處理對象物搬送系統(tǒng)及基板檢測系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】提供一種能容易變更針對處理對象物的處理內容或處理能力的處理對象物搬送系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括：搬送機構，沿水平延伸的搬送路徑搬送檢測基板；提升機構，將被檢測基板從搬送路徑的設定位置提升至高度位置；處理單元，具有針對位于高度位置的被檢測基板執(zhí)行所定處理的處理部。各處理單元的搬送路徑排成一列且搬送方向相同，且在相鄰的兩個搬送路徑之間，將被檢測基板從上流側的搬送路徑傳送至下流側的搬送路徑，且在各個對應的處理單元中，在被檢測基板位于高度位置的期間，通過被檢測基板的下方，搬送不同于所述被檢測基板的被檢測基板。
【專利說明】處理對象物搬送系統(tǒng)及基板檢測系統(tǒng)

【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種將所定的成為處理對象的處理對象物搬送至執(zhí)行其處理的處理部之處理對象物搬送系統(tǒng)以及使用該處理對象物搬送系統(tǒng)的基板檢測系統(tǒng)。

【背景技術】
[0002]以往，針對印刷配線基板或封裝基板進行多種檢測的基板檢測裝置已被周知(例如，參考專利文獻I)。專利文獻I記載的基板檢測裝置包括冷卻基板而進行檢測的檢測部或加熱基板而進行檢測的檢測部等多個檢測部。并且，各檢測部之間包括按次序搬送基板的搬送機構。
[0003]但上述檢測裝置中，多個檢測部或搬送裝置構成為一體。鑒于此，為了變更檢測內容或變更一定時間內的檢測處理量，需要重新制造裝置本身，因此存在難以進行這種變更的問題。并且，并不限定于檢測基板之情況，在針對處理對象物進行任何處理的處理裝置之情況，當具有多個處理部時，也會發(fā)生同樣的問題。
[0004]專利文獻1:日本專利公開第2007-59727號公報


【發(fā)明內容】

[0005]本發(fā)明的目的是提供一種易于變更針對處理對象物的處理內容或處理能力的處理對象物搬送系統(tǒng)，以及使用這種處理對象物搬送系統(tǒng)的基板檢測系統(tǒng)。
[0006]根據(jù)本發(fā)明的處理對象物搬送系統(tǒng)，用于搬送成為處理之對象的處理對象物，包括:第一搬送機構，沿水平延伸的搬送路徑，搬送所述處理對象物；移動機構，在所述搬送路徑上預先設定的設定位置，將根據(jù)所述第一搬送機構搬送來的所述處理對象物，移動至從所述搬送路徑退避的退避位置；以及多個處理單元，具有針對位于所述退避位置的所述處理對象物執(zhí)行預設處理的處理部；其中，所述多個處理單元配置為所述各處理單元的搬送路徑排列成一列且搬送方向成相同的方向；在所述多個搬送路徑中相鄰的兩個搬送路徑間，與所述兩個搬送路徑分別相對應的兩個第一搬送機構，從所述搬送方向的上流側的搬送路徑向下流側的搬送路徑傳送所述處理對象物；所述各第一搬送機構，在分別對應的所述處理單元中，當所述處理對象物由所述移動機構移動至所述退避位置時，在所述處理對象物位于所述退避位置的期間，與所述處理對象物不相干涉地能搬送不同于所述處理對象物的處理對象物。
[0007]根據(jù)該構成，處理對象物搬送系統(tǒng)構成為多個處理單元按一列排列。各處理單元具有針對各個處理對象物進行所定處理的處理部，且根據(jù)大致水平延伸的搬送路徑搬送處理對象物。多個處理單元配置為各處理單元的搬送路徑排成一列且搬送方向相同，而且在多個搬送路徑中相鄰的兩個搬送路徑之間，將處理對象物從搬送方向上流側的搬送路徑傳送至下流側的搬送路徑。據(jù)此，可按順序將處理對象物搬送至各處理單元，從而針對一個處理對象物可在多個處理單元進行多次處理，或在多個處理單元按順序搬送多個處理對象物從而可進行并行處理。并且，由于處理對象物的搬送路徑大致水平延伸，各處理單元的搬送路徑的入口和出口的高度大致相同，因此當進行各處理單元的增減、各處理單元的排列順序的交換、處理部的處理內容互不相同的處理單元的添加以及交換等時，在相鄰的處理單元之間能維持從搬送方向上流側的搬送路徑向下流側的搬送路徑傳送處理對象物的構成。因此，可容易變更針對處理對象物的處理內容或處理能力。
