專利名稱：一種新型顯影噴淋機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及噴液顯影領(lǐng)域，尤其是涉及一種顯影噴淋機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
采用電鑄或蝕刻工藝制作印刷線路掩模板的前期工作一般涉及到以下工序:即基板貼干膜一曝光一顯影。一般掩模板開口要求孔壁光滑，尺寸精密，只有保證開口，掩模板才能在使用中有很好的印刷效果。高精密掩模板的制作要求在掩膜板制作過程中每一個環(huán)節(jié)都能做到較高精度，其中在顯影環(huán)節(jié)中顯影的質(zhì)量對后續(xù)工序的影響非常大，因此在顯影過程中要求顯影機(jī)的顯影能力均勻穩(wěn)定。傳統(tǒng)顯影機(jī)噴淋裝置的上噴管陣列由若干相互平行且等間距排列的上噴管構(gòu)成，噴管橫截面與顯影機(jī)的傳送方向平行且垂直于傳送面，上噴管上等間距設(shè)置有等間距排布的多個噴嘴，所有噴嘴構(gòu)成一個方形噴淋區(qū)，需要顯影的基板沿顯影機(jī)傳送方向進(jìn)入方形噴淋區(qū)域，由于“水池效應(yīng)”等效應(yīng)的存在，基板兩側(cè)區(qū)域的顯影速度相對中間區(qū)域顯影速度更快。這種顯影方式易造成基板兩側(cè)區(qū)域與中間區(qū)域的顯影不均勻，特別是在基板的上表面，由此會造成操作人員不易把握顯影點，從而導(dǎo)致基板上干膜顯影不足或顯影過度，影響最終產(chǎn)品質(zhì)量。因此，業(yè)界需要設(shè)計出更合理的顯影噴淋裝置。

實用新型內(nèi)容本實用新型旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。為此，本實用新型的一個目的在于提出一種新型顯影噴淋機(jī)構(gòu)，所述新型顯影噴淋機(jī)構(gòu)可有效降低“水池效應(yīng)”影響，使顯影效果更加均勻，便于操作員對顯影點的把握，從而制備結(jié)構(gòu)要求更加精密的掩膜板產(chǎn)品。根據(jù)實用新型實施例的一種新型顯影噴淋機(jī)構(gòu)，包括:由多種噴嘴排列結(jié)構(gòu)不同的且相互平行規(guī)則排列的上噴管組成的上噴管陣列和噴嘴。噴液通過外界設(shè)備輸入上噴管組成的上噴管陣列，并通過噴嘴向下噴出顯影液，由于上噴管陣列由多種相互平行且規(guī)則排布的上噴管組成而組成上噴管陣列的上噴管上的噴嘴也排列規(guī)則，使噴嘴噴出的顯影液形成的覆蓋區(qū)域的顯影液流速及濃度都不相同，由此，可有效降低“水池效應(yīng)”影響，使顯影效果更加均勻，制備更精密的掩膜板產(chǎn)品。優(yōu)選地，所述上噴管陣列由兩種所述噴嘴排列結(jié)構(gòu)不同且等間距相間排布的上噴管組成。另外，根據(jù)本實用新型的新型顯影噴淋機(jī)構(gòu)還具有如下附加技術(shù)特征:所述上噴管橫截面平行顯影傳送方向且垂直于顯影傳送面。所述噴嘴向下并垂直傳送平面且數(shù)量至少I個。由此，可以保證噴嘴噴出的顯影液能夠直接垂直的噴淋到待顯影的基板。所述噴嘴為中間噴嘴分布密度大于兩側(cè)噴嘴分布密度，且兩側(cè)噴嘴的位置對稱規(guī)貝_布。[0013]優(yōu)選地，所述噴嘴由中間往兩側(cè)的相鄰噴嘴間距值構(gòu)成等差數(shù)列。由此，可以增加上噴管陣列中部的噴淋量，降低上噴管陣列邊緣的噴淋量，有效地降低噴淋過程中產(chǎn)生的“水池效應(yīng)”。所述噴嘴在不同結(jié)構(gòu)上噴管上的位置在顯影傳送方向上相互錯開。由此，使噴嘴在顯影傳送方向上的顯影液噴淋覆蓋區(qū)域更加均勻，可以進(jìn)一步降低噴淋過程中產(chǎn)生的“水池效應(yīng)”。所述噴嘴的噴液形狀為實心錐體、虛心椎體或扇面形狀，且所述噴嘴噴出噴液存
在重合區(qū)域。由此，可以避免噴嘴噴淋區(qū)域出現(xiàn)非重合區(qū)域，避免出現(xiàn)噴淋區(qū)域顯影液覆蓋不均勻的可能。所述新型顯影噴淋機(jī)構(gòu)還包括支撐部件。本實用新型的附加方面和優(yōu)點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本實用新型的實踐了解到。

本實用新型的上述和/或附加的方面和優(yōu)點從結(jié)合下面附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中:圖1為一種傳統(tǒng)顯影機(jī)上噴管陣列排布示意圖；圖2為根據(jù)本實用新型的一個實施例的上噴管陣列排布示意圖；圖3為根據(jù)本實用新型的另一實施例的上噴管陣列排布示意圖；圖4是圖3所示的新型顯影噴淋機(jī)構(gòu)的k—λ'方向示意圖；圖5是圖3所不新型顯影噴淋機(jī)構(gòu)正面A —K'方向不意圖和圖6是圖3所示的新型顯影噴淋機(jī)構(gòu)的噴管噴液時的示意圖。
