于薄金屬箔片(例如，不銹鋼)上的非晶硅和在金屬或聚酰亞胺箔片上的銅銦鎵砸(CIGS)。薄膜碲化鎘(CdTe)太陽(yáng)能電池可以在玻璃上產(chǎn)生，但是也可以在柔性襯底上產(chǎn)生。制造太陽(yáng)能電池可涉及在柔性襯底上的層的沉積和形成。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]—方面，本公開描述一種用于處理幅材的系統(tǒng)，其中幅材具有第一表面，與第一表面相對(duì)的第二表面，并且包括磁性材料。該系統(tǒng)包括處理床，其中處理床經(jīng)配置以當(dāng)幅材的第一表面經(jīng)歷一個(gè)或多個(gè)處理步驟時(shí)支撐幅材，并且其中處理床包括具有平坦表面的中心部分和具有彎曲表面的側(cè)面部分。該系統(tǒng)也包括多個(gè)磁體，其中多個(gè)磁體相對(duì)于處理床放置以便在幅材上施加朝向處理床拉動(dòng)幅材的磁力，并且其中磁力足以使幅材成形使得幅材基本上與處理床的平坦表面和彎曲表面相符。該系統(tǒng)進(jìn)一步包括傳送帶，其經(jīng)配置以當(dāng)幅材通過(guò)磁力成形以基本上與處理床的平坦表面和彎曲表面相符時(shí)使幅材在處理床上移動(dòng)。傳送帶具有第一接觸表面和與第一接觸表面相對(duì)的第二接觸表面，其中第一接觸表面經(jīng)配置以接觸幅材的第二表面，并且其中第二接觸表面經(jīng)配置以接觸處理床。
[0006]另一方面，本公開描述一種用于處理幅材的方法，其中幅材具有第一表面，與第一表面相對(duì)的第二表面，并且包括磁性材料。該方法包括當(dāng)幅材的第一表面經(jīng)歷一個(gè)或多個(gè)處理步驟時(shí)使用處理床支撐幅材，其中處理床包括具有平坦表面的中心部分和具有彎曲表面的側(cè)面部分。方法也包括使用相對(duì)于處理床放置的多個(gè)磁體在幅材上施加磁力以便朝向處理床拉動(dòng)幅材，其中磁力足以使幅材成形使得幅材基本上與處理床的平坦表面和彎曲表面相符。該方法進(jìn)一步包括當(dāng)幅材通過(guò)磁力成形以基本上與處理床的平坦表面和彎曲表面相符時(shí)使用傳送帶使幅材在處理床上移動(dòng)。傳送帶具有第一接觸表面和與第一接觸表面相對(duì)的第二接觸表面，其中第一接觸表面經(jīng)配置以接觸幅材的第二表面，并且其中第二接觸表面經(jīng)配置以接觸處理床。
[0007]又一方面，本公開描述一種用于處理幅材的裝置，其中幅材具有第一表面，與第一表面相對(duì)的第二表面，并且包括磁性材料。裝置包括嵌入處理床中的多個(gè)磁體，其經(jīng)配置以支撐幅材，其中處理床包括具有平坦表面的中心部分和具有彎曲表面的側(cè)面部分，所述彎曲表面從處理床的平坦表面的相對(duì)側(cè)向上延伸，并且其中多個(gè)磁體經(jīng)配置以對(duì)幅材施加朝向處理床拉動(dòng)幅材的磁力，從而將幅材成形為基本上與處理床的平坦表面和彎曲表面相符的槽。該裝置也包括傳送帶，其經(jīng)配置以當(dāng)幅材通過(guò)磁力成形以基本上與處理床的平坦表面和彎曲表面相符時(shí)使幅材在處理床上移動(dòng)。傳送帶具有第一接觸表面和與第一接觸表面相對(duì)的第二接觸表面，其中第一接觸表面經(jīng)配置以接觸幅材的第二表面，并且其中第二接觸表面經(jīng)配置以接觸處理床。
[0008]前述
【發(fā)明內(nèi)容】
僅僅是說(shuō)明性的，并且不旨在以任何方式限制。除了以上描述的說(shuō)明性方面、實(shí)施例以及特征之外，通過(guò)參考附圖以及以下【具體實(shí)施方式】將使進(jìn)一步的方面、實(shí)施例以及特征變得顯而易見(jiàn)。
【附圖說(shuō)明】
[0009]圖1為示出根據(jù)例示性實(shí)施例的用于使移動(dòng)幅材成形的方法的流程圖。
[0010]圖2A示出根據(jù)例示性實(shí)施例的用于處理幅材的系統(tǒng)。
[0011]圖2B示出根據(jù)例示性實(shí)施例的圖2A中示出的系統(tǒng)的部分。
[0012]圖2C示出根據(jù)例示性實(shí)施例的在圖2B中示出部分中的處理床。
[0013]圖3A示出根據(jù)例示性實(shí)施例的處理床的側(cè)面部分。
[0014]圖3B示出根據(jù)例示性實(shí)施例的嵌入于側(cè)面部分中的磁體陣列。
[0015]圖4示出根據(jù)例示性實(shí)施例的與處理床的平坦表面和彎曲表面相符的幅材。
[0016]圖5示出根據(jù)例示性實(shí)施例的在處理床和幅材之間設(shè)置的傳送帶。
[0017]圖6為示出根據(jù)例示性實(shí)施例的用于由幅材上的流體混合物形成層的方法的流程圖。
[0018]圖7示出根據(jù)例示性實(shí)施例的用于將流體混合物的第一流體流和流體混合物的第二流體流施配到級(jí)聯(lián)器件上的流體輸送裝置。
[0019]圖8A示出根據(jù)例示性實(shí)施例的用于產(chǎn)生用于攪拌在幅材上流體混合物的流型的流體攪拌裝置。
[0020]圖SB示出根據(jù)例示性實(shí)施例的圖8A中描繪的流體攪拌裝置的側(cè)視圖。
[0021]圖9示出根據(jù)例示性實(shí)施例的用于提供處理床的部分之間的熱差的裝置。
[0022]圖10示出根據(jù)例示性實(shí)施例的用于移除殘余材料和殘?jiān)牧黧w移除裝置。
【具體實(shí)施方式】
[0023]以下【具體實(shí)施方式】參考附圖描述了本公開系統(tǒng)和方法的各種特征和功能。在圖中，除非上下文另外規(guī)定，否則類似的符號(hào)標(biāo)識(shí)類似的部件。本文中所描述的說(shuō)明性系統(tǒng)和方法實(shí)施例不意指限制?？梢匀菀桌斫獾氖?，可以布置本公開系統(tǒng)和方法的某些方面并將其組合在廣泛多種不同的配置中，所有這些都涵蓋在本文中。
