一種用于光刻投影物鏡中可自平衡的吊裝裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于光刻投影物鏡中物鏡的吊裝和運(yùn)輸領(lǐng)域，具體涉及一種用于光刻投影物鏡中可自平衡的吊裝裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]光刻投影技術(shù)是大規(guī)模集成電路制造技術(shù)和微光學(xué)、微機(jī)械技術(shù)的先導(dǎo)和基礎(chǔ)，決定了集成電路的集成度。光刻投影物鏡具有尺寸大、重量高、裝配精度高、多鏡組裝配組合等特點(diǎn)，在物鏡集成裝配的過(guò)程中經(jīng)常需要吊裝鏡組；同時(shí)物鏡的測(cè)試和使用過(guò)程十分復(fù)雜，需要使用不同的設(shè)備對(duì)物鏡進(jìn)行測(cè)試，要求物鏡在設(shè)備之間多次起吊和安放，而且物鏡對(duì)于振動(dòng)的要求十分嚴(yán)格，要求在起吊和安放以及運(yùn)輸過(guò)程中避免產(chǎn)生過(guò)大的沖擊和傾斜。過(guò)大的沖擊和較大的傾斜會(huì)導(dǎo)致物鏡內(nèi)部柔性機(jī)構(gòu)的位置變化甚至損壞。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中物鏡的吊裝和運(yùn)輸過(guò)程中使用的吊裝裝置采用3個(gè)剛性桿連接物鏡，在物鏡起吊和安放過(guò)程中使物鏡受到振動(dòng)沖擊，且當(dāng)3個(gè)剛性桿的安裝長(zhǎng)度不同時(shí)，物鏡發(fā)生傾斜，使物鏡內(nèi)的柔性機(jī)構(gòu)存在損壞的風(fēng)險(xiǎn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的在于提出一種用于光刻投影物鏡中可自平衡的吊裝裝置，解決現(xiàn)有技術(shù)在物鏡起吊和運(yùn)輸過(guò)程中存在的物鏡振動(dòng)沖擊和傾斜問(wèn)題。
[0005]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的一種用于光刻投影物鏡中可自平衡的吊裝裝置包括吊裝板和吊裝桿；三個(gè)所述吊裝桿的一端分別與所述吊裝板連接；
[0006]所述吊裝桿包括上吊裝桿、下吊裝桿和自平衡調(diào)節(jié)器；所述上吊裝桿一端與所述吊裝板固定連接，另一端與長(zhǎng)度可調(diào)的自平衡調(diào)節(jié)器一端連接，所述自平衡調(diào)節(jié)器另一端與所述下吊裝桿一端連接；
[0007]所述自平衡調(diào)節(jié)器內(nèi)部包括壓縮彈簧，所述壓縮彈簧設(shè)置在所述自平衡調(diào)節(jié)器與所述上吊裝桿連接處。
[0008]所述吊裝板整體為三角形結(jié)構(gòu)，所述吊裝板包括吊裝板主體和吊環(huán)螺釘；所述吊裝板主體三個(gè)角處分別設(shè)置有吊裝桿安裝孔，中間位置處設(shè)置有吊環(huán)螺釘安裝螺紋孔；
[0009]所述上吊裝桿穿過(guò)所述吊裝桿安裝孔與吊裝桿螺母螺紋連接，所述吊裝桿螺母與吊裝板主體之間設(shè)置有墊片；
[0010]所述吊環(huán)螺釘與所述吊環(huán)螺釘安裝螺紋孔螺紋連接，所述吊環(huán)螺釘穿過(guò)吊裝板主體部分與一個(gè)鎖緊螺母螺紋連接。
[0011]所述自平衡調(diào)節(jié)器還包括上調(diào)節(jié)器和下調(diào)節(jié)器；所述上調(diào)節(jié)器為圓柱形結(jié)構(gòu)，圓柱型結(jié)構(gòu)設(shè)置有圓柱外螺紋，中間設(shè)置有通孔，圓柱型結(jié)構(gòu)的一端設(shè)置有圓形平臺(tái)A，所述圓形平臺(tái)A中間設(shè)置有中心圓孔A，所述中心圓孔A的內(nèi)徑小于上調(diào)節(jié)器的通孔的內(nèi)徑；所述下調(diào)節(jié)器為圓柱形結(jié)構(gòu)，圓柱型結(jié)構(gòu)中間設(shè)置有通孔，圓柱形結(jié)構(gòu)設(shè)置有圓柱內(nèi)螺紋，圓柱型結(jié)構(gòu)的一端設(shè)置有圓形平臺(tái)B，所述圓形平臺(tái)B中間設(shè)置有中心圓孔B，所述中心圓孔B的內(nèi)徑小于下調(diào)節(jié)器的通孔的內(nèi)徑；所述上調(diào)節(jié)器的圓柱外螺紋與所述下調(diào)節(jié)器的圓柱內(nèi)螺紋配合。