[0008]優(yōu)選地，所述退避位置位于所述搬送路徑的上方；所述各第一搬送機構，在分別對應的所述處理單元中，當所述處理對象物由所述移動機構移動至所述退避位置時，在所述處理對象物位于所述退避位置的期間，能通過所述處理對象物的下方而搬送不同于所述處理對象物的處理對象物。
[0009]根據(jù)該構成，相比將處理對象物退避至從搬送路徑沿水平方向間隔開位置之情況，系統(tǒng)的占有面積變小，從而可實現(xiàn)空間節(jié)省化。
[0010]優(yōu)選地，還包括:搬送單元，具有沿預先設定的搬送路徑水平地搬送所述處理對象物的第二搬送機構，所述搬送單元配置為所述搬送單元的搬送路徑與所述各處理單元的搬送路徑排成一列，所述第二搬送機構在與所述第二搬送機構相對應的搬送路徑相鄰的其他搬送路徑之間，傳送所述處理對象物。
[0011]根據(jù)該構成，在處理對象物的搬送路徑中，包括不具有處理部的搬送單元。根據(jù)該構成，可將搬送單元，作為用于將處理對象物從外部向系統(tǒng)進行容納的裝載器而使用，或作為用于將處理對象物從系統(tǒng)提取的卸載器而使用，或作為用于調整各處理單元的處理時間錯位的緩沖(buffer)裝置而使用。并且，搬送單元的第二搬送機構構成為與處理單元的第一搬送機構相同，因此能自由變更配置搬送單元的位置或數(shù)量。
[0012]優(yōu)選地，與所述多個處理單元相對應的所述處理部包括:第一處理部和第二處理部，所述第一處理部執(zhí)行作為所述處理之預設的第一處理，所述第二處理部執(zhí)行作為所述處理之相比所述第一處理的處理時間短的第二處理，具有所述第一處理部的所述處理單元即第一處理單元的數(shù)量多于具有所述第二處理部的所述處理單元即第二處理單元的數(shù)量。
[0013]根據(jù)該構成，由于進行處理時間長的第一處理的第一處理單元的數(shù)量多于進行處理時間短的第二處理的第二處理單元的數(shù)量，因此在大量的處理單元中能并行執(zhí)行耗時的處理，其結果是，通過整個系統(tǒng)能消減第一處理和第二處理的處理時間差異。從而能提高整個系統(tǒng)的處理性能。
[0014]優(yōu)選地，所述第一處理單元相比所述第二處理單元配置于所述搬送方向的上流側。
[0015]根據(jù)該構成，最初開始向各處理單元搬入處理對象物時，由于可不等待處理單元的處理結束而能迅速地搬入如同位于搬送方向上流側的第一處理單元的數(shù)量之處理對象物，因此相比在搬送方向上流側具有數(shù)量較少的第二處理單元時最初向第二處理單元搬入處理對象物之情況，最初能迅速地向處理單元搬入的處理對象物的數(shù)量增多，其結果是，能提高整個系統(tǒng)的處理性能。
[0016]根據(jù)本發(fā)明的基板檢測系統(tǒng)，以前述處理對象物搬送系統(tǒng)中的所述處理對象物為基板，且所述處理為對所述基板的檢測。
[0017]根據(jù)該構成，可將前述處理對象物搬送系統(tǒng)適用于進行基板檢測的基板檢測裝置。
[0018]這種構成的處理對象物搬送系統(tǒng)及基板檢測系統(tǒng)可容易地變更針對處理對象物的處理內容或處理能力。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0019]圖1是示出本發(fā)明一個實施形態(tài)之基板檢測系統(tǒng)的構成之一個示例的說明圖。
[0020]圖2是從上方觀察搬送機構和提升機構的俯視圖。
[0021]圖3是示出圖1所示基板檢測系統(tǒng)的電氣構成的一個示例的框圖。
[0022]圖4是用于說明圖1所示基板檢測系統(tǒng)的動作的說明圖。
[0023]圖5A至圖是概念性示出各處理單元的配置順序或處理內容為互不相同的單元數(shù)之組合的一個示例的說明圖。
[0024][附圖標記說明]
[0025]1:基板檢測系統(tǒng)(處理對象物搬送系統(tǒng))
[0026]2:搬送機構
[0027]3:下部殼體
[0028]4:上部殼體
[0029]5:提升機構
[0030]6:腳輪
[0031]11:裝載器
