一種玻璃基板搬送裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種玻璃基板搬送裝置，其包括有一機械手臂，該機械手臂上具有至少兩個排列設置的叉耙，在至少一個叉耙上設有進氣管道，該進氣管道上設有多個排氣孔，該排氣孔開口方向正對著相鄰叉耙，叉耙上的進氣管道連接至一能輸出高壓氣流的氣流輸出裝置，相鄰兩個叉耙之間形成高壓氣簾。本實用新型的玻璃基板搬送裝置在使用時，由于高壓氣簾對玻璃基板的承托，有效降低了玻璃基板下垂導致的取放基板的碎片問題。
【專利說明】一種玻璃基板搬送裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型有關一種玻璃基板搬送裝置，特別是指一種可有效防止玻璃基板彎曲下垂的玻璃基板搬送裝置。
【背景技術】
[0002]目前，在FPD (Flat Panel Display，平板顯示器)的制造工廠中，玻璃基板的尺寸越來越大，越來越薄。由于玻璃基板大且薄，機械手臂I承托基板時，基板彎曲量很大，當機械手臂I從卡匣(cassette pitch)A中取放玻璃基板時，常因為玻璃基板的彎曲變形，導致玻璃基板破碎，同時由于基板彎曲量變大，機械手臂I就需要更大的活動空間，如圖1與圖2所示，因此，這就要求卡匣A變大，從而也導致廠房的高度變高，增加了工廠的建筑成本以及運營成本。
[0003]為避免由于玻璃基板完曲變形造成撞碎，目前業(yè)界主要采用以下三種方式:
[0004]1.增加機械手臂叉耙數(shù)量，其缺點是費用增加，叉耙數(shù)量增多，導致整體水平度下降，與設備干涉較多；
[0005]2.增加卡匣高度，其缺點是廠房高度需增加，從而導致建筑成本及運營成本增加；
[0006]3.采用特殊機械手臂來降低玻璃基板下垂的影響，如圖3所示，在每個叉耙上設有多個與叉耙垂直的條狀結(jié)構(gòu)，形成十字交叉結(jié)構(gòu)，這種方式的缺點是導致費用增加，叉耙整體水平度下降，與設備干涉較多。
實用新型內(nèi)容
[0007]有鑒于此，本實用新型的主要目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡單、生產(chǎn)成本低且防止玻璃基板彎曲下垂的玻璃基板搬送裝置。
[0008]為達到上述目的，本實用新型提供一種玻璃基板搬送裝置，其包括有一機械手臂，該機械手臂上具有至少兩個排列設置的叉耙，在至少一個叉耙上設有進氣管道，該進氣管道上設有多個排氣孔，該排氣孔開口方向正對著相鄰叉耙，叉耙上的進氣管道連接至一能輸出高壓氣流的氣流輸出裝置，相鄰兩個叉耙之間形成高壓氣簾。
[0009]與設有所述進氣管道的叉耙相鄰的叉耙上設有氣流收集管道，該氣流收集管道上設有多個氣流接收孔，叉耙上的進氣管道上的排氣孔開口方向與相鄰叉耙上氣流收集管道的氣流接收孔開口方向相向設置，叉耙上的所述氣流收集管道連接至一氣流回收裝置，該氣流回收裝置通過管路連接至所述氣流輸出裝置。
[0010]所述叉耙為三個，在其中一側(cè)的叉耙與位于中間的叉耙上均設有所述進氣管道，該進氣管道上設有多個所述排氣孔，位于中間的叉耙與相鄰的另一側(cè)的叉耙上均設有所述氣流收集管道，該氣流收集管道上設有多個氣流接收孔，其中一側(cè)叉耙上的進氣管道上的排氣孔開口方向與相鄰中間叉耙上氣流收集管道的氣流接收孔開口方向相向設置，中間叉耙上進氣管道上的排氣孔開口方向與相鄰另一側(cè)叉耙上氣流收集管道的氣流接收孔開口方向相向設置，每一叉I巴上的排氣孔開口方向相同。
[0011]所述叉耙為四個，在其中第二個叉耙與相隔的側(cè)邊的第四個叉耙上均設有所述進氣管道，該進氣管道上設有多個所述排氣孔，在與該第二個叉耙相鄰的第三個叉耙與側(cè)邊的第一個叉耙上均設有氣流收集管道，該氣流收集管道上設有多個所述氣流接收孔，其中該第二個叉耙上的進氣管道上的排氣孔開口方向與相鄰第一個叉耙與第三個叉耙上氣流收集管道的氣流接收孔開口方向相向設置，側(cè)邊第四個叉耙上的進氣管道上的排氣孔開口方向與相鄰的第三個叉耙上氣流收集管道的氣流接收孔開口方向相向設置。