[0024]如本文所使用，術(shù)語(yǔ)“光伏電池”(在本文中也為“太陽(yáng)能電池”)一般是指包含光敏材料(或吸收器)的器件，其經(jīng)配置以當(dāng)該器件暴露于電磁輻射(或能量)或給定波長(zhǎng)或電磁輻射波長(zhǎng)分布時(shí)，產(chǎn)生電子(或電)。太陽(yáng)能電池可以與其它類似的太陽(yáng)能電池串聯(lián)電連接以升高電壓電平并最小化由于高電流而另外發(fā)生的電阻損耗。在一些實(shí)例中，許多太陽(yáng)能電池可以串聯(lián)連接并且集成到數(shù)米長(zhǎng)的太陽(yáng)能模塊中。
[0025]形成光伏電池可涉及利用薄膜、光吸收半導(dǎo)體材料。例示性光伏電池可包括不銹鋼幅材襯底。不銹鋼幅材襯底可以是柔性襯底。在一個(gè)實(shí)例中，處理不銹鋼幅材襯底以形成光伏器件可包括在不銹鋼幅材襯底的背面上形成鉬(Mo)層。此后，可在不銹鋼襯底的正面上進(jìn)行處理。舉例來(lái)說(shuō)，鉻(Cr)層可以相鄰于襯底形成并且Mo層可以在Cr層以上形成。在電池中將光轉(zhuǎn)化為電的吸收層可以為下一層。這通常為P型層。優(yōu)選的吸收劑為銅硫?qū)倩?，如銅銦砸化物、硫化物或砸化硫化物(統(tǒng)稱為CIS層)。優(yōu)選銅銦鎵砸(CIGS)。吸收層可以摻雜有鈉(Na)。!!型層可以形成為在吸收層上的緩沖層。優(yōu)選硫化鎘(CdS)緩沖層。本發(fā)明的方法適合用于形成該緩沖層。進(jìn)一步，附加透明導(dǎo)體層和其它層可以通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)方法在緩沖層上形成。舉例來(lái)說(shuō)，在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，電阻性氧化鋅(ZnO)層可以在緩沖層上形成并且透明導(dǎo)電氧化物(TC0，舉例來(lái)說(shuō)氧化銦錫或氧化鋁鋅)層可以在氧化鋅層上形成。
[0026]在實(shí)例中，形成光伏電池的組成層可涉及多個(gè)輥到輥沉積系統(tǒng)或階段。作為一個(gè)實(shí)例，在第一階段中，不銹鋼幅材襯底的背面涂覆有背面Mo層，并且不銹鋼襯底的正面涂覆有背電極Cr/Mo、堿金屬氟化鈉(NaF)層以及前體CIGs層。在第二階段內(nèi)，CIGs前體可以全部反應(yīng)以形成光敏CIGS。在第三階段中，可以沉積CdS緩沖層。在第四階段中，可以沉積透明的氧化物層(ZnO/TCO)。
[0027]這些階段、系統(tǒng)或處理步驟為僅用于說(shuō)明的實(shí)例。可以使用更多或更少的步驟/階段并且可以使用不同材料以形成給定的光伏電池。在基于幅材的光伏吸收層的頂部上形成緩沖層(例如，形成CdS層)可涉及在幅材和連接到其上的吸收層上沉積流體混合物。沉積流體混合物以在幅材上形成均勻緩沖層可涉及多種挑戰(zhàn)。舉例來(lái)說(shuō)，可能需要當(dāng)幅材在緩沖層形成時(shí)的多個(gè)處理階段中移動(dòng)時(shí)，提供幅材的精密幾何控制和熱控制。如上所述，幅材(例如，不銹鋼柔性襯底)可以以輥的形式接收。輥可以展開以提供平坦的幅材，在該幅材上可以形成一個(gè)或多個(gè)均勻?qū)?。第一個(gè)挑戰(zhàn)可涉及提供具有足夠的平面表面的幅材，例如，在約一米的寬度和數(shù)十米的長(zhǎng)度之上平坦到小于毫米的表面。
[0028]另一個(gè)挑戰(zhàn)可涉及混合待沉積在幅材上的多種流體。作為一個(gè)實(shí)例，假設(shè)混合兩種或更多種流體，則可以遠(yuǎn)端混合該流體并且然后輸送至處理系統(tǒng)用于在幅材上沉積?；旌系牧黧w(其為反應(yīng)性的)可以經(jīng)由多個(gè)閥門系統(tǒng)和導(dǎo)管輸送至處理系統(tǒng)?；旌系姆磻?yīng)或活性流體可與輸送系統(tǒng)的部件相互作用，因此可被最終也沉積在幅材上的粒子污染。
[0029]另一個(gè)挑戰(zhàn)可涉及攪拌流體以在幅材上形成均勾薄層(例如，具有5mm至1mm深度的流體)的約束下提供更好的混合而不污染流體。然而另一個(gè)挑戰(zhàn)可涉及當(dāng)形成層時(shí)從幅材移除過(guò)量的流體和碎肩(例如，已在流體混合物內(nèi)成核的CdS粒子)。
[0030]本文公開可解決上述挑戰(zhàn)的方法和系統(tǒng)。該方法和系統(tǒng)涉及使移動(dòng)幅材成形使得其足夠平坦以形成均勻?qū)?，同時(shí)仍能夠保持形成層的流體混合物，提供流體的適當(dāng)混合和攪拌而不會(huì)受到污染，以及提供殘余材料和碎肩的移除。該方法和系統(tǒng)作為僅用于說(shuō)明的實(shí)例描述于光伏電池的上下文中。本文中所描述的方法和系統(tǒng)一般涉及在任何類型的幅材上沉積任何類型的層。
[0031]1.使移動(dòng)幅材成形
[0032]圖1為示出根據(jù)例示性實(shí)施例的用于使移動(dòng)幅材成形的方法100的流程圖。方法100可包括如由一個(gè)或多個(gè)方框102至方框106所示的一個(gè)或多個(gè)操作、功能或動(dòng)作。盡管方框以順序次序示出，但是在一些情況下這些方框可以并列和/或以與在本文中所描述的那些次序不同的次序執(zhí)行。另外，基于期望的實(shí)施方案，多個(gè)方框可被組合成更少的方框，被分成附加的方框和/或被移除。
[0033]在本實(shí)例中，幅材具有第一表面(舉例來(lái)說(shuō)，其中發(fā)生通過(guò)化學(xué)浴沉積或其它處理而沉積的CdS層或不同材料的形成)和與第一表面相對(duì)的第二表面。幅材也包括磁性材料，如由磁性形式的不銹鋼構(gòu)成的襯底。
