本發(fā)明涉及光刻機(jī)真空設(shè)備領(lǐng)域，尤其是一種光刻機(jī)真空設(shè)備故障監(jiān)測(cè)方法及系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、現(xiàn)有的光刻機(jī)，通常采用真空吸盤吸取圓片進(jìn)行圓片的光刻，通過(guò)真空設(shè)備提供真空吸盤所需的真空吸力。一旦真空設(shè)備出現(xiàn)問(wèn)題，則會(huì)導(dǎo)致真空吸盤吸取力下降，導(dǎo)致圓片在光刻過(guò)程中廢片率的提高。

2、現(xiàn)有的真空設(shè)備中，一般通過(guò)監(jiān)測(cè)真空傳感器的真空讀數(shù)，當(dāng)真空讀數(shù)低于閾值時(shí)進(jìn)行報(bào)警。但僅憑真空讀數(shù)難以發(fā)現(xiàn)真空設(shè)備中存在的問(wèn)題，無(wú)法對(duì)真空設(shè)備中潛在故障起到預(yù)警作用。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足而提出一種光刻機(jī)真空設(shè)備故障監(jiān)測(cè)方法及系統(tǒng)，以解決現(xiàn)有技術(shù)中依靠真空傳感器的真空讀數(shù)判斷真空設(shè)備是否正常而存在的弊端。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)目標(biāo)，本發(fā)明提出的一種光刻機(jī)真空設(shè)備故障監(jiān)測(cè)方法，包括以下步驟：

3、s100，獲取真空泵的啟動(dòng)或停止的啟停狀態(tài)信息；

4、s200，獲取電磁閥的啟動(dòng)或停止的啟停狀態(tài)信息；

5、s300，獲取真空傳感器的狀態(tài)信息；

6、s400，根據(jù)真空泵、電磁閥和真空傳感器中至少兩者的狀態(tài)信息，判斷真空設(shè)備是否存在異常。

7、作為優(yōu)選，所述s400中，判斷所述真空泵和所述電磁閥啟停狀態(tài)的一致性，當(dāng)所述真空泵和所述電磁閥的啟停狀態(tài)一致時(shí)，等待z1時(shí)間后返回所述s100，當(dāng)所述真空泵和所述電磁閥的啟停狀態(tài)不一致時(shí)，判斷所述真空泵和所述電磁閥其中一者出現(xiàn)異常，進(jìn)行報(bào)警并顯示所述真空泵和所述電磁閥其中處于停止?fàn)顟B(tài)的一者的異常狀態(tài)，同時(shí)急停光刻機(jī)。

8、作為優(yōu)選，所述s100中，當(dāng)所述真空泵啟動(dòng)時(shí)，記錄當(dāng)前所述真空泵啟動(dòng)時(shí)間信息t1；

9、所述s200中，當(dāng)所述電磁閥啟動(dòng)時(shí)，記錄當(dāng)前所述電磁閥啟動(dòng)時(shí)間信息t2；

10、所述s200包括s210；

11、所述s210中，獲取所述電磁閥和所述真空泵啟動(dòng)時(shí)間差t3，t3＝t2-t1，并進(jìn)入所述s400；所述s400中，還比較所述t3和預(yù)設(shè)時(shí)間差閾值t0的值的大小，當(dāng)t3≤t0時(shí)，等待z2時(shí)間后返回所述s100，所述s400還包括s470，當(dāng)t3>t0時(shí)，進(jìn)入所述s470；

12、s470，進(jìn)行報(bào)警并顯示電磁閥異常狀態(tài)，等待z3時(shí)間后返回s100。

13、作為優(yōu)選，所述s400中，還記錄所述電磁閥前m次啟動(dòng)時(shí)間信息中最大值tmax和平均值tavg，根據(jù)tmax或tavg生成所述t0。

14、作為優(yōu)選，所述s400中，還比較所述t3和預(yù)設(shè)急停時(shí)間tx的值的大小，tx>t0，當(dāng)t3≤tx時(shí)，等待z4時(shí)間后返回所述s100，所述s400還包括s480，當(dāng)t3>tx時(shí)，進(jìn)入所述s480；

