專利名稱：防塵薄膜組件收納容器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及將在半導(dǎo)體部件，印刷基板或者液晶顯示裝置等的制造中使用的，防塵薄膜貼附于防塵薄膜組件框架的防塵薄膜組件收納于防塵薄膜組件收納容器。
背景技術(shù)：
LSI以及超LSI等的半導(dǎo)體制造或?yàn)橐壕э@示裝置等的制造中，要進(jìn)行將半導(dǎo)體晶片或者液晶用原板用光進(jìn)行照射來進(jìn)行圖案的制作的光刻。此時，光掩模或者中間掩模如果有灰塵附著，所述灰塵對光進(jìn)行吸收，使光彎曲，由此就會使轉(zhuǎn)印的圖案變形，邊緣不齊，并且基底變黑等的現(xiàn)象為發(fā)生。所述的作業(yè)通常在無塵室中進(jìn)行，即使如此，也難以使光掩?？偸潜３智鍧?，所以，使用透明的防塵薄膜在防塵薄膜組件框架上貼附的防塵薄膜組件。如此，所述防塵薄膜組件在光掩模上載置而進(jìn)行曝光，異物不在光掩模的表面直接附著，而是在防塵薄膜上附著，所以光刻時，只要將焦點(diǎn)對準(zhǔn)光掩模的圖案，防塵薄膜上的異物就與轉(zhuǎn)印無關(guān)了。所述的防塵薄膜組件如其本身有異物附著，就會有可能波及到光掩模，所以要求高的清凈性。由此，在所述保管以及運(yùn)送時，要使用防塵薄膜組件收納容器。作為所述的防塵薄膜組件收納容器或者防塵薄膜組件的收納方法，可以例舉下述專利文獻(xiàn)1，2，3中所述之物。具體地說，專利文獻(xiàn)I中，記載了一種防塵薄膜組件用容器，其為在硬質(zhì)樹脂制的容器本體的內(nèi)底部，防塵薄膜組件框架的側(cè)面被密接載置，其通過在容器本體的內(nèi)底部豎直設(shè)立多個支持體，由此從周圍將內(nèi)底部上載置的防塵薄膜組件框架進(jìn)行支持，進(jìn)一步，在容器本體上覆蓋有開閉自由的硬質(zhì)樹脂制的蓋體，并在所述內(nèi)面具有在所述蓋體具有在閉蓋時，與內(nèi)底部上載置的防塵薄膜組件框架的所述一個側(cè)面相接觸的接觸部。
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專利文獻(xiàn)2，記載了一種將大型防塵薄膜組件收納在容器中的方法，其中防塵薄膜組件具有框體，在所述框體的上緣面接著的防塵薄膜，在所述框體的下緣面涂布有粘著材料，為了保護(hù)所述粘著材料而粘著在框體的下面的保護(hù)薄膜。所述收納容器有盤以及蓋，其中，所述大型防塵薄膜組件的保護(hù)薄膜的外周緣的一部或全部向外側(cè)突起，而形成壓邊余量，并且所述壓邊余量通過粘著條，固定，由此將大型防塵薄膜組件收納在其中。專利文獻(xiàn)3，記載了一種防塵薄膜組件收納容器，包括:防塵薄膜組件載置容器本體；將防塵薄膜組件蓋住的同時，與容器本體相互在周緣部嵌合卡定的蓋體；在所述容器本體接合的金屬部件；在防塵薄膜組件框架的相互平行的一組的邊的各外側(cè)面至少設(shè)置I個，共設(shè)置3個以上的孔，在這些孔中分別插入同數(shù)的框架保持針；對所述框架保持針的位置進(jìn)行決定的位置決定部件，在該防塵薄膜組件收納容器中，所述位置決定部件被機(jī)械固定在所述金屬部件上。先行技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I實(shí)公平6- 45965號公報專利文獻(xiàn)2特開2004- 361647號公報
專利文獻(xiàn)3專利第4391435號公報專利文獻(xiàn)1所述的防塵薄膜組件用容器，為射出成型，有部件少的優(yōu)點(diǎn)，作為半導(dǎo)體用防塵薄膜組件的收納而使用。但是，所述防塵薄膜組件用容器為，蓋體以及容器本體都要高精度成形，不能用于邊長為500_超那樣的液晶用防塵薄膜組件的收納。因?yàn)檫@樣的大型的容器難于在真空中進(jìn)行精度良好地形成，加之容器本身的剛性也難以確保。由此，在容器的處理時以及搬送時容易引起容器的變形，從而容器和防塵薄膜組件框架磨擦，發(fā)生粉塵，從而使品質(zhì)變差。