[0012]各所述叉耙設置于同一平面上，相鄰兩個叉耙之間形成的高壓氣簾為水平高壓氣簾。
[0013]各所述叉耙相互平行設置。
[0014]在所述氣流回收裝置與所述氣流輸出裝置之間設置有氣流過濾裝置。
[0015]所述氣流輸出裝置上設有壓力調(diào)節(jié)單元。
[0016]所述氣流接收孔安裝有定向閥門。
[0017]所述氣流輸出裝置連接一為其補充氣流的工廠高壓空氣系統(tǒng)。
[0018]本實用新型的玻璃基板搬送裝置在使用時，由于高壓氣簾對玻璃基板的承托，有效降低了玻璃基板下垂導致的取放基板的碎片問題。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0019]圖1為現(xiàn)有技術中機械手臂搬送玻璃基板的實施狀態(tài)圖；
[0020]圖2為現(xiàn)有技術中機械手臂搬送玻璃基板的俯視圖；
[0021]圖3為現(xiàn)有技術中另一種機械手臂搬送玻璃基板的俯視圖；
[0022]圖4為本實用新型玻璃基板搬送裝置的實施例一結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖5為本實用新型玻璃基板搬送裝置的實施例二結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖6為本實用新型玻璃基板搬送裝置的實施例三結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖7為本實用新型玻璃基板搬送裝置的實施例四結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖8為本實用新型玻璃基板搬送裝置的實施例五結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0027]為便于對本實用新型的結(jié)構(gòu)及達到的效果有進一步的理解，現(xiàn)結(jié)合附圖并舉較佳實施例詳細說明如下。
[0028]如圖4所示，本實用新型的玻璃基板搬送裝置包括一機械手臂，該機械手臂上具有三個位于同一平面上的叉耙10，在其中一側(cè)的叉耙10上設有進氣管道2，該進氣管道2上設有多個排氣孔20，該中間叉耙10上同樣設有進氣管道2，該進氣管道2上設有排氣孔20，其中一側(cè)叉耙10上的進氣管道2上的排氣孔20開口方向正對相鄰中間叉耙10，中間叉耙10上進氣管道2上的排氣孔20開口方向正對相鄰另一側(cè)叉耙10。其中一側(cè)叉耙10上的進氣管道2與相鄰中間叉耙10上的進氣管道2連接至氣流輸出裝置4。
[0029]當機械手臂接到取基板指令時，觸發(fā)氣流輸出裝置4向兩路進氣管道2輸出高壓氣流，叉耙10上的排氣孔20噴出高壓氣流，高壓氣流沿水平方向到達相鄰叉耙10，因此在相鄰兩個叉耙10之間形成高壓氣簾21，高壓氣流流向如圖中箭頭方向所示，通過高壓氣簾21對玻璃基板進行承托，以避免玻璃基板下垂。
[0030]如圖5所示，本實用新型的玻璃基板搬送裝置包括一機械手臂，該機械手臂上具有三個平行設置的叉耙10，在其中一側(cè)的叉耙10上設有進氣管道2，該進氣管道2上設有排氣孔20，該中間叉耙10上設有進氣管道2與氣流收集管道3，該進氣管道2上設有排氣孔20，該氣流收集管道3上設有多個氣流接收孔30，另一側(cè)的叉耙10上設有氣流收集管道3，該氣流收集管道3上設有氣流接收孔30。一側(cè)叉耙10上的進氣管道2上的排氣孔20開口方向與相鄰中間叉耙10上氣流收集管道3的氣流接收孔30開口方向相向設置，中間叉耙10上進氣管道2上的排氣孔20開口方向與相鄰另一側(cè)叉耙10上氣流收集管道3的氣流接收孔30開口方向相向設置，每一叉耙10上的排氣孔20開口方向相同。其中一側(cè)叉耙10上的進氣管道2與相鄰中間叉耙10上的進氣管道2連接至氣流輸出裝置4，中間叉耙10上的氣流收集管道3與相鄰另一側(cè)叉耙10上的氣流收集管道3連接至氣流回收裝置5，該氣流回收裝置5通過管路連接至該氣流輸出裝置4。