15、s480，進(jìn)行報(bào)警并顯示電磁閥異常狀態(tài)，同時(shí)急停光刻機(jī)。

16、作為優(yōu)選，所述s400中，判斷所述真空泵和所述電磁閥啟停狀態(tài)的一致性，當(dāng)所述真空泵和所述電磁閥的啟停狀態(tài)一致時(shí)，等待z5時(shí)間后返回所述s100，

17、當(dāng)所述真空泵為停止?fàn)顟B(tài)、所述電磁閥為啟動(dòng)狀態(tài)時(shí)，將故障信息er數(shù)值+1，同時(shí)進(jìn)行報(bào)警并顯示所述真空泵的異常狀態(tài)，當(dāng)er<c時(shí)等待z6時(shí)間后返回所述s100，當(dāng)er≥c時(shí)，則進(jìn)行報(bào)警并顯示真空泵異常狀態(tài)，同時(shí)急停光刻機(jī)、清零er值。

18、作為優(yōu)選，所述s300中，獲取所述真空傳感器的真空讀數(shù)信息p1；

19、所述s400中，判斷所述真空泵和所述電磁閥是否均為開(kāi)啟狀態(tài)，所述s400還包括s410、s450和s470，當(dāng)所述真空泵和所述電磁閥均為開(kāi)啟狀態(tài)，進(jìn)入所述s410，當(dāng)所述真空泵和所述電磁閥均為停止?fàn)顟B(tài)時(shí)，進(jìn)入所述s450；

20、s410，將th時(shí)間內(nèi)獲取所述真空傳感器的真空讀數(shù)信息和時(shí)間信息的序號(hào)依次+1，記錄當(dāng)前獲取的真空讀數(shù)信息p并記為p1以及記錄當(dāng)前獲取的所述真空傳感器的真空讀數(shù)的時(shí)間信息ta并記為ta1，根據(jù)th時(shí)間內(nèi)記錄的多個(gè)真空讀數(shù)信息p和多個(gè)時(shí)間信息ta，判斷真空設(shè)備是否正常，正常則等待z7時(shí)間后返回s100，不正常則進(jìn)入所述s470；

21、s450，清除記錄的真空讀數(shù)信息p和時(shí)間信息ta，等待z8時(shí)間后返回s100；

22、s470，進(jìn)行報(bào)警并顯示故障信息，等待z9時(shí)間后返回s100。

23、作為優(yōu)選，所述s400還包括s480；

24、所述s410中，當(dāng)所述時(shí)間信息ta的序號(hào)達(dá)到b時(shí)，比較p1和預(yù)設(shè)真空讀數(shù)閾值p0的值的大小，當(dāng)p1>p0時(shí)，進(jìn)入所述s480，當(dāng)p1<p0時(shí)，等待z10時(shí)間后返回所述s100；

25、s480，進(jìn)行報(bào)警并顯示異常狀態(tài)，同時(shí)急停光刻機(jī)。

26、作為優(yōu)選，所述s300中，獲取所述真空傳感器的電阻信息r；

27、所述s400中，判斷所述真空泵和所述電磁閥是否均為開(kāi)啟狀態(tài)，當(dāng)所述真空泵和所述電磁閥均為開(kāi)啟狀態(tài)，根據(jù)電阻信息r判斷所述真空傳感器是否正常，正常則進(jìn)入所述s410，不正常則進(jìn)入所述s470。

28、本發(fā)明還提出光刻機(jī)真空設(shè)備故障監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，采用上述任一項(xiàng)技術(shù)方案所述的光刻機(jī)真空設(shè)備故障監(jiān)測(cè)方法，所述故障監(jiān)測(cè)系統(tǒng)包括第一監(jiān)測(cè)模塊、第二監(jiān)測(cè)模塊、第三監(jiān)測(cè)模塊和判斷處理模塊，所述第一監(jiān)測(cè)模塊用于獲取所述真空泵的狀態(tài)信息，所述第二監(jiān)測(cè)模塊用于獲取所述電磁閥的狀態(tài)信息，所述第三監(jiān)測(cè)模塊用于獲取所述真空傳感器的狀態(tài)信息，所述判斷處理模塊根據(jù)所述真空泵、所述電磁閥和所述真空傳感器中至少兩者的狀態(tài)信息，判斷真空設(shè)備是否存在異常。