[0032]12、13:第一處理單元
[0033]14:第二處理單元
[0034]15:卸載器
[0035]16:控制部
[0036]17:通信路
[0037]51:板保持部
[0038]52:軸
[0039]53:軸驅動部
[0040]111、121、131、141、151:單元控制部
[0041]112、122、132、142、152:通信部
[0042]511:保持部本體
[0043]512:突出部
[0044]A:第一檢測部
[0045]B:第二檢測部
[0046]Ml:搬送用電機
[0047]M2:升降用電機
[0048]Pl:高度位置
[0049]P2:設定位置
[0050]R:搬送輥
[0051]W:被檢測基板
[0052]WP:工作板

【具體實施方式】
[0053]以下，基于附圖對本發(fā)明的實施形態(tài)進行說明。并且，在各附圖中賦予了相同符號的構成表示相同的構成，且省略其說明。圖1是示出本發(fā)明一個實施形態(tài)之基板檢測系統(tǒng)的構成之一個示例的說明圖。圖1所示的基板檢測系統(tǒng)I包括裝載器11、第一處理單元12和13、第二處理單元14以及卸載器15。基板檢測系統(tǒng)I相當于處理對象物搬送系統(tǒng)的一個示例。
[0054]第一處理單元12和13以及第二處理單元14相當于處理單元的一個示例，而裝載器11和卸載器15相當于搬送單元的一個示例。在圖1中，為了說明的方便，將圖1的左側方向作為基板檢測系統(tǒng)I的前方、將圖1的右側方向作為基板檢測系統(tǒng)I的后方進行了記載，但基板檢測系統(tǒng)I的前方和后方并不限定于圖1的示例。
[0055]裝載器11、第一處理單元12和13、第二處理單元14以及卸載器15均具有大致為長方體形狀的下部殼體3和配置在下部殼體3上部的搬送機構2。第一處理單元12和13以及第二處理單元14具有的搬送機構2相當于第一搬送機構的一個示例，而裝載器11和卸載器15具有的搬送機構2相當于第二搬送機構的一個示例。
[0056]在下部殼體3的下部設置有腳輪(caster) 6。據(jù)此,工作人員能分別容易地移動裝載器11、第一處理單元12和13、第二處理單元14以及卸載器15的各單元。并且各單元也可是不具有腳輪6的構成。
[0057]搬送機構2，沿從前方朝向后方的搬送方向，大致水平地搬送工作板WP。工作板WP是大致矩形的板狀部件，且工作板WP的上面載有成為檢測對象的被檢測基板W。
[0058]工作板WP的上面，例如可是平坦的，例如也可形成有凹陷部，從而可在凹陷部內容納被檢測基板W。工作板WP的下面，例如可附著橡膠墊片。被檢測基板W，例如可是印刷配線基板、電路基板、搭載半導體芯片的封裝基板或表面形成有透明電極的玻璃基板等。
[0059]搬送機構2包括:沿搬送方向按間距d配置的多個大致為圓筒形的搬送輥R ;后述的搬送用電機Ml ;以及將搬送用電機Ml的驅動力傳遞至多個搬送輥R的軸(shaft)或齒輪(gear)等傳遞機構(圖示省略)。并且，由多個搬送輥R形成搬送工作板WP的搬送路徑。即，連接多個搬送輥R的上方頂部的線路(line)成為搬送路徑。
[0060]間距d為工作板WP的搬送方向之長度的1/2以下，例如為1/3的長度。據(jù)此，工作板WP的下面可一直與多個搬送輥R相接觸。其結果是，根據(jù)搬送輥R支撐工作板WP的重量平衡變良好。
[0061 ] 并且，根據(jù)附著在工作板WP下面的橡膠墊片，工作板WP和搬送輥R間的摩擦力增大，其結果是，根據(jù)搬送輥R搬送工作板WP時，能消減搬送輥R對工作板WP的滑動性。并且，搬送機構2并不限定于搬送輥R按間距d進行配置的構成，例如也可是皮帶運輸機(beltconveyor)。
[0062]第一處理單元12和13以及第二處理單元14的各處理單元還包括:配置在下部殼體3的上方的上部殼體4 ;以及配置在上部殼體4的下方的提升機構5。并且，第一處理單元12和13包括第一檢測部A (第一處理部)，第二處理單元14包括第二檢測部B (第二處理部)。第一處理單元12和13的上部殼體4中容納第一檢測部A，而第二處理單元14的上部殼體4中容納第二檢測部B。