[0034]在方框102處，方法100包括當(dāng)幅材的第一表面經(jīng)歷一個(gè)或多個(gè)處理步驟時(shí)使用處理床支撐幅材，其中處理床包括具有平坦表面的中心部分和具有彎曲表面的側(cè)面部分。
[0035]圖2A示出根據(jù)例示性實(shí)施例的處理幅材的系統(tǒng)200。圖2A描繪可包括用于幅材的多個(gè)處理階段的系統(tǒng)(或裝置)200。系統(tǒng)200可以經(jīng)配置用于從在幅材上的化學(xué)流體混合物浴中沉積層。因此，系統(tǒng)200可稱為化學(xué)浴沉積系統(tǒng)或裝置。圖2B示出根據(jù)例示性實(shí)施例的系統(tǒng)200的部分。如所示，系統(tǒng)200的部分包括在一個(gè)或多個(gè)處理系統(tǒng)203下面的處理床202。來(lái)自輥201的幅材可以通過(guò)系統(tǒng)200傳送使得當(dāng)幅材通過(guò)一個(gè)或多個(gè)處理系統(tǒng)203經(jīng)歷處理時(shí)其由處理床202支撐。
[0036]圖2C更詳細(xì)地示出根據(jù)例示性實(shí)施例的在圖2B中說(shuō)明的部分中的處理床202。處理床202可包括如圖2C中所示的具有平坦表面的中心部分204和具有彎曲表面的側(cè)面部分206A和側(cè)面部分206B。側(cè)面部分206A和側(cè)面部分206B的彎曲表面可經(jīng)配置以從如圖2C所示的處理床202的中心部分204的平坦表面的相對(duì)側(cè)向上延伸(例如，向上彎曲或呈角度)。以這種方式，處理床202可經(jīng)配置為具有槽狀形狀。
[0037]返回參考圖1，在方框104處，方法100包括使用相對(duì)于處理床放置的多個(gè)磁體在幅材上施加磁力以便朝向處理床拉動(dòng)幅材，其中磁力足以使幅材成形使得幅材基本上與處理床的平坦表面和彎曲表面相符。圖2C中示出的處理床202可包括多個(gè)磁體。多個(gè)磁體可以接近于中心部分204和側(cè)面部分206A與側(cè)面部分206B兩者嵌入處理床202中。
[0038]圖3A示出根據(jù)例示性實(shí)施例的處理床202的側(cè)面部分206B。圖3B示出根據(jù)例示性實(shí)施例的嵌入側(cè)面部分206B中的磁體陣列300。類似的磁體陣列(未示出)也可以嵌入處理床202的中心部分204和側(cè)面部分206A中。
[0039]圖4示出根據(jù)例示性實(shí)施例的與處理床202的平坦表面和彎曲表面相符的幅材402。如上文所指出，幅材402可包括磁性材料。在實(shí)例中，幅材402可以是涂覆的金屬或涂覆的金屬化聚合物。在一個(gè)實(shí)例中，幅材402可包括磁性不銹鋼(例如，鐵磁體和馬氏體不銹鋼，如等級(jí)413的不銹鋼)。嵌入處理床202中的磁體陣列(例如，磁體陣列300)可經(jīng)配置以與幅材402的磁性材料相互作用。舉例來(lái)說(shuō)，磁體陣列可以相對(duì)于處理床202放置以便在幅材402上施加朝向處理床202拉動(dòng)幅材402的磁力。磁體經(jīng)配置以施加使幅材402成形的足夠的力使得幅材402基本上與處理床202的平坦表面和彎曲表面相符。在一個(gè)實(shí)例中，磁體陣列(如磁體陣列300)可包括可移動(dòng)的永久磁體。在本實(shí)例中，可以調(diào)節(jié)磁體陣列的位置或方位以便調(diào)節(jié)由磁體陣列產(chǎn)生的磁力或磁場(chǎng)。在另一實(shí)例中，磁體陣列可以是可經(jīng)由電流控制的電磁體陣列。因此可以打開或關(guān)閉電磁體并且可以調(diào)節(jié)所產(chǎn)生的磁場(chǎng)/力的強(qiáng)度。
[0040]以這種方式，使幅材402成形以包括中心部分403和側(cè)面部分403A與側(cè)面部分403B，所述中心部分403具有與處理床202的中心部分204的平坦表面相符的平坦形狀，所述側(cè)面部分403A與側(cè)面部分403B向上彎曲以分別基本上與處理床202的側(cè)面部分206a與側(cè)面部分206b的彎曲表面相符。因此，由磁體施加的力使得幅材402根據(jù)處理床402的槽形成槽形。如下文關(guān)于圖6的方法600所述，幅材402的槽形有助于流體容納(例如，使流體保持在幅材402的一側(cè)上)。
[0041 ]在一些實(shí)例中，除了處理床202具有磁體陣列(例如，磁體陣列300)之外或可替代地，處理床可以由與幅材402的磁性材料相互作用的磁性材料(全部或部分)制成以向下拉動(dòng)幅材40 2。
[0042]返回參考圖1，在方框106處，方法100包括當(dāng)幅材由磁力成形以基本上與處理床的平坦表面和彎曲表面相符時(shí)使用傳送帶使幅材在處理床上移動(dòng)。傳送帶具有第一接觸表面和與第一接觸表面相對(duì)的第二接觸表面。第一接觸表面經(jīng)配置以接觸幅材的第二表面，并且第二接觸表面經(jīng)配置以接觸處理床。圖4描繪設(shè)置在幅材402和處理床202之間并經(jīng)配置以使幅材402在處理床202上移動(dòng)的傳送帶404。
[0043]圖5示出根據(jù)例示性實(shí)施例的設(shè)置在處理床202和幅材402之間的傳送帶404。傳送帶404具有第一接觸表面502和與第一接觸表面502相對(duì)的第二接觸表面504。幅材402具有第一表面506A和與第一表面相對(duì)的第二表面506B。幅材402的第一表面可以朝向上方并可經(jīng)歷如以下關(guān)于方法600所描述的若干處理步驟。幅材402的第二表面可經(jīng)配置以接觸傳送帶404的第一接觸表面502。第二接觸表面504經(jīng)配置以接觸如圖5所示的處理床202。
