專利名稱：液體定量排出方法以及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及將由壓縮氣體源供應(yīng)的壓縮氣體減壓至一定壓力而將液體材料定量地分配/分注的液體定量排出方法以及裝置，例如，涉及通過(guò)使緩沖罐的減壓為最小限度， 能夠?qū)⒁后w材料以高精度分配/分注的液體定量排出方法以及裝置(精密分配器)。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的液體定量排出裝置將由壓縮氣體源供應(yīng)的壓縮氣體減壓至一定壓力而將液體材料分配/分注。但是，這種現(xiàn)有裝置中，分配/分注量的精確度不夠，在將半導(dǎo)體芯片粘接于引線框和印制電路板等的情況下，存在由于排出量的不足而產(chǎn)生芯片偏離等問(wèn)題， 或者由于排出量過(guò)剩的導(dǎo)電性粘接劑而具有產(chǎn)生短路等問(wèn)題。因此，本申請(qǐng)人提出了一種分配器，包括減壓閥，將由壓縮氣體源供應(yīng)的壓縮氣體減壓；附有定時(shí)器的電磁閥，控制所述被減壓的氣體的通過(guò)量；以及分注噴嘴，通過(guò)經(jīng)由所述電磁閥供應(yīng)的上所述氣體，將收容于噴嘴內(nèi)的液體材料定量地分配/分注；通過(guò)利用上述壓縮空氣將收容于分注噴嘴內(nèi)的液體材料的液面進(jìn)行直接加壓，從而使定量的該液體材料排出，上述分配器的特征在于，在從減壓閥至電磁閥的管路的途中設(shè)置有緩沖罐，該緩沖罐儲(chǔ)存具有比所述分注噴嘴的內(nèi)容積大的容積的壓縮氣體(專利文獻(xiàn)1)。此外，提出了一種涂布裝置，通過(guò)從連通于壓縮空氣源的調(diào)節(jié)器將規(guī)定壓力的壓縮空氣通過(guò)排出閥的切換而以規(guī)定的時(shí)間供應(yīng)至噴射器，從而將噴射器內(nèi)的涂布劑經(jīng)由排出噴嘴而涂布于印制電路板，上述涂布裝置的特征在于，設(shè)置有壓力罐，該壓力罐連通于上述調(diào)節(jié)器，并儲(chǔ)存被輸出的壓縮空氣而供應(yīng)至所述排出閥側(cè)(專利文獻(xiàn)2)。上述裝置通過(guò)都設(shè)置緩沖罐(壓力罐)，從而使排出開(kāi)放之后的噴射器內(nèi)部的壓力急劇上升。通過(guò)這些罐的作用，與沒(méi)有緩沖罐構(gòu)成的裝置相比，即使在較短的排出時(shí)間也能夠得到高壓力，因此，能夠在較短時(shí)間得到用于獲得預(yù)期排出量的壓力，并且能夠進(jìn)行高節(jié)拍的排出作業(yè)。現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 日本實(shí)公平2-15588號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本特開(kāi)平9-66251號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