[0063]并且，裝載器11和卸載器15不包括第一檢測部A或第二檢測部B等處理部。
[0064]提升機構5將根據(jù)搬送機構2搬送來的工作板WP，從該各單元的搬送路徑上預先設定的設定位置P2提升至預先設定的高度位置Pl。具體來講，提升機構5包括板保持部51、軸(shaft) 52以及軸驅動部53。圖2是從上方觀察搬送機構2的搬送輥R和提升機構5的俯視圖。
[0065]在搬送輥R上的搬送路徑的兩側配置有一對板保持部51。板保持部51具有沿搬送方向延伸的保持部本體511，以及從保持部本體511的兩端部朝搬送路徑突出的一對突出部512。一對突出部512從兩個搬送輥R之間向位于設定位置P2的工作板WP的下部突出。
[0066]軸52從保持部本體511的兩端部向下方延伸，進而連接板保持部51和軸驅動部53。軸驅動部53通過使軸52沿上下方向移動，從而升降板保持部51。軸驅動部53由后述的升降用電機M2、滾珠螺桿或齒輪機構等構成。據(jù)此，板保持部51可采取在搬送路徑的下方等待工作板WP搬送至設定位置P2的下降姿勢以及將工作板WP置于高度位置Pl的上升姿勢。以下，將板保持部51處于下降姿勢且無工作板WP從而板保持部51能容納新的工作板WP的狀態(tài)稱為等待狀態(tài)。
[0067]若板保持部51上升，則設置在一對板保持部51的四個突出部512卡合工作板WP的下部，隨著板保持部51的上升而提升工作板WP。軸驅動部53使板保持部51上升，進而使其位于適合檢測部檢測處理的高度位置Pl。
[0068]在根據(jù)板保持部51而使工作板WP位于高度位置Pl的期間，搬送機構2經(jīng)過該工作板WP的下方而能搬送另一個工作板WP。提升機構5相當于移動機構的一個示例，高度位置Pl相當于退避位置的一個示例。并且，退避位置并不限定于搬送路徑的上方，例如也可將退避位置設定在向與搬送路徑相交叉的方向間隔開的位置上，且移動機構并不限定于將工作板WP提升至上方。
[0069]第一檢測部A針對位于高度位置Pl的工作板WP上的被檢測基板W，例如通過測定配線圖形的靜電容量來執(zhí)行判定不良與否的第一檢測(第一處理)。第二檢測部B針對位于高度位置Pl的工作板WP上的被檢測基板W，例如執(zhí)行檢測配線圖形導通與否的第二檢測(第二處理)。第二檢測相比第一檢測檢測時間短，例如可按第一檢測的1/2時間檢測基板。
[0070]基板檢測系統(tǒng)I包括:具有檢測時間長的第一檢測部A的第一處理單元12和13 ；以及具有檢測時間短的第二檢測部B的第二處理單元14。S卩，處理時間長的處理單元相比處理時間短的處理單元數(shù)量更多。
[0071]基板檢測系統(tǒng)I之情況，例如所需處理時間是第二處理單元14的兩倍的第一處理單元12和13，按第二處理單元14的兩倍進行設定，從而使整個基板檢測系統(tǒng)I中第一檢測和第二檢測的處理時間均衡化。并且作為第一檢測部A和第二檢測部B執(zhí)行的基板檢測方法，可采用多種檢測方法。
[0072]裝載器11、第一處理單元12和13、第二處理單元14以及卸載器15的各單元，按該各單元的搬送路徑排成一列且搬送方向互相相同之方向而進行配置。對于相鄰的單元間，在兩者的搬送路徑間，與該兩個搬送路徑分別相對應的兩個搬送機構2，將工作板WP從搬送方向的上流側的搬送路徑傳送至下流側的搬送路徑。
[0073]并且，各單元的搬送路徑大致水平，即各單元的搬送路徑的入口和出口的高度在各單元相互間大致同等。并且，在各單元中相鄰的任意兩個單元之間，成為搬送方向上流側的單元中搬送路徑的出口之搬送輥R即在該單元內位于搬送方向最下流側的搬送輥R，與成為搬送方向下流側的單元中搬送路徑的入口之搬送輥R即在該單元內位于搬送方向最上流側的搬送輥R之間的距離為間距d以下，并以此設定各搬送輥R的配置位置。
[0074]如此，將設定了搬送路徑的高度或搬送輥R的配置的單元相組合而構成基板檢測系統(tǒng)1，因此即使改變各單元的排列順序或增減各單元的數(shù)量，在各單元的搬送路徑間，也能順利地傳送工作板WP。據(jù)此，基板檢測系統(tǒng)I能容易地進行各單元的排列順序的交替或各單元數(shù)量的增減。