[0012]所述圓形平臺(tái)A外表面上設(shè)置有對(duì)稱(chēng)平面A，所述圓形平臺(tái)B外表面上設(shè)置有對(duì)稱(chēng)平面B。
[0013]所述上吊裝桿包括上吊裝桿凸臺(tái)、上吊裝桿主體和上吊裝桿安裝螺紋；所述上吊裝桿主體的一端設(shè)置有所述上吊裝桿凸臺(tái)，所述上吊裝桿主體的另一端設(shè)置有所述上吊裝桿安裝螺紋；所述上吊裝桿安裝螺紋穿過(guò)吊裝板安裝孔與所述吊裝桿螺母螺紋連接，所述上吊裝桿凸臺(tái)設(shè)置在所述上調(diào)節(jié)器的通孔中，與所述上調(diào)節(jié)器的圓形平臺(tái)A接觸，所述壓縮彈簧設(shè)置在所述上吊裝桿凸臺(tái)與所述圓形平臺(tái)A之間。
[0014]所述上吊裝桿主體上設(shè)置有對(duì)稱(chēng)平面C。
[0015]所述下吊裝桿包括下吊裝桿凸臺(tái)、下吊裝桿主體和下吊裝桿安裝螺紋；所述下吊裝桿主體的一端設(shè)置有所述下吊裝桿凸臺(tái)，所述下吊裝桿主體的另一端設(shè)置有所述下吊裝桿安裝螺紋，所述下吊裝桿凸臺(tái)設(shè)置在所述下調(diào)節(jié)器中，與所述下調(diào)節(jié)器的圓形平臺(tái)B接觸。
[0016]所述下吊裝桿主體上設(shè)置有對(duì)稱(chēng)平面D。
[0017]本發(fā)明的有益效果為:本發(fā)明的一種用于光刻投影物鏡中可自平衡的吊裝裝置中上調(diào)節(jié)器的圓柱外螺紋與下調(diào)節(jié)器的圓柱內(nèi)螺紋配合調(diào)節(jié)自平衡調(diào)節(jié)器的長(zhǎng)度，上調(diào)節(jié)器的圓形平臺(tái)A用于限制壓縮彈簧的位置，上調(diào)節(jié)器的中心圓孔A用于上吊裝桿的安裝，上調(diào)節(jié)器的對(duì)稱(chēng)平面A用于扳手操作；下調(diào)節(jié)器的圓形平臺(tái)B用于限制下吊裝桿凸臺(tái)的位置，下調(diào)節(jié)器的中心圓孔B用于下吊裝桿的安裝，下調(diào)節(jié)器的對(duì)稱(chēng)平面B用于扳手操作；其裝配形式為上吊裝桿通過(guò)螺母與吊裝板連接，下吊裝桿通過(guò)下吊裝桿安裝螺紋與物鏡連接，上吊裝桿和下吊裝桿之間通過(guò)自平衡調(diào)節(jié)器相連接。壓縮彈簧安裝在上吊裝桿凸臺(tái)和上調(diào)節(jié)器圓形平臺(tái)A之間，在物鏡吊起時(shí)起到緩沖振動(dòng)和自平衡的作用。
[0018]本發(fā)明的吊裝裝置能避免光刻投影物鏡在起吊和安放過(guò)程中由于沖擊導(dǎo)致物鏡柔性組件損壞的問(wèn)題。同時(shí)由于物鏡的質(zhì)量分布在各個(gè)方向上基本對(duì)稱(chēng)，該吊裝裝置能夠在物鏡吊起時(shí)有效地保證物鏡平衡，避免物鏡傾斜過(guò)大的問(wèn)題，滿(mǎn)足物鏡吊裝和運(yùn)輸需求，降低光刻投影物鏡損壞的危險(xiǎn)。
[0019]本發(fā)明的一種用于光刻投影物鏡中可自平衡的吊裝裝置，可以避免光刻投影物鏡在起吊和安放過(guò)程中由于沖擊導(dǎo)致物鏡柔性組件損壞的問(wèn)題。該結(jié)構(gòu)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、便于操作、可靠性高和通用性好等突出優(yōu)點(diǎn)，可以很好的適用于物鏡吊裝和搬運(yùn)過(guò)程，實(shí)現(xiàn)可靠吊裝。
【附圖說(shuō)明】
[0020]圖1為本發(fā)明的一種用于光刻投影物鏡中可自平衡的吊裝裝置的立體裝配示意圖；
[0021]圖2為本發(fā)明的一種用于光刻投影物鏡中可自平衡的吊裝裝置的主視剖視圖；
[0022]圖3為本發(fā)明的一種用于光刻投影物鏡中可自平衡的吊裝裝置中吊裝板立體示意圖；
[0023]圖4為圖3的仰視立體示意圖；
