循環(huán)式上下貼膜分類一體的制造方法
【專利摘要】一種循環(huán)式上下貼膜分類一體機(jī)，用于半導(dǎo)體器件的上下貼膜、計數(shù)、打標(biāo)簽、規(guī)格分類，其特征在于：所述一體機(jī)包括規(guī)格分類區(qū)、計數(shù)-下膜-貼標(biāo)簽區(qū)、鐵環(huán)暫存區(qū)、貼膜收料區(qū)；所述規(guī)格分類區(qū)、計數(shù)-下膜-貼標(biāo)簽區(qū)、鐵環(huán)暫存區(qū)和貼膜收料區(qū)之間依次通過傳輸件連接，用于傳送鐵環(huán)。本實用新型集上下貼膜、計數(shù)和分類三大功能為一體，減少了工人的勞動強(qiáng)度，提高了產(chǎn)品加工的精度和效率，實現(xiàn)了產(chǎn)品的自動化生產(chǎn)。
【專利說明】循環(huán)式上下貼膜分類一體機(jī)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種半導(dǎo)體器件加工設(shè)備，特別是涉及一種循環(huán)式上下貼膜分類一體機(jī)。

【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體芯片的制造流程中，大致可分為兩段，即前道制程和后道制程。前道制程主要是在襯底上定義出P、N電極，而后道流程主要目的是獲得規(guī)格一致的芯粒，包括劃裂、測試、分選、目檢、打標(biāo)簽、計數(shù)等操作。目前，在后道加工制程中，芯粒經(jīng)分選機(jī)分選后，依次通過自動上下貼膜-貼標(biāo)簽機(jī)、離型紙P1、CCD自動計數(shù)器進(jìn)行貼膜-下膜-打標(biāo)簽和計數(shù)，然后依次手動貼出貨標(biāo)簽、分類包裝等。在現(xiàn)有技術(shù)中，多機(jī)臺獨立作業(yè)存在占地面積大、需勞力多、人員操作機(jī)臺確認(rèn)參數(shù)時出錯率高、機(jī)臺放料時需多次停機(jī)等不足，同時，手動操作同樣具有人力浪費、出錯頻率高的缺點。
[0003]由于后道流程中處理的芯粒數(shù)量巨大，對機(jī)臺的自動化要求也越來越高，而目前多為獨立機(jī)臺作業(yè)，不僅具有上述的缺點和不足，而且生產(chǎn)產(chǎn)品不穩(wěn)定，不能滿足市場需求，總體上阻礙了半導(dǎo)體芯片產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實用新型所要解決的問題是，提供一種能夠節(jié)省勞力和成本、提高精度和工作效率、并且全自動化運(yùn)行和操控簡單的半導(dǎo)體芯片循環(huán)式上下貼膜分類一體化設(shè)備。
[0005]為解決以上技術(shù)問題，本實用新型提供了一種循環(huán)式上下貼膜分類一體機(jī)，用于半導(dǎo)體器件的上下貼膜、計數(shù)、打標(biāo)簽、規(guī)格分類，其特征在于:所述一體機(jī)包括規(guī)格分類區(qū)、計數(shù)-下膜-貼標(biāo)簽區(qū)、鐵環(huán)暫存區(qū)、貼膜收料區(qū)；所述規(guī)格分類區(qū)、計數(shù)-下膜-貼標(biāo)簽區(qū)、鐵環(huán)暫存區(qū)和貼膜收料區(qū)之間依次通過傳輸件連接，用于傳送鐵環(huán)。
[0006]優(yōu)選的，所述規(guī)格分類區(qū)進(jìn)一步包括分類格以及與其對應(yīng)的機(jī)械手。
[0007]優(yōu)選的，所述分類格數(shù)目可以為6個或6個以上。
[0008]優(yōu)選的，所述計數(shù)-下膜-貼標(biāo)簽區(qū)進(jìn)一步包括旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)以及與其組合連接的入料機(jī)構(gòu)、自動計數(shù)機(jī)構(gòu)、下膜機(jī)構(gòu)、離型紙-交換臂機(jī)構(gòu)、貼標(biāo)簽機(jī)構(gòu)。所述自動計數(shù)機(jī)構(gòu)為CCD自動計數(shù)器。
[0009]優(yōu)選的，所述貼膜收料區(qū)進(jìn)一步包括通過傳輸件連接的貼膜機(jī)構(gòu)和收料機(jī)構(gòu)；所述貼膜機(jī)構(gòu)進(jìn)一步包括旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和自動貼膜機(jī)。
[0010]優(yōu)選的，所述鐵環(huán)暫存區(qū)和收料機(jī)構(gòu)具有3個或3個以上的料盒存放格。
[0011]優(yōu)選的，所述傳輸件為傳輸帶或牽引鏈或鋼絲繩或煉條或滾輪或機(jī)械手臂等。
[0012]本實用新型的有益效果包括:解決了【背景技術(shù)】中的問題，借由本實用新型上下貼膜、計數(shù)、分類一體化的設(shè)計，大大地提高了半導(dǎo)體芯片計數(shù)分類的準(zhǔn)確性和可靠性，減少了人工勞力，縮減了設(shè)備占地面積，加快了產(chǎn)業(yè)化制造的自動化進(jìn)程和提高了產(chǎn)品的生產(chǎn)效率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型進(jìn)一步說明。