29、采用上述技術(shù)方案后，本發(fā)明具有如下有益效果。

30、1、本發(fā)明提出的一種光刻機(jī)真空設(shè)備故障監(jiān)測(cè)方法，通過(guò)獲取真空泵的啟動(dòng)或停止的啟停狀態(tài)信息、電磁閥的啟動(dòng)或停止的啟停狀態(tài)信息以及真空傳感器的狀態(tài)信息，并基于真空泵、電磁閥和真空傳感器之間狀態(tài)信息的相互關(guān)聯(lián)性，能夠較快、較準(zhǔn)確的提前定位真空設(shè)備中存在的潛在故障，便于維護(hù)人員及時(shí)發(fā)現(xiàn)潛在的故障隱患并進(jìn)行相應(yīng)處理，避免了故障突發(fā)導(dǎo)致生產(chǎn)的停滯。

31、2、真空泵和電磁閥啟停狀態(tài)的不一致意味著，真空泵或電磁閥的其中一者出現(xiàn)故障或老化問(wèn)題，此時(shí)真空管道中真空狀態(tài)會(huì)逐漸下降，但還未降至真空傳感器的報(bào)警閾值時(shí)，真空設(shè)備并不會(huì)急停光刻機(jī)。但此時(shí)，真空吸盤的吸取力已經(jīng)有所下降，當(dāng)正好有圓片在進(jìn)行曝光時(shí)，由于此時(shí)真空吸盤需要帶動(dòng)圓片運(yùn)動(dòng)，此時(shí)圓片在運(yùn)動(dòng)過(guò)程中有可能與真空吸盤之間出現(xiàn)輕微的位移，導(dǎo)致圓片的廢片率提高，根據(jù)真空泵和電磁閥啟停狀態(tài)的一致性，判斷真空泵和電磁閥其中一者是否出現(xiàn)異常，可以在真空傳感器報(bào)警之前就提前報(bào)警，加快了報(bào)警速度，減少或避免廢片的產(chǎn)生，當(dāng)真空泵和電磁閥其中一者出現(xiàn)異常無(wú)法工作時(shí)，報(bào)警并急停光刻機(jī)，從而可減少或避免圓片出現(xiàn)廢片，同時(shí)，顯示真空泵和電磁閥其中處于停止?fàn)顟B(tài)的一者的異常狀態(tài)，便于維護(hù)人員快速定位故障問(wèn)題，從而為維護(hù)人員快速恢復(fù)產(chǎn)線提供幫助。

32、3、電磁閥的故障或老化可能導(dǎo)致電磁閥的吸合時(shí)間變長(zhǎng)，或電磁閥吸合能力不佳，電磁閥的這種故障或老化問(wèn)題，也能被很好的預(yù)警。電磁閥的老化會(huì)導(dǎo)致電磁閥吸合變慢，但此時(shí)電磁閥還可以工作，此時(shí)急停光刻機(jī)會(huì)耽誤生產(chǎn)，造成不必要的經(jīng)濟(jì)損失，因此，根據(jù)真空泵和電磁閥的啟動(dòng)時(shí)間差判斷電磁閥是否出現(xiàn)異常，且判斷異常時(shí)只顯示故障問(wèn)題而不急停光刻機(jī)，方便維護(hù)人員了解真空設(shè)備目前的潛在問(wèn)題，也方便維護(hù)人員根據(jù)生產(chǎn)安排制定維護(hù)計(jì)劃，保證生產(chǎn)進(jìn)度。

