粘貼裝置制造方法
【專利摘要】通過在一條流水線上進(jìn)行向薄膜涂敷粘接劑以及向基板粘貼薄膜而高效率地進(jìn)行粘貼作業(yè)。粘貼裝置(100)具備用于輸送薄膜(60)的輸送部(104)、將涂敷液(N)涂敷于薄膜的涂敷部(106)、將涂敷有涂敷液的薄膜切斷為規(guī)定長(zhǎng)度的切割器(48)以及將薄膜粘貼于基板(1)的粘貼部(105)。
【專利說明】粘貼裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及一種粘貼裝置。
[0002]本申請(qǐng)基于2012年3月I日在日本申請(qǐng)的特愿2012-045702號(hào)、特愿2012-045703號(hào)以及特愿2012-045704號(hào)主張優(yōu)先權(quán)，并在此引用其內(nèi)容。

【背景技術(shù)】
[0003]以往，公知有一邊輸送薄膜一邊將薄膜粘貼于基板的粘貼裝置(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)1:日本特許第4568374號(hào)公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]發(fā)明要解決的課題
[0008]然而，在現(xiàn)有技術(shù)中，在向基板進(jìn)行粘貼之前需要在薄膜材料上涂敷粘接劑，從而需要另外的用于涂敷粘接劑(涂敷液)的涂敷裝置。因此，希望提供能夠通過在一條流水線上進(jìn)行向薄膜涂敷粘接劑的涂敷工序以及將涂敷有粘接劑的薄膜向基板粘貼的粘貼工序而聞效率地將薄I吳粘貼于基板的新技術(shù)。
[0009]本發(fā)明是鑒于這樣的課題而完成的，其目的在于提供能夠通過在一條流水線上進(jìn)行粘接劑的涂敷以及向基板的粘貼而高效率地進(jìn)行粘貼作業(yè)的粘貼裝置。
[0010]用于解決課題的手段
[0011]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的第一方案的粘貼裝置的特征在于，該粘貼裝置具備:輸送部，其輸送薄膜;涂敷部，其將涂敷液涂敷于所述薄膜;切割器，其將涂敷有所述涂敷液的所述薄膜切斷為規(guī)定長(zhǎng)度；以及粘貼部，其將所述薄膜粘貼于基板。
[0012]根據(jù)本方案的粘貼裝置，能夠在一條流水線上進(jìn)行將涂敷液涂敷于薄膜的涂敷工序、切斷薄膜的工序以及將薄膜粘貼于基板的工序，因此能夠高效率地將薄膜粘貼于基板。
[0013]另外，在上述第一方案的粘貼裝置的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，所述薄膜由卷繞長(zhǎng)條狀的片構(gòu)件而成的卷筒體構(gòu)成，所述輸送部通過將所述片構(gòu)件從所述卷筒體卷出來輸送所述片構(gòu)件。
[0014]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠?qū)木硗搀w卷出的薄膜依次粘貼于多個(gè)基板，能夠更高效地進(jìn)行粘貼工序。
[0015]另外，在上述第一方案的粘貼裝置的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，該粘貼裝置還具備對(duì)涂敷有所述涂敷液的所述薄膜進(jìn)行加熱的加熱部。
[0016]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠通過加熱薄膜使涂敷于該薄膜的涂敷液良好地干燥。
[0017]另外，在上述第一方案的粘貼裝置的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，所述加熱部分級(jí)地加熱所述薄膜。
[0018]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于薄膜被分級(jí)地加熱，因此能夠高效率地對(duì)涂敷于薄膜的涂敷液進(jìn)行加熱而使其干燥。例如在涂敷液含有兩種溶劑的情況下，加熱部能夠在第一級(jí)的加熱處理中使該涂敷液中的第一溶劑蒸發(fā)，在第二級(jí)的加熱處理中使該涂敷液中的第二溶劑蒸發(fā)，從而使涂敷液干燥并良好地固化。另外，若采用多個(gè)加熱部分級(jí)地加熱薄膜的結(jié)構(gòu)，則能夠依次加熱多個(gè)薄膜。由此，不需要由于在上一個(gè)薄膜的干燥處理結(jié)束之前無(wú)法開始下一個(gè)薄膜的干燥處理而使薄膜輸送停止或降低輸送速度，故而能夠縮短加熱處理所需的生產(chǎn)節(jié)拍。
[0019]另外，在上述第一方案的粘貼裝置的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，所述涂敷部包括:涂敷噴嘴，其涂敷所述涂敷液；以及霧回收部，其回收從所述涂敷噴嘴飛散的霧。
[0020]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過回收從涂敷噴嘴飛散的霧，能夠防止霧飛散而導(dǎo)致裝置內(nèi)受到污染。
[0021]另外，在上述第一方案的粘貼裝置的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，所述霧回收部配置為覆蓋所述薄膜的與被涂敷所述涂敷液的面相反的背面以及側(cè)面。
[0022]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于以覆蓋薄膜的背面以及側(cè)面的方式配置霧回收部，因此能夠利用霧回收部良好地回收在從涂敷噴嘴涂敷涂敷液時(shí)飛散的霧。
[0023]另外，在上述第一方案的粘貼裝置的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，所述涂敷部還包括膜厚調(diào)整部，該膜厚調(diào)整部對(duì)涂敷在所述薄膜的寬度方向上的薄膜端部處的所述涂敷液的厚度進(jìn)行調(diào)整。
[0024]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于利用膜厚調(diào)整部能夠調(diào)整薄膜端部處的膜厚，因此能夠在寬度方向的整個(gè)區(qū)域使涂敷液的膜厚均勻化。
[0025]另外，在上述述第一方案的粘貼裝置的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，所述輸送部具有對(duì)輸送所述薄膜的時(shí)刻進(jìn)行調(diào)整的同步調(diào)整部。
[0026]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過利用同步調(diào)整部調(diào)整薄膜的輸送時(shí)刻，能夠在輸送薄膜的狀態(tài)下利用切割器執(zhí)行切斷工序以及利用粘貼部執(zhí)行薄膜的粘貼工序。
[0027]另外，在上述第一方案的粘貼裝置的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，所述薄膜包含保護(hù)材料和被涂敷所述涂敷液的主薄膜材料，所述粘貼部將所述保護(hù)材料從所述主薄膜材料剝離并且借助所述涂敷液將該主薄膜材料粘貼于所述基板。
[0028]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于利用保護(hù)材料保護(hù)粘貼于基板的主薄膜材料，因此能夠防止對(duì)粘貼于基板前的主薄膜材料造成損傷。
[0029]另外，在上述第一方案的粘貼裝置的基礎(chǔ)上，也可以是，粘貼裝置還具備至少輔助所述基板的輸送方向后端處的所述薄膜的粘貼的粘貼輔助部。
[0030]例如，在連續(xù)地相對(duì)于多個(gè)基板粘貼薄膜時(shí)，在基板的輸送方向后端存在薄膜的粘貼不充分的可能性。因此，根據(jù)本結(jié)構(gòu)，由于粘貼輔助部對(duì)輸送方向后端處的薄膜的粘貼進(jìn)行輔助，因此能夠?qū)⒈∧ち己玫卣迟N于基板的整面。
[0031]另外，在上述第一方案的粘貼裝置的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，所述粘貼部包括:第一輸送輥，其構(gòu)成所述輸送部的一部分，用于輸送所述基板；以及薄膜粘貼輥，其能夠相對(duì)于該第一輸送輥升降，通過將所述基板以及所述薄膜夾在該薄膜粘貼輥與該第一輸送輥之間來將該薄膜粘貼于該基板，所述粘貼輔助部包括:第二輸送輥，其輸送通過了所述粘貼部的所述基板；以及粘貼輔助輥，在該粘貼輔助輥與該第二輸送輥之間夾持所述基板以及所述薄膜，所述薄膜粘貼輥配合被所述輸送部輸送的所述基板的輸送方向前端到達(dá)薄膜粘貼位置的時(shí)刻下降，在所述基板的輸送方向后端到達(dá)所述薄膜粘貼位置之前的時(shí)刻上升，所述粘貼輔助輥至少在被所述輸送部輸送的所述基板的輸送方向后端將該基板以及所述薄膜夾在該粘貼輔助輥與所述第二輸送輥之間。
[0032]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于薄膜粘貼輥配合基板的輸送方向前端到達(dá)薄膜粘貼位置的時(shí)刻下降，因此能夠?qū)⒈∧は鄬?duì)于基板良好地對(duì)位地進(jìn)行粘貼。另外，由于薄膜粘貼輥在基板的輸送方向后端到達(dá)薄膜粘貼位置之前的時(shí)刻上升，因此能夠防止粘貼于下一個(gè)基板的薄膜被卷入薄膜粘貼輥與第一輸送輥之間。另外，在因薄膜粘貼輥上升而薄膜的粘貼變得不充分的基板的輸送方向后端，通過將薄膜以及基板夾持在粘貼輔助輥與第二輸送輥之間，能夠?qū)⒈∧さ暮蠖说那袛嗖糠挚煽康卣迟N于基板。由此，粘貼輔助部能夠良好地彌補(bǔ)、即輔助粘貼部所進(jìn)行的薄膜粘貼。
[0033]另外，在上述第一方案的粘貼裝置的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，所述粘貼輔助輥能夠相對(duì)于所述第二輸送輥升降。
[0034]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于粘貼輔助輥能夠相對(duì)于第二輸送輥升降，因此該粘貼輔助輥能夠從基板的任意位置開始進(jìn)行抵接。由此，例如，能夠通過從基板的輸送前端將該基板夾持在該粘貼輔助輥與第二輸送輥之間來將薄膜可靠地粘貼于基板。
[0035]另外，在上述第一方案的粘貼裝置的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，所述薄膜包括保護(hù)材料和被涂敷所述涂敷液的主薄膜材料，所述粘貼部將所述保護(hù)材料從所述主薄膜材料剝離并且借助所述涂敷液將該主薄膜材料粘貼于所述基板。
[0036]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于利用保護(hù)材料保護(hù)粘貼于基板的主薄膜材料，因此能夠防止對(duì)粘貼于基板之前的主薄膜材料造成損傷。
[0037]另外，在上述第一方案的粘貼裝置的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，所述切割器將所述薄膜切斷為包含粘貼于所述基板的粘貼部分和未粘貼于所述基板的非粘貼部分。
[0038]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，具備根據(jù)例如基板的輸送速度、薄膜粘貼輥的升降速度等適當(dāng)設(shè)定的非粘貼部分，從而能夠容易地使薄膜的粘貼開始位置與基板的輸送方向前端的位置對(duì)位。
[0039]另外，在上述第一方案的粘貼裝置的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，所述輸送部包括轉(zhuǎn)接輥，該轉(zhuǎn)接輥相對(duì)于所述粘貼部而言配置在所述薄膜的輸送路徑的下游側(cè)，對(duì)該薄膜的輸送進(jìn)行轉(zhuǎn)接，所述轉(zhuǎn)接輥在所述基板的輸送方向上配置于比所述粘貼輔助部靠近所述粘貼部的位置，且配置于比所述粘貼部靠上方的位置。
[0040]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于通過了薄膜粘貼輥的薄膜朝向上方急劇地彎折，因此，能夠僅將利用切割器切割后的主薄膜材料粘貼于基板，將保護(hù)材料從主薄膜材料分離。
[0041]另外，在上述第一方案的粘貼裝置的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，所述薄膜由卷繞長(zhǎng)條狀的片構(gòu)件而成的卷筒體構(gòu)成，所述輸送部通過將所述片構(gòu)件從所述卷筒體卷出來輸送所述片構(gòu)件。
[0042]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠?qū)木硗搀w卷出的薄膜依次粘貼于多個(gè)基板，能夠更高效地進(jìn)行粘貼工序。
[0043]另外，在上述第一方案的粘貼裝置的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，所述輸送部具有對(duì)輸送所述薄膜的時(shí)刻進(jìn)行調(diào)整的同步調(diào)整部。
