一種用于裝載基板的承接盤的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及平板顯示器制備過程中的傳送裝置，具體為一種用于裝載基板的承接盤。
【背景技術(shù)】
[0002]在平板顯示器等電子元件的制備過程中，曝光、檢查等步驟需將玻璃基板傳送至各處理裝置，這一傳送步驟是由機(jī)械手臂帶動(dòng)載有玻璃基板的承接盤移動(dòng)，并將玻璃基板放至相應(yīng)的保持平臺(tái)來實(shí)現(xiàn)的。
[0003]如圖1所示，現(xiàn)有技術(shù)的傳送系統(tǒng)包括承接盤1、保持平臺(tái)2和機(jī)械手臂3，其中，承接盤I為一框體，由格形框構(gòu)成；在保持平臺(tái)2中開設(shè)有多個(gè)豎直的孔，每孔內(nèi)均設(shè)置有一頂針4，頂針4能夠在孔內(nèi)沿豎直方向升降，在保持平臺(tái)2上還設(shè)置有多個(gè)凹陷的格形沉槽5，格形沉槽5與承接盤I的格形框相對(duì)應(yīng)，使得承接盤I的格形框能完全嵌入沉槽5內(nèi)。
[0004]機(jī)械手臂3將載有玻璃基板6的承接盤I移至保持平臺(tái)2上方后，帶動(dòng)承接盤I下降，下降一定高度后，玻璃基板6與保持平臺(tái)2上的頂針4接觸，承接盤I繼續(xù)下降至完全落入保持平臺(tái)2的沉槽5中，玻璃基板6則脫離承接盤I，完全由頂針4支撐，操作頂針4沿保持平臺(tái)2中的孔向下運(yùn)動(dòng)，至頂針4完全沒入孔中，此時(shí)，玻璃基板6落于保持平臺(tái)2上。
[0005]現(xiàn)有技術(shù)的缺陷在于，玻璃基板面積較大且薄，厚度僅為0.3-0.5mm,使得其在被頂針支撐時(shí)，難以保持水平，因而在與保持平臺(tái)接觸時(shí)會(huì)有空氣夾于玻璃基板和保持平臺(tái)之間，導(dǎo)致玻璃基板不能平整的落于保持平臺(tái)上，從而造成對(duì)位精度失準(zhǔn)，具體如圖2所
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【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種用于裝載基板的承接盤及具有該承接盤的傳送系統(tǒng)。
[0007]—種用于裝載基板的承接盤，其中，在所述承接盤的相對(duì)兩側(cè)設(shè)置有支撐部件，用于支撐所述基板兩側(cè)。
[0008]根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施方式，所述支撐部件為頂針。
[0009]根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施方式，所述支撐部件位置可調(diào)地安裝于所述承接盤上。
[0010]根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施方式，在所述承接盤上開設(shè)有十字槽，通過一緊固件能將所述支撐部件底端可調(diào)整地固定于所述十字槽中。
[0011]根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施方式，在所述十字槽相對(duì)的兩側(cè)面上分別間隔開設(shè)位置相對(duì)應(yīng)的多對(duì)螺孔；所述緊固件為兩個(gè)螺釘，所述兩個(gè)螺釘能分別穿過所述螺孔中的一對(duì)，將所述支撐部件夾持固定在所述十字槽內(nèi)。
[0012]根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施方式，所述緊固件為快拆件。
[0013]根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施方式，所述支撐部件螺接于所述承接盤，在所述支撐部件底端設(shè)外螺紋或內(nèi)螺紋孔，所述承接盤上設(shè)置有多個(gè)內(nèi)螺紋孔或螺桿。
[0014]本發(fā)明進(jìn)一步提供了一種基板的傳送系統(tǒng)，包括，用于裝載所述基板的承接盤；帶動(dòng)所述承接盤移動(dòng)的機(jī)械手臂；及承接所述基板的保持平臺(tái)；其特中，所述承接盤為上述任一承接盤。
[0015]根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施方式，所述承接盤為一框體，包含多個(gè)格形框。
[0016]根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施方式，在所述保持平臺(tái)上設(shè)有多個(gè)格形沉槽，所述格形沉槽與所述承接盤的格形框相匹配。
