專利名稱：石英坩堝加熱涂層包裝一體機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種石英坩堝涂層包裝自動化的設(shè)備，具體涉及一種石英坩堝加熱涂層包裝一體機(jī)。
背景技術(shù)：
作為拉制單晶硅時，在單晶硅上形成位錯的一個原因，是石英坩堝的內(nèi)表面上析出的方石英石會釋放到硅熔融液中。作為對策，已知有在坩堝內(nèi)表面上涂布結(jié)晶化促進(jìn)劑， 使坩堝內(nèi)表面早期形成結(jié)晶化的方法，在這些方法中，在石英坩堝表面上涂布?xì)溲趸^溶液，氫氧化鋇與空氣中的二氧化碳反應(yīng)，使生成的碳酸鋇沉淀在坩堝表面上，將其干燥，則附著在坩堝表面上，然而以前表面處理的石英坩堝存在如下問題，需要解決(1)以前附著在石英坩堝上的碳酸鋇粉末，由于沒有用粘合劑固著，所以附著力非常弱。因此，制品檢查和搬運(yùn)，向盛放袋中裝入等制造方面的作業(yè)工序中，坩堝表面的碳酸鋇粉很容易剝落下來。處理器具和操作員觸及時也會剝落，成為斑點形成不均勻的附著狀態(tài)。進(jìn)而，打開盛放袋時， 碳酸鋇粉飛揚(yáng)，對操作員的健康造成危害；(2)由于碳酸鋇粉只是附著在表面上，所以附著力很弱，形成結(jié)晶核的效率很低，很容易形成碳酸鋇附著量過剩。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種石英坩堝加熱涂層包裝一體機(jī)，解決了石英坩堝表面改質(zhì)問題。本實用新型采用的技術(shù)方案是一種石英坩堝加熱涂層包裝一體機(jī)，包括石英坩堝的傳輸系統(tǒng)、以及按傳輸方向依次設(shè)有的加熱系統(tǒng)、噴涂系統(tǒng)和包裝系統(tǒng)；所述加熱系統(tǒng)包括一個可密閉的加熱間，加熱間內(nèi)設(shè)置有紅外線加熱管和用于恒定溫度的溫度感應(yīng)器， 所述噴涂系統(tǒng)包括一個可密閉的涂層間，涂層間內(nèi)設(shè)置有可自動升降的旋轉(zhuǎn)接頭和噴嘴， 所述包裝系統(tǒng)由置于石英坩堝上方和側(cè)方的負(fù)壓吸附機(jī)械手組成，所述傳輸系統(tǒng)包括作為動力源的伺服電機(jī)、鏈輪、鏈條和傳送帶，所述鏈輪與鏈條連接，傳送帶安裝在鏈條上。作為優(yōu)選，所述加熱間和涂層間相通形成一個隧道房，隧道房的入口處和出口處設(shè)置有氣動門。隧道房的內(nèi)外壁夾層設(shè)有聚脂泡沫板，內(nèi)壁設(shè)有石英隔熱保溫板。作為優(yōu)選，所述隧道房內(nèi)設(shè)有濕度傳感器和排風(fēng)循環(huán)管道。作為優(yōu)選，所述傳送帶上設(shè)有固定石英坩堝的限位塊。傳送帶為不銹鋼傳送帶。本實用新型采用伺服電機(jī)作為主動力源傳遞動力，不銹鋼傳送帶固定鏈條上，靠鏈輪實現(xiàn)鋼帶的傳動，在隧道房入口處與出口處裝有氣動門在每進(jìn)入一只石英坩堝時氣動門自行關(guān)閉，傳動帶停止傳送。記時器開始工作，每15分鐘進(jìn)入一只石英坩堝。在隧道房進(jìn)口與入口上方各有一個出風(fēng)口，出風(fēng)口表面含有排風(fēng)扇用于將熱水氣抽走，內(nèi)部還設(shè)有濕度傳感器用于檢驗室內(nèi)的濕度，這樣加工車間中不會產(chǎn)生大量霧氣。隧道房內(nèi)包括不銹鋼傳動帶、加熱系統(tǒng)、排風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)、噴涂系統(tǒng)，不銹鋼傳送帶采用特制限位塊拼制而成，每三個節(jié)距一節(jié)，有效的固定了石英坩堝，并保證坩堝在輸送鏈上的間距一致，從而也方便編碼器定位。