[0044]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過利用同步調(diào)整部調(diào)整薄膜的輸送時(shí)刻，能夠在輸送薄膜的狀態(tài)下利用切割器執(zhí)行切斷工序以及利用粘貼部執(zhí)行薄膜的粘貼工序。
[0045]本發(fā)明的第二方案的粘貼裝置的特征在于，該粘貼裝置具備:輸送部，其輸送薄膜；涂敷部，其將涂敷液涂敷于所述薄膜；以及粘貼部，其將涂敷有所述涂敷液的所述薄膜粘貼于基板，所述涂敷部具有:涂敷噴嘴，其將所述涂敷液涂敷于所述薄膜；主體部，其將所述涂敷噴嘴保持為能夠移動(dòng)；移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使所述涂敷噴嘴沿著與所述薄膜的輸送方向交叉的寬度方向移動(dòng)；以及轉(zhuǎn)動(dòng)部，其使所述主體部轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0046]根據(jù)本方案的粘貼裝置，能夠利用移動(dòng)機(jī)構(gòu)以及轉(zhuǎn)動(dòng)部使涂敷噴嘴呈大致8字狀移動(dòng)，因此，能夠通過調(diào)整例如薄膜的輸送速度以及涂敷噴嘴的移動(dòng)速度來使涂敷噴嘴的前端沿著按規(guī)定方向輸送的薄膜的寬度方向移動(dòng)。由此，通過使涂敷噴嘴的前端在薄膜的寬度方向以及輸送方向的整個(gè)區(qū)域無(wú)間隙地移動(dòng)，能夠?qū)⑼糠笠壕鶆虻赝糠笥诒∧さ恼妗?br> [0047]另外，在上述第二方案的粘貼裝置的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，所述涂敷部以使所述涂敷噴嘴沿著由所述輸送部輸送的所述薄膜的所述寬度方向相對(duì)地進(jìn)行往復(fù)動(dòng)作的方式驅(qū)動(dòng)所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)以及所述轉(zhuǎn)動(dòng)部。
[0048]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于涂敷噴嘴沿著薄膜的寬度方向相對(duì)地進(jìn)行往復(fù)動(dòng)作，因此，如上所述，通過使涂敷噴嘴的前端在薄膜的寬度方向以及輸送方向的整個(gè)區(qū)域無(wú)間隙地移動(dòng)，能夠?qū)⑼糠笠壕鶆虻赝糠笥诒∧さ恼妗?br> [0049]另外，在上述第二方案的粘貼裝置的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，所述涂敷部以使所述涂敷噴嘴進(jìn)行下述動(dòng)作的方式驅(qū)動(dòng)所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)以及所述轉(zhuǎn)動(dòng)部，即，使所述涂敷噴嘴以在所述薄膜上朝向輸送方向斜向橫穿的方式從該薄膜的寬度方向的一端側(cè)移動(dòng)到另一端側(cè)，向與所述輸送方向相反的一側(cè)折回后以在所述薄膜上朝向輸送方向斜向橫穿的方式從該薄膜的寬度方向的另一端側(cè)移動(dòng)到一端側(cè)，并且向與所述輸送方向相反的一側(cè)折回。
[0050]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠使涂敷噴嘴以上述方式呈大致8字狀移動(dòng)，因此涂敷噴嘴的前端在薄膜的寬度方向以及輸送方向的整個(gè)區(qū)域無(wú)間隙地移動(dòng)，由此能夠?qū)⑼糠笠壕鶆虻赝糠笥诒∧さ恼妗?br> [0051]另外，在上述第二方案的粘貼裝置的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，所述涂敷部還包括回收從所述涂敷噴嘴飛散的霧的霧回收部。
[0052]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過回收從涂敷噴嘴飛散的霧，能夠防止霧飛散而導(dǎo)致裝置內(nèi)受到污染。
[0053]另外，在上述第二方案的粘貼裝置的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，所述霧回收部配置為覆蓋所述薄膜的與被涂敷所述涂敷液的面相反的背面以及側(cè)面。
[0054]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于以覆蓋薄膜的背面以及側(cè)面的方式配置霧回收部，因此能夠利用霧回收部良好地回收在從涂敷噴嘴涂敷涂敷液時(shí)飛散的霧。
[0055]另外，在上述第二方案的粘貼裝置的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，所述涂敷部還包括膜厚調(diào)整部，該膜厚調(diào)整部對(duì)涂敷在所述薄膜的寬度方向上的薄膜端部處的所述涂敷液的厚度進(jìn)行調(diào)整。
[0056]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于利用膜厚調(diào)整部調(diào)整薄膜端部的膜厚，因此能夠在寬度方向的整個(gè)區(qū)域使涂敷液的膜厚均勻化。
[0057]另外，在上述第二方案的粘貼裝置的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，該粘貼裝置還具備切割器，該切割器將涂敷有所述涂敷液的所述薄膜切斷為規(guī)定長(zhǎng)度，所述薄膜由卷繞長(zhǎng)條狀的片構(gòu)件而成的卷筒體構(gòu)成，所述輸送部通過將所述片構(gòu)件從所述卷筒體卷出來輸送所述片構(gòu)件。
[0058]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠?qū)木硗搀w卷出并利用切割器切斷為規(guī)定長(zhǎng)度的薄膜依次粘貼于多個(gè)基板，能夠更聞效地進(jìn)行粘貼工序。
[0059]另外，在上述第二方案的粘貼裝置的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，所述涂敷噴嘴由噴霧噴嘴構(gòu)成。
[0060]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過向薄膜以霧狀噴射涂敷液，能夠高效率地涂敷涂敷液。
[0061]另外，在上述第一以及第二方案的粘貼裝置的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，所述涂敷部將粘接劑作為所述涂敷液進(jìn)行涂敷。
[0062]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于涂敷部涂敷粘接劑，因此能夠利用該粘接劑簡(jiǎn)單地粘貼薄膜與基板。
[0063]另外，在上述第一方案的粘貼裝置的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，該粘貼裝置還具備清洗部，該清洗部在利用所述涂敷部進(jìn)行所述涂敷液的涂敷處理之前對(duì)所述薄膜進(jìn)行清洗。
[0064]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠相對(duì)于經(jīng)由清洗部的清洗處理而除去了塵埃等異物的薄膜涂敷涂敷液，因此能夠提高涂敷液與薄膜之間的緊貼性。
[0065]另外，在上述第一以及第二方案的粘貼裝置的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，所述輸送部相對(duì)于所述涂敷部沿著與水平面交叉的方向輸送所述薄膜。
[0066]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于相對(duì)于沿著與水平面交叉的方向、例如鉛垂方向輸送的薄膜涂敷涂敷液，因此能夠防止涂敷時(shí)飛散而向下方落下的霧附著，能夠?qū)Ρ∧ね糠蠓€(wěn)定的膜厚的涂敷液。由此，能夠抑制在涂敷液的涂敷面產(chǎn)生不均勻。
[0067]另外，在上述第一方案的粘貼裝置的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，該粘貼裝置還具備對(duì)由所述加熱部加熱了的所述薄膜進(jìn)行冷卻的冷卻部。
[0068]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠?qū)⒂杉訜岵考訜崃说谋∧だ鋮s而使其在短時(shí)間內(nèi)降至規(guī)定溫度。
[0069]另外，在上述第一方案的粘貼裝置的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，所述同步調(diào)整部具備:杠桿構(gòu)件，其能夠以另一端側(cè)為基準(zhǔn)進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)；以及輥構(gòu)件，其設(shè)置在所述杠桿構(gòu)件的一端側(cè)并且供所述薄膜卷掛。
[0070]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過根據(jù)杠桿構(gòu)件的轉(zhuǎn)動(dòng)量調(diào)整輥構(gòu)件壓入薄膜的壓入量，能夠任意地設(shè)定薄膜的輸送時(shí)刻。
[0071]另外，在上述第一以及第二方案的粘貼裝置的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，該粘貼裝置還具備對(duì)粘貼于所述基板的所述薄膜進(jìn)行檢查的檢查部。
[0072]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于能夠利用檢查裝置對(duì)粘貼于基板的薄膜進(jìn)行檢查，因此能夠挑選出粘貼狀態(tài)不良的基板。
[0073]另外，在上述第一方案的粘貼裝置的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，所述輸送部包括薄膜保持輥，該薄膜保持輥在與所述涂敷噴嘴相對(duì)的位置保持所述薄膜，并且該薄膜保持輥的與所述薄膜的輸送方向交叉的方向上的寬度比該薄膜的寬度大，所述涂敷部包括對(duì)涂敷時(shí)附著于所述薄膜保持輥的所述涂敷液進(jìn)行清洗的輥清洗部。
[0074]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于輸送部具備寬度比薄膜寬的薄膜保持輥，因此能夠可靠地保持并輸送薄膜。另外，由于涂敷部具備輥清洗部，因此能夠良好地除去附著于薄膜保持輥的涂敷液。由此，能夠防止被依次輸送的薄膜在抵接于薄膜保持輥時(shí)被附著于薄膜保持輥的涂敷液污染這樣的不良情況的產(chǎn)生。
[0075]另外，在上述第一方案的粘貼裝置的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，所述切割器一邊使切割刀刃在與所述薄膜的輸送方向交叉的方向上從所述薄膜的一端側(cè)朝向另一端側(cè)移動(dòng)一邊切斷該薄膜。
[0076]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，切割刀刃從薄膜的一端側(cè)朝向另一端側(cè)移動(dòng)，由此能夠簡(jiǎn)單且可靠地切斷薄膜。
[0077]另外，在上述第一方案的粘貼裝置的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，該粘貼裝置還具備對(duì)切斷所述薄膜后的所述切割刀刃進(jìn)行清洗的切割刀刃清洗部。
[0078]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過對(duì)切割刀刃進(jìn)行清洗，能夠維持切割刀刃的切斷性能，結(jié)果，能夠延長(zhǎng)切割刀刃的壽命。
[0079]另外，在上述第一方案的粘貼裝置的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，所述切割器清洗部通過與所述切割刀刃接觸來進(jìn)行清洗。
[0080]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠簡(jiǎn)單且可靠地清洗切割刀刃。
[0081]另外，在上述第一方案的粘貼裝置的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，所述切割器通過使所述切割刀刃旋轉(zhuǎn)來切斷所述薄膜。
[0082]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠簡(jiǎn)單且可靠地切斷薄膜。
[0083]發(fā)明效果