33、4、根據(jù)電磁閥前m次的啟動(dòng)信息，生成預(yù)設(shè)時(shí)間差閾值，能夠在真空設(shè)備剛剛投入使用，或更換了真空設(shè)備中的電磁閥后，對(duì)于電磁閥啟動(dòng)時(shí)間進(jìn)行校準(zhǔn)，從而在電磁閥出現(xiàn)潛在故障時(shí)能夠及時(shí)和準(zhǔn)確的發(fā)現(xiàn)問(wèn)題，避免對(duì)于故障問(wèn)題的錯(cuò)誤判斷。

34、5、通過(guò)設(shè)置一個(gè)較長(zhǎng)時(shí)間的預(yù)設(shè)急停時(shí)間，從而確保在電磁閥出現(xiàn)故障時(shí)能夠及時(shí)發(fā)現(xiàn)并急停光刻機(jī)，從而減少或避免經(jīng)濟(jì)損失。

35、6、由于真空泵的故障或老化可能導(dǎo)致真空泵間歇性工作，通過(guò)對(duì)于真空泵故障信息的監(jiān)測(cè)，當(dāng)真空泵出現(xiàn)間歇性工作時(shí)，能夠被很好的預(yù)警，并提醒維護(hù)人員真空泵出現(xiàn)故障，便于維護(hù)人員定位故障問(wèn)題；同時(shí)，在真空泵頻繁出現(xiàn)間歇性工作時(shí)，急停光刻機(jī)，從而減少或避免經(jīng)濟(jì)損失。

36、7、通過(guò)獲取真空傳感器在多個(gè)時(shí)間上的真空讀數(shù)信息，從而預(yù)期真空設(shè)備在一定時(shí)間后能夠達(dá)到的預(yù)期真空數(shù)值，根據(jù)預(yù)期真空數(shù)值是否達(dá)到預(yù)設(shè)真空閾值，從而判斷真空設(shè)備是否正常，從而可以較短時(shí)間內(nèi)對(duì)于真空設(shè)備進(jìn)行判斷，對(duì)于真空設(shè)備中存在的故障隱患(例如真空管道漏氣)做出判斷，有利于維護(hù)人員有針對(duì)性的對(duì)于真空設(shè)備進(jìn)行檢測(cè)。

37、8、當(dāng)真空傳感器在真空設(shè)備工作一定時(shí)間內(nèi)也沒(méi)有達(dá)到真空讀數(shù)閾值時(shí)，報(bào)警并急停光刻機(jī)，減少或避免因真空吸盤吸力不足而導(dǎo)致的經(jīng)濟(jì)損失，同時(shí)，一個(gè)周期內(nèi)的真空讀數(shù)信息和時(shí)間信息得以保留，維護(hù)人員讀取相應(yīng)數(shù)據(jù)后便于對(duì)故障問(wèn)題做出判斷。

38、9、由于真空傳感器的量程限制，未達(dá)到其測(cè)量量程時(shí)真空傳感器無(wú)法讀數(shù)，因此在真空設(shè)備剛剛開(kāi)始的一段時(shí)間內(nèi)，真空傳感器可能無(wú)法讀取相應(yīng)數(shù)值，真空傳感器沒(méi)有讀數(shù)無(wú)法作為判斷其是否正常的依據(jù)，但真空傳感器工作時(shí)具有一定的電阻，但真空傳感器損壞時(shí)，通常是內(nèi)部短路或斷路，因此當(dāng)測(cè)量得到真空傳感器的電阻為0或∞，可以判斷真空傳感器已經(jīng)損壞，從而大大提升對(duì)于真空傳感器損壞故障的發(fā)現(xiàn)時(shí)間，有利于維護(hù)人員快速定位故障問(wèn)題和快速解決故障。

39、本發(fā)明還提出光刻機(jī)真空設(shè)備故障監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，采用如上述技術(shù)方案中任一項(xiàng)所述的光刻機(jī)真空設(shè)備故障監(jiān)測(cè)方法，故該光刻機(jī)真空設(shè)備故障監(jiān)測(cè)系統(tǒng)具有上述技術(shù)方案所有的技術(shù)效果。

40、本發(fā)明的這些特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)將會(huì)在下面的具體實(shí)施方式、附圖中詳細(xì)的揭露。