[0024]圖5為本發(fā)明的一種用于光刻投影物鏡中可自平衡的吊裝裝置中上吊裝桿的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖6為本發(fā)明的一種用于光刻投影物鏡中可自平衡的吊裝裝置中下吊裝桿的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖7為本發(fā)明的一種用于光刻投影物鏡中可自平衡的吊裝裝置中上調(diào)節(jié)器的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖8為本發(fā)明的一種用于光刻投影物鏡中可自平衡的吊裝裝置中上調(diào)節(jié)器的結(jié)構(gòu)剖視圖；
[0028]圖9為本發(fā)明的一種用于光刻投影物鏡中可自平衡的吊裝裝置中下調(diào)節(jié)器的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029]圖10為本發(fā)明的一種用于光刻投影物鏡中可自平衡的吊裝裝置中下調(diào)節(jié)器結(jié)構(gòu)剖視圖；
[0030]圖11為本發(fā)明的一種用于光刻投影物鏡中可自平衡的吊裝裝置中吊裝桿的立體裝配示意圖；
[0031]圖12是圖11的局部剖視圖；
[0032]其中:1、吊裝板，1-1、吊裝板主體，1-2、吊環(huán)螺釘，1-3、鎖緊螺母，1_4、吊環(huán)螺釘安裝螺紋孔，1_5、吊裝桿螺母，1-6、墊片，1_7、吊裝桿安裝孔，2、上吊裝桿，2_1、上吊裝桿凸臺(tái)，2_2、上吊裝桿主體，2_2_1、對(duì)稱(chēng)平面C，2_3、上吊裝桿安裝螺紋，3、下吊裝桿，3_1、下吊裝桿凸臺(tái)，3-2、下吊裝桿主體，3-2-1、對(duì)稱(chēng)平面D，3_3、下吊裝桿安裝螺紋，4、自平衡調(diào)節(jié)器，4-1、上調(diào)節(jié)器，4-1-1、圓柱外螺紋，4-1-2、圓形平臺(tái)A，4+3、中心圓孔A，4+4、對(duì)稱(chēng)平面A，4_2、壓縮彈黃，4_3、下調(diào)節(jié)器，4_3_1、圓柱內(nèi)螺紋，4_3_2、圓形平臺(tái)B，4_3_3、中心圓孔B，4-3-4、對(duì)稱(chēng)平面B。
【具體實(shí)施方式】
[0033]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式作進(jìn)一步說(shuō)明。
[0034]參見(jiàn)附圖1和附圖2，本發(fā)明的一種用于光刻投影物鏡中可自平衡的吊裝裝置包括吊裝板1和吊裝桿；三個(gè)所述吊裝桿的一端分別與所述吊裝板1連接；
[0035]所述吊裝桿包括上吊裝桿2、下吊裝桿3和自平衡調(diào)節(jié)器4 ;所述上吊裝桿2 —端與所述吊裝板1固定連接，另一端與長(zhǎng)度可調(diào)的自平衡調(diào)節(jié)器4 一端連接，所述自平衡調(diào)節(jié)器4另一端與所述下吊裝桿3 —端連接；
[0036]所述自平衡調(diào)節(jié)器4內(nèi)部包括壓縮彈簧4-2，所述壓縮彈簧4-2設(shè)置在所述自平衡調(diào)節(jié)器4與所述上吊裝桿2連接處。
[0037]參見(jiàn)附圖3和附圖4，所述吊裝板1整體為三角形結(jié)構(gòu)，所述吊裝板1包括吊裝板主體1-1和吊環(huán)螺釘1-2 ;所述吊裝板主體1-1三個(gè)角處分別設(shè)置有吊裝桿安裝孔1-7，中間位置處設(shè)置有吊環(huán)螺釘安裝螺紋孔1-4 ;
[0038]所述上吊裝桿2穿過(guò)所述吊裝桿安裝孔1-7與吊裝桿螺母1-5螺紋連接，所述吊裝桿螺母1-5與吊裝板主體1-1之間設(shè)置有墊片1-6 ;
[0039]所述吊環(huán)螺釘1-2與所述吊環(huán)螺釘安裝螺紋孔1-4螺紋連接，所述吊環(huán)螺釘1-2穿過(guò)吊裝板主體1-1部分與一個(gè)鎖緊螺母1-3螺紋連接，其中，所述鎖緊螺母1-3用于吊環(huán)螺釘1-2的放松。
[0040]參見(jiàn)附圖7、附圖8、附圖9和附圖10，所述自平衡調(diào)節(jié)器4還包括上調(diào)節(jié)器4-1和下調(diào)節(jié)器4-3 ;所述上調(diào)節(jié)器4-1為圓柱形結(jié)構(gòu)，圓柱型結(jié)構(gòu)設(shè)置有圓柱外螺紋4-1-1，中間設(shè)置有通孔，圓柱型結(jié)構(gòu)的一端設(shè)置有圓形平臺(tái)A4-1-2，所述圓形平臺(tái)A4-1-2中間設(shè)置有中心圓孔A4-1-3，所述中心圓孔A4-1-3的內(nèi)徑小于上調(diào)節(jié)器4_1的通孔的內(nèi)徑；所述下調(diào)節(jié)