[0084]根據(jù)本發(fā)明，能夠通過在一條流水線上進(jìn)行粘接劑的涂敷以及向基板的粘貼來高效率地進(jìn)行粘貼作業(yè)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0085]圖1是表示第一實(shí)施方式的粘貼裝置的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。
[0086]圖2是表示第一吸附輥以及第二吸附輥的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)的剖視圖。
[0087]圖3是表示切割部的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)以及薄膜的層疊結(jié)構(gòu)的圖。
[0088]圖4A是表示涂敷部的主要部分結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)圖。
[0089]圖4B是用于說明涂敷部的動(dòng)作的圖。
[0090]圖5是表示噴嘴前端相對(duì)于薄膜的動(dòng)作的圖。
[0091]圖6是表示不具有轉(zhuǎn)動(dòng)部的情況下的噴嘴前端的動(dòng)作的圖。
[0092]圖7是表示涂敷部的周邊結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)圖。
[0093]圖8是表示霧回收機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)圖。
[0094]圖9A是表示膜厚調(diào)整機(jī)構(gòu)的周邊結(jié)構(gòu)的圖。
[0095]圖9B是表示膜厚調(diào)整機(jī)構(gòu)的周邊結(jié)構(gòu)的圖。
[0096]圖10是對(duì)粘貼裝置所進(jìn)行的薄膜的粘貼工序進(jìn)行說明的流程圖。
[0097]圖11是表示第二實(shí)施方式的粘貼裝置的結(jié)構(gòu)的圖。
[0098]圖12A是表示第三實(shí)施方式的膜厚調(diào)整部的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0099]圖12B是表示第三實(shí)施方式的膜厚調(diào)整部的結(jié)構(gòu)的剖視圖。
[0100]圖13是表示第四實(shí)施方式的粘貼裝置的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)的圖。
[0101]圖14是第五實(shí)施方式的薄膜保持輥的周邊結(jié)構(gòu)的放大圖。
[0102]圖15是第六實(shí)施方式的切割部及其周邊的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)圖。
[0103]圖16是表示第七實(shí)施方式的粘貼裝置的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)的圖。
[0104]圖17是第七實(shí)施方式的檢查部所進(jìn)行的薄膜的檢查方法的說明圖。

【具體實(shí)施方式】
[0105]以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的粘貼裝置的一實(shí)施方式進(jìn)行說明。在以下的說明中，設(shè)定XYZ正交坐標(biāo)系，參照該XYZ正交坐標(biāo)系對(duì)各構(gòu)件的位置關(guān)系進(jìn)行說明。將水平面內(nèi)的薄膜的輸送方向作為X軸方向，將在水平面內(nèi)與X軸方向正交的方向作為Y軸方向，將分別與X軸方向以及Y軸方向正交的方向(即鉛垂方向)作為Z軸方向。在本實(shí)施方式的粘貼裝置中，通過將粘合長(zhǎng)條狀的保護(hù)材料以及主薄膜材料而成的薄膜卷繞成卷狀而得到卷筒體，一邊輸送從卷筒體松卷放出的薄膜一邊將保護(hù)材料與主薄膜材料從薄膜分離，并將主薄膜材料粘貼于基板。
[0106](第一實(shí)施方式)
[0107]圖1是表示本實(shí)施方式的粘貼裝置的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。
[0108]如圖1所示，粘貼裝置100具備裝置框體101、基板供給部102、基板移動(dòng)部103、薄膜輸送部104、薄膜粘貼部105、粘貼輔助部135、涂敷部106以及加熱部107。
[0109]基板供給部102用于使基板I向裝置框體101內(nèi)移動(dòng)而供給基板I?；骞┙o部102具有:盒102a，其保持多個(gè)粘貼薄膜前的基板I ;以及驅(qū)動(dòng)部102b，其能夠從該盒102a的內(nèi)部拉出基板I。盒102a形成為能夠使保持于內(nèi)部的基板I下降到能夠交付至驅(qū)動(dòng)部102b的位置的結(jié)構(gòu)。由此，基板供給部102能夠利用驅(qū)動(dòng)部102b從盒102a內(nèi)將多個(gè)基板I依次向裝置框體101側(cè)供給。
[0110]基板移動(dòng)部103使基板I移動(dòng)到規(guī)定位置(薄膜粘貼位置)，并且在粘貼薄膜后使基板I移動(dòng)到用于從裝置框體101搬出的搬出位置?；逡苿?dòng)部103具有第一基板輸送輥部30、第二基板輸送輥部31、第三基板輸送輥部32、第四基板輸送輥部33以及第五基板輸送輥部34。
[0111]第三基板輸送棍部32由被未圖不的驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)的輸送棍(第一輸送棍)32a構(gòu)成。輸送輥32a形成為在與薄膜粘貼輥40之間夾持基板I的結(jié)構(gòu)，該薄膜粘貼輥40用于進(jìn)行薄膜輸送部104中的薄膜的粘貼作業(yè)。由此，能夠?qū)⒈∧ふ迟N于輸送輥32a上的基板I。即，輸送輥32a以及薄膜粘貼輥40構(gòu)成本發(fā)明的一實(shí)施方式的薄膜粘貼部105。
[0112]第一基板輸送輥部30具有多個(gè)(在本實(shí)施方式中為四個(gè))從動(dòng)輥30a。由此，第一基板輸送輥部30接收從基板供給部102供給來的基板I并向裝置框體101內(nèi)導(dǎo)入。
[0113]第二基板輸送輥部31配置為隔著薄膜粘貼部105與第四基板輸送輥部33相對(duì)。
[0114]第二基板輸送輥部31具有多個(gè)(在本實(shí)施方式中為三個(gè))輥對(duì)131。各輥對(duì)131具有下側(cè)輥31a以及上側(cè)輥31b?；錓以?shī)A持在這些輥31a、31b之間的狀態(tài)被輸送。
[0115]第四基板輸送輥部33接收利用薄膜輸送部104粘貼薄膜后的基板I。第四基板輸送輥部33具有多個(gè)(在本實(shí)施方式中為兩個(gè))輥對(duì)133。各輥對(duì)133具有下側(cè)輥33a以及上側(cè)輥33b?；錓以?shī)A持在這些輥33a、33b之間的狀態(tài)被輸送。
[0116]在第三基板輸送輥部32以及第四基板輸送輥部33之間配置有粘貼輔助部135。粘貼輔助部135具有輸送輥(第二輸送輥)135a和粘貼輔助輥135b。粘貼輔助輥135b能夠相對(duì)于輸送棍135a進(jìn)退。
[0117]粘貼輔助部135能夠通過使粘貼輔助輥135b靠近用于輸送基板I的輸送輥135a而將基板I夾在該粘貼輔助輥135b與輸送輥135a之間。使粘貼輔助輥135b升降的驅(qū)動(dòng)部在與輸送輥135a之間對(duì)基板I施加按壓力。所述驅(qū)動(dòng)部例如由工作缸、電動(dòng)機(jī)等構(gòu)成，通過控制該驅(qū)動(dòng)部來控制所述按壓力。所述驅(qū)動(dòng)部根據(jù)基板I的尺寸與輸送時(shí)間來規(guī)定使粘貼輔助輥135b升降的時(shí)刻。
[0118]粘貼輔助輥135b至少與基板I的輸送方向(+X方向)的后端抵接，將該基板I夾入粘貼輔助輥135b與輸送輥135a之間直至基板I的后端的邊緣通過。粘貼輔助輥135b至少在基板I的輸送方向的后端的時(shí)刻抵接即可，基板I的抵接開始位置不特別限定。即，粘貼輔助輥135b可以從基板I的一半開始抵接，也可以從基板I的輸送方向前端開始抵接。
[0119]這樣，薄膜粘貼部105按壓薄膜的輸送方向(+X方向)的后端的邊緣部，由此能夠使薄膜的后端的切斷部分可靠地粘接于基板I，能夠使薄膜良好地粘接于基板I的整面。
[0120]第五基板輸送輥部34具有多個(gè)(在本實(shí)施方式中為四個(gè))從動(dòng)輥34a。由此，第五基板輸送棍部34以接收從第四基板輸送棍部33輸送來的基板I并收納于未圖不的基板搬出用盒內(nèi)的方式移動(dòng)。
[0121]薄膜輸送部104用于將薄膜輸送到粘貼于基板I的粘貼位置。由薄膜輸送部104輸送來的薄膜利用薄膜粘貼部105粘貼于基板I。
[0122]薄膜輸送部104具有薄膜送出部41、輸送路徑調(diào)整部42、薄膜保持輥43、第一吸附輥44、切割部48、同步調(diào)整部47、轉(zhuǎn)接輥部45、第二吸附輥49、薄膜粘貼輥40、薄膜卷取部51以及轉(zhuǎn)接輥2、3。
[0123]薄膜送出部41具有保持將薄膜60卷繞為卷狀而成的卷筒體R并且使該卷筒體R旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部41a。薄膜60具有主薄膜材料61、保護(hù)材料62以及將上述主薄膜材料61和保護(hù)材料62粘合在一起的粘合層63 (參照?qǐng)D3)。由此，薄膜輸送部104通過將薄膜60從卷筒體R松卷來進(jìn)行輸送。
[0124]輸送路徑調(diào)整部42具有:杠桿部141，其以能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的方式安裝于旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部41a ;以及抵接輥142，其以能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的方式安裝于杠桿部141的前端并與薄膜60抵接。杠桿部141在旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部41a與卷筒體R在同軸上旋轉(zhuǎn)。
[0125]從卷筒體R松卷放出的薄膜60的輸送路徑(輸送距離)根據(jù)卷筒體R的余量而發(fā)生變化。這樣，若薄膜60的輸送路徑(輸送距離)發(fā)生變化，則為了將薄膜60的輸送速度保持為恒定而需要改變旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部41a的驅(qū)動(dòng)條件。
[0126]相對(duì)于此，本實(shí)施方式的薄膜輸送部104通過輸送路徑調(diào)整部42使杠桿部141轉(zhuǎn)動(dòng)到規(guī)定位置來改變薄膜60的輸送距離(輸送路徑)。例如，薄膜輸送部104在卷筒體R的余量減少時(shí)以使抵接輥142下降的方式使杠桿部141轉(zhuǎn)動(dòng)，從而能夠延長(zhǎng)因卷筒體R的外形變小而縮短的輸送距離。這樣，根據(jù)輸送路徑調(diào)整部42，能夠不改變旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部41a的驅(qū)動(dòng)條件(旋轉(zhuǎn)速度)而將薄膜60的輸送速度保持為恒定。
[0127]薄膜保持輥43用于在與后述的第一吸附輥44之間將薄膜60保持為沿著大致鉛垂方向(Z軸方向)輸送。由此，薄膜60被沿著鉛垂方向輸送。
[0128]第一吸附輥44以及第二吸附輥49通過在吸附著薄膜60的狀態(tài)下旋轉(zhuǎn)而能夠以定速輸送該薄膜60。圖2是表示第一吸附輥44以及第二吸附輥49的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)的剖視圖。第一吸附輥44以及第二吸附輥49采用相同的結(jié)構(gòu)，因此在以下的說明中對(duì)第一吸附輥44的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。
[0129]如圖2所示，第一吸附輥44具有在表面形成有多個(gè)貫通孔144a的輥主體144和設(shè)置在輥主體144的內(nèi)部的吸引部145。吸引部145具有由能夠與旋轉(zhuǎn)的輥主體144的內(nèi)表面滑動(dòng)接觸的箱狀構(gòu)成的箱體145a，該箱體145a連接于真空室(未圖示)。
[0130]箱體145a通過與輥主體144的內(nèi)表面抵接而能夠經(jīng)由貫通孔144a吸引輥表面?zhèn)鹊目諝?。就第一吸附?4而言，僅能夠從與箱體145a的開口部相對(duì)的區(qū)域A的貫通孔144a吸引空氣。箱體145a被固定，僅輥主體144進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。