[0075]并且，通過構成將第一檢測部A或第二檢測部B變更為其他處理部的處理單元，且將之與基板檢測系統(tǒng)I的處理單元進行交替或添加等，從而可容易地變更基板檢測系統(tǒng)I的處理內容。據(jù)此，能構成容易變更針對處理對象物即被檢測基板W的處理內容或處理能力的基板檢測系統(tǒng)。
[0076]圖3是示出圖1所示基板檢測系統(tǒng)I的電氣構成之一個示例的框圖。圖1所示的基板檢測系統(tǒng)I包括裝載器11、第一處理單元12和13、第二處理單元14、卸載器15以及控制部16。并且，裝載器11、第一處理單元12和13、第二處理單元14、卸載器15以及控制部16通過通信路17相連而可收發(fā)數(shù)據(jù)。
[0077]裝載器11包括搬送用電機Ml、單元控制部111以及通信部112。第一處理單元12包括搬送用電機Ml、升降用電機M2、第一檢測部A、單元控制部121以及通信部122。第一處理單元13包括搬送用電機Ml、升降用電機M2、第一檢測部A、單元控制部131以及通信部132。第二處理單元14包括搬送用電機Ml、升降用電機M2、第二檢測部B、單元控制部141以及通信部142。卸載器15包括搬送用電機Ml、單元控制部151以及通信部152。
[0078]各搬送用電機Ml根據(jù)來自各個單元控制部111、121、131、141和151的控制信號進行旋轉，且通過旋轉驅動搬送輥R由搬送機構2來搬送工作板WP。
[0079]各升降用電機M2根據(jù)來自各個單元控制部121、131和141的控制信號進行正反旋轉，且向軸驅動部53賦予該旋轉驅動力。據(jù)此，例如通過升降用電機M2正旋轉可使板保持部51上升，且例如通過升降用電機M2反旋轉可使板保持部51下降。
[0080]各第一檢測部A根據(jù)來自單元控制部121和131的控制信號，對位于各個高度位置Pl的板保持部51上的被檢測基板W進行檢測。第二檢測部B根據(jù)來自單元控制部141的控制信號，對位于高度位置Pl的板保持部51上的被檢測基板W進行檢測。
[0081]通信部112、122、132、142和152是通過通信路17執(zhí)行與控制部16通信的通信接口電路。作為通信接口，可使用以太網(wǎng)(Ethernet)(注冊商標)等多種通信方式。
[0082]單元控制部111、121、131、141和151例如可使用微型計算機而構成，且通過通信部112、122、132、142和152可在與控制部16之間執(zhí)行通信。單元控制部111、121、131、141和151在分別對應的單元內，將例如根據(jù)傳感器(sensor)(圖示省略)獲得的信息或表示各單元的動作狀態(tài)的信息發(fā)送至控制部16。并且，單元控制部111、121、131、141和151根據(jù)從控制部16接收的控制指示，控制對應的各單元內的搬送用電機Ml、升降用電機M2、第一檢測部A和第二檢測部B等的動作。
[0083]控制部16可根據(jù)例如個人計算機或可編程序控制器等多種信息處理裝置而構成?？刂撇?6接收裝載器11、第一處理單元12和13、第二處理單元14以及卸載器15的各單元發(fā)送的信息。控制部16基于各單元發(fā)送的信息，向各單元發(fā)送控制指示。各單元的單元控制部根據(jù)該控制指示控制各單元的動作。
[0084]據(jù)此，控制部16能統(tǒng)管控制基板檢測系統(tǒng)I的動作。以下，為了簡化說明，將各單元的單元控制部根據(jù)控制部16的控制指示而進行各單元的控制之動作，簡單地記載為控制部16控制各單元的各部。
[0085]接下來，針對如上所述構成的基板檢測系統(tǒng)I的動作進行說明。首先，如圖1所示，第一處理單元12和13以及第二處理單元14中的板保持部51處于下降姿勢，且第一處理單元12和13以及第二處理單元14處于能容納板保持部51的等待狀態(tài)。在該狀態(tài)下，若在裝載器11上載置工作板WP，則可根據(jù)傳感器(圖示省略)感知在裝載器11上載置了工作板WP，并將該信息發(fā)送至控制部16。