(發(fā)明要解決的問(wèn)題)如上述裝置，通過(guò)設(shè)置緩沖罐，能夠在一定程度上防止電磁閥動(dòng)作時(shí)管路內(nèi)的急劇減壓。但是，在上述裝置中也存在具有在緩沖罐中產(chǎn)生減壓的問(wèn)題。即，由于將壓縮氣體供應(yīng)至液體儲(chǔ)存容器的流路的壓力暫時(shí)降低，影響分配/分注的精度的問(wèn)題沒(méi)有被完全解決。此外，必要的緩沖罐的容積必須是液體儲(chǔ)存容器的容積的例如10倍以上，這已成為妨礙裝置小型化的主要原因。鑒于上述問(wèn)題，本發(fā)明的目的在于提供液體定量排出方法以及裝置，通過(guò)使將壓縮氣體供應(yīng)至液體儲(chǔ)存容器的流路的減壓設(shè)為最小限度，從而與現(xiàn)有裝置相比，能夠以高精度進(jìn)行液體材料的分配/分注。(解決技術(shù)問(wèn)題的技術(shù)方案)發(fā)明人認(rèn)真研究的結(jié)果，發(fā)現(xiàn)通過(guò)使連通緩沖罐與儲(chǔ)存容器的流路的流動(dòng)阻力大于連通緩沖罐與減壓閥的流路的流動(dòng)阻力，從而減少在減壓閥動(dòng)作時(shí)所產(chǎn)生的向液體儲(chǔ)存容器供應(yīng)壓縮氣體的流路的壓力降低，而完成了本發(fā)明的創(chuàng)作。即，本發(fā)明的液體定量排出方法由如下技術(shù)手段構(gòu)成。本發(fā)明第1方面的液體定量排出方法所使用的裝置包括減壓閥，將由壓縮氣體源供應(yīng)的壓縮氣體減壓；排出閥，控制被減壓閥減壓的氣體的通過(guò)量；液體儲(chǔ)存容器，通過(guò)經(jīng)由排出閥供應(yīng)的氣體的擠壓，而從噴嘴將液體排出；以及緩沖罐，配置在減壓閥和排出閥之間，具有比液體儲(chǔ)存容器的容積大的容積；所述液體定量排出方法的特征在于，通過(guò)使連通所述緩沖罐與所述儲(chǔ)存容器的流路的流動(dòng)阻力大于連通所述緩沖罐與所述減壓閥的流路的流動(dòng)阻力，從而減少在所述減壓閥動(dòng)作時(shí)所產(chǎn)生的向所述液體儲(chǔ)存容器供應(yīng)壓縮氣體的流路的壓力降低。本發(fā)明第2方面的液體定量排出方法的特征在于，在本發(fā)明第1方面中，通過(guò)使連通所述緩沖罐與所述儲(chǔ)存容器的流路的一部分或者全部比連通所述緩沖罐與所述減壓閥的流路的最小內(nèi)徑直徑小，從而減少在所述減壓閥動(dòng)作時(shí)所產(chǎn)生的向所述液體儲(chǔ)存容器供應(yīng)壓縮氣體的流路的壓力降低。本發(fā)明第3方面的液體定量排出方法的特征在于，在本發(fā)明第1或第2方面中，通過(guò)在所述排出閥的內(nèi)部流路中設(shè)置比連通所述緩沖罐與所述減壓閥的流路中的最小內(nèi)徑直徑小的部分，從而減少在所述減壓閥動(dòng)作時(shí)所產(chǎn)生的向所述液體儲(chǔ)存容器供應(yīng)壓縮氣體的流路的壓力降低。本發(fā)明第4方面的液體定量排出方法的特征在于，在本發(fā)明第1至3的任一方面中，通過(guò)構(gòu)成使連通所述緩沖罐與所述減壓閥的流路長(zhǎng)度比連通所述緩沖罐與所述液體儲(chǔ)存容器的流路長(zhǎng)度短，從而減少在所述減壓閥動(dòng)作時(shí)所產(chǎn)生的向所述液體儲(chǔ)存容器供應(yīng)壓縮氣體的流路的壓力降低。本發(fā)明第5方面的液體定量排出方法的特征在于，在本發(fā)明第1至4的任一方面中，通過(guò)在所述減壓閥和所述壓縮氣體源之間還設(shè)置第2減壓閥，從而減少在所述減壓閥動(dòng)作時(shí)所產(chǎn)生的向所述液體儲(chǔ)存容器供應(yīng)壓縮氣體的流路的壓力降低。