[0131]基于該結(jié)構(gòu)，第一吸附輥44形成為輥主體144在規(guī)定的旋轉(zhuǎn)位置從貫通孔144a吸引空氣的結(jié)構(gòu)。由此，第一吸附輥44能夠沿著輥主體144的旋轉(zhuǎn)方向良好地輸送經(jīng)由貫通孔144a吸附的薄膜60。吸引部145不需要一定抵接于輥主體144的內(nèi)表面，只要是能夠經(jīng)由貫通孔144a進(jìn)行吸引的結(jié)構(gòu)，也可以隔開空隙。
[0132]另外，第一吸附輥44通過吸附來保持薄膜60，因此能夠防止輥主體144與薄膜60之間產(chǎn)生摩擦，能夠抑制靜電的產(chǎn)生。以上，說明了第一吸附輥44的結(jié)構(gòu)，第二吸附輥49也相同。
[0133]圖3是表示切割部48的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)以及薄膜60的層疊結(jié)構(gòu)的圖。
[0134]如圖3所示，切割部48具有用于切斷(切割)薄膜60的刀刃48a和與刀刃48a相對(duì)配置的臺(tái)座部48b。切割部48能夠通過將刀刃48a按壓于臺(tái)座部48b上的薄膜60來切斷薄膜60。具體而言，如圖3所示，切割部48將刀刃48a按壓至僅能夠?qū)⒈∧?0中的主薄膜材料61切斷的位置。由此，薄膜60處于主薄膜材料61在被切割為規(guī)定長(zhǎng)度的狀態(tài)下利用粘合層63粘貼于保護(hù)材料62的狀態(tài)。在圖3中示出涂敷在薄膜60的主薄膜材料61上的粘接劑N。
[0135]具體而言，切割部48在切斷主薄膜材料61時(shí)形成粘貼于基板I的粘貼部分和未粘貼于基板的非粘貼部分。因此，形成為在保護(hù)材料62上粘貼有通過粘合層63構(gòu)成所述粘貼部分的主薄膜材料61和構(gòu)成所述非粘貼部分的主薄膜材料61的狀態(tài)。在此，粘貼部分的長(zhǎng)度與基板I的長(zhǎng)度對(duì)應(yīng)。另外，非粘貼部分的長(zhǎng)度與在相對(duì)于某一基板I粘貼薄膜結(jié)束后到相對(duì)于下一個(gè)基板I粘貼薄膜開始之前基板I被輸送的距離對(duì)應(yīng)。即，非粘貼部分的長(zhǎng)度根據(jù)基板I的輸送速度、薄膜粘貼輥40的升降速度等適當(dāng)設(shè)定。這樣，通過使用包含粘貼部分以及非粘貼部分的薄膜，能夠容易地使利用薄膜輸送部104輸送的薄膜(粘貼部分)的前端與利用基板移動(dòng)部103輸送的基板I的輸送方向前端對(duì)位。
[0136]在此，切割部48對(duì)由薄膜輸送部104輸送的狀態(tài)下的薄膜60進(jìn)行切割。在切割部48切斷薄膜60時(shí)，薄膜60的輸送暫時(shí)停止。此時(shí)，由于薄膜60的輸送在切斷部分以外的部分繼續(xù)進(jìn)行，因此會(huì)在切割部48切斷的切斷部分和除此之外的部分之間產(chǎn)生薄膜60的輸送速度差。于是，輸送速度產(chǎn)生偏差，被輸送的薄膜60發(fā)生重疊，發(fā)生薄膜60的輸送不良。
[0137]與此相對(duì)，本實(shí)施方式的薄膜輸送部104具備所述同步調(diào)整部47，該所述同步調(diào)整部47作為用于調(diào)整被切割部48切斷時(shí)薄膜60所產(chǎn)生的輸送速度的偏差的部件。同步調(diào)整部47具有與薄膜60的背面?zhèn)鹊纸拥牡纸虞伈?47、用于保持該抵接輥部147的保持部148以及能夠使該保持部148沿著薄膜60的輸送方向(X方向)移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)部149。
[0138]同步調(diào)整部47為了在薄膜60被切割部48切斷時(shí)使薄膜60暫時(shí)停止的部分與其他輸送過程中的部分的輸送速度一致而使抵接輥部147向輸送方向上游側(cè)(+X方向)移動(dòng)。由此，切割部48與同步調(diào)整部47 (抵接輥部147)之間的距離增長(zhǎng)，因此相當(dāng)于能夠降低薄膜60的到達(dá)切割部48的輸送速度，通過使薄膜60的輸送速度一致，能夠防止輸送速度的偏差引起的薄膜60的重疊。
[0139]這樣，薄膜輸送部104能夠不產(chǎn)生輸送不良地在輸送薄膜60的狀態(tài)下利用切割部48進(jìn)行切斷。由此，不需要每次利用切割部48進(jìn)行切斷作業(yè)時(shí)都使薄膜60的輸送暫時(shí)停止，因此能夠縮短薄膜60的粘貼所需要的作業(yè)時(shí)間。
[0140]薄膜粘貼輥40能夠沿著上下方向(Z方向)移動(dòng)。薄膜粘貼輥40下降至能夠?qū)⒈∧?0按壓到位于基板移動(dòng)部103的輸送輥32a (第三基板輸送輥部32)上的基板I的位置。
[0141]薄膜粘貼輥40以及輸送輥32a通過夾持薄膜60以及基板I來進(jìn)行薄膜60的粘貼。這樣，薄膜粘貼輥40形成薄膜輸送部104的一部分并且構(gòu)成薄膜粘貼部105。
[0142]薄膜粘貼輥40在進(jìn)行薄膜60的粘貼的情況下將該薄膜60的粘貼部分的主薄膜材料61粘貼于基板I。薄膜60在被輸送的狀態(tài)下粘貼于基板1，因此，例如若薄膜粘貼輥40 一直到基板I的輸送方向的后端與基板I抵接，則會(huì)將接著粘貼部分輸送來的非粘貼部分按壓在薄膜粘貼輥40與輸送輥32a之間。于是，存在原本不應(yīng)當(dāng)被粘貼而應(yīng)當(dāng)廢棄的非粘貼部分的主薄膜材料61粘貼于基板I或輸送輥32a的可能。
[0143]在本實(shí)施方式中，為了防止這樣的不良情況，采用薄膜粘貼輥40不是一直到基板I的輸送方向的后端與基板I抵接的結(jié)構(gòu)。即，薄膜粘貼輥40在使薄膜60的相當(dāng)于粘貼部分的主薄膜材料61的輸送方向前端部與基板I的輸送方向前端對(duì)齊的時(shí)刻(即，主薄膜材料61的輸送方向前端到達(dá)薄膜粘貼位置的時(shí)刻)開始下降，在抵接部分到達(dá)相當(dāng)于粘貼部分的主薄膜材料61的輸送方向后端部(基板I的輸送方向后端)前的時(shí)刻(即，主薄膜材料61的輸送方向后端到達(dá)薄膜粘貼位置前的時(shí)刻)開始上升。由此，能夠防止如上所述那樣將薄膜60的非粘貼部分夾入薄膜粘貼輥40與輸送輥32a之間。因此，薄膜粘貼輥40在每次相對(duì)于基板I粘貼薄膜60的粘貼作業(yè)時(shí)反復(fù)進(jìn)行升降動(dòng)作。
[0144]然而，由于薄膜粘貼輥40如上所述在抵接于基板I的輸送方向后端之前上升，因此無(wú)法在輸送方向后端側(cè)將薄膜60充分地按壓于基板1，存在薄膜60的粘貼不充分的可倉(cāng)泛。
[0145]與此相對(duì)，在本實(shí)施方式中形成為具備所述粘貼輔助部135 (粘貼輔助輥135b)的結(jié)構(gòu)。粘貼輔助輥135b至少與基板I的輸送方向的后端抵接，通過將該基板I夾入該粘貼輔助輥135b與輸送輥135a之間直至基板I的后端的邊緣通過，能夠可靠地將僅利用薄膜粘貼輥40粘貼不充分的薄膜60的后端的切斷部分粘接于基板I。因此，根據(jù)本實(shí)施方式，能夠?qū)⒈∧?0良好地粘接于基板I的整面。
[0146]薄膜卷取部51具有:卷取軸51a，其用于卷取由薄膜粘貼部105進(jìn)行的粘貼作業(yè)后從薄膜60分離的保護(hù)材料62 ;以及驅(qū)動(dòng)部51b，其驅(qū)動(dòng)該卷取軸51a。
[0147]轉(zhuǎn)接輥52、53用于在薄膜粘貼輥40與薄膜卷取部51之間轉(zhuǎn)接薄膜60的輸送。轉(zhuǎn)接輥52位于比由薄膜粘貼輥40進(jìn)行粘貼的薄膜粘貼位置靠上方(Z方向)的位置。另外，轉(zhuǎn)接輥52在基板I的輸送方向上配置在比粘貼輔助部135且比薄膜粘貼部105靠上方的位置。由此，經(jīng)過薄膜粘貼輥40后的薄膜60朝向上方急劇地彎折，從而如后所述僅將被切割后的主薄膜材料61粘貼于基板1，保護(hù)材料62從主薄膜材料61分離。
[0148]涂敷部106相對(duì)于基板I涂敷粘接劑N，該粘接劑N作為用于將薄膜60粘接于該基板I的涂敷液。涂敷部106相對(duì)于利用薄膜保持輥43沿鉛垂方向輸送的薄膜60涂敷粘接劑。作為涂敷部106所涂敷的涂敷液，使用至少具有在利用加熱部107進(jìn)行干燥后能夠?qū)⒈∧?0粘接于基板I的程度的粘合性的液體。
[0149]涂敷部106包括相對(duì)于基板I涂敷粘接劑的涂敷機(jī)構(gòu)70、霧回收機(jī)構(gòu)71以及對(duì)涂敷于薄膜60的粘接劑的厚度進(jìn)行調(diào)整的膜厚調(diào)整機(jī)構(gòu)72 (參照?qǐng)D7)。
[0150]圖4A是表示涂敷機(jī)構(gòu)70的主要部分結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)圖，圖4B是概念性地表示噴嘴73的前端73a的動(dòng)作的圖。
[0151]如圖4A所示，涂敷機(jī)構(gòu)70包括用于噴射粘接劑的噴嘴73、主體部74以及使主體部74繞X軸轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)部75。作為噴嘴73，使用以霧狀噴射粘接劑的噴霧噴嘴。主體部74具有能夠使噴嘴73沿著薄膜60的寬度方向移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)79。移動(dòng)機(jī)構(gòu)79包括引導(dǎo)噴嘴73的移動(dòng)的引導(dǎo)部79a以及傳遞使噴嘴73相對(duì)于該引導(dǎo)部79a移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)力的驅(qū)動(dòng)部79b。噴嘴73經(jīng)由安裝臂78連接于引導(dǎo)部79a。
[0152]驅(qū)動(dòng)部79b例如利用齒輪齒條機(jī)構(gòu)向引導(dǎo)部79a側(cè)傳遞驅(qū)動(dòng)力。由此，噴嘴73能夠如該圖箭頭B所示沿著薄膜60的寬度方向移動(dòng)。由此，噴嘴73能夠向薄膜60的寬度方向的整個(gè)區(qū)域噴射粘接劑。
[0153]轉(zhuǎn)動(dòng)部75由電動(dòng)機(jī)等構(gòu)成。主體部74在其中央部安裝于轉(zhuǎn)動(dòng)部75。由此，主體部74能夠利用轉(zhuǎn)動(dòng)部75以中央部為基準(zhǔn)進(jìn)行擺動(dòng)。噴嘴73能夠相對(duì)于主體部74的擺動(dòng)動(dòng)作獨(dú)立地利用主體部74的移動(dòng)機(jī)構(gòu)79進(jìn)行移動(dòng)。以下，為了方便說明，使噴嘴73的前端73a的中心與轉(zhuǎn)動(dòng)部75的旋轉(zhuǎn)中心一致。
[0154]根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，如圖4B所示，噴嘴73的前端73a以轉(zhuǎn)動(dòng)部75的旋轉(zhuǎn)中心作為基準(zhǔn)呈大致8字狀移動(dòng)。具體而言，若以轉(zhuǎn)動(dòng)部75的旋轉(zhuǎn)中心C作為基準(zhǔn)來設(shè)定YZ軸，則噴嘴73的前端以從第四象限到第二象限描繪圓弧、并經(jīng)由第三象限到第一象限描繪圓弧、到達(dá)第四象限之后反復(fù)描繪相同的軌跡的方式移動(dòng)。在本說明中，列舉了噴嘴73的前端73a在從第二象限到達(dá)第三象限時(shí)以及從第一象限到達(dá)第四象限時(shí)描繪出圓弧并返回的情況，但本發(fā)明不限定于此。例如，也可以采用通過以沿著Z軸方向跨越Y(jié)軸的方式折回而從第二象限向第三象限移動(dòng)以及從第一象限向第四象限移動(dòng)的結(jié)構(gòu)。在該情況下，涂敷機(jī)構(gòu)70代替轉(zhuǎn)動(dòng)部75而具有使主體部74在YZ方向上移動(dòng)的移動(dòng)部。
[0155]圖5是表示本實(shí)施方式的涂敷部106涂敷粘接劑時(shí)的、噴嘴73的前端73a相對(duì)于薄膜60的動(dòng)作的圖。另外，圖6是作為比較而表示不具有轉(zhuǎn)動(dòng)部75的涂敷部106涂敷粘接劑時(shí)的、噴嘴73的前端73a相對(duì)于薄膜60的動(dòng)作的圖。本實(shí)施方式的涂敷部106如上所述使噴嘴73以轉(zhuǎn)動(dòng)部75的旋轉(zhuǎn)中心C為基準(zhǔn)呈大致8字狀移動(dòng)，因此，能夠通過調(diào)整薄膜60的輸送速度以及噴嘴73的移動(dòng)速度而如圖5所示那樣使噴嘴73的前端沿著按規(guī)定方向輸送的薄膜60的表面的寬度方向移動(dòng)。另一方面，在不具有轉(zhuǎn)動(dòng)部75的情況下,在噴嘴73沿薄膜60的寬度方向移動(dòng)的期間，該薄膜60本身也被輸送，因此，如圖6所示，噴嘴73的前端73a相對(duì)于薄膜60的表面呈Z字形移動(dòng)。
[0156]如以上所述，本實(shí)施方式的涂敷部106具備轉(zhuǎn)動(dòng)部75而能夠使噴嘴73的前端73a在薄膜60的寬度方向上以及輸送方向的整體區(qū)域無(wú)間隙地移動(dòng)，因此能夠?qū)⒄辰觿┚鶆虻赝糠笥诒∧?0的整面。