[0086]若感知到在裝載器11上載置了工作板WP，則控制部16驅動裝載器11以及第一處理單元12和13的搬送機構2，進而將工作板WP和被檢測基板W搬送至第一處理單元12和13中位于搬送方向下流側的第一處理單元13的設定位置P2，且根據(jù)第一處理單元13的提升機構5，將工作板WP提升至高度位置Pl。若工作板WP位于高度位置Pl，則根據(jù)例如傳感器(圖示省略)感知工作板WP，且根據(jù)該感知信號第一處理單元13的第一檢測部A檢測工作板WP上的被檢測基板W。
[0087]另外，若在裝載器11上載置了新的工作板WP，則控制部16驅動裝載器11和第一處理單元12的搬送機構2，進而將工作板WP和被檢測基板W搬送至處于等待狀態(tài)之第一處理單元12的設定位置P2，且根據(jù)第一處理單元12的提升機構5，將工作板WP提升至高度位置P1。若工作板WP位于高度位置P1，則根據(jù)例如傳感器(圖示省略)感知工作板WP，且根據(jù)該感知信號第一處理單元12的第一檢測部A檢測工作板WP上的被檢測基板W。
[0088]如此，根據(jù)第一處理單元12和13，可并行檢測多個被檢測基板W。并且，控制部16，在執(zhí)行第一檢測的第一單元以及執(zhí)行第二檢測的單元中，在執(zhí)行搬送方向上流側的第一檢測的單元即第一處理單元12和13中，在處于等待狀態(tài)的單元中，從位于搬送方向最下流側的單元按順序供給工作板WP，因此能以無等待時間且迅速地向所有第一處理單元12和13供給工作板WP，進而開始檢測。
[0089]如果，比處于等待狀態(tài)的單元中位于搬送方向最下流側的第一處理單元13，先向第一處理單元12供給工作板WP時，在第一處理單元12的板保持部51向設定位置P2上升的過程中，由于無法使新的工作板WP通過板保持部51的下方而搬送至第一處理單元13，因此會發(fā)生第一處理單元13的等待時間。其結果是，存有會造成整個基板檢測系統(tǒng)I的處理性能下降之隱患。
[0090]并且，根據(jù)基板檢測系統(tǒng)1，在執(zhí)行第一檢測的第一處理單元12和13以及執(zhí)行第二檢測的第二處理單元14中，數(shù)量多的第一處理單元12和13配置在搬送方向上流側。據(jù)此，可無等待時間且迅速地開始對被檢測基板W的檢測。相反，如果數(shù)量少的第二處理單元14配置在搬送方向上流側時，無等待時間地可開始檢測的被檢測基板W的數(shù)量變少，其結果是，存有會造成整個基板檢測系統(tǒng)I的處理性能下降之隱患。
[0091]并且，并不限定于在執(zhí)行第一檢測的第一處理單元12和13以及執(zhí)行第二檢測的第二處理單元14中，在執(zhí)行搬送方向上流側的第一檢測的單元即第一處理單元12和13中，在處于等待狀態(tài)的單元中，從位于搬送方向最下流側的單元按順序供給工作板WP的示例。并且，也不限定于在進行第一檢測的第一處理單元12和13以及執(zhí)行第二檢測的第二處理單元14中，將數(shù)量多的第一處理單元12和13配置在搬送方向上流側的示例。
[0092]接下來，首先開始第一檢測的第一處理單元13先于第一處理單元12結束第一檢測，則控制部16使第一處理單元13的板保持部51下降進而在第一處理單元13的搬送輥R上即搬送路徑上載置工作板WP。并且，控制部16驅動第一處理單元13和第二處理單元14的搬送機構2，將工作板WP從第一處理單元13搬送至第二處理單元14的設定位置P2，且根據(jù)第二處理單元14的提升機構5將工作板WP位于第二處理單元14的高度位置Pl，從而基于第二檢測部B對工作板WP上的被檢測基板W開始進行檢測(參考圖4)。
[0093]如圖4所示，即使第一處理單元12和13中搬送方向下流側的第一處理單元13為等待狀態(tài)，且第一處理單元12處于檢測中時，由于第一處理單元12的工作板WP位于高度位置P1，從而新的工作板WP也能通過其下方。其結果是，控制部16，如圖4所示，根據(jù)第一處理單元12和13的搬送機構2，使新的工作板WP通過在第一處理單元12處理中的工作板WP的下方，從而可以向等待狀態(tài)的第一處理單元13進行供給，因此能有效運行多個第一處理單元12和13。
[0094]并且，提升機構5將工作板WP移動至搬送路徑的上方，從而根據(jù)搬送路徑上方的檢測部進行檢測，因此與將工作板WP移動至搬送路徑的側方而進行檢測之情況相比，第一處理單元12和13以及第二處理單元14對于地板面的透明面積變小，其結果能尋求空間節(jié)省化。