作為所述的邊長超過500_的那樣的大型的防塵薄膜組件的收納容器，如專利文獻(xiàn)2所述的那樣，使保護(hù)光掩模粘著層的襯層的一部向外側(cè)突起，用粘著條將其固定于容器本體，或者如專利文獻(xiàn)3所述的那樣，在防塵薄膜組件框架外側(cè)面設(shè)置的凹部中將針插入，在容器本體上固定，在現(xiàn)有文獻(xiàn)中也提出了將防塵薄膜組件在容器本體上確實(shí)地固定的方法。但是，專利文獻(xiàn)2的那樣，防塵薄膜組件的保護(hù)薄膜的外周緣的一部或?yàn)槿客黄鹩谕鈧?cè)的壓邊余量用粘著條將其在容器本體上貼附固定的場合，所述作業(yè)不得不用人工進(jìn)行，難于在清浄的狀態(tài)中固定在盤上。進(jìn)一步，在將粘著條剝離取出時，有人手接近于防塵薄膜組件框架附近，有異物附著的擔(dān)心。另一方面，如專利文獻(xiàn)3的那樣，向防塵薄膜組件框架外側(cè)面的孔中進(jìn)行針插入拔出使防塵薄膜組件向容器本體裝卸的場合，防塵薄膜組件的裝卸時，人手不太接近防塵薄膜組件，異物附著少。

但是，在將收納防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收納容器進(jìn)行運(yùn)送時，有必要對防塵薄膜組件框架外側(cè)面的孔中插入的針的插入位置進(jìn)行持續(xù)維持。為了對該針的插入位置進(jìn)行維持，可以考慮將針進(jìn)一步用其他的螺釘?shù)鹊目ǘㄑb置進(jìn)行固定的固定裝置，或者使針形成有些象錐體而嵌合，用所述摩擦力進(jìn)行固定的固定裝置。但是，用螺釘?shù)鹊目ǘㄑb置將針固定的場合，針確實(shí)用被固定，但是有灰塵發(fā)生的危險。另外，將針制成大略錐型，用摩擦力進(jìn)行固定的場合，難于將摩擦力調(diào)節(jié)為適切的大小，所以可信性差。為了對本發(fā)明為所述的課題進(jìn)行解決，本發(fā)明提供了一種防塵薄膜組件收納容器，其一邊在容器本體的規(guī)定位置處于固定的狀態(tài)的防塵薄膜組件用蓋體覆蓋防止異物附著，一邊在運(yùn)送中所述固定狀態(tài)也確實(shí)被維持，并且將蓋體打開開封時，簡單地將所述固定狀態(tài)解除，將防塵薄膜組件的取出。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的，可以用以下的技術(shù)方案來達(dá)到:1.一種防塵薄膜組件收納容器，包括載置防塵薄膜貼附于防塵薄膜組件框架上構(gòu)成的防塵薄膜組件的容器本體以及在所述容器本體的周緣部嵌合卡定，將所述防塵薄膜組件覆蓋的蓋體構(gòu)成，其特征在于:在所述容器本體，設(shè)置多個防塵薄膜組件固定部，該防塵薄膜組件固定部包括在被載置的所述防塵薄膜組件框架的外側(cè)面的凹部中前端部插入的狀態(tài)下可以轉(zhuǎn)動的針；所述針可以從所述凹部拔出地裝設(shè)的針裝設(shè)部，所述各個防塵薄膜組件固定部，裝有將所述針保持的保持裝置，使所述針裝設(shè)部裝設(shè)的所述前端部插入所述防塵薄膜組件框架的凹部的所述針進(jìn)行規(guī)定角度的轉(zhuǎn)動后，所述針的前端部不從所述凹部拔出。
2.根據(jù)技術(shù)方案I所述的防塵薄膜組件收納容器，其特征在于:所述保持裝置，由所述針上形成的突起部以及在所述針裝設(shè)部形成的在所述針以規(guī)定角度轉(zhuǎn)動時與所述突起部卡定的切口部構(gòu)成。3.根據(jù)技術(shù)方案2所述的防塵薄膜組件收納容器，其特征在于:對所述容器本體載置的所述防塵薄膜組件進(jìn)行覆蓋的所述蓋體的內(nèi)壁面，與所述針的所述突起部的一部分相接觸，由此可以防止所述針的轉(zhuǎn)動。4.根據(jù)技術(shù)方案2或3所述的防塵薄膜組件收納容器，其特征在于:在所述針進(jìn)行30-180度轉(zhuǎn)動時，所述針的突起部和所述針裝設(shè)部的切口部卡定。