具體實施方式
下面詳細(xì)描述本實用新型的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，僅用于解釋本實用新型，而不能理解為對本實用新型的限制。在本實用新型的描述中，需要理解的是，術(shù)語“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等
指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。在本實用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，一體地連接，也可以是可拆卸連接；可以是兩個元件內(nèi)部的連通；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本實用新型中的具體含義。下面參考圖1-圖3描述根據(jù)本實用新型的一種新型顯影噴淋機(jī)構(gòu)，下面以新型顯影噴淋機(jī)構(gòu)由兩種噴嘴排列不同的上噴管組成為例進(jìn)行說明。當(dāng)然，本實用新型并不限于此，例如，根據(jù)本實用新型的新型顯影噴淋機(jī)構(gòu)也可以由三種噴嘴排列不同的上噴管組成。根據(jù)本實用新型的新型顯影噴淋機(jī)構(gòu)(如圖2所示)，包括噴嘴和由噴嘴排列結(jié)構(gòu)不同的且相互平行規(guī)則排列的上噴管組成的上噴管陣列。如圖1所示為傳統(tǒng)顯影機(jī)顯影室內(nèi)的上噴管陣列排布示意圖，由噴嘴排列完全相同的上噴管組成，此種排列結(jié)構(gòu)存在較為嚴(yán)重的“水池效應(yīng)”。作為比較地，圖2所示為本實用新型顯影機(jī)顯影室內(nèi)一種上噴管陣列排布示意圖，由兩種不同結(jié)構(gòu)的上噴管31、上噴管32構(gòu)成，所有上噴管水平排布且相互平行，上噴管31、32的管徑方向與顯影機(jī)的傳送方向相同；上噴管31上有若干個噴嘴31a，上噴管32上有若干個噴嘴32a，所述噴嘴的方向朝下，且按一定的規(guī)律排布。以下是對其作進(jìn)一步的詳細(xì)描述:所述上噴管陣列由兩種不同結(jié)構(gòu)的上噴管構(gòu)成，即圖3所示的上噴管31和上噴管32，所述不同結(jié)構(gòu)的上噴管即在上噴管管壁上有不同排布方式噴嘴的上噴管，即噴嘴31a、32a (如圖4所示)分別在其對應(yīng)的上噴管31、32上分散的位置不同，具體表現(xiàn)為:在顯影機(jī)傳送方向上，噴管31上的噴嘴31a與噴管32上的噴嘴32a相互錯開，不重疊；以上所述上噴管陣列的所有上噴管(包括上噴管31和上噴管32)相互之間為等間距交替排列。在本實用新型的一個實施例中，每根上噴管(包括上噴管31、上噴管32)上的噴嘴排布規(guī)律為中間噴嘴分布密度大于兩側(cè)噴嘴分布密度，且兩側(cè)噴嘴的位置對稱。在本實用新型的一個實施例中，圖4所示(即沿圖3中A— 方向)，噴嘴31a由中間往兩側(cè)的間距逐漸增大，即L1〈L2〈L3。優(yōu)選地，由中間往兩側(cè)的相鄰噴嘴31a的間距值構(gòu)成等差數(shù)列，即L3_L2=L2_L1。在本實用新型的一個實施例中，如圖5所示，上噴管32上噴嘴32a的排布規(guī)律與上噴管31上噴嘴31a的排布規(guī)律類似，不同點如前所述，即在顯影機(jī)傳送方向上，噴管31上的噴嘴31a與噴管32上的噴嘴32a相互錯開，不重疊。顯影機(jī)工作時，基板沿圖3所示顯影機(jī)傳送方向水平進(jìn)板，上噴管31、32管壁上噴嘴31a、32a往下噴淋顯影液，上噴管陣列下方形成一個噴淋顯影區(qū)域，噴嘴31a、32a的噴液形狀為扇面結(jié)構(gòu)。如圖6所示,噴嘴31a噴淋出的顯影液構(gòu)成扇面61，所述扇面61垂直于圖3所示顯影機(jī)傳送方向，上噴管31的兩側(cè)噴嘴31a噴出溶液形成的扇面兩側(cè)邊62、63的夾角相對于中間位置噴嘴噴出溶液形成的扇面兩側(cè)邊62、63的夾角有逐步增大的趨勢，即如圖6所示Θ 1〈 Θ 2〈 Θ 3〈 Θ 4，上噴管31上的噴嘴31a噴出的扇面結(jié)構(gòu)溶液相互之間有一定的重合區(qū)域。上噴管32的噴嘴噴液效果與上噴管31的噴液效果類似。顯影機(jī)工作時，以上設(shè)計可以有效的降低“水池效應(yīng)”的影響，且兩種不同類型的噴管噴淋效果互補(bǔ)，可以更好的實現(xiàn)顯影的均勻性。