專利名稱:顯影噴涂設(shè)備及噴涂方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及顯示面板制造領(lǐng)域,尤其設(shè)計(jì)ー種顯影噴涂設(shè)備及噴涂方法。
背景技術(shù):
在薄膜晶體管液晶顯示器的制備エ藝中,通常采用半曝光的方式對光刻膠進(jìn)行曝光,然后經(jīng)過顯影和刻蝕,最終在防靜電區(qū)和像素區(qū)形成TFT (薄膜場效應(yīng)晶體管)的源扱、漏極和溝道。在整個(gè)Panel(面板)的布局中,像素區(qū)的走線較為稀疏,而扇出區(qū)(Fanout區(qū))和Pad區(qū)的走線很稠密,顯影時(shí)扇出區(qū)(Fanout區(qū))和數(shù)據(jù)端子區(qū)(Pad區(qū))要顯影掉的光刻膠比像素區(qū)要少的多。如圖1所示,在噴涂顯影液時(shí),顯影液是垂直噴下,在玻璃基板前進(jìn)過程中,顯影液相對玻璃基板基本是靜止的,所以就導(dǎo)致扇出區(qū)(Fanout區(qū))和數(shù)據(jù)端子區(qū)(Pad區(qū))附近的顯影液濃度較像素區(qū)要高ー些,這些區(qū)域附近的防靜電區(qū)TFT和像素TFT上方涂布的光刻膠容易被過顯影,導(dǎo)致溝道中光刻膠厚度偏薄或者斷開,刻蝕后導(dǎo)致TFT的開關(guān)特性喪失。同時(shí),位于Fanout區(qū)和Pad區(qū)的信號線的線寬均一性也會受顯影濃度的影響而與像素區(qū)有差異。
發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明提供ー種顯影噴涂設(shè)備及噴涂方法,使基板不同區(qū)域的顯影液濃度趨向均一。本發(fā)明一方面提供ー種顯影噴涂設(shè)備,用于為基板噴涂顯影液,包括至少ー個(gè)第一噴頭,用于沿第一方向朝所述基板噴涂顯影液;至少ー個(gè)第二噴頭,用于沿第二方向朝所述基板噴涂顯影液,其中所述第一方向與所述第二方向不同。優(yōu)選地,上述所述的顯影噴涂設(shè)備,所述第一方向與所述第二方向之間的夾角小于90度。優(yōu)選地,上述所述的顯影噴涂設(shè)備,所述基板相對于所述第一噴頭和所述第二噴頭朝第三方向移動,所述第一方向相對于所述第三方向垂直,所述第二噴頭沿所述第三方向設(shè)置于所述第一噴頭的ー側(cè)。優(yōu)選地,上述所述的顯影噴涂設(shè)備,所述第一方向垂直于所述基板,所述第三方向平行于所述基板。優(yōu)選地,上述所述的顯影噴涂設(shè)備,所述第一噴頭為兩個(gè),兩個(gè)所述第一噴頭相互平行,且兩個(gè)所述第一噴頭噴出顯影液的方向?yàn)樗龅谝环较颉?yōu)選地,上述所述的顯影噴涂設(shè)備,所述第二噴頭相對于所述第一噴頭和所述基板傾斜設(shè)置,且所述第二噴頭的噴嘴方向?yàn)槌龅诙较?。?yōu)選地,上述所述的顯影噴涂設(shè)備,所述第二噴頭平行于所述第一噴頭設(shè)置,且所述第二噴頭的噴嘴方向?yàn)槌龅诙较?。?yōu)選地,上述所述的顯影噴涂設(shè)備,所述第一噴頭和所述第二噴頭的噴涂范圍至少與所述基板的寬度相等。本發(fā)明另一方面還提供ー種使用上述顯影噴涂設(shè)備的噴涂方法,包括步驟至少ー個(gè)第一噴頭沿第一方向朝基板噴涂顯影液,同時(shí)至少ー個(gè)第二噴頭沿第二方向朝所述基板噴涂顯影液。本發(fā)明具體實(shí)施例上述技術(shù)方案中的至少ー個(gè)具有以下有益效果所述顯影噴涂設(shè)備沿不同方向朝玻璃基板噴涂顯影液,相對于現(xiàn)有技術(shù)顯影液相對玻璃基板靜止,本發(fā)明所述顯影噴涂設(shè)備使得顯影液在玻璃基板上具有不同流動方向,增強(qiáng)了顯影液在不同方向上的流動性,從而達(dá)到玻璃基板不同區(qū)域的顯影液濃度均一的效果,避免了扇出區(qū)和Pad區(qū)顯影濃度偏高而導(dǎo)致附近的防靜電區(qū) TFT和像素TFT溝道斷開以及線寬不均一的問題。