[0044]在實(shí)例中，傳送帶404的第一接觸表面502可經(jīng)配置具有高摩擦系數(shù)以便將牽引力施加至幅材402的第二表面506B，使得幅材402與傳送帶404—起移動(dòng)。傳送帶404的第二接觸表面504可具有低摩擦系數(shù)(例如，低于第一接觸表面502的摩擦系數(shù))以便在處理床202的平坦表面之上滑動(dòng)并相對(duì)于該平坦表面移動(dòng)。因此，當(dāng)傳送帶404移動(dòng)/轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，幅材402隨著傳送帶404移動(dòng)同時(shí)處理床202保持靜止。盡管傳送帶404在圖5中示出以某一方向移動(dòng)(例如，以順時(shí)針?lè)较蜣D(zhuǎn)動(dòng))，但是在其它情況下傳送帶404和幅材402可以相對(duì)的方向移動(dòng)。
[0045]嵌入處理床202中的磁體陣列經(jīng)配置以通過(guò)傳送帶404與幅材402的磁性材料相互作用。因此，當(dāng)幅材通過(guò)傳送帶404移動(dòng)時(shí)，由磁體施加的力使得幅材402維持以上描述的槽形。由于幅材402和處理床202之間沒(méi)有直接接觸，所以第一接觸表面502和第二接觸表面504各自的摩擦系數(shù)的差異解耦幅材402和具有嵌入其中的磁體陣列的處理床202之間的摩擦。因此，幅材402的運(yùn)動(dòng)、速度以及拉力與處理床202解耦，并且當(dāng)幅材402通過(guò)系統(tǒng)200的多個(gè)階段或處理步驟由傳送帶404承載時(shí)，此類解耦可防止幅材402的斷裂。傳送帶404經(jīng)配置以通過(guò)系統(tǒng)200的多個(gè)階段或處理步驟使幅材402移動(dòng)，以便由流體混合物在幅材402的第一表面506A上形成層。
[0046]I1.流體處理
[0047]圖6為示出根據(jù)例示性實(shí)施例的用于由流體混合物在幅材上形成層的方法600的流程圖。方法600可包括如由一個(gè)或多個(gè)方框602至方框606所示的一個(gè)或多個(gè)操作、功能或動(dòng)作。盡管方框以順序次序示出，但是在一些情況下這些方框可以并列和/或以與本文中所描述的那些次序不同的次序執(zhí)行。另外，基于期望的實(shí)施方案，多個(gè)方框可被組合成更少的方框，被分成附加的方框和/或被移除。
[0048]在方框602處，方法600包括將流體混合物的第一流體流和流體混合物的第二流體流施配到級(jí)聯(lián)器件上。級(jí)聯(lián)器件具有上部層級(jí)、放置在幅材以上的下部層級(jí)、在上部層級(jí)和下部層級(jí)之間的多個(gè)梯級(jí)，并且經(jīng)配置以振動(dòng)。將第一流體流和第二流體流施配到級(jí)聯(lián)器件的上部層級(jí)上，使得(i)第一流體和第二流體向下級(jí)聯(lián)梯級(jí)至下部層級(jí)并且到幅材上，以及(ii)第一流體和第二流體在達(dá)到幅材之前至少部分地通過(guò)級(jí)聯(lián)和通過(guò)級(jí)聯(lián)器件的振動(dòng)來(lái)混合。
[0049]在實(shí)例中，可以混合任何數(shù)目的流體以在幅材上形成層。方法600使用作為僅用于說(shuō)明的實(shí)例的兩種流體的混合物在本文中描述。作為用于說(shuō)明的實(shí)例，第一流體可以是包括硫酸鎘(CdSO4)和氫氧化銨(NH4OH)的化學(xué)溶液，而第二流體可以是包括硫脲(SC(NH2 )2)的化學(xué)溶液。在本實(shí)例中，在幅材上沉積的所得層可因此包括硫化鎘(CdS)。作為替代方案，可以通過(guò)用硫酸鋅(ZnSO4)或硫酸銦(In2(SO4)3)中任一者來(lái)代替硫酸鎘(CdSO4)形成硫化鋅層或硫化銦層。在一個(gè)實(shí)例中，第一流體和第二流體可在遠(yuǎn)離幅材表面的混合站處混合，且然后作為準(zhǔn)備反應(yīng)的混合物傳輸至分配噴嘴或任何其它分配構(gòu)件以沉積在幅材的表面上。然而，該混合物可隨時(shí)間與運(yùn)輸系統(tǒng)的閥門、管道、部件等相互作用且因此可產(chǎn)生與將要沉積于幅材上的流體混合物混雜的殘?jiān)臀廴疚铩?br>[0050]在另一實(shí)例中，在遠(yuǎn)端站處混合流體的替代方案，第一流體流和第二流體流各自分開被引入在幅材上的分配頭(例如，包括一個(gè)或多個(gè)噴嘴)，且各自單獨(dú)地呈現(xiàn)在振動(dòng)級(jí)聯(lián)上，其在它們正好從該級(jí)聯(lián)下落到幅材的表面上之前混合該溶液。以這種方式，不會(huì)由已經(jīng)反應(yīng)的流體混合物與流體運(yùn)輸系統(tǒng)的部件及傳輸線的相互作用產(chǎn)生殘?jiān)蛭廴疚铩?br>[0051]圖7示出根據(jù)例示性實(shí)施例的將流體混合物的第一流體702的流和第二流體704的流施配到級(jí)聯(lián)器件706上的流體輸送裝置。流體輸送裝置可包括經(jīng)配置以將第一流體702的流和第二流體704的流施配至級(jí)聯(lián)器件706上的化學(xué)施配器器件，如圖7中所示的噴嘴707。級(jí)聯(lián)器件706可具有上部層級(jí)708、放置在幅材402以上的下部層級(jí)710(例如，在距幅材402的第一表面506A預(yù)定距離處)。級(jí)聯(lián)器件706也可包括在上部層級(jí)708與下部層級(jí)710之間包括多個(gè)梯級(jí)712。