本發(fā)明第6方面的液體定量排出方法的特征在于，在本發(fā)明第5方面中，通過(guò)在所述減壓閥和所述第2減壓閥之間還設(shè)置第2緩沖罐，從而減少在所述減壓閥動(dòng)作時(shí)所產(chǎn)生的向所述液體儲(chǔ)存容器供應(yīng)壓縮氣體的流路的壓力降低。并且，本發(fā)明的液體定量排出裝置由如下技術(shù)手段構(gòu)成。本發(fā)明第7方面的液體定量排出裝置包括減壓閥，將由壓縮氣體源供應(yīng)的壓縮氣體減壓；排出閥，控制被減壓閥減壓的氣體的通過(guò)量；液體儲(chǔ)存容器，通過(guò)經(jīng)由排出閥供應(yīng)的氣體的擠壓，而從噴嘴將液體排出；以及緩沖罐，配置在減壓閥與排出閥之間，具有比液體儲(chǔ)存容器的容積大的容積；所述液體定量排出裝置的特征在于，構(gòu)成為連通所述緩沖罐與所述儲(chǔ)存容器的流路的流動(dòng)阻力大于連通所述緩沖罐和所述減壓閥的流路的流動(dòng)阻力。本發(fā)明第8方面的液體定量排出裝置的特征在于，在本發(fā)明第7方面中，設(shè)為使連通所述緩沖罐與所述儲(chǔ)存容器的流路的一部分或者全部比連通所述緩沖罐與所述減壓閥的流路的最小內(nèi)徑直徑小。本發(fā)明第9方面的液體定量排出裝置的特征在于，在本發(fā)明第7或第8方面中，在所述排出閥的內(nèi)部流路中設(shè)置比連通所述緩沖罐與所述減壓閥的流路中的最小內(nèi)徑直徑小的部分。本發(fā)明第10方面的液體定量排出裝置的特征在于，在本發(fā)明第7至9的任一方面中，構(gòu)成使連通所述緩沖罐與所述減壓閥的流路長(zhǎng)度比連通所述緩沖罐與所述液體儲(chǔ)存容器的流路長(zhǎng)度短。本發(fā)明第11方面的液體定量排出裝置的特征在于，在本發(fā)明第7至10的任一方面中，在所述減壓閥與所述壓縮氣體源之間還設(shè)置第2減壓閥。本發(fā)明第12方面的液體定量排出裝置的特征在于，在本發(fā)明第11方面中，在所述減壓閥與所述第2減壓閥之間還設(shè)置第2緩沖罐。本發(fā)明第13方面的液體定量排出裝置的特征在于，在本發(fā)明第7至12的任一方面中，所述緩沖罐的內(nèi)容積為所述儲(chǔ)存容器的內(nèi)容積的1.5倍以上至不到10倍的大小。(發(fā)明的效果)根據(jù)本發(fā)明，由于能夠使將壓縮氣體供應(yīng)至液體儲(chǔ)存容器的流路的減壓設(shè)為最小限度，因此，與現(xiàn)有裝置相比，能夠以更高的精度進(jìn)行分配/分注。并且，由于不需要使緩沖罐特別大，因此，能夠使裝置小型化。此外，在設(shè)置多個(gè)減壓閥和/或緩沖罐的構(gòu)成中，由于能夠避免使減壓閥的機(jī)械的調(diào)壓動(dòng)作所產(chǎn)生的壓力波動(dòng)直接施加于儲(chǔ)存容器內(nèi)的液體材料上，因此，能夠供應(yīng)更穩(wěn)定的壓力。


圖1是示出實(shí)施例1的液體定量排出裝置的概要構(gòu)成圖。圖2是示出連接排出閥與緩沖罐的管路內(nèi)的氣體壓力隨時(shí)間變化的曲線圖。圖3是示出緩沖罐內(nèi)的氣體壓力隨時(shí)間變化的曲線圖。圖4是實(shí)施例2的液體定量排出裝置的概要構(gòu)成圖。符號(hào)說(shuō)明1壓縮氣體源2-7 管路8儲(chǔ)存容器9排出閥(電磁閥)10定時(shí)器11減壓閥(第1減壓閥)12第2減壓閥13 噴嘴