[0031]當機械手臂接到取基板指令時，觸發(fā)氣流輸出裝置4向兩路進氣管道2輸出高壓氣流，叉耙10上的排氣孔20噴出高壓氣流，高壓氣流沿水平方向到達相鄰叉耙10的氣流接收孔30，在相鄰兩個叉耙10之間形成高壓氣簾21，通過高壓氣簾21對玻璃基板進行承托，以避免玻璃基板下垂。氣流經(jīng)過兩路氣流收集管道3回到氣流回收裝置5，氣流再通過管路傳送到氣流輸出裝置4，氣流輸出裝置4經(jīng)過進氣管道2再經(jīng)排氣孔20排出形成循環(huán)。
[0032]本實用新型中的機械手臂并不限于具有三個叉耙，還可以有四個或更多個，如圖6所示，以四個叉耙為例，其中在第二個叉耙10上設有進氣管道2，該進氣管道2上設有排氣孔20，在與其相隔的側(cè)邊的第四個叉耙10上設有進氣管道2，該進氣管道2上設有排氣孔20，其中第二個叉耙10上的進氣管道2上的排氣孔20開口方向正對兩相鄰兩個叉耙10(SP第一個叉耙與第三個叉耙)，側(cè)邊的第四個叉耙10上的進氣管道2上的排氣孔20開口方向正對兩相鄰第三個叉耙10。其中第二個叉耙10上的進氣管道2與第四個叉耙10上的進氣管道2連接至氣流輸出裝置4。當機械手臂接到取基板指令時，觸發(fā)氣流輸出裝置4向兩路進氣管道2輸出高壓氣流，叉耙10上的排氣孔20噴出高壓氣流，高壓氣流沿水平方向到達相鄰叉耙10，形成氣簾21，高壓氣流的方向如圖6中箭頭方向所示。
[0033]如圖7所示，本實用新型中以四個叉耙為例，在第二個叉耙10上設有進氣管道2，該進氣管道2上設有排氣孔20，在與其相隔的側(cè)邊的第四個叉耙10上設有進氣管道2，該進氣管道2上設有排氣孔20，在與第二個叉耙10相鄰的第一個叉耙10與第三個叉耙10上均設有氣流收集管道3，該氣流收集管道3上設有氣流接收孔30，其中第二個叉耙10上的進氣管道2上的排氣孔20開口方向與相鄰第一個叉耙10與第三個叉耙10上氣流收集管道3的氣流接收孔30開口方向相向設置，側(cè)邊第四個叉耙10上的進氣管道2上的排氣孔20開口方向與相鄰第三個叉耙10上氣流收集管道3的氣流接收孔30開口方向相向設置。其中第二個叉耙10上的進氣管道2與第四個叉耙10上的進氣管道2連接至氣流輸出裝置4，第一個叉耙10上的氣流收集管道3與第三個叉耙10上的氣流收集管道3連接至氣流回收裝置5，該氣流回收裝置5通過管路連接至該氣流輸出裝置4。當機械手臂接到取基板指令時，觸發(fā)氣流輸出裝置4向兩路進氣管道2輸出高壓氣流，叉耙10上的排氣孔20噴出高壓氣流，高壓氣流沿水平方向到達相鄰叉耙10的氣流接收孔30，形成氣簾21，高壓氣流的方向如圖7中箭頭方向所示。氣流由氣流接收孔30經(jīng)過兩路氣流收集管道3回到氣流回收裝置5，氣流再通過管路傳送到氣流輸出裝置4，氣流輸出裝置4經(jīng)過進氣管道2再經(jīng)排氣孔20排出形成循環(huán)。
[0034]如圖8所示，本實用新型中在其中一側(cè)叉耙10上設有進氣管道2，該進氣管道2上設有排氣孔20，另一側(cè)叉耙10上設有氣流收集管道3，該氣流收集管道3上設有氣流接收孔30，中間兩個叉耙10上均設有進氣管道2與氣流收集管道3，該進氣管道2上設有排氣孔20，該氣流收集管道3上設有氣流接收孔30，每一叉耙10上的進氣管道2上的排氣孔20開口方向與相鄰叉耙10上氣流收集管道3的氣流接收孔30開口方向相向設置，每一叉耙10上的排氣孔20開口方向相同。當機械手臂接到取基板指令時，觸發(fā)氣流輸出裝置4向三路進氣管道2輸出高壓氣流，叉耙10上的排氣孔20噴出高壓氣流，高壓氣流沿水平方向到達相鄰叉耙10的氣流接收孔30，形成氣簾21，高壓氣流方向如圖中箭頭方向所示。氣流由氣流接收孔30經(jīng)過三路氣流收集管道3回到氣流回收裝置5，氣流再通過管路傳送到氣流輸出裝置4，氣流輸出裝置4經(jīng)過進氣管道2再經(jīng)排氣孔20排出形成循環(huán)。