[0014]圖1是本實用新型的俯視不意圖。
[0015]其中，1、規(guī)格分類區(qū)；11、分類格；12、手臂夾爪；2、計數(shù)-下膜-貼標(biāo)簽區(qū)；21、入料機(jī)構(gòu)；22、(XD自動計數(shù)器；23、下膜機(jī)構(gòu)；24、離型紙-交換臂機(jī)構(gòu)；25、貼標(biāo)簽機(jī)構(gòu)；3、鐵環(huán)暫存區(qū)；4、貼膜收料區(qū)；41、貼膜機(jī)構(gòu)；411、自動貼膜機(jī)；42、收料機(jī)構(gòu)；31、421、料盒存放格；5、傳輸件；26、43、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。

【具體實施方式】
[0016]現(xiàn)在結(jié)合附圖和優(yōu)選實施例對本實用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。這些附圖均為簡化的示意圖，僅以示意圖方式說明本實用新型的基本機(jī)構(gòu)，因此其僅顯示與本實用新型有關(guān)的構(gòu)成。
[0017]參看附圖1，本實用新型提供的一種循環(huán)式上下貼膜分類一體機(jī)，包括規(guī)格分類區(qū)
1、計數(shù)-下膜-貼標(biāo)簽區(qū)2、鐵環(huán)暫存區(qū)3和貼膜收料區(qū)4并通過傳輸件5依次連接，其中規(guī)格分類區(qū)可以包括分類格11以及與其對應(yīng)的機(jī)械手(圖中示意出手臂夾爪12)，分類格數(shù)目可以為6個或6個以上。
[0018]芯粒經(jīng)分選機(jī)分選后，直接進(jìn)入鏡檢作業(yè)步驟，鏡檢結(jié)束后將帶有芯粒藍(lán)膜的鐵環(huán)裝入料盒；隨后，該料盒裝入循環(huán)式上下貼膜分類一體機(jī)，對料盒中的每一鐵環(huán)進(jìn)行后續(xù)作業(yè)，即依次在計數(shù)-下膜-貼標(biāo)簽區(qū)2對藍(lán)膜上的芯粒進(jìn)行計數(shù)、分離附著芯粒的藍(lán)膜和鐵環(huán)、附著芯粒的藍(lán)膜上貼合離型紙_、打標(biāo)簽步驟；后附著芯粒的藍(lán)膜在規(guī)格分類區(qū)I進(jìn)行規(guī)格分類，而與附著芯粒的藍(lán)膜分離后的鐵環(huán)則在貼膜收料區(qū)4進(jìn)行重新貼膜。
[0019]其中，在計數(shù)-下膜-貼標(biāo)簽區(qū)2運(yùn)行的過程中，料盒中附著芯粒藍(lán)膜的鐵環(huán)由入料機(jī)構(gòu)21通過傳輸件5傳送給CCD自動計數(shù)器22進(jìn)行芯粒計數(shù)，所述傳輸件，本實施例中優(yōu)選傳輸帶；隨后，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)26逆時針旋轉(zhuǎn)90°，將計數(shù)后并放置有芯粒藍(lán)膜的該鐵環(huán)旋轉(zhuǎn)到下膜機(jī)構(gòu)23進(jìn)行膜(即鐵環(huán)與附著芯粒的藍(lán)膜分離)，下膜后的空鐵環(huán)則由傳輸帶5傳送到鐵環(huán)暫存區(qū)3的料盒存放格31內(nèi)，本實施例中料盒存放格31優(yōu)選為3個；隨后，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)26再次逆時針旋轉(zhuǎn)90°，將下膜后的附著芯粒的藍(lán)膜旋轉(zhuǎn)到離型紙-交換臂機(jī)構(gòu)24進(jìn)行離型紙貼合；隨后，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)26再次逆時針旋轉(zhuǎn)90°，將離型紙貼合后的附著芯粒的藍(lán)膜旋轉(zhuǎn)到貼標(biāo)簽機(jī)構(gòu)25進(jìn)行貼標(biāo)簽；當(dāng)上一個鐵環(huán)進(jìn)入下膜機(jī)構(gòu)23時，下一個待作業(yè)鐵環(huán)則由入料機(jī)構(gòu)21進(jìn)入新一輪的循環(huán)，如此循環(huán)進(jìn)行計數(shù)-下膜-貼標(biāo)簽。需要說明的是，上述循環(huán)中旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)方向可根據(jù)裝置的組裝的改變而靈活變動，即亦可順時針旋轉(zhuǎn)。
[0020]當(dāng)附著芯粒的藍(lán)膜被貼標(biāo)簽后則通過傳輸帶5傳送到規(guī)格分類區(qū)I進(jìn)行自動分類，手臂夾爪12可根據(jù)測試參數(shù)將附著有不同性能的芯粒的藍(lán)膜夾取放置于對應(yīng)的六個分類格11內(nèi)，從而實現(xiàn)芯粒的自動規(guī)格分類。