20 液體21緩沖罐(第1緩沖罐)22第2緩沖罐24 空間
具體實(shí)施例方式本發(fā)明的裝置例如如圖1所示，其主要的構(gòu)成要素為儲(chǔ)存容器8，與排出液體的排出口連通并儲(chǔ)存液體；減壓閥11，將由壓縮氣體源1供應(yīng)的壓縮氣體減壓；緩沖罐21，儲(chǔ)存具有比儲(chǔ)存容器8的內(nèi)容積大的容積的壓縮氣體；排出閥9，經(jīng)由緩沖罐21將減壓閥11 與儲(chǔ)存容器8連通或者遮斷；以及定時(shí)器10，將排出閥9開(kāi)閉而控制被減壓的氣體的通過(guò)量。本發(fā)明的裝置在非動(dòng)作狀態(tài)下，由于對(duì)儲(chǔ)存在儲(chǔ)存容器8內(nèi)的液體20施加壓力的空間M向大氣開(kāi)放，因此，液體20不被排出。另一方面，在動(dòng)作時(shí)(排出時(shí))，通過(guò)排出閥 9使緩沖罐21與儲(chǔ)存容器8連通，同時(shí)將空間M與大氣遮斷，接著從緩沖罐21向儲(chǔ)存容器 8內(nèi)供應(yīng)空氣，通過(guò)使空間M的壓力上升，從而將液體20從噴嘴13排出。此時(shí)，當(dāng)從緩沖罐21向空間對(duì)供應(yīng)空氣時(shí)，存在管路4內(nèi)的壓力暫時(shí)降低，該情況成為脈動(dòng)原因的問(wèn)題。 該問(wèn)題隨著液體20反復(fù)排出并且空間M的體積變大而變得顯著。因此，在本發(fā)明的裝置中，不僅與現(xiàn)有裝置相同設(shè)置了與儲(chǔ)存容器8相比體積比較大的緩沖罐21，而且通過(guò)提高連通緩沖罐21與儲(chǔ)存容器8的流路的流動(dòng)阻力，從而防止連通緩沖罐21與儲(chǔ)存容器8的流路(下游側(cè)流路)的壓力下降。即，在本發(fā)明的裝置中， 公開(kāi)了例如，緩沖罐21的下游側(cè)流路的內(nèi)徑的一部分與緩沖罐21的上游側(cè)流路的最小內(nèi)徑相比變得細(xì)，更具體地說(shuō)，在構(gòu)成緩沖罐21與液體儲(chǔ)存容器8的流路的管路4、排出閥9 以及管路7上設(shè)置節(jié)流(細(xì)徑部或者節(jié)流孔)并且設(shè)置與構(gòu)成緩沖罐21和壓縮氣體源1 的流路的管路3、減壓閥11以及管路2的內(nèi)徑相比為小直徑的部分的構(gòu)成。在這里，重要的是緩沖罐21的下游側(cè)流路的流動(dòng)阻力與上游側(cè)流路的流動(dòng)阻力相比為足夠高，例如，通過(guò)使下游側(cè)流路的等價(jià)水力直徑和/或內(nèi)徑的全部與上游側(cè)流路相比設(shè)為小直徑，從而能夠?qū)崿F(xiàn)。通過(guò)形成這樣的構(gòu)成，在直到減壓閥11進(jìn)行動(dòng)作而供應(yīng)加壓氣體為止的期間，不僅能夠使緩沖罐21內(nèi)的壓力下降減少，甚至能夠向空間M穩(wěn)定并施加預(yù)期的壓力。即，在本發(fā)明的裝置中，由于緩沖罐的排出側(cè)的流動(dòng)阻力足夠大，因此，因?yàn)榕c從緩沖罐排出空氣的速度相比供應(yīng)空氣的速度相對(duì)的變得快，所以，能夠使緩沖罐的下游側(cè)流路內(nèi)的減壓設(shè)為最小限度。