圖1表示現(xiàn)有技術(shù)的ー種顯影噴涂方式的示意圖;圖2表示本發(fā)明顯影噴涂的第一種實(shí)施方式示意圖;圖3表示本發(fā)明顯影噴涂的第二種實(shí)施方式示意圖;圖4表示本發(fā)明顯影噴涂的第二種實(shí)施方式中第二噴頭結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚,下面將結(jié)合附圖及具體實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)描述。本發(fā)明提供ー種顯影噴涂設(shè)備,用于為基板噴涂顯影液,包括至少ー個(gè)第一噴頭,用于沿第一方向朝所述基板噴涂顯影液;至少ー個(gè)第二噴頭,用于沿第二方向朝所述基板噴涂顯影液,其中所述第一方向與所述第二方向不同。通過本發(fā)明具體實(shí)施例所述顯影噴涂設(shè)備,沿不同方向朝基板噴涂顯影液,相對于現(xiàn)有技術(shù)顯影液相對基板靜止,本發(fā)明所述顯影噴涂設(shè)備使得顯影液在基板上具有不同流動方向,從而達(dá)到基板不同區(qū)域的顯影液濃度均一的效果。優(yōu)選地,所述第一方向與所述第二方向之間的夾角小于90度,且所述基板相對于所述第一噴頭和所述第二噴頭朝第三方向移動,所述第一方向相對于所述第三方向垂直。優(yōu)選地,所述第一方向垂直于所述基板,所述第三方向平行于所述基板,通常所述第三方向?yàn)樗?,也即基板沿水平方向移動,所述第一噴頭垂直于所述基板噴涂顯影液,所述第二噴頭沿相對于豎直方向傾斜的方向噴涂顯影液。采用本發(fā)明的具體實(shí)施例,在現(xiàn)有技術(shù)的第一噴頭的基礎(chǔ)上再增加ー個(gè)或多個(gè)第ニ噴頭,從第二噴頭中噴出的顯影液以第二方向噴向基板,其中第二方向與第一方向不同,也即非垂直狀態(tài),使得顯影液在第二噴頭的作用下,能夠在基板上沿垂直第三方向上的方向上有分量。這樣顯影液増加了在這個(gè)方向上的流動性,使基板不同區(qū)域的顯影液濃度趨向均一,避免了扇出區(qū)和Pad區(qū)顯影濃度偏高而導(dǎo)致附近的防靜電區(qū)TFT和像素區(qū)TFT溝道斷開以及線寬不均一。具體地,所述第一噴頭可以為兩個(gè),所述第二噴頭沿所述第三方向設(shè)置于所述第一噴頭的ー側(cè)。如此設(shè)計(jì),在基板沿第三方向運(yùn)動時(shí),第一噴頭沿第一方向所噴出顯影液首先到達(dá)基板的第一區(qū)域,隨著基板沿第三方向繼續(xù)運(yùn)動,第二噴頭沿第二方向所噴出顯影液又到達(dá)基板的該第一區(qū)域,使得該第一區(qū)域的顯影液濃度更加均勻。以下將以第一噴頭為兩個(gè)且基板為玻璃基板為例對本發(fā)明具體實(shí)施例所述顯影噴涂設(shè)備的結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)描述。其中,所述第一方向?yàn)榇怪辈AЩ?,所述第三方向?yàn)槠叫胁AЩ澹布床AЩ逖厮椒较蛞苿?,所述第一噴頭垂直于所述玻璃基板噴涂顯影液,所述第二噴頭沿相對于豎直方向傾斜的方向噴涂顯影液。其中以下第一噴頭和第二噴頭的兩種擺放方式均可以達(dá)到使第一噴頭沿第一方向朝玻璃基板噴涂顯影液,第二噴頭沿第二方向噴涂顯影液的技術(shù)效果1、包括兩個(gè)相互平行的第一噴頭,第二噴頭相對于 所述第一噴頭傾斜;2、包括兩個(gè)相互平行的第一噴頭,第二噴頭相對于第一噴頭也平行。第一種具體實(shí)施方式