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5.根據(jù)技術(shù)方案1-4中任一項(xiàng)所述的防塵薄膜組件收納容器，其特征在于:作為所述針的前端部與所述防塵薄膜組件框架相接觸的緩沖部件，設(shè)有彈性體。6.根據(jù)技術(shù)方案1-5中任一項(xiàng)所述的防塵薄膜組件收納容器，其特征在于:在所述針的后端面，形成所述針的轉(zhuǎn)動用的工具插入的工具用凹部。發(fā)明的效果本發(fā)明中防塵薄膜組件收納容器為，以簡便的結(jié)構(gòu)，將使防塵薄膜組件在容器本體固定的針進(jìn)行確實(shí)地保持，運(yùn)送中不會發(fā)生針的脫落，也不會使防塵薄膜組件的固定脫落，并且也沒有使收納的防塵薄膜組件破損以及異物附著的危險，信賴性高。另外，打開蓋體，將容器本體中載置的防塵薄膜組件取出時，僅將針進(jìn)行規(guī)定角度的轉(zhuǎn)動，從針裝設(shè)部卸下，就可以將防塵薄膜組件從容器本體中取出。由于以如此極簡便的操作，就可以從防塵薄膜組件收納容器中將防塵薄膜組件的取出成為可能，伴隨著取出作業(yè)的向防塵薄膜組件的異物附著的危險也少。


圖1本發(fā)明中防塵薄膜組件收納容器的一例的正面圖。圖2圖1表示的防塵薄膜組件收納容器10的蓋體14卸下的狀態(tài)的正面圖。圖3圖1表示的防塵薄膜組件收納容器10的X— X面的截面圖。圖4包括圖3表示的防塵薄膜組件收納容器10的防塵薄膜組件固定部18部分的擴(kuò)大截面圖。圖5圖4表不的針28的斜視圖。圖6包括(a)、(b)以及(c)3個圖，為圖4表示的針28裝設(shè)于針裝設(shè)部32的情形的說明斜視圖。圖7將針裝設(shè)部裝設(shè)的針用裝設(shè)孔的摩擦力進(jìn)行保持的比較例的表示斜視圖。
具體實(shí)施例方式以下，對具體實(shí)施方式
進(jìn)行詳細(xì)說明，但是本發(fā)明的范圍不受它們的限制。本發(fā)明的防塵薄膜組件收納容器的一例如圖1所示。圖1表示的防塵薄膜組件收納容器10，由長方形狀的容器本體12和蓋體14構(gòu)成。將所述的蓋體14卸下的狀態(tài)用圖2表示。容器本體12的中央部載置的防塵薄膜組件16，通過將在沿著容器本體12的長邊形成的平坦面20，20上，防塵薄膜組件16的各角部近傍配置的4個的防塵薄膜組件固定部18來進(jìn)行固定。
所述防塵薄膜組件16為，長方形狀的鋁等的金屬制的防塵薄膜組件框架16a上貼附透明的氟樹脂等的防塵薄膜16b而形成的。防塵薄膜組件16以及防塵薄膜組件固定部18載置的容器本體12，如圖1的X — X面的截面3表示的那樣，在容器本體12的底部有突起12a，12a形成而被補(bǔ)強(qiáng)。所述的容器本體12和蓋體14，使用ABS以及丙烯酸等的合成樹脂進(jìn)行真空成型而制得。真空成型方法為，在模具上覆蓋加熱的樹脂，僅進(jìn)行真空吸弓丨，就可以容易地形成大型容器。與此相反，通過在一處或數(shù)處地入口向模具內(nèi)將樹脂進(jìn)行高速注入的射出成形方法中，樹脂的流動的距離過長，大型容器的制造有困難的傾向。所述的容器本體12中，如圖4表示的那樣，介于襯層22和光掩模粘著層24，防塵薄膜組件16被載置，防塵薄膜組件16被4個防塵薄膜組件固定部18 (圖3)在規(guī)定位置固定。所述防塵薄膜組件16，如圖3表示的那樣，被蓋體14覆蓋，被收納在防塵薄膜組件收納容器10內(nèi)。容器本體12和蓋體14，在所述周緣部嵌合卡定。另外，防塵薄膜組件固定部18，如圖4表示的那樣，包括向在容器本體12的規(guī)定位置載置的防塵薄膜組件框架16a的側(cè)面開口的凹部26將前端部28a插入的狀態(tài)下可以轉(zhuǎn)動的針28 ;針28可以從凹部26拔出地裝設(shè)的針裝設(shè)部32。所述的針28，如圖5表示的那樣，包括前端部28a，中間部28b，后端部28c，中間部28b和后端部28c之間，形成有構(gòu)成針28的保持裝置的突起部30。突起部30,形成有前端部為尖細(xì)狀的傾斜面。針28的后端部28c,為操作針28轉(zhuǎn)動等的操作部,其比前端部28a以及中間部28b粗。