加熱系統(tǒng)采用五組紅外線加熱管，并在房中間配有溫度感應(yīng)器使其溫度恒定在 350攝氏度左右，上方的排風(fēng)循環(huán)管道保證管道內(nèi)空氣流通也防止熱量的損失使房內(nèi)的房外的壓力不至于相差過大。噴涂設(shè)備采用旋轉(zhuǎn)接頭加噴嘴，底盤在減速電機(jī)帶動下使噴管勻速轉(zhuǎn)動，時噴涂液均勻涂在石英坩堝內(nèi)壁上，同時氣缸靠電磁閥控制進(jìn)氣量時噴嘴勻速升降以保證坩堝內(nèi)壁每處都能噴涂到溶液。同時加熱房內(nèi)溫度與噴淋房內(nèi)溫度一致這樣噴涂的液體附著力更強(qiáng)，坩堝在出了隧道房后進(jìn)入包裝線，不銹鋼傳動帶上的限位塊隨鏈輪下降轉(zhuǎn)動到底部，坩堝與限位塊脫離，平穩(wěn)過渡在中間的平帶上由于兩邊有限位欄坩堝不向兩側(cè)偏移這樣包裝線就與前面的加熱噴淋線分離開來。也就不需要和加熱噴淋線保持同步性，畢竟加熱噴涂段工作間隔為15分鐘遠(yuǎn)遠(yuǎn)長于包裝時間。進(jìn)入包裝線后，下左右機(jī)械手利用負(fù)壓吸附兩塊下泡沫包裝塊將其包裝在石英坩堝上后，上機(jī)械手將上一整塊泡沫包裝在坩堝上側(cè)，傳輸?shù)狡脚_上后，上負(fù)壓吸管將平整的紙箱展開，蝸桿傳動的推桿將坩堝推入紙箱后貼膠帶打包。有益效果本實用新型設(shè)備可以有效的對石英坩堝進(jìn)行加熱，涂層并包裝入庫，大大節(jié)省了人工，提高工作效率，也有效的解決了坩堝涂層粉末粘結(jié)不牢的問題。

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實用新型的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和具體實施方式
對本實用新型作進(jìn)一步說明如圖1和2所示一種石英坩堝加熱涂層包裝一體機(jī)，包括石英坩堝的傳輸系統(tǒng)、 以及按傳輸方向依次設(shè)有的加熱系統(tǒng)、噴涂系統(tǒng)和包裝系統(tǒng)；所述加熱系統(tǒng)包括一個可密閉的加熱間1，加熱間1內(nèi)設(shè)置有紅外線加熱管3和用于恒定溫度的溫度感應(yīng)器4，所述噴涂系統(tǒng)包括一個可密閉的涂層間2，涂層間2內(nèi)設(shè)置有可自動升降的旋轉(zhuǎn)接頭5和噴嘴6， 所述包裝系統(tǒng)由置于石英坩堝上方和側(cè)方的負(fù)壓吸附機(jī)械手7組成，所述傳輸系統(tǒng)包括作為動力源的伺服電機(jī)8、鏈輪9、鏈條10和傳送帶11，所述鏈輪9與鏈條10連接，傳送帶11 安裝在鏈條10上。所述加熱間1和涂層間2相通形成一個隧道房12，隧道房12的入口處和出口處設(shè)置有氣動門13。隧道房12的內(nèi)外壁夾層設(shè)有聚脂泡沫板，內(nèi)壁設(shè)有石英隔熱保溫板。所述隧道房12內(nèi)設(shè)有濕度傳感器和排風(fēng)循環(huán)管道15。所述傳送帶11上設(shè)有固定石英坩堝的限位塊14。傳送帶11為不銹鋼傳送帶。本實用新型是在坩堝內(nèi)壁涂層前先將坩堝加熱至350攝氏度以上，再在石英坩堝內(nèi)壁上噴涂氫氧化鋇溶液，當(dāng)溶液遇到高溫時溶液燒成在坩堝內(nèi)壁上，這樣粉末的附著力較以前有了大大的提高，另一方面也加強(qiáng)了坩堝的強(qiáng)度。