如圖2所不,兩個(gè)第一噴頭21、22互相平行,且放置在朝第三方向3運(yùn)動的玻璃基板11上方的設(shè)定位置,第一噴頭21、22的噴嘴以第一方向垂直朝向玻璃基板11表面進(jìn)行噴涂。第二噴頭23沿第三方向3設(shè)置于第一噴頭21、22的ー側(cè)。第二噴頭23與第一噴頭21、22不平行擺放,且第二噴頭23相對于玻璃基板11傾斜放置,這樣第二噴頭23的噴嘴沿第二方向噴涂,顯影液通過噴嘴流下時(shí)就會與玻璃基板11有ー個(gè)夾角,這個(gè)第二方向在玻璃基板11上、垂直于第三方向3的方向上有ー個(gè)分量,可帶動顯影液在玻璃基板11上沿垂直于第三方向3的方向上運(yùn)動,會在這個(gè)方向上再涂ー層顯影液,以增加顯影液濃度的均一性,避免了扇出區(qū)12和Pad區(qū)顯影濃度偏高。為了增強(qiáng)顯影液濃度的均一性,可以再增加ー個(gè)或多個(gè)第二噴頭23,第二噴頭23的擺放方式如上所述。較佳地,兩個(gè)第一噴頭21、22和第二噴頭23的噴涂范圍,至少與玻璃基板11短邊的寬度相等。第一噴頭21、22和第二噴頭23在噴涂時(shí),均不會發(fā)生玻璃基板11某一位置漏噴的現(xiàn)象,保證了顯影液濃度的均一性。工作時(shí),玻璃基板11沿第三方向3運(yùn)動,玻璃基板11放置時(shí),短邊平行于第一噴頭,玻璃基板11先經(jīng)過第一噴頭21、22沿第一方向的噴涂作用,繼續(xù)沿第三方向3運(yùn)動,第ニ噴頭23再沿第二方向?qū)ΣAЩ?1進(jìn)行噴涂。這種設(shè)計(jì),不僅僅適用于一般的Array產(chǎn)線中的顯影設(shè)備,也適用于彩膜產(chǎn)線中的顯影設(shè)備,且對于不用世代的顯影裝置的噴涂,本發(fā)明同樣適用。本發(fā)明第二種具體實(shí)施方式
如圖3和4所示,其中第一噴頭21、22互相平行,且放置在朝第三方向3運(yùn)動的玻璃基板11上方的設(shè)定位置,第一噴頭21、22的噴嘴以第一方向垂直朝向玻璃基板11表面進(jìn)行噴涂。第二噴頭23沿第三方向3設(shè)置于第一噴頭21、22的ー側(cè)。第二噴頭23與第一噴頭21、22平行擺放,且垂直于玻璃基板11。與第一實(shí)施例不同的是,第二噴頭23進(jìn)行了如圖4改造,第二噴頭23的噴嘴不再是垂直噴出顯影液4,而是噴嘴沿第二方向開設(shè),所噴出顯影液4的方向沿第二方向且與豎直方向之間具有相對角度,這樣所噴涂的顯影液4會在玻璃基板11上沿垂直第三方向3的方向上流動,使玻璃基板11不同區(qū)域的顯影液濃度均一。為了增強(qiáng)顯影液4濃度的均一性,可以再增加ー個(gè)或多個(gè)第二噴頭2,增加的第二噴頭2的擺放方式如上所述。實(shí)施方式ニ與方式一中僅為第二噴頭的擺放方式和構(gòu)造不同,其它的工作過程、適用范圍和最終效果如方式一所述,在此不再贅述。本發(fā)明具體實(shí)施例另一方面還提供ー種使用上述顯影噴涂設(shè)備的噴涂方法,包括步驟至少ー個(gè)第一噴頭沿第一方向朝基板噴涂顯影液,同時(shí)至少ー個(gè)第二噴頭,沿第二方向朝所述基板噴涂顯影液。優(yōu)選地,所述第一方向與所述第二方向之間的夾角小于90度,且所述基板相對于所述第一噴頭和所述第二噴頭朝第三方向移動,所述第一方向相對于所述第三方向垂直。優(yōu)選地,所述第一方向垂直于所述基板,所述第三方向平行于所述基板,通常所述第三方向?yàn)樗剑布椿逖厮椒较蛞苿?,所述第一噴頭垂直于所述基板噴涂顯影液,所述第二噴頭沿相對于豎直方向傾斜的方向噴涂顯影液。采用本發(fā)明具體實(shí)施例所述噴涂方法的噴涂設(shè)備的具體結(jié)構(gòu)可以參閱圖2至圖4所示,在此不再贅述。本發(fā)明具體實(shí)施例所述噴涂設(shè)備及噴涂方法,在現(xiàn)有技術(shù)的第一噴頭的基礎(chǔ)上再増加ー個(gè)或多個(gè)第二噴頭,從第二噴頭中噴出的顯影液以第二方向噴向基板,其中第二方向與第一方向不同,也即非垂直狀態(tài),使得顯影液在第二噴頭的作用下,能夠在基板上沿垂直第三方向上的方向上有分量。