此后端部28c的端面，形成有針28的轉(zhuǎn)動用的工具插入的工具用凹部36。圖5所示的針28的工具用凹部36，為六角扳手的前端部可以插入的六角形。進(jìn)一步，針28的中間部28b，比前端部28a還粗，針28的前端部28a和中間部28b的境界形成有階梯28E。所述階梯28E，與防塵薄膜組件框架16a的側(cè)面相接觸。作為所述的階梯28E和防塵薄膜組件框架16a的側(cè)面相接觸的緩沖部件，在階梯28E有環(huán)狀的彈性體34裝設(shè)。作為彈性體34，可以使用丁腈橡膠，乙烯丙烯橡膠，硅氧烷橡膠，氟橡膠等的橡膠。所述的針28可以在其上被自由自在地裝卸的針裝設(shè)部32，如圖4表示的那樣，容器本體12的平坦面20上用螺釘?shù)鹊倪B接裝置(未圖示)進(jìn)行安裝。所述的針裝設(shè)部32，如圖6 (a)表示的那樣，為四面體，針28的突起部30以及后端部28c插入的U形溝32a的一端為四面體的一側(cè)開口。所述U形溝32a的另一端為，四面體的中央部近傍的四角形狀的切口部32b的內(nèi)壁面的一側(cè)開口。所述的切口部32b，與突起部30構(gòu)成保持裝置，針28的中間部28b和后端部28c之間的突起部30為可以轉(zhuǎn)動地插入。進(jìn)一步，切口部32b的內(nèi)壁面中，與U形溝32a的另一端開口的一側(cè)相對的另一側(cè)，形成針28的前端部28a以及中間部28b的一部分插入的插通孔32c。在所述的針裝設(shè)部32上，如圖6 (a)表示的那樣，具有在階梯28E上具有彈性體34的針28。針28的前端部28a以及中間部28b插入針裝設(shè)部32的孔32c，在針28的突起部30從U形溝32a向切口部32b插入的同時，后端部28c插入U形溝32a。在針裝設(shè)部32將針28裝設(shè)時，如圖6 (b)表示的那樣，針28的前端部28a和中間部28b的一部分從針裝設(shè)部32突出。所述的圖6 (b)表示的狀態(tài)的針28，可以從針裝設(shè)部32的U形溝32a以及切口部32b拔出。由此，可以按圖6(b)表示的箭頭的方向使針28轉(zhuǎn)動。通過所述的針28的轉(zhuǎn)動，突起部30也轉(zhuǎn)動，如圖6 (c)表示的那樣，突起部30和切口部32b的內(nèi)壁面卡定。所述的突起部30和切口部32b卡定，由此，針28變?yōu)楸会樠b設(shè)部32保持，從而不被拔出。
一方面，如圖6 (c)表示那樣，在將突起部30和切口部32b的卡定解除時，將針28按與圖6 (b)表示的箭頭相反方向轉(zhuǎn)動，由此，如圖6 (b)表示的那樣，突起部30和切口部32b的內(nèi)壁面的卡定解除時，針28可以從針裝設(shè)部32簡單地拔出。為了將所述的突起部30和切口部32b卡定或解除，針28的轉(zhuǎn)動角度，從操作性以及卡定的確實(shí)性的觀點(diǎn)等優(yōu)選30-180度，特別優(yōu)選45-90度的范圍。所述針28的轉(zhuǎn)動，通過向針28的后端部28c的端面的工具用凹部36中插入六角扳手的前端部來進(jìn)行。如圖6 (C)表示的那樣，將針28進(jìn)行保持的針裝設(shè)部32作為將容器本體12上載置的防塵薄膜組件16進(jìn)行固定的防塵薄膜組件固定部18，是在沿著容器本體12的長邊形成的平坦面20的規(guī)定的地方安裝的。此時，防塵薄膜組件固定部18，所述針28的前端部28a，如圖4表示的那樣，插入防塵薄膜組件框架16a的凹部26。所述的安裝用螺釘?shù)鹊倪B接裝置進(jìn)行。作為所述卡定裝置，在針裝設(shè)部32中用金屬的插入部件等設(shè)置內(nèi)螺紋部，從容器本體12的外側(cè)將螺栓固定，可以使防塵薄膜組件收納容器10內(nèi)，沒有螺釘?shù)鹊牟考宦冻觯瑥那鍧嵉狞c(diǎn)來看是好的。進(jìn)一步，螺栓固定，優(yōu)選介于樹脂墊圈等進(jìn)行固定，特別是，針裝設(shè)部32在容器本體12固定后，進(jìn)一步將樹脂部件之間的接線部用有機(jī)溶劑等進(jìn)行溶解接著，這對不發(fā)生灰塵的點(diǎn)來看是優(yōu)選的。