[0052]進(jìn)一步，級(jí)聯(lián)器件706可經(jīng)配置以振動(dòng)。舉例來(lái)說(shuō)，級(jí)聯(lián)器件706可經(jīng)配置以在橫向方向、縱向方向、垂直方向或其組合上振蕩。級(jí)聯(lián)器件706可經(jīng)配置以以預(yù)定頻率或根據(jù)隨時(shí)間推移的預(yù)定頻率與方向曲線振動(dòng)?？梢允褂媒?jīng)配置以使級(jí)聯(lián)器件706產(chǎn)生振動(dòng)的任何結(jié)構(gòu)。舉例來(lái)說(shuō)，該結(jié)構(gòu)可利用電力系統(tǒng)(例如，電動(dòng)機(jī))、液壓系統(tǒng)、電力機(jī)械系統(tǒng)、電力液壓系統(tǒng)等以使級(jí)聯(lián)器件706振動(dòng)。
[0053]以這種方式，當(dāng)將第一流體702的流和第二流體704的流施配到級(jí)聯(lián)器件706的上部層級(jí)708上時(shí)，第一流體702和第二流體704向下級(jí)聯(lián)梯級(jí)712至下部層級(jí)710并且到幅材402上。當(dāng)級(jí)聯(lián)器件706振動(dòng)時(shí)將第一流體702和第二流體704向梯級(jí)712往下級(jí)聯(lián)，這促進(jìn)流體702和流體704在達(dá)到幅材402之前至少部分混合。在一個(gè)實(shí)例中，第一流體702和第二流體704可以在達(dá)到幅材402之前完全混合。
[0054]施配至幅材402上的第一流體702和第二流體704的流體混合物714可形成具有給定厚度或深度(例如，在I毫米至10毫米范圍內(nèi))的溶液，從而覆蓋幅材402的第一表面506A?？筛鶕?jù)幅材402的類型、沉積的流體、待建立的層等采用任何流體深度。如關(guān)于圖4所描述的，幅材402可以是具有中心部分403和側(cè)面部分403A、側(cè)面部分403B的槽形，所述中心部分403具有平坦表面，所述側(cè)面部分403A、側(cè)面部分403B向上彎曲以基本上與處理床202的形狀相符。當(dāng)幅材402的第一表面506A經(jīng)歷進(jìn)一步的處理步驟時(shí)，幅材402的槽形有利于在幅材402的第一表面506A上容納流體混合物714。
[0055]返回參考圖6，在方框604處，方法600包括當(dāng)層形成時(shí)，使用至少一個(gè)放置在幅材上的風(fēng)扇產(chǎn)生攪拌在幅材上流體混合物的流型，而沒(méi)有任何風(fēng)扇接觸流體混合物。為了促進(jìn)由施配到幅材表面上的流體混合物形成均勻?qū)樱梢允褂脭嚢?或攪動(dòng))裝置以提供與幅材表面接觸的溶液的混合。優(yōu)選地，攪拌裝置經(jīng)配置以提供混合溶液而不會(huì)污染流體混合物反應(yīng)、破壞幅材的表面或產(chǎn)生任何殘?jiān)?br>[0056]圖8A示出根據(jù)例示性實(shí)施例的用于產(chǎn)生用于攪拌幅材402上的流體混合物714的流型的流體攪拌裝置。在一些實(shí)例中，系統(tǒng)200可包括一個(gè)或多個(gè)經(jīng)配置以加熱支撐幅材402的處理床202的加熱器(未示出)。通過(guò)一個(gè)或多個(gè)加熱器產(chǎn)生的熱量可以轉(zhuǎn)移(例如，通過(guò)傳導(dǎo))至幅材402和在其上施配的流體混合物714，并且可有助于第一流體702和第二流體704的反應(yīng)以使得能夠形成層。作為反應(yīng)的結(jié)果，可以產(chǎn)生氣體或蒸汽以及熱量。舉例來(lái)說(shuō)，若第一流體702包括硫酸鎘并且第二流體704包括硫脲，則蒸汽可包括氨或氨類氣體。圖8A描繪了玻璃面板802和密封表面804，其形成經(jīng)配置以限制由施配到幅材402的第一表面506A上的流體混合物714的化學(xué)反應(yīng)釋放的蒸汽和熱量的殼體。
[0057]進(jìn)一步，圖8A描繪所述殼體至少部分圍繞經(jīng)配置以分配由流體混合物714釋放的蒸汽和熱量的風(fēng)扇陣列800。在一些實(shí)例中，除由化學(xué)反應(yīng)釋放的蒸汽之外，系統(tǒng)200可包括用于在殼體中噴射通過(guò)風(fēng)扇陣列800而在流體混合物714上均勻分布并循環(huán)的氣體(例如，惰性氣體)的構(gòu)件。
[0058]流體攪拌裝置可經(jīng)配置以使得風(fēng)扇陣列800中的風(fēng)扇(例如)通過(guò)任何致動(dòng)構(gòu)件如電動(dòng)機(jī)806旋轉(zhuǎn)。如圖8A中所描繪的電動(dòng)機(jī)806經(jīng)配置以控制與風(fēng)扇陣列800對(duì)應(yīng)的滑輪陣列808并且經(jīng)配置以給定方向和給定速度下驅(qū)動(dòng)風(fēng)扇陣列800。使用電動(dòng)機(jī)806和滑輪808為僅用于說(shuō)明的實(shí)例，并且任何其它驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)可用于驅(qū)動(dòng)風(fēng)扇陣列800。舉例來(lái)說(shuō)，風(fēng)扇陣列800中的每個(gè)風(fēng)扇可以由對(duì)應(yīng)的電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)。
[0059]圖SB示出根據(jù)例示性實(shí)施例的圖8A中描繪的流體攪拌裝置的側(cè)視圖。如圖SB中所描繪，風(fēng)扇陣列800物理上未接觸或污染流體混合物714。因此，不會(huì)由于攪拌流體混合物714而產(chǎn)生殘?jiān)蛭廴疚铩Ａ硗?，由于風(fēng)扇陣列800和幅材402之間沒(méi)有物理接觸，所以幅材402的第一表面506A未被破壞。