這樣顯影液増加了在這個(gè)方向上的流動性,使基板不同區(qū)域的顯影液濃度趨向均一,避免了扇出區(qū)和Pad區(qū)顯影濃度偏高而導(dǎo)致附近的防靜電區(qū)TFT和像素區(qū)TFT溝道斷開以及線寬不均一。以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式,應(yīng)當(dāng)指出,對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本發(fā)明原理的前提下,還可以做出若干改進(jìn)和潤飾,這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種顯影噴涂設(shè)備,用于為基板噴涂顯影液,其特征在于,包括 至少一個(gè)第一噴頭,用于沿第一方向朝所述基板噴涂顯影液; 至少一個(gè)第二噴頭,用于沿第二方向朝所述基板噴涂顯影液,其中所述第一方向與所述第二方向不同。
2.如權(quán)利要求1所述的顯影噴涂設(shè)備,其特征在于,所述第一方向與所述第二方向之間的夾角小于90度。
3.如權(quán)利要求1或2所述的顯影噴涂設(shè)備,其特征在于,所述基板相對于所述第一噴頭和所述第二噴頭朝第三方向移動,所述第一方向相對于所述第三方向垂直,所述第二噴頭沿所述第三方向設(shè)置于所述第一噴頭的一側(cè)。
4.如權(quán)利要求3所述的顯影噴涂設(shè)備,其特征在于,所述第一方向垂直于所述基板,所述第三方向平行于所述基板。
5.如權(quán)利要求1所述的顯影噴涂設(shè)備,其特征在于,所述第一噴頭為兩個(gè),兩個(gè)所述第一噴頭相互平行,且兩個(gè)所述第一噴頭噴出顯影液的方向?yàn)樗龅谝环较颉?br>
6.如權(quán)利要求5所述的顯影噴涂設(shè)備,其特征在于,所述第二噴頭相對于所述第一噴頭和所述基板傾斜設(shè)置,且所述第二噴頭的噴嘴方向?yàn)槌龅诙较颉?br>
7.如權(quán)利要求5所述的顯影噴涂設(shè)備,其特征在于,所述第二噴頭平行于所述第一噴頭設(shè)置,且所述第二噴頭的噴嘴方向?yàn)槌龅诙较颉?br>
8.如權(quán)利要求1所述的顯影噴涂設(shè)備,其特征在于,所述第一噴頭和所述第二噴頭的噴涂范圍至少與所述基板的寬度相等。
9.一種使用權(quán)利要求1至8任一項(xiàng)所述顯影噴涂設(shè)備的噴涂方法,其特征在于,包括步驟 至少一個(gè)第一噴頭沿第一方向朝基板噴涂顯影液,同時(shí)至少一個(gè)第二噴頭沿第二方向朝所述基板噴涂顯影液。
全文摘要
本發(fā)明提供一種顯影噴涂設(shè)備及噴涂方法,所述顯影噴涂設(shè)備包括至少一個(gè)第一噴頭,用于沿第一方向朝所述基板噴涂顯影液;至少一個(gè)第二噴頭,用于沿第二方向朝所述基板噴涂顯影液,其中所述第一方向與所述第二方向不同。通過沿不同方向朝基板噴涂顯影液,相對于現(xiàn)有技術(shù)顯影液相對基板靜止,本發(fā)明所述顯影噴涂設(shè)備使得顯影液在基板上具有不同流動方向,從而達(dá)到基板不同區(qū)域的顯影液濃度均一的效果。
文檔編號B05C5/00GK103019047SQ20121052471
公開日2013年4月3日 申請日期2012年12月7日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月7日
發(fā)明者趙海廷, 孫亮, 張治超 申請人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 北京京東方顯示技術(shù)有限公司