但是，防塵薄膜組件固定部18，如圖6 (c)表示的那樣，即使在突起部30和切口部32b處于卡定的狀態(tài)中，也會由于運(yùn)送中的振動等而使針28轉(zhuǎn)動，使突起部30和切口部32b的卡定有解除的危險。所述的針28的轉(zhuǎn)動，如圖4表示的那樣，通過蓋體14的內(nèi)壁面將防塵薄膜組件16進(jìn)行覆蓋，使其與切口部32b卡定的突起部30的一部分相接觸來進(jìn)行防止。在該場合也可以通過將蓋體14的卸下，使針28轉(zhuǎn)動，將切口部32b和突起部30的卡定解除。圖1-圖6所示的28，為樹脂射出成型，傳遞模塑等一體成型制作的。作為材質(zhì)，可以使用環(huán)氧樹脂，ABS樹脂(丙烯腈丁二烯苯乙烯樹脂)，PPS樹脂，PE樹脂(聚乙烯樹脂)，PEEK樹脂(聚醚醚酮樹脂)等，優(yōu)選根據(jù)必要，可以將玻璃纖維等的填料等混入以提高強(qiáng)度。所述的針28裝設(shè)的針裝設(shè)部32，為用樹脂射出成型，傳遞模塑等的一體成型來制作。作為材質(zhì)，可以使用環(huán)氧樹脂，ABS樹脂(丙烯腈丁二烯苯乙烯樹脂)，PPS樹脂，PE樹脂(聚乙烯樹脂)，PEEK樹脂(聚醚醚酮樹脂)等。根據(jù)圖1-圖6表示的防塵薄膜組件收納容器10，構(gòu)成防塵薄膜組件固定部18的針裝設(shè)部32裝設(shè)的針28的前端部28a，插入容器本體12載置的防塵薄膜組件框架16a的凹部26后，使針28轉(zhuǎn)動，防塵薄膜組件16被容器本體12確實(shí)地保持。進(jìn)一步，通過與針裝設(shè)部32卡定的針28的突起部30的一部分與裝設(shè)在容器本體12的蓋體14的內(nèi)壁面相接觸，來對運(yùn)送中的振動等造成的針28為轉(zhuǎn)動進(jìn)行防止，從而對運(yùn)送中有由于針28脫落等造成的防塵薄膜組件16的固定的脫落進(jìn)行確實(shí)地防止。使用所述的防塵薄膜組件收納容器10，其收納的防塵薄膜組件16就沒有破損以及異物附著的危險，所以可信性高。另外，打開蓋體14，將在容器本體12上載置的防塵薄膜組件16取出時，僅將針28進(jìn)行規(guī)定角度的轉(zhuǎn)動，從針裝設(shè)部32取出，就可以將防塵薄膜組件16從容器本體12取出。由此，使用防塵薄膜組件收納容器10，所述防塵薄膜組件16的取出作業(yè)也簡單。圖1-圖6表示的防塵薄膜組件收納容器10，防塵薄膜組件16被在沿著容器本體12的長邊形成的平坦面20，20上的防塵薄膜組件16的各角部近傍配置的4個防塵薄膜組件固定部18固定，但是設(shè)置4個以上的防塵薄膜組件固定部18也可以。另外，防塵薄膜組件固定部18的配置為沿著容器本體12的短邊配置也可，沿著長邊以及短邊的各邊都配置也可以。實(shí)施例1以下，對本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說明，但是本發(fā)明的范圍不受它們的限制。(實(shí)施例1)用帶電防止ABS樹脂制的片材，以真空成型法制作圖1以及圖2表示的形狀的容器本體12以及蓋體14。容器本體12和蓋體14，在所述周緣部嵌合卡定，形成圖1表示的防塵薄膜組件收納容器10。所述防塵薄膜組件收納容器10的大小為，外形890X690mm，高70_。成形中使用的片材為,作為蓋體14,為透明的3mm之物,作為容器本體12用為黒色的5mm之物。進(jìn)一步，優(yōu)選用射出成型，ABS樹脂制作圖6表示的針裝設(shè)部32，用PPS樹脂制作圖5表示的針28。針28由前端部28a，中間部28b，后端部28c形成，中間部28b和后端部28c之間，形成構(gòu)成針28的保持裝直的關(guān)起部30。關(guān)起部30為，形成如纟而部為尖細(xì)狀的傾斜面。針28的后端部28c為使針28轉(zhuǎn)動等的操作部，比前端部28a以及中間部28b還粗。在后端部28c的端面，為將針28的轉(zhuǎn)動用的六角扳手的前端部插入的工具用凹部36。