[0095]接下來，若第二處理單元14中的第二檢測結束，則控制部16使第二處理單元14的板保持部51下降，從而在第二處理單元14的搬送輥R即搬送路徑上載置工作板WP。并且，控制部16驅動第二處理單元14和卸載器15的搬送機構2，從而將工作板WP從第二處理單元14搬送至卸載器15。據(jù)此，載置了結束檢測的被檢測基板W的工作板WP被搬送至卸載器15，進而工作人員能提取該被檢測基板W和工作板WP。
[0096]雖然示出了基板檢測系統(tǒng)I包括兩個第一處理單元和一個第二處理單元的示例，但各單元的數(shù)量并不限定于上述示例的數(shù)量?；鍣z測系統(tǒng)1，由于執(zhí)行各檢測處理的執(zhí)行單位被單元化，因此能自由變化各單元的數(shù)量或處理內容。其也可分別包括多個第一和第二處理單元，例如，五個第一處理單元和兩個第二處理單元。
[0097]圖5A至是概念性示出各處理單元的配置順序或處理內容為互不相同的單元數(shù)之組合的一個示例的說明圖。在圖5A至圖中，“A”表示第一處理單元，“B”表示第二處理單元，“C”表示執(zhí)行與第一和第二處理互不相同之處理的處理單元，且“X”表示搬送單元。
[0098]基板檢測系統(tǒng)1，例如，如圖5A所示，可按搬送單元X、五個第一處理單元A、兩個第二處理單元B和搬送單元X的順序配置而構成?；蛘撸?，如圖5B所示，可按兩個第二處理單元B、三個第一處理單元A和一個處理單元C的順序配置而構成。例如，如圖5C所示，還可按搬送單元X、第一處理單元A、第二處理單元B、處理單元C、搬送單元X、處理單元C、第二處理單元B、第一處理單元A和搬送單元X的順序配置而構成。例如，如圖所示，也可在一對搬送單元X間配置五個第一處理單元A。并且在各處理的相互之間，若在處理的性質上存有必須按特定順序執(zhí)行處理的性質時，考慮該種順序關系，來決定各處理單元的配置順序。
[0099]并且，雖然示出了基板檢測系統(tǒng)I包括執(zhí)行不同種類處理的第一處理單元和第二處理單元的示例，但基板檢測系統(tǒng)I包括的所有處理單元，也可是進行相同處理的單元。
[0100]并且，雖然示出了處理對象物是基板的示例，但處理對象物并不限定于基板。并且，雖然示出了基于處理單元的處理是檢測的示例，但處理并不限定于檢測。例如，可適用于加工、組裝、粉刷、印刷、加熱和冷卻等多種處理。處理對象物是基板以外的物質時或處理是不同于檢測時，基板檢測系統(tǒng)I成為處理對象物搬送系統(tǒng)。
[0101]并且，雖然示出了處理對象物的一個示例即被檢測基板W在載置于工作板WP上的狀態(tài)下通過搬送路徑而被搬送之示例，但也可以是不使用工作板WP而直接通過搬送路徑來搬送處理對象物的構成。
[0102]并且，基板檢測系統(tǒng)I還可以是不包括裝載器11和卸載器15且不包括搬送單元的構成。
[0103]并且，作為搬送單元的一個示例，雖然示出了裝載器11和卸載器15，但也可在處理單元和處理單元之間配置與裝載器11相同構成而不具有處理部的搬送單元(例如，參考圖5C)。例如在圖4所示的第一處理單元13和第二處理單元14間可配置搬送單元。在圖4所示的狀態(tài)下，當?shù)谝惶幚韱卧?3上檢測結束的被檢測基板W和工作板WP存留在第一處理單元13的板保持部51上時，第二處理單元14由于仍處于檢測中而不能容納新的工作板WP。鑒于此，不能將第一處理單元13的工作板WP搬送至第二處理單元14，其結果是，第一處理單元13盡管已結束檢測，但仍無法容納新的工作板WP而進行檢測。
[0104]但例如在圖4所示的第一處理單元13和第二處理單元14間配置搬送單元時，通過將第一處理單元13的板保持部51上的工作板WP退避至搬送單元，從而能在第一處理單元13上執(zhí)行新的工作板WP的檢測。其結果是，通過減少處理單元的等待時間，能提高基板檢測系統(tǒng)I整體的處理性能。
[0105]并且，根據(jù)基板檢測系統(tǒng)1，如上所述，由于能容易進行各單元的替換或增減，因此通過適當?shù)嘏渲冒崴蛦卧苋菀滋岣呋鍣z測系統(tǒng)I整體的處理性能。