[0157]返回圖1，加熱部107用于通過對(duì)利用涂敷部106涂敷有粘接劑的薄膜60進(jìn)行加熱(干燥處理)而使粘接劑固化。加熱部107具有第一加熱部76以及第二加熱部77。第一加熱部76以及第二加熱部77的加熱溫度分別設(shè)定為不同的值。
[0158]第一加熱部76用于通過對(duì)薄膜60進(jìn)行第一干燥處理而使粘接劑臨時(shí)固化。第二加熱部77用于通過對(duì)薄膜60進(jìn)行第二干燥處理而使粘接劑完全固化。
[0159]根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，加熱部107能夠通過分級(jí)地(兩級(jí))對(duì)薄膜60進(jìn)行加熱而使粘接劑良好地固化。在粘接劑包含多鐘(例如兩種)溶劑的情況下，通過由第一加熱部76進(jìn)行的第一干燥處理(第一級(jí)的加熱處理)使粘接劑中的第一溶劑蒸發(fā)、由第二加熱部77進(jìn)行的第二干燥處理(第二級(jí)的加熱處理)使粘接劑中的第二溶劑蒸發(fā)，能夠使粘接劑干燥而良好地固化。
[0160]另外，加熱部107使用第一加熱部76以及第二加熱部77進(jìn)行一張薄膜60的加熱處理，因此，不會(huì)如僅利用一個(gè)加熱部進(jìn)行薄膜60的加熱處理那樣產(chǎn)生在上一個(gè)薄膜60的干燥處理結(jié)束之前無(wú)法開始進(jìn)行下一個(gè)薄膜60的干燥處理這樣的問題。由此，能夠依次將薄膜60輸送到加熱部107內(nèi)，故而能夠縮短加熱處理所需要的生產(chǎn)節(jié)拍。
[0161]圖7是表示涂敷部106的周邊結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)圖。圖8是表示霧回收機(jī)構(gòu)71的結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)圖。霧回收機(jī)構(gòu)71用于回收由涂敷機(jī)構(gòu)70的噴嘴73涂敷粘接劑時(shí)產(chǎn)生的霧。
[0162]如圖7所示，霧回收機(jī)構(gòu)71具有主體部80、霧清洗部81以及清洗液循環(huán)部82。主體部80構(gòu)成利用涂敷部106進(jìn)行粘接劑涂敷處理的處理室。主體部80設(shè)置有用于將由薄膜輸送部104輸送的薄膜60搬入到內(nèi)部或者從內(nèi)部搬出的開口部80a。
[0163]如圖8所示，霧清洗部81以覆蓋薄膜60的與被涂敷粘接劑的面相反的背面60a以及側(cè)面60b的方式設(shè)置在主體部80內(nèi)。如圖7所示，霧清洗部81具有用于貯存清洗液W的清洗液貯存部83、供從該清洗液貯存部83溢出的清洗液W流動(dòng)的清洗部84、以及清洗液接收部85。在圖7中，為了使附圖易懂，而僅圖示了配置在薄膜60的背面60a側(cè)的霧清洗部81，但如圖8所示，在薄膜60的側(cè)面60b側(cè)也配置有霧清洗部81。配置在薄膜60的側(cè)面60b側(cè)的霧清洗部81也具有與背面60a側(cè)的霧清洗部81相同的結(jié)構(gòu)。
[0164]清洗部84由沿著薄膜60的輸送方向(Z方向)延伸的刷構(gòu)件構(gòu)成，形成為清洗液沿著該刷構(gòu)件的表面向下方流動(dòng)的結(jié)構(gòu)。清洗液接收部85作為用于收納沿著清洗部84向下方流動(dòng)的清洗液的容器而發(fā)揮功能。
[0165]在清洗液接收部85的下方設(shè)置有使清洗液W連通到主體部80內(nèi)的連通部85a，清洗液接收部85內(nèi)的清洗液經(jīng)由該連通部85a向主體部80的底部89流入。清洗液循環(huán)部82利用泵P的驅(qū)動(dòng)力使積存在主體部80的底部89的清洗液經(jīng)由連通部89a向清洗部84的清洗液貯存部83循環(huán)。清洗液循環(huán)部82具有過濾器F，使清洗液經(jīng)由該過濾器F而循環(huán)。由此，能夠除去清洗后清洗液中所含有的異物而能再利用清洗液。
[0166]根據(jù)本實(shí)施方式的涂敷部106，由于能夠利用霧回收機(jī)構(gòu)71回收從噴嘴73相對(duì)于薄膜60涂敷粘接劑時(shí)產(chǎn)生的霧，因此能夠防止發(fā)生因霧附著而導(dǎo)致粘貼裝置100內(nèi)受到污染這樣的不良情況。
[0167]膜厚調(diào)整機(jī)構(gòu)72以使涂敷在薄膜60的寬度方向上的薄膜端部的粘接劑的厚度均勻的方式進(jìn)行調(diào)整。圖9A以及圖9B是表示膜厚調(diào)整機(jī)構(gòu)72的周邊結(jié)構(gòu)的圖，該圖9A是立體圖，該圖9B是剖視圖。
[0168]如圖9A、圖9B所示，膜厚調(diào)整機(jī)構(gòu)72具備設(shè)置在薄膜60的薄膜端部附近的傳動(dòng)輥90、驅(qū)動(dòng)輥91、從動(dòng)輥92以及架設(shè)在該傳動(dòng)輥90、驅(qū)動(dòng)輥91和從動(dòng)輥92上的帶93。帶93由與薄膜60相同材質(zhì)的聚酰亞胺構(gòu)成。
[0169]傳動(dòng)棍90與朝向鉛垂方向輸送薄膜60的薄膜保持棍43同軸地旋轉(zhuǎn)。傳動(dòng)棍90的外徑設(shè)定為架設(shè)在該傳動(dòng)輥90上的帶93的表面與架設(shè)在薄膜保持輥43上的薄膜60的表面處于大致相同高度的大小。另外，涂敷部106被對(duì)位為噴嘴73的前端在帶93的表面與薄膜60的表面處于大致相同高度的區(qū)域相對(duì)于薄膜60的表面涂敷粘接劑。
[0170]在此，在沒有在薄膜60的薄膜端部設(shè)置膜厚調(diào)整機(jī)構(gòu)72的帶93的情況下，在粘接劑的飛散條件發(fā)生變化的薄膜端部，粘接劑的膜厚變薄。由此，在薄膜60的寬度方向上，存在粘接劑的膜厚產(chǎn)生偏差的可能。
[0171]與此相對(duì)，根據(jù)本實(shí)施方式，膜厚調(diào)整機(jī)構(gòu)72的帶93的表面位于與噴嘴73所對(duì)置的薄膜60的薄膜端部的表面大致相同的高度，因此能夠使粘接劑的飛散條件在薄膜端部與薄膜中央部一致。由此，能夠通過使薄膜60的寬度方向上的粘接劑的成膜條件一致而以均勻的膜厚涂敷粘接劑。
[0172]然而，在使用本實(shí)施方式的噴嘴73這樣的噴霧噴嘴的情況下的涂敷面可能產(chǎn)生不均勻。
[0173]與此相對(duì)，在本實(shí)施方式中，采用從噴嘴73相對(duì)于沿著鉛垂方向(Z方向)輸送的薄膜60涂敷粘接劑的結(jié)構(gòu)。
[0174]若以前端73a的開口端與薄膜60的表面對(duì)置的狀態(tài)配置噴嘴73與薄膜60，則即使薄膜60不一定沿著鉛垂方向被輸送，也能夠獲得所述的不均勻抑制效果。即，薄膜60只要沿著與水平面交叉的方向被輸送即可。這樣，若薄膜60在與水平面交叉的方向上被輸送、即以相對(duì)于水平面傾斜的狀態(tài)被輸送，則噴嘴73的前端73a與薄膜60的表面處于在水平方向上始終離開規(guī)定距離的狀態(tài)，因此能夠抑制所述粘接劑的涂敷面上的不均勻的產(chǎn)生。
[0175]由此，由于噴嘴73的前端與薄膜60的表面處于在水平方向上離開規(guī)定距離的狀態(tài)，因此，從噴嘴73涂敷的粘接劑的粒子中的、粒子較粗(顆粒大)的粘接劑在到達(dá)薄膜60的表面前落下，不會(huì)被涂敷到薄膜60上。另一方面，從噴嘴73涂敷的粘接劑的粒子中的、粒子較細(xì)(顆粒小)的粘接劑到達(dá)配置在與噴嘴73的前端離開規(guī)定距離的位置的薄膜60的表面，而被涂敷到薄膜60上。由此，能夠在薄膜60上涂敷含有均勻的粒子的粘接劑，因此能夠抑制在粘接劑的涂敷面上產(chǎn)生所述的不均勻的情況。
[0176]也可以設(shè)置對(duì)附著于帶93的表面的粘接劑進(jìn)行清洗的清洗裝置。作為清洗裝置的結(jié)構(gòu)，向帶93噴射清洗液的結(jié)構(gòu)或者使帶93浸于清洗液貯存部的結(jié)構(gòu)均可。由此，能夠?qū)?3的表面始終保持為干凈的狀態(tài)，因此能夠長(zhǎng)期高精度地進(jìn)行薄膜60的薄膜端部處的粘接劑的成膜條件的調(diào)整。
[0177]接著，對(duì)本實(shí)施方式的粘貼裝置100的動(dòng)作、即將薄膜60粘貼于基板I的動(dòng)作進(jìn)行說明。
[0178]圖10是對(duì)粘貼裝置100所進(jìn)行的薄膜60的粘貼工序進(jìn)行說明的流程圖。
[0179]首先，在粘貼裝置100中將卷筒體R安裝于薄膜送出部41 (步驟SI)。
[0180]在安裝卷筒體R后，粘貼裝置100的薄膜輸送部104進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，而進(jìn)行薄膜60的卷出(步驟S2)。具體而言，薄膜輸送部104驅(qū)動(dòng)薄膜送出部41以及薄膜卷取部51旋轉(zhuǎn)而沿著規(guī)定方向輸送薄膜60。
[0181]粘貼裝置100以配合薄膜輸送部104對(duì)薄膜60的輸送的方式驅(qū)動(dòng)涂敷部106，進(jìn)行粘接劑的涂敷(步驟S3)。具體而言，涂敷部106如上所述使噴嘴73—邊以轉(zhuǎn)動(dòng)部75的旋轉(zhuǎn)中心為基準(zhǔn)呈大致8字狀移動(dòng)一邊相對(duì)于由薄膜輸送部104輸送的薄膜60涂敷粘接齊U。涂敷部106利用移動(dòng)機(jī)構(gòu)79使噴嘴73移動(dòng)，并且利用轉(zhuǎn)動(dòng)部75使保持噴嘴73的主體部74繞X軸轉(zhuǎn)動(dòng)，從而能夠使噴嘴73的前端在薄膜60的寬度方向以及輸送方向上的整個(gè)區(qū)域無(wú)間隙地移動(dòng)(參照?qǐng)D5)。由此，能夠?qū)⒄辰觿┚鶆虻赝糠笥诒∧?0的寬度方向上的整面。
[0182]然而，在相對(duì)于薄膜60涂敷粘接劑時(shí)，在薄膜60的寬度方向的薄膜端部，粘接劑的飛散條件發(fā)生變化，因此薄膜端部處的粘接劑的厚度比中央部的粘接劑的厚度薄。與此相對(duì)，本實(shí)施方式的涂敷部106在從噴嘴73相對(duì)于薄膜60涂敷粘接劑時(shí)使膜厚調(diào)整機(jī)構(gòu)72發(fā)揮功能，以將涂敷于薄膜60的寬度方向上的薄膜端部的粘接劑的厚度調(diào)整均勻。
[0183]具體而言，膜厚調(diào)整機(jī)構(gòu)72與用于輸送薄膜60的薄膜保持輥43的旋轉(zhuǎn)同步地使傳動(dòng)輥90旋轉(zhuǎn)。此時(shí)，架設(shè)于傳動(dòng)輥90的表面的帶93的表面與架設(shè)于薄膜保持輥43的薄膜60的表面處于相同的高度。
[0184]由此，在薄膜端部附近，帶93的表面位于與薄膜60的表面相同的高度，因此能夠?qū)嵸|(zhì)性地使薄膜端部處的粘接劑的飛散條件與中央部的粘接劑的飛散條件一致。
[0185]由此，從噴嘴73涂敷的粘接劑的飛散條件在薄膜60的薄膜端部也不會(huì)發(fā)生變化，粘接劑的成膜條件在薄膜60的寬度方向上穩(wěn)定，從而能夠以均勻的條件涂敷粘接劑。
[0186]在從噴嘴73向薄膜60涂敷粘接劑時(shí)，霧從噴嘴73向周圍飛散。與此相對(duì)，在本實(shí)施方式的涂敷部106中，能夠利用霧回收機(jī)構(gòu)71回收霧。具體而言，從噴嘴73飛散的霧被以覆蓋薄膜60的背面60a以及側(cè)面60b的方式設(shè)置的霧清洗部81 (霧回收機(jī)構(gòu)71)的清洗部84捕捉。
[0187]清洗部84如上所述形成為清洗液沿著刷構(gòu)件的表面向下方流動(dòng)的結(jié)構(gòu)，因此，被捕捉到的霧與清洗液一起被向下方排出。由此，被捕捉到的霧不會(huì)積蓄在清洗部84，能夠穩(wěn)定地回收霧。
[0188]回收了霧的清洗液從清洗液接收部85向主體部80的底部流入，在利用清洗液循環(huán)部82的過濾器F除去異物后再次向清洗部84循環(huán)。
[0189]另外，在本實(shí)施方式中，從噴嘴73相對(duì)于沿著鉛垂方向(Z方向)被輸送的薄膜60涂敷粘接劑，因此，能夠防止從嗔嘴73涂敷的粘接劑的粒子中的、粒子較粗(顆粒大)的粘接劑被涂敷到薄膜60上，能夠僅將粒子細(xì)(顆粒小)的粘接劑涂敷于薄膜60。這樣，被涂敷的粘接劑含有均勻的粒子，因此，成為在抑制了產(chǎn)生不均勻的狀態(tài)下進(jìn)行涂敷。該粘接劑的表面的不均勻較少，因此，在后續(xù)工序中進(jìn)行的向基板I進(jìn)行粘貼的情況下也能夠防止主薄膜材料61的平面度降低這樣的不良情況的產(chǎn)生。
[0190]薄膜輸送部104將利用涂敷部106涂敷有粘接劑的薄膜60向加熱部107輸送并對(duì)薄膜60進(jìn)行加熱(干燥處理)，由此使粘接劑固化(步驟S4、S5)。具體而言，加熱部107首先利用第一加熱部76對(duì)薄膜60進(jìn)行第一(1st)干燥處理(步驟S4)。接著，加熱部107利用第二加熱部77對(duì)薄膜60進(jìn)行第二(2nd)干燥處理(步驟S5)。第一加熱部76以及第二加熱部77的加熱溫度根據(jù)粘接劑的種類、膜厚等條件適當(dāng)改變。