[0017]本發(fā)明的基板的傳送系統(tǒng)，通過在承接盤上設(shè)置用于支撐基板的支撐部件，使基板被移送至保持平臺(tái)時(shí)其中間部分先與平臺(tái)接觸，避免了空氣殘存于基板和保持平臺(tái)之間，使得基板能夠平整的存在于保持平臺(tái)上，從而保證了對(duì)位精度的準(zhǔn)確性。
【附圖說明】
[0018]圖1為現(xiàn)有技術(shù)的傳送系統(tǒng)；
[0019]圖2為玻璃基板被現(xiàn)有技術(shù)的傳送系統(tǒng)送到保持平臺(tái)后的狀態(tài)示意圖；
[0020]圖3為本發(fā)明實(shí)施例1的基板的傳送系統(tǒng)的工作狀態(tài)示意圖；
[0021]圖4為本發(fā)明實(shí)施例1的十字槽結(jié)構(gòu)的俯視放大圖；
[0022]圖5為本發(fā)明實(shí)施例2的頂針被快拆件固定在承接盤上的示意圖；
[0023]圖6為本發(fā)明實(shí)施例2的快拆件扳手的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖7為本發(fā)明實(shí)施例3的頂針在承接盤上的俯視放大圖。
[0025]其中，附圖標(biāo)記說明如下:
[0026]1、承接盤 2、保持平臺(tái)
[0027]3、機(jī)械手臂 4、頂針
[0028]5、沉槽6、玻璃基板
[0029]7、橫框8、豎框
[0030]9、十字槽 10、螺釘
[0031]11、扳手12、軸
[0032]13、上墊片 14、下墊片
[0033]15、螺孔111、本體
[0034]112、手柄 111a、耳部
[0035]11 lb、通孔。
【具體實(shí)施方式】
[0036]本發(fā)明中所提及的“橫” “豎”僅用于解釋兩者之間的位置關(guān)系，并非用以限定本發(fā)明，下面，結(jié)合【具體實(shí)施方式】對(duì)本發(fā)明的基板的傳送系統(tǒng)及用于裝載基板的承接盤的具體結(jié)構(gòu)做進(jìn)一步說明:
[0037]本發(fā)明的基板的傳送系統(tǒng)，包括用于裝載所述基板的承接盤；帶動(dòng)所述承接盤移動(dòng)的機(jī)械手臂；及承接所述基板的保持平臺(tái)；其中，在所述承接盤上設(shè)置有用于支撐所述基板兩側(cè)的支撐部件。
[0038]在本發(fā)明中，基板的兩側(cè)指的是與基板中心部位相連的，且位置相對(duì)應(yīng)的兩個(gè)邊緣部分，“兩側(cè)” “中間”等描述僅用于解釋本發(fā)明，并非用以限定。
[0039]在本發(fā)明的實(shí)施方式中，承接盤為一框體，包含多個(gè)格形框，本發(fā)明所述的格形框指由兩條相互平行的橫框分別與兩條相互平行的豎框相交所形成的結(jié)構(gòu)，但本發(fā)明的承接盤的結(jié)構(gòu)不限于此，還可以為包含條形或其它框形的框體。
[0040]在本發(fā)明的實(shí)施方式中，保持平臺(tái)上設(shè)有多條格形沉槽，本發(fā)明所述的格形沉槽由兩條相互平行的橫向條形凹槽分別與兩條相互平行的縱向條形凹槽相交形成，其形狀和尺寸與承接盤的格形框相匹配，使得承接盤的格形框能完全嵌入沉槽內(nèi)。
[0041]在本發(fā)明的一實(shí)施方式中，支撐部件為頂針，為便于實(shí)際作業(yè)中對(duì)不同大小玻璃基板的傳送，還可以調(diào)整頂針在承接盤上的位置。
[0042]在本發(fā)明的一實(shí)施方式中，通過在承接盤上開設(shè)十字槽來調(diào)整頂針的位置，在十字槽相對(duì)的兩個(gè)側(cè)面開設(shè)位置相對(duì)應(yīng)的螺孔，兩個(gè)螺釘分別穿入兩個(gè)螺孔，將頂針置于十字槽內(nèi)兩個(gè)螺釘之間，旋緊螺釘可固定頂針，可通過設(shè)置多對(duì)位置不同的螺孔來調(diào)節(jié)頂針在十字槽內(nèi)的位置。
[0043]本發(fā)明的另一實(shí)施方式中，可采用在頂針的末端設(shè)置一快拆件來調(diào)節(jié)其在十字槽內(nèi)的位置。
[0044]在本發(fā)明的另一實(shí)施方式中，支撐部件頂針的外部設(shè)有螺紋，在承接盤上開設(shè)有與所述螺紋相匹配的螺孔，頂針和承接盤通過螺紋配合固定在一起，可以通過在承接盤上開設(shè)多個(gè)不同位置的螺孔來調(diào)整頂針的位置。
[0045]本發(fā)明中的支撐部件不限于頂針，還可以為其它起到支撐作用的部件。
[0046]本發(fā)明中，在十字槽內(nèi)用以固定支撐部件頂針的部件不限于螺釘或快拆件，還可以為夾具或其它固定部件。
[0047]以下，結(jié)合附圖及具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的基板的傳送系統(tǒng)及用于裝載基板的承接盤的具體結(jié)構(gòu)做詳細(xì)說明:
[0048]實(shí)施例1