[0106]并且，雖然示出了在工作板WP上載置一個處理對象物(被檢測基板W)的示例，但在工作板WP上載置的處理對象物也可是多個。并且，載置的處理對象物的數(shù)量或種類不同的多個工作板WP，也可混入處理對象物搬送系統(tǒng)(基板檢測系統(tǒng)I)。此時，例如可在工作板WP上設置記錄了用于識別各工作板WP的識別信息的射頻識別(RFID，Rad1 FrequencyIdentificat1n)標簽或條形碼(bar code)等記錄手段,且在各單元中配置該記錄手段的判讀裝置，進而可將在各單元中判讀的識別信息從各單元發(fā)送至控制部16。并且控制部16管理如同與各識別信息相對應的處理對象物的數(shù)量、種類或處理狀況(例如，第一、第二處理是否結束)之管理信息，使得判讀該識別信息的單元執(zhí)行基于該管理信息的處理。
[0107]并且，單元控制部111、121、131、141和151并不限定于根據(jù)來自控制部16的控制指示而進行各單元控制的示例。單元控制部111、121、131、141和151在允許的范圍內可自由控制各單元的動作。在控制部16和單元控制部111、121、131、141和151之間也可適當分擔處理內容。
【權利要求】
1.一種處理對象物搬送系統(tǒng),用于搬送成為處理之對象的處理對象物,所述處理對象物搬送系統(tǒng)包括: 第一搬送機構，沿大致水平延伸的搬送路徑，搬送所述處理對象物； 移動機構，在所述搬送路徑上預先設定的設定位置，將根據(jù)所述第一搬送機構搬送來的所述處理對象物，移動至從所述搬送路徑退避的退避位置；以及 多個處理單元，具有針對位于所述退避位置的所述處理對象物執(zhí)行預設處理的處理部; 其中，所述多個處理單元配置為與所述各處理單元的搬送路徑排列成一列且搬送方向成相同的方向； 在所述多個搬送路徑中相鄰的兩個搬送路徑間，與所述兩個搬送路徑分別相對應的兩個第一搬送機構，從所述搬送方向的上流側的搬送路徑向下流側的搬送路徑傳送所述處理對象物； 所述各第一搬送機構，在分別對應的所述處理單元中，當所述處理對象物由所述移動機構移動至所述退避位置時，在所述處理對象物位于所述退避位置的期間，與所述處理對象物不相干涉地能搬送不同于所述處理對象物的處理對象物。
2.如權利要求1所述的處理對象物搬送系統(tǒng)，其特征在于: 所述退避位置位于所述搬送路徑的上方； 所述各第一搬送機構，在分別對應的所述處理單元中，當所述處理對象物由所述移動機構移動至所述退避位置時，在所述處理對象物位于所述退避位置的期間，能通過所述處理對象物的下方而搬送不同于所述處理對象物的處理對象物。
3.如權利要求1或2所述的處理對象物搬送系統(tǒng)，其特征在于還包括: 搬送單元，具有沿預先設定的搬送路徑大致水平地搬送所述處理對象物的第二搬送機構， 所述搬送單元配置為所述搬送單元的搬送路徑與所述各處理單元的搬送路徑排列成一列， 所述第二搬送機構，在與所述第二搬送機構相對應的搬送路徑相鄰的其他搬送路徑之間，傳送所述處理對象物。
4.如權利要求1或2所述的處理對象物搬送系統(tǒng)，其特征在于，與所述多個處理單元相對應的所述處理部包括:第一處理部和第二處理部，所述第一處理部執(zhí)行作為所述處理之預設的第一處理，所述第二處理部執(zhí)行作為所述處理之相比所述第一處理的處理時間短的第二處理， 具有所述第一處理部的所述處理單元即第一處理單元的數(shù)量多于具有所述第二處理部的所述處理單元即第二處理單元。
5.如權利要求1或2所述的處理對象物搬送系統(tǒng)，其特征在于，所述第一處理單元相比所述第二處理單元配置于所述搬送方向的上流側。
6.一種基板檢測系統(tǒng)，以權利要求1至5中記載的處理對象物搬送系統(tǒng)中的所述處理對象物為基板，且所述處理為對所述基板的檢測。
【文檔編號】B65G49/00GK104459425SQ201410440865
【公開日】2015年3月25日 申請日期:2014年9月1日 優(yōu)先權日:2013年9月20日
【發(fā)明者】中川隆, 松川俊英, 疋田理, 緒方光, 戒田理夫 申請人:日本電產(chǎn)理德股份有限公司