[0191]這樣，在本實(shí)施方式中，加熱部107使用第一加熱部76以及第二加熱部77進(jìn)行一張薄膜60的加熱處理，因此能夠依次將薄膜60輸送到加熱部107內(nèi)，能夠縮短加熱處理所需要的生產(chǎn)節(jié)拍。
[0192]薄膜輸送部104將利用加熱部107進(jìn)行加熱處理后的薄膜60向切割部48輸送，對(duì)薄膜60進(jìn)行切割(步驟S6)。如圖3所示，切割部48相對(duì)于臺(tái)座部48b上的薄膜60按壓刀刃48a，僅將薄膜60中的主薄膜材料61切斷。利用切割部48進(jìn)行切割后的薄膜60成為以主薄膜材料61被切斷為規(guī)定長(zhǎng)度的狀態(tài)利用粘合層63粘貼于保護(hù)材料62的狀態(tài)。
[0193]具體而言，切割部48如上所述以包含粘貼部分以及非粘貼部分的方式僅切斷主薄膜材料61。
[0194]在此，在進(jìn)行薄膜60的切斷時(shí)，薄膜60的輸送暫時(shí)停止。另一方面，薄膜60在切斷部分以外繼續(xù)被薄膜輸送部104輸送。因此，通過切割部48使薄膜60的輸送速度產(chǎn)生差異，由于輸送速度的偏差導(dǎo)致薄膜60重疊，結(jié)果導(dǎo)致發(fā)生輸送不良。
[0195]與此相對(duì)，在本實(shí)施方式中，同步調(diào)整部47對(duì)在薄膜60的切斷時(shí)產(chǎn)生的輸送速度的偏差進(jìn)行調(diào)整。同步調(diào)整部47在薄膜60被切斷的時(shí)刻使抵接輥部147向輸送方向上游側(cè)(+X方向)移動(dòng)。于是，切割部48與同步調(diào)整部47 (抵接輥部147)之間的距離增長(zhǎng)，相當(dāng)于趨近切割部48的薄膜60的輸送速度降低。由此，通過使薄膜60的輸送速度一致而能夠防止薄膜60產(chǎn)生重疊。
[0196]由此，薄膜輸送部104能夠不發(fā)生薄膜60的輸送不良地在輸送狀態(tài)下利用切割部48良好地切斷薄膜60。另外，薄膜輸送部104不需要每次利用切割部48進(jìn)行切斷作業(yè)都使薄膜60的輸送暫時(shí)停止，因此能夠縮短薄膜60的粘貼所需要的作業(yè)時(shí)間。
[0197]接著，進(jìn)行切割后的薄膜60的粘貼工序。粘貼裝置100在進(jìn)行薄膜60的粘貼之前從基板供給部102的盒102a內(nèi)拉出基板1，利用基板移動(dòng)部103開始輸送基板I (步驟S7、S8)。
[0198]基板移動(dòng)部103使基板I移動(dòng)至薄膜粘貼部105。薄膜粘貼部105相對(duì)于由基板移動(dòng)部103輸送的基板I粘貼薄膜60 (步驟S9)?；逡苿?dòng)部103將基板I的輸送速度控制為，使基板I的輸送方向前端到達(dá)薄膜粘貼部105的時(shí)刻與由薄膜輸送部104輸送的薄膜60的粘貼部分到達(dá)薄膜粘貼部105的時(shí)刻同步。
[0199]具體而言，基板I經(jīng)過第一基板輸送輥部30以及第二基板輸送輥部31而被向第三基板輸送棍部32 (輸送棍32a)輸送。薄膜輸送部104配合基板I到達(dá)第三基板輸送棍部32的時(shí)刻使薄膜粘貼輥40下降。由此，薄膜粘貼輥40開始相對(duì)于位于基板移動(dòng)部103的輸送輥32a (第三基板輸送輥部32)上的基板I按壓薄膜60 (粘貼部分)。
[0200]薄膜粘貼輥40將薄膜60的粘貼部分的主薄膜材料61粘貼于基板I。薄膜60經(jīng)由切割部48所進(jìn)行的切斷工序而成為以主薄膜材料61被切斷為規(guī)定長(zhǎng)度(粘貼部分或者非粘貼部分)的狀態(tài)利用粘合層63粘貼于保護(hù)材料62的狀態(tài)。
[0201]具體而言，如上所述，薄膜粘貼輥40在薄膜60的相當(dāng)于粘貼部分的主薄膜材料61的輸送方向前端部與基板I的輸送方向前端對(duì)齊的時(shí)刻下降。粘貼部分的主薄膜材料61與基板I 一起被夾持在薄膜粘貼輥40與輸送輥32a之間，主薄膜材料61借助粘接劑N粘接于基板I。
[0202]經(jīng)過薄膜粘貼輥40后的薄膜60經(jīng)由轉(zhuǎn)接輥52、53而被薄膜卷取部51卷取。在此，轉(zhuǎn)接輥52位于比由薄膜粘貼輥40進(jìn)行粘貼的薄膜粘貼位置靠上方(Z方向)的位置，因此薄膜60經(jīng)過薄膜粘貼輥40而朝向上方急劇地彎折。
[0203]由此，在轉(zhuǎn)接輥52的作用下向上方彎折的薄膜60，僅主薄膜材料61借助粘接劑N留在基板I上，僅保護(hù)材料62被向轉(zhuǎn)接輥52側(cè)輸出，由此主薄膜材料61與保護(hù)材料62分離(步驟S10)。從薄膜60分離的保護(hù)材料62借助轉(zhuǎn)接棍52、53卷取于薄膜卷取部51 (步驟 SI I)。
[0204]利用薄膜粘貼部105粘貼了主薄膜材料61的粘貼部分的基板I被向第四基板輸送輥部33輸送。在此，為了防止非粘貼部分夾入薄膜粘貼輥40與輸送輥32a之間，而如上所述地使薄膜粘貼輥40在與基板I的輸送方向后端抵接之前上升，因此輸送方向后端側(cè)的薄膜60相對(duì)于基板I的按壓不足，薄膜60的粘貼不充分。
[0205]在本實(shí)施方式中，在第四基板輸送輥部33中，將基板I夾在粘貼輔助部135 (粘貼輔助輥135b)與輸送輥135a之間一直到該基板I的輸送方向的后端的邊緣通過，由此能夠?qū)⒄迟N不充分的薄膜60的后端的切斷部分可靠地粘接于基板I。因此，能夠?qū)⒈∧?0良好地粘接于基板I的整面。
[0206]粘貼有主薄膜材料61的基板I經(jīng)過輥對(duì)133以及第五基板輸送輥部34而向未圖示的基板搬出用盒內(nèi)收納(步驟S12)。
[0207]粘貼裝置100反復(fù)進(jìn)行上述的步驟SI?步驟S12的薄膜粘貼處理工序SSl，一直到相對(duì)于基板供給部102內(nèi)的規(guī)定張數(shù)的基板I粘貼主薄膜材料61 (薄膜60)的作業(yè)結(jié)束(步驟S13)。根據(jù)以上內(nèi)容，粘貼裝置100能夠相對(duì)于規(guī)定張數(shù)的基板I良好地粘貼薄膜60。
[0208]本發(fā)明不限定于上述實(shí)施方式，能夠在不脫離發(fā)明主旨的范圍內(nèi)適當(dāng)變更。例如，在上述實(shí)施方式中，列舉了在薄膜送出部41以及薄膜卷取部51均設(shè)置驅(qū)動(dòng)部的情況為例，但也可以采用如下結(jié)構(gòu):僅在薄膜卷取部51設(shè)置驅(qū)動(dòng)部，使薄膜卷取部51主動(dòng)旋轉(zhuǎn)，由此卷取自從動(dòng)旋轉(zhuǎn)的薄膜送出部41松卷放出的薄膜60。
[0209]另外，在上述實(shí)施方式中，列舉了加熱部107以兩級(jí)對(duì)薄膜60進(jìn)行加熱的情況為例，但也可以以一級(jí)或三級(jí)以上對(duì)薄膜60進(jìn)行加熱。
[0210](第二實(shí)施方式)
[0211]接下來，對(duì)第二實(shí)施方式進(jìn)行說明。在以下的說明中，對(duì)與上述實(shí)施方式相同或者等同的結(jié)構(gòu)部分標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記，簡(jiǎn)化或省略其說明。
[0212]圖11是表示第二實(shí)施方式的粘貼裝置的結(jié)構(gòu)的圖。在粘貼裝置100中，如圖11所示，也可以在裝置框體101內(nèi)配置多個(gè)離子發(fā)生器110。由此，通過去除因薄膜60的輸送而產(chǎn)生的靜電，能夠防止靜電引起的薄膜60的粘貼等這樣的不良情況的產(chǎn)生，薄膜60能夠被良好地輸送并向基板I粘貼。
[0213]另外，如圖11所示，也可以在加熱部107的薄膜60的輸送方向下游側(cè)設(shè)置冷卻部108。由此，能夠?qū)⒗眉訜岵?07加熱后的薄膜60冷卻而使其在短時(shí)間內(nèi)下降至規(guī)定溫度。由此，能夠縮短薄膜60的輸送路徑，薄膜輸送部104小型化，從而能夠?qū)崿F(xiàn)粘貼裝置100本身的小型化。
[0214](第三實(shí)施方式)
[0215]接下來，對(duì)第三實(shí)施方式進(jìn)行說明。在以下的說明中，對(duì)與上述實(shí)施方式相同或者等同的結(jié)構(gòu)部分標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記，簡(jiǎn)化或省略其說明。
[0216]在上述實(shí)施方式中，作為膜厚調(diào)整機(jī)構(gòu)72，例示了將帶93的表面設(shè)定為與薄膜60的表面大致相同高度的情況，但在本實(shí)施方式中，不使用帶93而采用使傳動(dòng)輥90的表面與薄膜60的表面的高度一致的結(jié)構(gòu)。在該情況下，作為傳動(dòng)輥90的材質(zhì)，優(yōu)選使用表面粗糙度低的例如SUS、樹脂、鋁等，由此，能夠良好地調(diào)整薄膜60的薄膜端部處的粘接劑的成膜條件而使粘接劑整齊。
[0217]圖12A以及圖12B是表示第三實(shí)施方式的膜厚調(diào)整部的結(jié)構(gòu)的圖，該圖A是立體圖，該圖B是剖視圖。在本實(shí)施方式中，如圖12A、圖12B所示，采用傳動(dòng)輥95的旋轉(zhuǎn)軸與薄膜保持棍43 —體形成、傳動(dòng)棍95與薄膜保持棍43 —體地旋轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)。
[0218]在本實(shí)施方式中，如圖12A、圖12B所示，與薄膜保持輥43 —體地形成的傳動(dòng)輥95構(gòu)成膜厚調(diào)整部。傳動(dòng)輥95與薄膜保持輥43同軸地旋轉(zhuǎn)。傳動(dòng)輥95的表面95a設(shè)定為與薄膜60的表面處于相同高度。即，傳動(dòng)輥95構(gòu)成為外徑比保持薄膜60的薄膜保持輥43大薄膜60的厚度。
[0219]然而，在從噴嘴73相對(duì)于薄膜60涂敷粘接劑時(shí)，從噴嘴73飛散的霧附著于傳動(dòng)輥95。在本變形例中，配置與傳動(dòng)輥95的表面抵接的刮板構(gòu)件96。刮板構(gòu)件96抵接于傳動(dòng)輥95的、比和薄膜60抵接的抵接部分靠旋轉(zhuǎn)方向下游側(cè)的表面。作為刮板構(gòu)件96的材料，優(yōu)選使用橡膠、樹脂等，由此，能夠不損傷傳動(dòng)輥95而良好地刮除附著于該傳動(dòng)輥95的霧。由此，刮板構(gòu)件96能夠刮除從噴嘴73飛散并附著于傳動(dòng)輥95的表面的霧。刮板構(gòu)件96所刮除的霧可以回收到在圖7所示的霧回收機(jī)構(gòu)71的主體部80的底部89貯存的清洗液W中，也可以另外設(shè)置回收機(jī)構(gòu)。
[0220]由此，僅利用傳動(dòng)輥95構(gòu)成本發(fā)明的膜厚調(diào)整部，能夠減少部件數(shù)量，能夠?qū)崿F(xiàn)成本降低。另外，由于傳動(dòng)輥95與薄膜保持輥43 —體地旋轉(zhuǎn)，因此能夠使上述傳動(dòng)輥90以及薄膜保持輥43的驅(qū)動(dòng)部共用，能夠?qū)崿F(xiàn)成本降低。
[0221](第四實(shí)施方式)
[0222]接下來，對(duì)第四實(shí)施方式進(jìn)行說明。在以下的說明中，對(duì)與上述實(shí)施方式相同或者等同的結(jié)構(gòu)部分標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記，簡(jiǎn)化或省略其說明。
[0223]在上述第一實(shí)施方式中，作為同步調(diào)整部47，例示了通過使抵接輥部147向薄膜60的輸送方向上游側(cè)(+X方向)移動(dòng)而與薄膜60抵接來調(diào)整薄膜60的輸送速度的結(jié)構(gòu)，但本發(fā)明不限定于此。
[0224]圖13是表示本實(shí)施方式的粘貼裝置100A的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)的圖。
[0225]如圖13所示，本實(shí)施方式的粘貼裝置100A具備采用與輸送路徑調(diào)整部42相同的結(jié)構(gòu)的同步調(diào)整部247。
[0226]同步調(diào)整部247具有與薄膜60的一面?zhèn)?背面?zhèn)?抵接并且在規(guī)定方向上進(jìn)行輸送的輸送棍(棍構(gòu)件)241、在另一端側(cè)保持輸送棍241的杠桿構(gòu)件242、以及以一端側(cè)為基準(zhǔn)而使杠桿構(gòu)件242進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)動(dòng)作的轉(zhuǎn)動(dòng)部240。輸送輥241被保持為能夠相對(duì)于杠桿構(gòu)件242旋轉(zhuǎn)。