[0035]本實用新型中還可以在氣流回收裝置5與氣流輸出裝置4之間設置氣流過濾裝置6，以便對氣流中的浮沉雜質(zhì)等進行過濾。本實用新型中的氣流輸出裝置4可設有壓力調(diào)節(jié)單元(圖中未示出)，可視能否把玻璃基板支撐來調(diào)節(jié)氣流壓力。氣流接收孔30可加裝定向閥門(圖中未示出)，使得氣流只進不出。為使氣流輸出裝置4能輸出足夠多的氣流，該氣流輸出裝置4可連接一工廠CDA (高壓空氣)系統(tǒng)7，作為氣體循環(huán)的氣流補充。
[0036]本實用新型的玻璃基板搬送裝置在使用時，由于高壓氣簾對玻璃基板的承托，有效降低了玻璃基板下垂導致的取放基板的碎片問題，同時減少與裝置干涉，降低機械手臂取放基板所需空間，節(jié)約建筑成本，本實用新型可同時回收氣流，降低運營成本。
[0037]以上實施例僅用以說明本實用新型的技術方案而非限制，盡管參照較佳實施例對本實用新型進行了詳細說明，任何所屬【技術領域】中具有通常知識者，在不脫離本實用新型的精神和范圍內(nèi)，當可作些許的更動與潤飾，因此本實用新型的保護范圍當視權利要求范圍所界定者為準。
【權利要求】
1.一種玻璃基板搬送裝置，其包括有一機械手臂，該機械手臂上具有至少兩個排列設置的叉耙，其特征在于，在至少一個叉耙上設有進氣管道，該進氣管道上設有多個排氣孔，該排氣孔開口方向正對著相鄰叉耙，叉耙上的進氣管道連接至一能輸出高壓氣流的氣流輸出裝置，相鄰兩個叉耙之間形成高壓氣簾。
2.如權利要求1所述的玻璃基板搬送裝置，其特征在于，與設有所述進氣管道的叉耙相鄰的叉耙上設有氣流收集管道，該氣流收集管道上設有多個氣流接收孔，叉耙上的進氣管道上的排氣孔開口方向與相鄰叉耙上氣流收集管道的氣流接收孔開口方向相向設置，叉耙上的所述氣流收集管道連接至一氣流回收裝置，該氣流回收裝置通過管路連接至所述氣流輸出裝置。
3.如權利要求2所述的玻璃基板搬送裝置，其特征在于，所述叉耙為三個，在其中一側(cè)的叉耙與位于中間的叉耙上均設有所述進氣管道，該進氣管道上設有多個所述排氣孔，位于中間的叉耙與相鄰的另一側(cè)的叉耙上均設有所述氣流收集管道，該氣流收集管道上設有多個氣流接收孔，其中一側(cè)叉耙上的進氣管道上的排氣孔開口方向與相鄰中間叉耙上氣流收集管道的氣流接收孔開口方向相向設置，中間叉耙上進氣管道上的排氣孔開口方向與相鄰另一側(cè)叉耙上氣流收集管道的氣流接收孔開口方向相向設置，每一叉耙上的排氣孔開口方向相同。
4.如權利要求2所述的玻璃基板搬送裝置，其特征在于，所述叉耙為四個，在其中第二個叉耙與相隔的側(cè)邊的第四個叉耙上均設有所述進氣管道，該進氣管道上設有多個所述排氣孔，在與該第二個叉耙相鄰的第三個叉耙與側(cè)邊的第一個叉耙上均設有氣流收集管道，該氣流收集管道上設有多個所述氣流接收孔，其中該第二個叉耙上的進氣管道上的排氣孔開口方向與相鄰第一個叉耙與第三個叉耙上氣流收集管道的氣流接收孔開口方向相向設置，側(cè)邊第四個叉耙上的進氣管道上的排氣孔開口方向與相鄰的第三個叉耙上氣流收集管道的氣流接收孔開口方向相向設置。
5.如權利要求1或2所述的玻璃基板搬送裝置，其特征在于，各所述叉耙設置于同一平面上，相鄰兩個叉耙之間形成的高壓氣簾為水平高壓氣簾。
6.如權利要求1或2所述的玻璃基板搬送裝置，其特征在于，各所述叉耙相互平行設置。
7.如權利要求2所述的玻璃基板搬送裝置，其特征在于，在所述氣流回收裝置與所述氣流輸出裝置之間設置有氣流過濾裝置。
8.如權利要求1或2所述的玻璃基板搬送裝置，其特征在于，所述氣流輸出裝置上設有壓力調(diào)節(jié)單元。
9.如權利要求2所述的玻璃基板搬送裝置，其特征在于，所述氣流接收孔安裝有定向閥門。
10.如權利要求1或2所述的玻璃基板搬送裝置，其特征在于，所述氣流輸出裝置連接一為其補充氣流的工廠高壓空氣系統(tǒng)。
【文檔編號】B65G47/90GK203753949SQ201320871442
【公開日】2014年8月6日 申請日期:2013年12月27日 優(yōu)先權日:2013年12月27日
【發(fā)明者】裴緒章 申請人:昆山國顯光電有限公司