[0021]而鐵環(huán)暫存區(qū)3中空鐵環(huán)通過傳輸帶5傳送到貼膜收料區(qū)4，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)43則將空鐵環(huán)經(jīng)逆時針旋轉(zhuǎn)90°后放置于貼膜機(jī)構(gòu)41上的自動貼膜機(jī)411進(jìn)行貼膜，隨后，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)43再次逆時針旋轉(zhuǎn)90°后，將貼膜后的鐵環(huán)通過所述傳輸帶5傳送到收料機(jī)構(gòu)42的料盒存放格421內(nèi)備用，本實施例中的料盒存放格421優(yōu)選為3個；當(dāng)上一個空鐵環(huán)貼膜后，下一個空鐵環(huán)則進(jìn)入貼膜收料區(qū)4進(jìn)行貼膜，依次循環(huán)進(jìn)行空鐵環(huán)的貼膜操作。需要說明的是，上述循環(huán)中旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)方向可根據(jù)裝置的組裝的改變而靈活變動，即亦可順時針旋轉(zhuǎn)。
[0022]在一體機(jī)運(yùn)行的過程中，規(guī)格分類區(qū)1、計數(shù)-下膜-貼標(biāo)簽區(qū)2、鐵環(huán)暫存區(qū)3和貼膜收料區(qū)4相互配合，使計數(shù)、上下貼膜和規(guī)格分類實現(xiàn)高效、快速、自動的操作。經(jīng)試驗驗證，應(yīng)用本實用新型后，在相同年常量狀況下可節(jié)省人力多達(dá)75人次。
[0023]應(yīng)當(dāng)理解的是，上述具體實施方案為本實用新型的優(yōu)選實施例，本實用新型的范圍不限于該實施例，凡依本實用新型所做的任何變更，皆屬本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種循環(huán)式上下貼膜分類一體機(jī)，用于半導(dǎo)體器件的上下貼膜、計數(shù)、打標(biāo)簽、規(guī)格分類，其特征在于:所述一體機(jī)包括規(guī)格分類區(qū)、計數(shù)-下膜-貼標(biāo)簽區(qū)、鐵環(huán)暫存區(qū)、貼膜收料區(qū)；所述規(guī)格分類區(qū)、計數(shù)-下膜-貼標(biāo)簽區(qū)、鐵環(huán)暫存區(qū)和貼膜收料區(qū)之間依次通過傳輸件連接，用于傳送鐵環(huán)。
2.如權(quán)利要求1所述的循環(huán)式上下貼膜分類一體機(jī)，其特征在于:所述規(guī)格分類區(qū)進(jìn)一步包括分類格以及與其對應(yīng)的機(jī)械手。
3.如權(quán)利要求1所述的循環(huán)式上下貼膜分類一體機(jī)，其特征在于:所述分類格數(shù)目為6個或6個以上。
4.如權(quán)利要求1所述的循環(huán)式上下貼膜分類一體機(jī)，其特征在于:所述計數(shù)-下膜-貼標(biāo)簽區(qū)進(jìn)一步包括旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)以及與其組合連接的入料機(jī)構(gòu)、自動計數(shù)機(jī)構(gòu)、下膜機(jī)構(gòu)、離型紙-交換臂機(jī)構(gòu)、貼標(biāo)簽機(jī)構(gòu)。
5.如權(quán)利要求4所述的循環(huán)式上下貼膜分類一體機(jī)，其特征在于:所述自動計數(shù)機(jī)構(gòu)為自動計數(shù)器。
6.如權(quán)利要求1所述的循環(huán)式上下貼膜分類一體機(jī)，其特征在于:所述貼膜收料區(qū)進(jìn)一步包括通過傳輸件連接的貼膜機(jī)構(gòu)和收料機(jī)構(gòu)。
7.如權(quán)利要求6所述的循環(huán)式上下貼膜分類一體機(jī)，其特征在于:所述貼膜機(jī)構(gòu)進(jìn)一步包括旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和自動貼膜機(jī)。
8.如權(quán)利要求1所述的循環(huán)式上下貼膜分類一體機(jī)，其特征在于:所述鐵環(huán)暫存區(qū)和收料機(jī)構(gòu)具有3個或3個以上的料盒存放格。
9.如權(quán)利要求1所述的循環(huán)式上下貼膜分類一體機(jī)，其特征在于:所述傳輸件為傳輸帶或牽引鏈或鋼絲繩或煉條或滾輪或機(jī)械手臂。
【文檔編號】B65B65/00GK204173252SQ201420577174
【公開日】2015年2月25日 申請日期:2014年10月8日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月8日
【發(fā)明者】林桂綺, 蔡家豪, 余學(xué)志 申請人:安徽三安光電有限公司