[0227]在本實(shí)施方式中，為了使薄膜60被切割部48切斷時(shí)薄膜60暫時(shí)停止的部分的輸送速度與其他輸送過程中的部分的輸送速度相同，同步調(diào)整部247利用轉(zhuǎn)動(dòng)部240使杠桿構(gòu)件242順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使設(shè)置在杠桿構(gòu)件242的另一端側(cè)的輸送輥241呈圓弧狀移動(dòng)。此時(shí)，輸送輥241壓入薄膜60的一面?zhèn)?，從而能夠?qū)Ρ∧?0施加規(guī)定的張力。另外，輸送輥241能夠相對(duì)于杠桿構(gòu)件242轉(zhuǎn)動(dòng)，因此輸送輥241伴隨著薄膜60的輸送而旋轉(zhuǎn)。由此，能防止輸送輥241阻礙薄膜60的輸送。
[0228]根據(jù)本實(shí)施方式，同步調(diào)整部247通過自由地調(diào)整利用輸送輥241對(duì)薄膜60施加的張力，并且改變?cè)摫∧?0的輸送路徑，能夠延長(zhǎng)薄膜60的切割部48與同步調(diào)整部247 (輸送輥241)之間的距離。由此，相當(dāng)于能夠降低薄膜60的到達(dá)切割部48的輸送速度，通過在整體上調(diào)整薄膜60的輸送速度，能夠防止薄膜60因輸送速度的偏差而產(chǎn)生重疊的情況。
[0229]另外，在本實(shí)施方式中，由于采用同步調(diào)整部247使杠桿構(gòu)件242轉(zhuǎn)動(dòng)這樣簡(jiǎn)單的方式，因此還能夠?qū)崿F(xiàn)裝置整體的小型化以及低成本化。
[0230](第五實(shí)施方式)
[0231 ] 接下來，對(duì)第五實(shí)施方式進(jìn)行說明。在以下的說明中，對(duì)與上述實(shí)施方式相同或者等同的結(jié)構(gòu)部分標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記，簡(jiǎn)化或省略其說明。
[0232]在上述第一實(shí)施方式中說明了具備膜厚調(diào)整機(jī)構(gòu)72而使涂敷在薄膜60的寬度方向上的薄膜端部處的粘接劑的厚度均勻的情況，但本發(fā)明并不局限于此，也可以不具有膜厚調(diào)整機(jī)構(gòu)72。
[0233]圖14是作為本實(shí)施方式的粘貼裝置的主要部分結(jié)構(gòu)的薄膜保持輥43的周邊結(jié)構(gòu)的放大圖。
[0234]如圖14所示，在本實(shí)施方式中，具備用于清洗附著于薄膜保持輥43的粘接劑的輥清洗部150。
[0235]在本實(shí)施方式中，薄膜保持輥43的與薄膜60的輸送方向交叉的方向上的寬度比薄膜60的寬度大。因此，薄膜保持輥43在從噴嘴73涂敷粘接劑時(shí)對(duì)薄膜60的整面進(jìn)行保持，從而防止在粘接劑的涂敷面產(chǎn)生褶皺、松弛。由此，在薄膜60上均勻地涂敷粘接劑。
[0236]另一方面，薄膜保持輥43的寬度比薄膜60的寬度大，因此在保持薄膜60時(shí)成為兩端部暴露出的狀態(tài)。因此，從噴嘴73涂敷的粘接劑的一部分也附著于薄膜保持輥43。與此相對(duì)，在本實(shí)施方式中，采用具備用于清洗附著于薄膜保持輥43的粘接劑的上述輥清洗部150的結(jié)構(gòu)。
[0237]輥清洗部150包括:清洗液涂敷部150a，其至少向薄膜保持輥43的附著有粘接劑的部分涂敷清洗液；以及刮板構(gòu)件150b，其與涂敷有清洗液的薄膜保持輥43的表面43a滑動(dòng)接觸。
[0238]清洗液涂敷部150a例如由噴霧噴嘴等構(gòu)成，配置為從薄膜60的不與粘接劑的涂敷面相對(duì)的方向涂敷清洗液。在本實(shí)施方式中，清洗液涂敷部150a與薄膜60的輸送方向平行地配置，從上方相對(duì)于薄膜保持輥43涂敷清洗液。由此，防止在薄膜60的粘接劑的涂敷區(qū)域附著有清洗液這樣的不良情況的發(fā)生。
[0239]刮板構(gòu)件150b與薄膜保持輥43的表面43a中的、至少附著有清洗液的部分滑動(dòng)接觸。在本實(shí)施方式中，刮板構(gòu)件150b具有與薄膜保持輥43相同的寬度，能夠一并擦拭薄膜保持輥43的整個(gè)表面43a。刮板構(gòu)件150b也可以采用僅擦拭薄膜保持輥43的表面43a中的附著有清洗液的端部的結(jié)構(gòu)，在該情況下，只要準(zhǔn)備兩個(gè)刮板構(gòu)件150b，使該兩個(gè)刮板構(gòu)件150b與薄膜保持輥43的兩端部的表面43a滑動(dòng)接觸即可。
[0240]刮板構(gòu)件150b抵接于薄膜保持棍43的、比和薄膜60抵接的抵接部分靠旋轉(zhuǎn)方向下游側(cè)的表面43a。作為刮板構(gòu)件150b的材料，優(yōu)選使用橡膠、樹脂等，由此，能夠不損傷薄膜保持輥43地良好地刮除附著于該薄膜保持輥43的粘接劑以及清洗液。
[0241]如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式，即便是采用不具有膜厚調(diào)整機(jī)構(gòu)72的結(jié)構(gòu)的粘貼裝置，由于具備輥清洗部150，因此也能夠良好地除去附著于薄膜保持輥43的粘接劑。由此，能夠防止因附著于薄膜保持輥43的粘接劑而導(dǎo)致裝置內(nèi)部被污染這樣的不良情況的發(fā)生。
[0242](第六實(shí)施方式)
[0243]接下來，對(duì)第六實(shí)施方式進(jìn)行說明。在以下的說明中，對(duì)與上述實(shí)施方式相同或者等同的結(jié)構(gòu)部分標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記，簡(jiǎn)化或省略其說明。
[0244]在上述第一實(shí)施方式中，列舉了切割部48通過將刀刃48a按壓于薄膜60而一并切斷主薄膜材料61的情況為例，但本發(fā)明并不局限于此，切割部也可以采用其它結(jié)構(gòu)。
[0245]圖15是表示本實(shí)施方式的粘貼裝置的主要部分結(jié)構(gòu)的切割部及其周邊的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)的圖。
[0246]如圖15所示，本實(shí)施方式的切割部160具有用于切斷(切割)薄膜60的旋轉(zhuǎn)刀刃(切割刀刃)161、與旋轉(zhuǎn)刀刃161相對(duì)配置的薄膜支承部162以及用于清洗旋轉(zhuǎn)刀刃161的刀刃清洗部(切割刀刃清洗部)163。
[0247]旋轉(zhuǎn)刀刃161由圓盤狀的切割刀刃構(gòu)成，一邊利用未圖示的引導(dǎo)構(gòu)件使旋轉(zhuǎn)刀刃161沿著薄膜60的寬度方向(圖15所示的從右方向朝左方向)移動(dòng)一邊切斷所述薄膜60。旋轉(zhuǎn)刀刃161在進(jìn)行薄膜60的切斷的情況下，例如向圖15所示的一方向(順時(shí)針方向)旋轉(zhuǎn)。薄膜支承部162用于在與旋轉(zhuǎn)刀刃161之間保持薄膜60。切割部160根據(jù)薄膜60 (主薄膜材料61)的厚度相應(yīng)地使旋轉(zhuǎn)刀刃161在薄膜60的厚度方向(X方向)上移動(dòng)，從而調(diào)整薄膜支承部162與旋轉(zhuǎn)刀刃161之間的間隔。由此，切割部160能夠僅切斷薄膜60中的主薄膜材料61。切割部160能夠根據(jù)薄膜60 (主薄膜材料61)的厚度、材質(zhì)等條件任意地設(shè)定旋轉(zhuǎn)刀刃161的旋轉(zhuǎn)速度、移動(dòng)速度。
[0248]刀刃清洗部163配置在不與薄膜支承部162相對(duì)的位置，且是切割部160的待機(jī)位置。在此，切割部160的待機(jī)位置是指進(jìn)行薄膜60的切斷之前的旋轉(zhuǎn)刀刃161進(jìn)行待機(jī)的位置，是從薄膜60的一端側(cè)(圖15所示的右側(cè)的端部)向另一端側(cè)(圖15所示的左側(cè)的端部)移動(dòng)后的旋轉(zhuǎn)刀刃161折回并返回到一端側(cè)后最終返回的位置。旋轉(zhuǎn)刀刃161在切斷薄膜60并退回到另一端側(cè)的情況下，例如向圖15所示的+方向(逆時(shí)針方向)旋轉(zhuǎn)。在本說明中，列舉了旋轉(zhuǎn)刀刃161在切斷薄膜60時(shí)向方向(順時(shí)針方向)旋轉(zhuǎn)、在返回到另一端側(cè)的情況下向+方向(逆時(shí)針方向)旋轉(zhuǎn)的情況為例，但并不局限于此，相反，也可以是旋轉(zhuǎn)刀刃161在切斷時(shí)向+方向旋轉(zhuǎn)、在返回到另一端側(cè)的情況下向一方向旋轉(zhuǎn)?；蛘?，旋轉(zhuǎn)刀刃161的旋轉(zhuǎn)方向也可以固定為方向或+方向中的任一方。
[0249]這樣，切割部160通過具備配置在待機(jī)位置的刀刃清洗部163，能夠清洗因切斷薄膜60而附著于旋轉(zhuǎn)刀刃161的粘合層63。
[0250]刀刃清洗部163包括與旋轉(zhuǎn)刀刃161的前端滑動(dòng)接觸的海綿構(gòu)件163a和相對(duì)于該海綿構(gòu)件163a供給清洗液的清洗液供給部163b。海綿構(gòu)件163a形成有能夠收納旋轉(zhuǎn)刀刃161的前端的狹縫163s。清洗液供給部163b用于使清洗液浸入海綿構(gòu)件163a，用于維持海綿構(gòu)件163a的對(duì)旋轉(zhuǎn)刀刃161進(jìn)行清洗的清洗性。
[0251]如以上所述，根據(jù)本實(shí)施方式，旋轉(zhuǎn)刀刃161從薄膜60的一端側(cè)朝向另一端側(cè)移動(dòng)而能夠簡(jiǎn)單且可靠地切斷薄膜60。另外，通過采用旋轉(zhuǎn)刀刃161，能夠簡(jiǎn)單且可靠地切斷薄膜60。另外，由于具備刀刃清洗部163，因此能夠通過清洗旋轉(zhuǎn)刀刃161來維持旋轉(zhuǎn)刀刃161的切斷性能，結(jié)果，能夠延長(zhǎng)旋轉(zhuǎn)刀刃161的壽命。
[0252]另外，本實(shí)施方式的切割部160在與海綿構(gòu)件163a接觸的狀態(tài)下驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)刀刃161進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，因此能夠可靠地清洗并除去附著在該旋轉(zhuǎn)刀刃161的前端的粘合層63。
[0253]在本實(shí)施方式中，列舉了切割部160具備旋轉(zhuǎn)刀刃161的情況為例，但切割刀刃不必一定采用旋轉(zhuǎn)式，也可以采用通過使不進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的刀刃在薄膜60的寬度方向上移動(dòng)來切斷薄膜60 (主薄膜材料61)的結(jié)構(gòu)。
[0254](第七實(shí)施方式)
[0255]接下來，對(duì)第七實(shí)施方式進(jìn)行說明。在以下的說明中，對(duì)與上述實(shí)施方式相同或者等同的結(jié)構(gòu)部分標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記，簡(jiǎn)化并省略其說明。
[0256]圖16是表示本實(shí)施方式的粘貼裝置100B的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)的圖。
[0257]如圖16所示，本實(shí)施方式的粘貼裝置100B具備檢測(cè)粘貼于基板I的薄膜的檢查部170。檢查部170配置在第四基板輸送輥部33與第五基板輸送輥部34之間。
[0258]檢查部170包括基板輸送輥部171、拍攝粘貼于基板I的薄膜(主薄膜材料61)的拍攝部172、以及根據(jù)拍攝部172的拍攝結(jié)果判斷檢查結(jié)果的判斷部173。
[0259]基板輸送輥部171具有多個(gè)(在本實(shí)施方式中為四個(gè))從動(dòng)輥171a。由此，基板輸送輥部171以接收從第四基板輸送輥部33輸送來的基板I并交接至第五基板輸送輥部34的方式移動(dòng)。
[0260]拍攝部172例如由CCD傳感器等構(gòu)成。該CCD傳感器包含排列成矩陣狀的多個(gè)像素。CCD傳感器的各像素例如包括光電二極管等受光元件和薄膜晶體管等開關(guān)元件。
[0261]判斷部173用于根據(jù)拍攝部172所拍攝的圖像來判斷粘貼于基板I的薄膜的狀態(tài)。判斷部173可以由運(yùn)算電路等硬件構(gòu)成，也可以利用程序等軟件來實(shí)現(xiàn)。
[0262]圖17是用于說明檢查部170對(duì)薄膜(主薄膜材料61)進(jìn)行檢查的檢查方法的一例的圖。
[0263]如圖17所示，檢查部170利用拍攝部172拍攝粘貼有主薄膜材料61的基板I的四角，將拍攝到的圖像G發(fā)送到判斷部173。判斷部173關(guān)于從拍攝部172發(fā)送來的圖像G計(jì)算出構(gòu)成基板I及主薄膜材料61的角部的各個(gè)緣邊部之間的距離D1、D2。
[0264]判斷部173對(duì)計(jì)算出的距離D1、D2與預(yù)先存儲(chǔ)的閾值進(jìn)行比較，在閾值與距離D1、D2之差分別為規(guī)定值以上的情況下，判斷為主薄膜材料61相對(duì)于基板I以彎曲的狀態(tài)被粘貼，判斷基板I為不良品。另一方面，判斷部173對(duì)計(jì)算出的距離D1、D2與所述閾值進(jìn)行比較，在閾值與距離Dl、D2之差分別低于規(guī)定值的情況下，判斷為主薄膜材料61被良好地粘貼于基板I，判斷基板I為良品。