權(quán)利要求1.一種石英坩堝加熱涂層包裝一體機(jī)，其特征在于包括石英坩堝的傳輸系統(tǒng)、以及按傳輸方向依次設(shè)有的加熱系統(tǒng)、噴涂系統(tǒng)和包裝系統(tǒng)；所述加熱系統(tǒng)包括一個可密閉的加熱間(1)，加熱間(1)內(nèi)設(shè)置有紅外線加熱管(3)和用于恒定溫度的溫度感應(yīng)器(4)，所述噴涂系統(tǒng)包括一個可密閉的涂層間(2)，涂層間(2)內(nèi)設(shè)置有可自動升降的旋轉(zhuǎn)接頭(5)和噴嘴(6)，所述包裝系統(tǒng)由置于石英坩堝上方和側(cè)方的負(fù)壓吸附機(jī)械手(7)組成，所述傳輸系統(tǒng)包括作為動力源的伺服電機(jī)(8)、鏈輪(9)、鏈條(10)和傳送帶(11)，所述鏈輪(9)與鏈條(10)連接，傳送帶(11)安裝在鏈條(10)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英坩堝加熱涂層包裝一體機(jī)，其特征在于所述加熱間(I)和涂層間(2)相通形成一個隧道房(12)，隧道房(12)的入口處和出口處設(shè)置有氣動門 (13)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的石英坩堝加熱涂層包裝一體機(jī)，其特征在于所述隧道房 (12)的內(nèi)外壁夾層設(shè)有聚脂泡沫板，內(nèi)壁設(shè)有石英隔熱保溫板。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的石英坩堝加熱涂層包裝一體機(jī)，其特征在于所述隧道房 (12)內(nèi)設(shè)有濕度傳感器和排風(fēng)循環(huán)管道(15)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英坩堝加熱涂層包裝一體機(jī)，其特征在于所述傳送帶(II)上設(shè)有固定石英坩堝的限位塊(14)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英坩堝加熱涂層包裝一體機(jī)，其特征在于所述傳送帶 (11)為不銹鋼傳送帶。
專利摘要本實用新型公開了一種石英坩堝加熱涂層包裝一體機(jī)，包括石英坩堝的傳輸系統(tǒng)、以及按傳輸方向依次設(shè)有的加熱系統(tǒng)、噴涂系統(tǒng)和包裝系統(tǒng)；所述加熱系統(tǒng)包括一個可密閉的加熱間，加熱間內(nèi)設(shè)置有紅外線加熱管和用于恒定溫度的溫度感應(yīng)器，所述噴涂系統(tǒng)包括一個可密閉的涂層間，涂層間內(nèi)設(shè)置有可自動升降的旋轉(zhuǎn)接頭和噴嘴，所述包裝系統(tǒng)由置于石英坩堝上方和側(cè)方的負(fù)壓吸附機(jī)械手組成，所述傳輸系統(tǒng)包括作為動力源的伺服電機(jī)、鏈輪、鏈條和傳送帶，所述鏈輪與鏈條連接，傳送帶安裝在鏈條上。本實用新型設(shè)備可以有效的對石英坩堝進(jìn)行加熱，涂層并包裝入庫，大大節(jié)省了人工，提高工作效率，也有效的解決了坩堝涂層粉末粘結(jié)不牢的問題。
文檔編號B65B63/00GK202144478SQ20112015355
公開日2012年2月15日 申請日期2011年9月16日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月16日
發(fā)明者邵天聰, 金軍 申請人:江蘇華爾光電材料股份有限公司