在本說明書的描述中，參考術(shù)語“一個實施例”、“一些實施例”、“示意性實施例”、“示例”、“具體示例”、或“一些示例”等的描述意指結(jié)合該實施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點包含于本實用新型的至少一個實施例或示例中。在本說明書中，對上述術(shù)語的示意性表述不一定指的是相同的實施例或示例。而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點可以在任何的一個或多個實施例或示例中以合適的方式結(jié)合。盡管已經(jīng)示出和描述了本實用新型的實施例，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以理解:在不脫離本實用新型的原理和宗旨的情況下可以對這些實施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型，本實用新型的范圍由權(quán)利要求及其等同物限定。
權(quán)利要求1.一種新型顯影噴淋機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括: 噴嘴和由噴嘴排列結(jié)構(gòu)不同的且相互平行規(guī)則排列的上噴管組成的上噴管陣列。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型顯影噴淋機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述上噴管陣列由兩種或兩種以上所述噴嘴排列結(jié)構(gòu)不同且等間距相間排布的上噴管組成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型顯影噴淋機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述上噴管橫截面平行顯影傳送方向且垂直于顯影傳送面。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型顯影噴淋機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述噴嘴向下并垂直傳送平面且數(shù)量至少I個。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型顯影噴淋機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述噴嘴為中間噴嘴分布密度大于兩側(cè)噴嘴分布密度，且兩側(cè)噴嘴的位置對稱規(guī)則排布。
6.根據(jù)權(quán)利要求6所述的新型顯影噴淋機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述噴嘴由中間往兩側(cè)的相鄰噴嘴間距值構(gòu)成等差數(shù)列。
7.根據(jù)權(quán)利要求7所述的新型顯影噴淋機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述噴嘴在不同結(jié)構(gòu)上噴管上的位置在顯影傳送方向上相互錯開。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型顯影噴淋機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述噴嘴的噴液形狀為實心錐體、虛心椎體或扇面形狀，且所述噴嘴噴出噴液存在重合區(qū)域。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型顯影噴淋機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述新型顯影噴淋機(jī)構(gòu)還包括支撐部件。
專利摘要本實用新型公開了一種新型顯影噴淋機(jī)構(gòu)，包括至少為二種噴嘴排列結(jié)構(gòu)不同且相互平行的多個上噴管組成的上噴管陣列，所述上噴管橫截面平行顯影傳送方向且垂直于顯影傳送面；固定安裝在上噴管上且垂直傳送平面按規(guī)則排布的至少1個及以上的噴嘴；和支撐部件。根據(jù)本實用新型的新型顯影噴淋機(jī)構(gòu)，可以有效改善“水池效應(yīng)”影響，使得顯影效果更加均勻，便于操作員對顯影點的把握，可以制備結(jié)構(gòu)要求更加精密的掩膜板產(chǎn)品。
文檔編號B05B13/02GK202995257SQ20122059259
公開日2013年6月12日 申請日期2012年11月12日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月12日
發(fā)明者魏志凌, 高小平, 潘世珎, 張煒平 申請人:昆山允升吉光電科技有限公司