[0060]在一個(gè)實(shí)例中，流體攪拌裝置可經(jīng)配置以控制風(fēng)扇陣列800以在給定速度下給定方向上旋轉(zhuǎn)給定量的時(shí)間。在其它實(shí)例中，流體攪拌裝置可經(jīng)配置以振蕩方式在重復(fù)循環(huán)中控制風(fēng)扇陣列800的旋轉(zhuǎn)和方向速度。舉例來(lái)說(shuō)，給定的循環(huán)可包括:風(fēng)扇陣列800在第一方向上旋轉(zhuǎn)第一預(yù)定量的時(shí)間；停止旋轉(zhuǎn)第二預(yù)定時(shí)間；以及在與第一方向相對(duì)的第二方向上旋轉(zhuǎn)第三預(yù)定量的時(shí)間。在一些實(shí)例中，風(fēng)扇陣列800中的風(fēng)扇不是所有都在相同的方向上并以相同速度旋轉(zhuǎn)。舉例來(lái)說(shuō)，一些風(fēng)扇可以以給定方向旋轉(zhuǎn)，而其它風(fēng)扇以相反方向旋轉(zhuǎn)，而其它風(fēng)扇可以不旋轉(zhuǎn)。另外，在實(shí)例中，單獨(dú)的風(fēng)扇可以以不同的速度旋轉(zhuǎn)。以這種方式，流體攪拌裝置可經(jīng)配置以根據(jù)流體類型和化學(xué)反應(yīng)在流體混合物714中建立生層流和/或湍流。
[0061]因此，與風(fēng)扇陣列800組合的一個(gè)或多個(gè)加熱器可經(jīng)配置以控制在殼體中的蒸汽移動(dòng)和熱量分配。舉例來(lái)說(shuō)，風(fēng)扇陣列800的旋轉(zhuǎn)可使得蒸汽壓施加至流體混合物714并且可在流體混合物714中產(chǎn)生引起流體混合物714攪拌或攪動(dòng)的流型或波?？刂骑L(fēng)扇陣列800的旋轉(zhuǎn)循環(huán)可用于優(yōu)化在流體混合物714中流體的混合并且可使得在流體混合物714中維持預(yù)定的溫度分布。攪拌和在流體混合物714中維持的溫度分布可促進(jìn)在流體混合物714內(nèi)的反應(yīng)和在幅材402上均勻?qū)拥男纬伞?br>[0062]如上所述，一個(gè)或多個(gè)加熱器可以用于加熱處理床202。在一些實(shí)例中，處理床202可以被分成單獨(dú)的部分，每個(gè)部分被加熱至相應(yīng)的溫度。作為用于說(shuō)明的實(shí)例，處理床202的部分(其中設(shè)置級(jí)聯(lián)器件706并且將流體混合物714施配到幅材402上)可以被加熱至高溫。當(dāng)幅材402移動(dòng)至處理床202的其它部分時(shí)，可逐步地升高溫度以建立促進(jìn)流體混合物714內(nèi)的化學(xué)反應(yīng)的溫度梯度。舉例來(lái)說(shuō)，以下的部分可以被加熱至65°C至90°C的溫度。為了使處理床202的不同部分被加熱至不同的溫度而不使得熱量從部分轉(zhuǎn)移至另一個(gè)部分，熱分隔件可以用于將處理床202的單獨(dú)部分彼此熱隔離。
[0063]圖9示出根據(jù)例示性實(shí)施例的用于提供處理床202的各部分之間的熱差的裝置。圖9描繪了通過(guò)熱分隔件906分離的處理床202的第一部分902和處理床的第二部分904。熱分隔件906將第一部分902與部分904熱隔離并因此允許每個(gè)部分被加熱至不同的溫度。在各部分之間的此類熱隔離允許在整個(gè)處理床202中產(chǎn)生溫度梯度并且促進(jìn)流體混合物714內(nèi)的化學(xué)反應(yīng)。
[0064]返回參考圖6，在方框606處，方法600包括將沖洗流體施配到幅材上；并且在形成層之后通過(guò)抽吸移除沖洗流體和剩余部分的在幅材上殘余的流體混合物。在幅材上形成層期間，粒子(例如，CdS粒子)可以已在流體混合物內(nèi)成核。不是所有粒子都成為該層的部分。一些粒子可構(gòu)成將要移除的殘?jiān)员惴乐顾纬蓪拥奈廴?。另外，在一個(gè)實(shí)例中，不是施配在幅材上的所有流體混合物都用于層的形成，并且在形成層之后過(guò)量的流體混合物可保留為殘余材料。
[0065]圖10示出根據(jù)例示性實(shí)施例的用于移除殘余材料和殘?jiān)牧黧w移除裝置。流體移除裝置包括沖洗器件和抽吸器件。圖10描繪經(jīng)配置用于從幅材402的表面移除殘余材料和殘?jiān)膰娮?002(作為例示性沖洗器件)及真空頭1004(作為例示性抽吸器件)的組合。雖然在圖10中描繪了一個(gè)噴嘴1002，但是可以使用多個(gè)噴嘴以施配沖洗流體或沖洗液。舉例來(lái)說(shuō)，沖洗液可包括去離子水、表面活性劑或任何數(shù)目的流體或混合物。
[0066]噴嘴1002可經(jīng)配置以當(dāng)幅材402移動(dòng)(經(jīng)由傳送帶404)時(shí)將沖洗流體或沖洗液施配至幅材402上。當(dāng)噴嘴1002將沖洗流體施配到幅材402的表面上時(shí)，沖洗流體形成使如圖1O所示的局部提高過(guò)量流體的液位的駐波(或障壁)。沖洗流體也使過(guò)量粒子松動(dòng)或碰撞離開幅材402的第一表面506A和/或形成層的表面。
[0067]真空頭1004可經(jīng)配置以在幅材402以上在預(yù)定高度處施加抽吸。通過(guò)噴嘴1002施配的沖洗流體可將過(guò)量流體的液位局部升高到至少在幅材402以上的預(yù)定高度。經(jīng)真空頭1004施加的抽吸在基本上與幅材402的第一表面506A垂直的方向上向上拉動(dòng)流體。通過(guò)真空頭1004向上拉動(dòng)的材料進(jìn)入真空歧管1006并且通過(guò)真空歧管1006被傳輸至(例如)廢料收集室。因此，過(guò)量流體和粒子被移除且被未留下而污染幅材402的表面。