所述的針28中間部28b為比前端部28a也粗，針28的前端部28a和中間部28b的境界出形成階梯28E。另外，針裝設(shè)部32為四面體，針28的突起部30以及后端部28c插入的U形溝32a的一端為四面體的一側(cè)的開口。所述U形溝32a的另一端為，四面體的中央部近傍的四角形狀的切口部32b的內(nèi)壁面的一面開口。所述的切口部32b，與針28的突起部30—起構(gòu)成保持裝置，針28的中間部28b和后端部28c之間的突起部30為可以轉(zhuǎn)動地插入。進(jìn)一步，切口部32b的內(nèi)壁面中，對應(yīng)U形溝32a的另一端的開口面的另一側(cè)面，形成針28的前端部28a以及中間部28b插通的孔32c。所述的針裝設(shè)部32的下面?zhèn)龋S銅制的插入螺帽(未圖示)在4個地方設(shè)置。接著，如圖6 (a)表示的那樣，針28插入針裝設(shè)部32，如圖6 (b)表示的那樣，針28的突起部30插入針裝設(shè)部32的切口部32b。進(jìn)一步，針28的后端部28c向右方向進(jìn)行45度轉(zhuǎn)動，如圖6 (c)表示的那樣，突起部30和切口部32b的內(nèi)壁面卡定，此時，突起部30的傾斜面為水平。進(jìn)一步，在從針裝設(shè)部32突起的前端部28a和中間部28b的境界的階梯28E,厚度0.5mm的氟橡膠制的環(huán)狀彈性體34被安裝,形成防塵薄膜組件固定部18。將所述的防塵薄膜組件固定部18置于規(guī)定容器本體12的平坦面20的規(guī)定地方，如圖4表示的那樣，安裝在針28的前端部28a插入的防塵薄膜組件框架16a的凹部26的位置。所述安裝為，從容器本體12的外側(cè)用不銹鋼制六角帶孔螺栓(未圖示)進(jìn)行。此時，將POM制的樹脂板(厚度1.5mm)挾入，提高了密封性。如此形成的防塵薄膜組件收納容器10被搬進(jìn)10級無塵室，用界面活性劑和純水進(jìn)行良好地洗凈后，完全干燥。另外，針28的突起部30，如圖6 (c)表示的那樣，將針28轉(zhuǎn)動，使突起部30和切口部32b的內(nèi)壁面卡定，變?yōu)樗降膬A斜面，在將蓋體14裝于容器本體 12時，于蓋體14的內(nèi)壁面接觸。所述無塵室內(nèi)中，防塵薄膜組件收納容器10之外，制作外尺寸797mmX474mm,內(nèi)寸789_X456mm,高5.9mm的防塵薄膜組件16。所述防塵薄膜組件16,使用招合金制的防塵薄膜組件框架16a(厚度4.8_)，作為光掩模粘著劑以及防塵薄膜接著劑使用硅氧烷粘著齊U，作為防塵薄膜16b，使用厚度3 μ m的氟樹脂。另外，防塵薄膜組件框架16a的各長邊，以710mm之間隔,設(shè)置2個直徑2.5mmX深度1.8mm的凹部26,各短邊設(shè)置處理用的寬1.5mm,深度2.3mm的溝(未圖示)。所述防塵薄膜組件16在暗室內(nèi)中用集光燈進(jìn)行異物檢查后，在防塵薄膜組件收納容器10中收納。此時，容器本體12設(shè)置的防塵薄膜組件固定部18的針28的前端部被插入防塵薄膜組件框架16a的凹部26后，如圖6 (c)表示的那樣，將針28轉(zhuǎn)動，防塵薄膜組件16被固定在容器本體12內(nèi)，將蓋體14覆蓋。進(jìn)一步，蓋體14和容器本體12的緣部用寬35mm的P V C制粘著條(未圖示)貼附固定后，用聚尿烷制夾子(未圖示)在各長邊的2地方安裝。然后，用內(nèi)部清潔的帶電防止PE袋進(jìn)行2重包裝，用內(nèi)部具有緩沖材料的強(qiáng)化瓦棱紙箱(未圖示)收納。如此防塵薄膜組件收納容器10的用強(qiáng)化瓦棱紙箱，從群馬至福網(wǎng)進(jìn)行往復(fù)運(yùn)送測試(群馬県□東京為汽車，東京□福R間為飛機(jī))。運(yùn)送后的防塵薄膜組件收納容器10搬進(jìn)無塵室，進(jìn)行內(nèi)部的確認(rèn)。針28被針裝設(shè)部32確實(shí)地保持，所述前端部28a也在防塵薄膜組件框架16a的凹部26中插入未動，防塵薄膜組件16確實(shí)地在容器本體12被固定。