[0265]這樣，根據(jù)本實(shí)施方式，由于具備檢查部170，因此能夠判斷薄膜(主薄膜材料61)相對(duì)于基板I的粘貼狀態(tài)，從而能夠容易地判斷基板I為良品或不良品。由此，能夠提供能挑選出薄膜的粘貼狀態(tài)不是良好的不良品的基板I而預(yù)先排除的粘貼裝置100B。在本說明中，列舉了利用拍攝部172拍攝基板I的四角的情況為例，但并不局限于此，也可以僅拍攝基板I的四角中的任意兩個(gè)。
[0266]工業(yè)上的可利用性
[0267]根據(jù)本發(fā)明，通過在一條流水線上進(jìn)行粘接劑的涂敷以及向基板的粘貼，能夠高效率地進(jìn)行粘貼作業(yè)，因此在工業(yè)方面極其有用。
[0268]附圖標(biāo)記說明
[0269] I…基板;+..粘接劑洱…卷筒體;47…同步調(diào)整部;60…薄膜;60a…背面;60b...側(cè)面；61…主薄膜材料；62…保護(hù)材料；72…膜厚調(diào)整機(jī)構(gòu)(膜厚調(diào)整部)；73…噴嘴；84...清洗部;100…粘貼裝置;106…涂敷部;107…加熱部;108…冷卻部;160…切割部;161...旋轉(zhuǎn)刀刃；163…刀刃清洗部；170…檢查部；240…轉(zhuǎn)動(dòng)部；241…輸送輥(輥構(gòu)件)；242…杠桿構(gòu)件；247…同步調(diào)整部。
【權(quán)利要求】
1.一種粘貼裝置，其特征在于，該粘貼裝置具備: 輸送部，其輸送薄膜； 涂敷部，其將涂敷液涂敷于所述薄膜； 切割器，其將涂敷有所述涂敷液的所述薄膜切斷為規(guī)定長(zhǎng)度；以及 粘貼部，其將所述薄膜粘貼于基板。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的粘貼裝置，其特征在于， 所述薄膜由卷繞長(zhǎng)條狀的片構(gòu)件而成的卷筒體構(gòu)成， 所述輸送部通過將所述片構(gòu)件從所述卷筒體卷出來輸送所述片構(gòu)件。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的粘貼裝置，其特征在于， 該粘貼裝置還具備對(duì)涂敷有所述涂敷液的所述薄膜進(jìn)行加熱的加熱部。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的粘貼裝置，其特征在于， 所述加熱部分級(jí)地對(duì)所述薄膜進(jìn)行加熱。
5.根據(jù)權(quán)利要求1~4中任一項(xiàng)所述的粘貼裝置，其特征在于， 所述涂敷部包括:涂敷噴嘴，其涂敷所述涂敷液；以及霧回收部，其回收從所述涂敷噴嘴飛散的霧。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的粘貼裝置，其特征在于， 所述霧回收部配置為覆蓋所述薄膜的與被涂敷所述涂敷液的面相反的背面以及側(cè)面。
7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的粘貼裝置，其特征在于， 所述涂敷部還包括膜厚調(diào)整部，該膜厚調(diào)整部對(duì)涂敷在所述薄膜的寬度方向上的薄膜端部處的所述涂敷液的厚度進(jìn)行調(diào)整。
8.根據(jù)權(quán)利要求1~7中任一項(xiàng)所述的粘貼裝置，其特征在于， 所述輸送部具有對(duì)輸送所述薄膜的時(shí)刻進(jìn)行調(diào)整的同步調(diào)整部。
9.根據(jù)權(quán)利要求1~8中任一項(xiàng)所述的粘貼裝置，其特征在于， 所述薄膜包含保護(hù)材料和被涂敷所述涂敷液的主薄膜材料， 所述粘貼部將所述保護(hù)材料從所述主薄膜材料剝離并且借助所述涂敷液將所述主薄月吳材料粘貼于所述基板。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的粘貼裝置，其特征在于， 該粘貼裝置還具備粘貼輔助部，該粘貼輔助部至少輔助所述基板的輸送方向后端處的所述薄膜的粘貼。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的粘貼裝置，其特征在于， 所述粘貼部包括:第一輸送棍，其構(gòu)成所述輸送部的一部分，用于輸送所述基板；以及薄膜粘貼輥，其能夠相對(duì)于該第一輸送輥升降，通過將所述基板以及所述薄膜夾在該薄膜粘貼輥與該第一輸送輥之間來將該薄膜粘貼于該基板， 所述粘貼輔助部包括:第二輸送輥，其輸送通過了所述粘貼部的所述基板；以及粘貼輔助輥，在該粘貼輔助輥與該第二輸送輥之間夾持所述基板以及所述薄膜， 所述薄膜粘貼輥配合被所述輸送部輸送的所述基板的輸送方向前端到達(dá)薄膜粘貼位置的時(shí)刻下降，在所述基板的輸送方向后端到達(dá)所述薄膜粘貼位置之前的時(shí)刻上升， 所述粘貼輔助輥至少在被所述輸送部輸送的所述基板的輸送方向后端將該基板以及所述薄膜夾在該粘貼輔助輥與所述第二輸送輥之間。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的粘貼裝置，其特征在于， 所述粘貼輔助輥能夠相對(duì)于所述第二輸送輥升降。
13.根據(jù)權(quán)利要求10~12中任一項(xiàng)所述的粘貼裝置，其特征在于， 所述薄膜包括保護(hù)材料和被涂敷所述涂敷液的主薄膜材料， 所述粘貼部將所述保護(hù)材料從所述主薄膜材料剝離并且借助所述涂敷液將該主薄膜材料粘貼于所述基板。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的粘貼裝置，其特征在于， 所述切割器將所述薄膜切斷為包含粘貼于所述基板的粘貼部分和未粘貼于所述基板的非粘貼部分。
15.根據(jù)權(quán)利要求13或14所述的粘貼裝置，其特征在于， 所述輸送部包括轉(zhuǎn)接輥，該轉(zhuǎn)接輥相對(duì)于所述粘貼部而言配置在所述薄膜的輸送路徑的下游側(cè)，對(duì)該薄膜的輸送進(jìn)行轉(zhuǎn)接， 所述轉(zhuǎn)接輥在所述基板的輸送方向上配置于比所述粘貼輔助部靠近所述粘貼部的位置，且配置于比所述粘貼部靠上方的位置。
16.根據(jù)權(quán)利要求10~15中任一項(xiàng)所述的粘貼裝置，其特征在于， 所述薄膜由卷繞長(zhǎng)條狀的片構(gòu)件而成的卷筒體構(gòu)成， 所述輸送部通過將所述片構(gòu)件從所述卷筒體卷出來輸送所述片構(gòu)件。
17.根據(jù)權(quán)利要求10~16中任一項(xiàng)所述的粘貼裝置，其特征在于， 所述輸送部具有對(duì)輸送所述薄膜的時(shí)刻進(jìn)行調(diào)整的同步調(diào)整部。
18.一種粘貼裝置，其特征在于，該粘貼裝置具備: 輸送部，其輸送薄膜； 涂敷部，其將涂敷液涂敷于所述薄膜；以及 粘貼部，其將涂敷有所述涂敷液的所述薄膜粘貼于基板， 所述涂敷部具有:涂敷噴嘴，其將所述涂敷液涂敷于所述薄膜；主體部，其將所述涂敷噴嘴保持為能夠移動(dòng)；移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使所述涂敷噴嘴沿著與所述薄膜的輸送方向交叉的寬度方向移動(dòng)；以及轉(zhuǎn)動(dòng)部，其使所述主體部轉(zhuǎn)動(dòng)。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的粘貼裝置，其特征在于， 所述涂敷部以所述涂敷噴嘴沿著由所述輸送部輸送的所述薄膜的所述寬度方向相對(duì)地進(jìn)行往復(fù)動(dòng)作的方式驅(qū)動(dòng)所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)以及所述轉(zhuǎn)動(dòng)部。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的粘貼裝置，其特征在于， 所述涂敷部以使所述涂敷噴嘴進(jìn)行下述動(dòng)作的方式驅(qū)動(dòng)所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)以及所述轉(zhuǎn)動(dòng)部，即，使所述涂敷噴嘴以在所述薄膜上朝向輸送方向斜向橫穿的方式從該薄膜的寬度方向的一端側(cè)移動(dòng)到另一端側(cè)，向與所述輸送方向相反的一側(cè)折回后，以在所述薄膜上朝向輸送方向斜向橫穿的方式從該薄膜的寬度方向的另一端側(cè)移動(dòng)到一端側(cè)，并且向與所述輸送方向相反的一側(cè)折回。
21.根據(jù)權(quán)利要求18~20中任一項(xiàng)所述的粘貼裝置，其特征在于， 所述涂敷部還包括回收從所述涂敷噴嘴飛散的霧的霧回收部。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的粘貼裝置，其特征在于， 所述霧回收部配置為覆蓋所述薄膜的與被涂敷所述涂敷液的面相反的背面以及側(cè)面。
23.根據(jù)權(quán)利要求18~22中任一項(xiàng)所述的粘貼裝置，其特征在于， 所述涂敷部還包括膜厚調(diào)整部，該膜厚調(diào)整部對(duì)涂敷在所述薄膜的寬度方向上的薄膜端部處的所述涂敷液的厚度進(jìn)行調(diào)整。
24.根據(jù)權(quán)利要求18~23中任一項(xiàng)所述的粘貼裝置，其特征在于， 該粘貼裝置還具備切割器，該切割器將涂敷有所述涂敷液的所述薄膜切斷為規(guī)定長(zhǎng)度， 所述薄膜由卷繞長(zhǎng)條狀的片構(gòu)件而成的卷筒體構(gòu)成， 所述輸送部通過將所述片構(gòu)件從所述卷筒體卷出來輸送所述片構(gòu)件。
25.根據(jù)權(quán)利要求18~24中任一項(xiàng)所述的粘貼裝置，其特征在于， 所述涂敷噴嘴由噴霧噴嘴構(gòu)成。
26.根據(jù)權(quán)利要求1~25中任一項(xiàng)所述的粘貼裝置，其特征在于， 所述涂敷部將粘接劑作為所述涂敷液進(jìn)行涂敷。
27.根據(jù)權(quán)利要求1~9以及26中任一項(xiàng)所述的粘貼裝置，其特征在于， 該粘貼裝置還具備清洗 部，該清洗部在利用所述涂敷部進(jìn)行所述涂敷液的涂敷處理之前對(duì)所述薄膜進(jìn)行清洗。
28.根據(jù)權(quán)利要求1~27中任一項(xiàng)所述的粘貼裝置，其特征在于， 所述輸送部相對(duì)于所述涂敷部沿著與水平面交叉的方向輸送所述薄膜。
29.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的粘貼裝置，其特征在于， 該粘貼裝置還具備對(duì)由所述加熱部加熱了的所述薄膜進(jìn)行冷卻的冷卻部。
30.根據(jù)權(quán)利要求8所述的粘貼裝置，其特征在于， 所述同步調(diào)整部具備:杠桿構(gòu)件，其能夠以另一端側(cè)為基準(zhǔn)進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)；以及輥構(gòu)件，其設(shè)置在所述杠桿構(gòu)件的一端側(cè)并且供所述薄膜卷掛。
31.根據(jù)權(quán)利要求1~30中任一項(xiàng)所述的粘貼裝置，其特征在于， 該粘貼裝置還具備對(duì)粘貼于所述基板的所述薄膜進(jìn)行檢查的檢查部。
32.權(quán)利要求5或6所述的粘貼裝置，其特征在于，所述輸送部包括薄膜保持輥，該薄膜保持輥在與所述涂敷噴嘴相對(duì)的位置保持所述薄膜，并且該薄膜保持輥的與所述薄膜的輸送方向交叉的方向上的寬度比該薄膜的寬度大，所述涂敷部包括對(duì)涂敷時(shí)附著于所述薄膜保持輥的所述涂敷液進(jìn)行清洗的輥清洗部。
33.根據(jù)權(quán)利要求1~17、29、30、32中任一項(xiàng)所述的粘貼裝置，其特征在于， 所述切割器一邊使切割刀刃在與所述薄膜的輸送方向交叉的方向上從所述薄膜的一端側(cè)朝向另一端側(cè)移動(dòng)一邊切斷該薄膜。
34.根據(jù)權(quán)利要求33所述的粘貼裝置，其特征在于， 該粘貼裝置還具備對(duì)切斷所述薄膜后的所述切割刀刃進(jìn)行清洗的切割刀刃清洗部。
35.根據(jù)權(quán)利要求34所述的粘貼裝置，其特征在于， 所述切割器清洗部通過與所述切割刀刃接觸來進(jìn)行清洗。
36.根據(jù)權(quán)利要求33~35中任一項(xiàng)所述的粘貼裝置，其特征在于， 所述切割器通過使所述切割刀刃旋轉(zhuǎn)來切斷所述薄膜。
【文檔編號(hào)】B65C9/22GK104081515SQ201380007025
【公開日】2014年10月1日 申請(qǐng)日期:2013年2月28日 優(yōu)先權(quán)日:2012年3月1日
【發(fā)明者】島井太, 佐藤晶彥, 丸山健治, 細(xì)田浩, 千葉正樹 申請(qǐng)人:東京應(yīng)化工業(yè)株式會(huì)社