[0068]當(dāng)真空頭頭1004施加抽吸到幅材402的表面上以向上拉動(dòng)過(guò)量材料時(shí)，通過(guò)嵌入處理床202中的磁體陣列和幅材402的磁性材料的相互作用施加的磁力使幅材402倒置并被限制于處理床202，使得當(dāng)施加真空頭1004的抽吸力時(shí)幅材402不與過(guò)量的材料一起被向上拉動(dòng)。
[0069]系統(tǒng)200可包括用于進(jìn)一步處理的更多的模塊或裝置。舉例來(lái)說(shuō)，系統(tǒng)200可包括清潔裝置，其經(jīng)配置以經(jīng)由任何類型的合適的清潔溶液來(lái)清潔幅材402和在其上形成的層。在另一實(shí)例中，系統(tǒng)200可包括干燥裝置，其經(jīng)配置以干燥(例如，經(jīng)由氣刀或任何其它器件)幅材402和在其上形成的層。在再一實(shí)例中，系統(tǒng)200可包括伸直裝置，其經(jīng)配置以在形成層之后使幅材402的邊緣伸直以使幅材402基本上平面。在又一實(shí)例中，系統(tǒng)200可包括輥壓裝置，其經(jīng)配置以在形成層之后重新輥壓幅材402。在本實(shí)例中，系統(tǒng)200可稱為輥到輥系統(tǒng)，如幅材402可以已經(jīng)接收為輥201，其被展開用于層的處理與沉積并且在形成層之后再次重新輥壓。系統(tǒng)200可包括用于幅材402的后處理和/或預(yù)處理的其它模塊或裝置。
[0070]進(jìn)一步，在一些實(shí)例中，系統(tǒng)200可包括多種傳感器，其可沿著幅材402通過(guò)系統(tǒng)200行進(jìn)的路徑安裝。作為實(shí)例，系統(tǒng)200可包括經(jīng)配置以檢測(cè)涂覆的幅材402的厚度的厚度傳感器。系統(tǒng)200也可包括經(jīng)配置以檢測(cè)在幅材402上形成的層上的表面缺陷的光學(xué)傳感器。其它傳感器可經(jīng)配置以檢測(cè)表面上和/或穿過(guò)涂層深度中任一者的化學(xué)組成，并且系統(tǒng)200可經(jīng)配置以相應(yīng)地控制施配第一流體702和第二流體704(圖7)。這些傳感器為僅用于說(shuō)明的實(shí)例，并且其它類型的傳感器可用于系統(tǒng)200中。
[0071]圖1至圖10中描述的方法和系統(tǒng)有利于提供具有槽狀形狀的移動(dòng)幅材，提供流體的適當(dāng)混合和攪拌而沒(méi)有污染，并且提供殘余材料和殘?jiān)囊瞥鴽](méi)有流體混合物的再污染。在一個(gè)實(shí)例中，可以實(shí)施圖1至圖10中描述的方法和系統(tǒng)以由沉積到移動(dòng)幅材上的流體混合物形成太陽(yáng)能電池中的緩沖層(例如，CdS)。然而，圖1至圖10中所描述的方法和系統(tǒng)可用于在任何類型的移動(dòng)幅材上形成任何類型的流體層用于化學(xué)反應(yīng)或膜沉積或兩者的組入口 ο
[0072]雖然已參考某些實(shí)施方案描述了本發(fā)明的方法和/或裝置，但本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)理解，在不脫離本發(fā)明的方法和/裝置范圍的情況下可以進(jìn)行各種改變并且其等效物可以被代替。另外，在不脫離本發(fā)明的范圍的情況下，可以進(jìn)行許多修改以使特定情況或材料適應(yīng)于本公開內(nèi)容的教導(dǎo)。因此，預(yù)期本發(fā)明的方法和/或裝置不限于所公開的特定實(shí)施方案，而且本發(fā)明的方法和/或裝置將包括在所附權(quán)利要求書范圍內(nèi)的所有實(shí)施方案。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于處理幅材的系統(tǒng)，其中所述幅材具有第一表面、與所述第一表面相對(duì)的第二表面，并且包含磁性材料，所述系統(tǒng)包含: 處理床，其中所述處理床經(jīng)配置以當(dāng)所述幅材的所述第一表面經(jīng)歷一個(gè)或多個(gè)處理步驟時(shí)支撐所述幅材，并且其中所述處理床包括具有平坦表面的中心部分和具有彎曲表面的側(cè)面部分； 多個(gè)磁體，其中所述多個(gè)磁體相對(duì)于所述處理床放置以便在所述幅材上施加朝向所述處理床拉動(dòng)所述幅材的磁力，并且其中所述磁力足以使所述幅材成形使得所述幅材基本上與所述處理床的所述平坦表面和彎曲表面相符；以及 傳送帶，其經(jīng)配置以當(dāng)所述幅材由所述磁力成形以基本上與所述處理床的所述平坦表面和彎曲表面相符時(shí)使所述幅材在所述處理床上移動(dòng)，其中所述傳送帶具有第一接觸表面和與所述第一接觸表面相對(duì)的第二接觸表面。其中所述第一接觸表面經(jīng)配置以接觸所述幅材的所述第二表面，并且其中所述第二接觸表面經(jīng)配置以接觸所述處理床。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述傳送帶的所述第一接觸表面經(jīng)配置以施加牽引力至所述幅材的所述第二表面，使得所述幅材與所述傳送帶一起移動(dòng)，并且其中所述傳送帶的第二接觸表面經(jīng)配置以在所述處理床的所述平坦表面上滑動(dòng)。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的系統(tǒng)，其中所述磁體嵌入所述處理床中。4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的系統(tǒng)，其中所述處理床的所述彎曲表面從所述處理床的所述平坦表面的相對(duì)側(cè)向上延伸。