在該狀態(tài)中，集光燈照射，對容器本體12上的灰塵發(fā)生狀況進(jìn)行確認(rèn)，防塵薄膜組件固定部18附近以及容器本體10上沒有發(fā)現(xiàn)異物的發(fā)生。進(jìn)一步，向針28的工具用凹部36中將六角扳手插入，針28轉(zhuǎn)動，將突起部30和切口部32b的卡定解除。接著，將防塵薄膜組件16從容器本體12取出，搬進(jìn)暗室內(nèi)，用集光燈進(jìn)行防塵薄膜組件16的表面的附著的異物的檢查。所述結(jié)果，在防塵薄膜組件16完全未發(fā)現(xiàn)異物的附著，被維持在極清潔的的狀態(tài)。(比較例I)制作圖7表示的防塵薄膜組件固定部100。圖7表示的構(gòu)成防塵薄膜組件固定部100的針102，由PPS樹脂制的圓柱狀部件形成，有前端部102a，中間部102b以及后端部102c。粗細(xì)為，前端部102a <中間部102b <后端部102c的順序，前端部102a和中間部102b的境界有階梯形成，裝設(shè)氟橡膠制的環(huán)狀的彈性體106。所述的針102，沒有形成圖5表示的在針28形成的突起部30。有所述針102的針裝設(shè)部104為，用ABS樹脂射出成型而形成的。針裝設(shè)部104為，針28的前端部102a以及中間部102b的一部分可以通過，中間部102b的剩余部分以及后端部102c插入貫通孔108。所述的針裝設(shè)部104，沒有如圖6(a)表示的針裝設(shè)部32的那樣，形成U形溝32a以及切口部32b。由此，針裝設(shè)部104中，貫通孔108的內(nèi)徑沿著針102的插入方向逐漸變小，由此插入貫通孔108的針102通過所述外壁面和貫通孔108的內(nèi)壁面的摩擦力將針28被固定。如此，圖7表示的防塵薄膜組件固定部100中，在針裝設(shè)部104的貫通孔108中，由摩擦力將針102固定。圖7表示的防塵薄膜組件固定部100與實(shí)施例1同樣，安裝在容器本體12上。接著，容器本體12上載置的防塵薄膜組件16的防塵薄膜組件框架16a的凹部26中，構(gòu)成防塵薄膜組件固定部100的針102的前端部102a插入，防塵薄膜組件16被在容器本體12上固定。進(jìn)一步，容器本體12裝上蓋體14，將防塵薄膜組件16收納于防塵薄膜組件收納容器10中。此后，與實(shí)施例1同樣，將防塵薄膜組件收納容器10包裝，進(jìn)行運(yùn)送實(shí)驗(yàn)。運(yùn)送后的防塵薄膜組件收納容器10搬入無塵室，進(jìn)行內(nèi)部的確認(rèn)。另外，防塵薄膜組件16還留在容器本體12上，但是4個地方的防塵薄膜組件固定部100中，I個地方的針102正要從針裝設(shè)部104脫出。另外，所述前端部104a也從防塵薄膜組件框架16a的凹部26拔出，前端部104a與防塵薄膜組件框架16a的外面磨擦，附著有直徑數(shù)十μ m的異物數(shù)十個。另外，在該所述狀態(tài)下，集光燈照射對容器本體12上的灰塵發(fā)生狀況進(jìn)行確認(rèn)，發(fā)現(xiàn)與正要拔出的防塵薄膜組件固定部100相對的防塵薄膜組件固定部100的周邊也有異物的附著。進(jìn)一步，針102，用戴上聚丁腈制的手套的手從針裝設(shè)部104仔細(xì)地拔出，將防塵薄膜組件16搬進(jìn)暗室內(nèi)，用集光燈對表面附著的異物進(jìn)行檢查。所述結(jié)果，發(fā)現(xiàn)防塵薄膜16b上附著有直徑10-20μπι程度的異物。另外，它們之中，約半數(shù)分布在防塵薄膜組件固定部100的周邊。本發(fā)明中防塵薄膜組件收納容器，可以作為半導(dǎo)體裝置用的防塵薄膜組件收納容器使用，也可以作為比半導(dǎo)體裝置用的防塵薄膜組件大的大型的液晶用的防塵薄膜組件收納容器來使用。

符號的說明10為防塵薄膜組件收納容器，12為容器本體；12a為突起；14為蓋體；16為防塵薄膜組件；16a為防塵薄膜組件框架；16b為防塵薄膜；18，100為防塵薄膜組件固定部；20為平坦面；22為襯層；24為光掩模粘著層；26為凹部；28，102為針；28a，102a為前端部；28b，102b為中間部；28c, 102c為后端部；28E為階梯；30為突起部；32，104為針裝設(shè)部；32a為U形溝；32b為切口部；32c為孔；34，106為彈性體；36為工具用凹部；108為貫通孔的。
