本技術(shù)屬于掩模版加工，尤其涉及一種用于掩模版制程相鄰區(qū)域轉(zhuǎn)運(yùn)裝置。

背景技術(shù)：

1、掩模版是制作微細(xì)光掩膜圖形的理想感光性空白板，通過光刻制版工藝可以獲得所需光掩膜版，簡單地說，光掩膜基版在被刻蝕上掩膜圖形之后就成為光掩膜版，由于掩模版屬于高精度的產(chǎn)品，各個(gè)區(qū)域的周轉(zhuǎn)傳輸容易產(chǎn)生灰塵，影響產(chǎn)品質(zhì)量，特別是光刻區(qū)與后處理區(qū)域之間的傳遞，現(xiàn)提出一種能夠有效防止掩模版轉(zhuǎn)運(yùn)過程中其上吸附粘連灰塵的裝置。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供了一種用于掩模版制程相鄰區(qū)域轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，解決了上述問題。

2、為實(shí)現(xiàn)以上目的，本實(shí)用新型通過以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)：一種用于掩模版制程相鄰區(qū)域轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，包括殼體，還包括：防塵組件，用于防止掩膜版轉(zhuǎn)運(yùn)過程中其上吸附灰塵；所述防塵組件，包括防塵板a、防塵板b以及滑板，所述防塵板a與殼體滑動(dòng)連接，所述防塵板a的另一端固定連接有滑板，所述滑板與殼體滑動(dòng)連接，所述防塵板a上鉸接有防塵板b。

3、有益效果

4、本實(shí)用新型提供了一種用于掩模版制程相鄰區(qū)域轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，與現(xiàn)有技術(shù)相比具備以下有益效果：

5、當(dāng)需要轉(zhuǎn)運(yùn)掩膜版時(shí)，相關(guān)技術(shù)人員啟動(dòng)電機(jī)，從而使電機(jī)帶動(dòng)與其上傳動(dòng)齒輪嚙合連接的齒輪開始轉(zhuǎn)動(dòng)，使齒輪帶動(dòng)其軸心處固定連接的絲桿b同步轉(zhuǎn)動(dòng)，使絲桿b帶動(dòng)其上螺紋連接的滑筒，從而使滑筒帶動(dòng)與其固定連接的滑板，使滑板開始沿其與殼體連接處的滑軌進(jìn)行線性運(yùn)動(dòng)，使滑板帶動(dòng)與其固定連接的防塵板a同步進(jìn)行線性運(yùn)動(dòng)，當(dāng)齒輪a運(yùn)動(dòng)至齒條上方時(shí)，齒輪a開始在齒條的配合下轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使齒輪a帶動(dòng)其軸心處固定連接的軸同步轉(zhuǎn)動(dòng)，使軸帶動(dòng)其上固定連接的絲桿a同步轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使絲桿a上螺紋連接的滑筒a開始進(jìn)行線性運(yùn)動(dòng)，使滑筒a帶動(dòng)其上鉸接的拉桿，從而使拉桿開始推動(dòng)與其鉸接的防塵板b，使防塵板b開始以其與防塵板a鉸接處為支點(diǎn)進(jìn)行圓周運(yùn)動(dòng)，使防塵板b開啟，以便于相關(guān)技術(shù)人員將掩膜版放置與防塵板a上，放置完畢后滑板繼續(xù)沿殼體滑動(dòng)，此時(shí)齒輪a繼續(xù)在齒條上轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使滑筒a開始反向運(yùn)動(dòng)，使防塵板b開始閉合，當(dāng)防塵板b完全閉合使，齒輪a轉(zhuǎn)出齒條使其停止轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使防塵板a以及防塵板b處于密封狀態(tài)，以防止轉(zhuǎn)運(yùn)過程中掩膜版上吸附灰塵。

技術(shù)特征：

1.一種用于掩模版制程相鄰區(qū)域轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，包括殼體(101)，其特征在于，還包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于掩模版制程相鄰區(qū)域轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，其特征在于，所述防塵板b(202)通過其上的鉸座與拉桿(204)鉸接，所述拉桿(204)的另一端鉸接在滑筒a(205)上，所述滑筒a(205)通過滑板(203)內(nèi)的滑軌與滑板(203)滑動(dòng)連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于掩模版制程相鄰區(qū)域轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，其特征在于，所述滑筒a(205)螺紋連接在絲桿a(206)上，所述絲桿a(206)固定連接在軸(207)上，所述軸(207)與滑板(203)轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于掩模版制程相鄰區(qū)域轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，其特征在于，所述軸(207)上固定連接有齒輪a(208)，所述齒輪a(208)嚙合連接在齒條(209)上，所述齒條(209)與殼體(101)固定連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于掩模版制程相鄰區(qū)域轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，其特征在于，所述滑板(203)上固定連接有滑筒(301)，所述滑筒(301)螺紋連接在絲桿b(302)上，所述絲桿b(302)與殼體(101)轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于掩模版制程相鄰區(qū)域轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，其特征在于，所述絲桿b(302)上固定連接有齒輪(303)，所述齒輪(303)與傳動(dòng)齒輪(305)嚙合連接，所述傳動(dòng)齒輪(305)固定連接在電機(jī)(304)的輸出軸上，所述電機(jī)(304)與殼體(101)固定連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于掩模版制程相鄰區(qū)域轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，其特征在于，所述防塵板a(201)以及防塵板b(202)內(nèi)均設(shè)有可更換的薄膜。

8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于掩模版制程相鄰區(qū)域轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，其特征在于，所述絲桿a(206)選用往復(fù)絲桿。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種用于掩模版制程相鄰區(qū)域轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，包括殼體，還包括：防塵組件，用于防止掩膜版轉(zhuǎn)運(yùn)過程中其上吸附灰塵；所述防塵組件，包括防塵板A、防塵板B以及滑板，所述防塵板A與殼體滑動(dòng)連接，所述防塵板A的另一端固定連接有滑板，所述滑板與殼體滑動(dòng)連接，所述防塵板A上鉸接有防塵板B；本技術(shù)，能夠有效防止掩模版轉(zhuǎn)運(yùn)過程中其上吸附粘連灰塵的裝置。

技術(shù)研發(fā)人員：鄭慶靚,湯茂林,劉貴福,李洋
受保護(hù)的技術(shù)使用者：拓維光電材料（滁州）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240410
技術(shù)公布日：2024/12/23