5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的系統(tǒng)，其中當(dāng)所述幅材由所述磁力成形以基本上與所述處理床的所述平坦表面和彎曲表面相符時(shí)，所述幅材具有槽形，并且其中當(dāng)所述幅材的所述第一表面經(jīng)歷所述一個(gè)或多個(gè)處理步驟時(shí)，所述槽形能夠使流體保持在所述幅材的所述第一表面上。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)進(jìn)一步包含: 在所述處理床以上放置的流體輸送裝置，其中所述流體輸送裝置經(jīng)配置以當(dāng)所述幅材具有所述槽形時(shí)輸送一種或多種以流體形式的化學(xué)品到所述幅材的所述第一表面上。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)進(jìn)一步包含: 在所述處理床以上放置的流體攪拌裝置，其中所述流體攪拌裝置經(jīng)配置以當(dāng)所述幅材具有所述槽形時(shí)攪拌在所述幅材的所述第一表面上的所述一種或多種以流體形式的化學(xué)品O8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的系統(tǒng)，其中所述處理床包含至少兩個(gè)加熱至不同溫度的部分。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)進(jìn)一步包含: 至少一個(gè)熱分隔件，其在所述處理床的所述至少兩個(gè)部分之間設(shè)置并且經(jīng)配置以將所述兩個(gè)部分彼此熱隔離。10.根據(jù)權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的系統(tǒng)，其中所述一個(gè)或多個(gè)處理步驟涉及光伏電池的制造。11.一種用于處理幅材的方法，其中所述幅材具有第一表面、與所述第一表面相對(duì)的第二表面，并且包含磁性材料，所述方法包含: 當(dāng)所述幅材的所述第一表面經(jīng)歷一個(gè)或多個(gè)處理步驟時(shí)使用處理床支撐所述幅材，其中所述處理床包括具有平坦表面的中心部分和具有彎曲表面的側(cè)面部分； 使用多個(gè)相對(duì)于所述處理床放置的多個(gè)磁體對(duì)所述幅材施加磁力以便朝向所述處理床拉動(dòng)所述幅材，其中所述磁力足以使所述幅材成形使得所述幅材基本上與所述處理床的所述平坦表面和彎曲表面相符；以及 當(dāng)所述幅材通過(guò)所述磁力成形以基本上與所述處理床的所述平坦表面和彎曲表面相符時(shí)，使用傳送帶使所述幅材在所述處理床上移動(dòng)，其中所述傳送帶具有第一接觸表面和與所述第一接觸表面相對(duì)的第二接觸表面，其中所述第一接觸表面經(jīng)配置以接觸所述幅材的所述第二表面，并且其中所述第二接觸表面經(jīng)配置以接觸所述處理床。12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，所述方法進(jìn)一步包含: 當(dāng)所述幅材在所述處理床上移動(dòng)時(shí)，將一種或多種以流體形式的化學(xué)品輸送到所述幅材的所述第一表面上;并且 使用沒(méi)有接觸到所述一種或多種化學(xué)品的風(fēng)扇陣列攪拌在所述幅材的所述第一表面上的所述一種或多種以流體形式的化學(xué)品。13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的方法，其中使用以下方法使在所述處理床上移動(dòng)所述幅材，包含: 通過(guò)所述傳送帶的所述第一接觸表面將牽引力施加至所述幅材的所述第二表面使得所述幅材與所述傳送帶一起移動(dòng)，其中所述傳送帶的第二接觸表面經(jīng)配置以在所述處理床的所述平坦表面上滑動(dòng)。14.根據(jù)權(quán)利要求11至13中任一項(xiàng)所述的方法，其中所述襯底包含不銹鋼支撐件和吸收層并且所述化學(xué)流體包含硫化鎘的前體。15.—種處理幅材的裝置，其中所述幅材具有第一表面、與所述第一表面相對(duì)的第二表面，并且包含磁性材料，所述裝置包含: 經(jīng)配置以支撐所述幅材的嵌入處理床中的多個(gè)磁體，其經(jīng)配置以支撐所述幅材，其中所述處理床包含具有平坦表面的中心部分和具有彎曲表面的側(cè)面部分，所述彎曲表面從所述處理床的所述平坦表面的相對(duì)側(cè)向上延伸，并且其中所述多個(gè)磁體經(jīng)配置以在所述幅材上施加朝向所述處理床拉動(dòng)所述幅材的磁力，以將所述幅材成形為基本上與所述處理床的所述平坦表面和彎曲表面相符的槽形；以及 傳送帶，其經(jīng)配置以當(dāng)所述幅材通過(guò)所述磁力成形以基本上與所述處理床的所述平坦表面和彎曲表面相符時(shí)使所述幅材在所述處理床上移動(dòng)，其中所述傳送帶具有第一接觸表面和與所述第一接觸表面相對(duì)的第二接觸表面，其中所述第一接觸表面經(jīng)配置以接觸所述幅材的所述第二表面，并且其中所述第二接觸表面經(jīng)配置以接觸所述處理床。16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的裝置，所述裝置其進(jìn)一步包含: 流體輸送器件，其在所述處理床以上放置并經(jīng)配置以當(dāng)所述幅材具有所述槽形時(shí)將一種或多種以流體形式的化學(xué)品輸送到所述幅材的所述第一表面上，其中所述槽形能夠?qū)⑺鲆环N或多種化學(xué)品保持在所述幅材的所述第一表面上。
【文檔編號(hào)】C23C16/54GK105829221SQ201480067872
【公開日】2016年8月3日
【申請(qǐng)日】2014年12月19日
【發(fā)明人】B·赫克特曼, P·克洛弗, D·赫拉斯, A·C·沃爾, R·泰勒, G·G·彭
【申請(qǐng)人】紐升股份有限公司