權(quán)利要求
1.一種防塵薄膜組件收納容器，包括載置防塵薄膜貼附于防塵薄膜組件框架上構(gòu)成的防塵薄膜組件的容器本體以及在所述容器本體的周緣部嵌合卡定，將所述防塵薄膜組件覆蓋的蓋體構(gòu)成，其特征在于:在所述容器本體，設(shè)置多個防塵薄膜組件固定部，該防塵薄膜組件固定部包括在被載置的所述防塵薄膜組件框架的外側(cè)面的凹部中前端部插入的狀態(tài)下可以轉(zhuǎn)動的針；所述針可以從所述凹部拔出地裝設(shè)的針裝設(shè)部，所述各個防塵薄膜組件固定部，裝有將所述針保持的保持裝置，使所述針裝設(shè)部裝設(shè)的所述前端部插入所述防塵薄膜組件框架的凹部的所述針進(jìn)行規(guī)定角度的轉(zhuǎn)動后，所述針的前端部不從所述凹部拔出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防塵薄膜組件收納容器，其特征在于:所述保持裝置，由所述針上形成的突起部以及在所述針裝設(shè)部形成的在所述針以規(guī)定角度轉(zhuǎn)動后與所述突起部卡定的切口部構(gòu)成。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的防塵薄膜組件收納容器，其特征在于:對所述容器本體載置的所述防塵薄膜組件進(jìn)行覆蓋的所述蓋體的內(nèi)壁面，與所述針的所述突起部的一部分相接觸，由此可以防止所述針的轉(zhuǎn)動。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的防塵薄膜組件收納容器，其特征在于:在所述針進(jìn)行30-180度轉(zhuǎn)動后，所述針的突起部和所述針裝設(shè)部的切口部卡定。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任一項(xiàng)所述的防塵薄膜組件收納容器，其特征在于:作為所述針的前端部與所述防塵薄膜組件框架相接觸的緩沖部件，設(shè)有彈性體。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任一項(xiàng)所述的防塵薄膜組件收納容器，其特征在于:在所述針的后端面，形成所述針的轉(zhuǎn)動用的工具插入的工具用凹部。
全文摘要
提供一種防塵薄膜組件收納容器，其中，在容器本體固定的狀態(tài)的防塵薄膜組件被用蓋體覆蓋，以防止異物附著，運(yùn)送中也確實(shí)維持處于固定狀態(tài)，并且打開蓋體開封時，可以將固定狀態(tài)簡單地解除，將防塵薄膜組件取出。所述防塵薄膜組件收納容器包括將防塵薄膜組件(16)載置的容器本體(12)，將防塵薄膜組件(16)覆蓋的蓋體(14)。在容器本體(12)，設(shè)置多個防塵薄膜組件固定部(18)，該固定部(18)具有前端部(16a)插入的防塵薄膜組件(16)的防塵薄膜組件框架(16a)的凹部(26)，可以轉(zhuǎn)動的針(28)；針(28)可以裝卸地設(shè)置的針裝設(shè)部(32)；將在各防塵薄膜組件固定部(18)的針裝設(shè)部(32)裝設(shè)的前端部(16a)插入防塵薄膜組件框架(16a)的凹部(26)的針(28)以規(guī)定角度轉(zhuǎn)動后，針(28)的前端部(28a)不從凹部(26)拔出的將針(28)進(jìn)行保持的保持裝置，該保持裝置具有突起部(30)和切口部(32a)。
文檔編號B65D85/30GK103086050SQ20121042107
公開日2013年5月8日 申請日期2012年10月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月28日
發(fā)明者關(guān)原一敏 申請人:信越化學(xué)工業(yè)株式會社