緩沖罐21的下游側(cè)流路的流動(dòng)阻力考慮向儲(chǔ)存容器8可供應(yīng)壓縮氣體的速度與向液體儲(chǔ)存容器供應(yīng)壓縮氣體的流路的壓力下降的關(guān)系，而調(diào)整為最合適。并且，管路3的長(zhǎng)度優(yōu)選為比管路4以及7的合計(jì)長(zhǎng)度短(例如設(shè)為2/3至1/2 以下)。是因?yàn)橥ㄟ^(guò)形成這樣的構(gòu)成，從而在排出閥9打開(kāi)時(shí)被調(diào)壓的氣體能夠更順利地被供應(yīng)的緣故。圖2是示出連接排出閥9與緩沖罐21的管路4內(nèi)的氣體壓力隨時(shí)間變化的曲線圖。曲線c示出現(xiàn)有裝置中的氣體壓力的變化，管路4內(nèi)的氣體壓力通過(guò)排出閥9的動(dòng)作直到返回到最初的狀態(tài)為止花費(fèi)了 Tc時(shí)間。曲線b為設(shè)置有緩沖罐的裝置中的氣體壓力的變化，雖然在該裝置中出現(xiàn)了改善，但是管路4內(nèi)的氣體壓力直到返回到最初的狀態(tài)為止的壓力變化被比較急的曲線所描繪。曲線a為本發(fā)明的裝置中的管路4內(nèi)的氣體壓力的變化，能夠確認(rèn)出在管路4內(nèi)的減壓為最小限度。圖3是示出緩沖罐21內(nèi)的氣體壓力隨時(shí)間變化的曲線圖。在同一圖中，曲線(c) 示出現(xiàn)有裝置中的氣體壓力的變化，曲線(b)示出設(shè)置有緩沖罐的裝置中的氣體壓力的變化，曲線(a)示出本發(fā)明的裝置中的氣體壓力的變化。這樣，可確認(rèn)在緩沖罐21內(nèi)的氣體壓力的變化和管路4內(nèi)的氣體壓力的變化中存在一定的相關(guān)關(guān)系。如圖2和圖3所示，在本發(fā)明的裝置中，由于能夠使向儲(chǔ)存容器8供應(yīng)壓縮氣體的流路的壓力下降設(shè)為最小限度，因此，與現(xiàn)有的裝置相比，能夠以高精度控制液體材料的分配/分注。根據(jù)具有以上構(gòu)成的本發(fā)明的裝置，能夠?qū)⒕彌_罐的容量設(shè)定在儲(chǔ)存容器的內(nèi)容積的1.5倍以上至不到10倍的范圍。另外，在裝置的大小不構(gòu)成問(wèn)題的情況下，也可以將緩沖罐與儲(chǔ)存容器的體積比設(shè)定在10至100倍的范圍。此外，也可以為設(shè)置多個(gè)緩沖罐和 /或減壓閥的構(gòu)成。雖然通過(guò)實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，但是，本發(fā)明并不受實(shí)施例的任何限定。實(shí)施例1本實(shí)施例的排出裝置為圖1所示的構(gòu)成，其主要的構(gòu)成要素為儲(chǔ)存容器(噴射器)8，與排出液體的排出口連通并儲(chǔ)存液體；減壓閥(調(diào)節(jié)器)11，將由壓縮氣體源1供應(yīng)的壓縮氣體減壓；緩沖罐21，儲(chǔ)存具有比儲(chǔ)存容器8的內(nèi)容積大的容積的壓縮氣體；排出閥 9，經(jīng)由緩沖罐21將減壓閥11和儲(chǔ)存容器8連通或者遮斷；以及定時(shí)器10，將排出閥9開(kāi)閉而控制被減壓的氣體的通過(guò)量。連接這些各構(gòu)成要素的管路2-4、7都為在Φ I-IOmm的范圍內(nèi)選擇的同一管徑。管路3的長(zhǎng)度與管路4和7的合計(jì)長(zhǎng)度相比為短。實(shí)際上，盡管由于配管走向方式而不同，但是，公開(kāi)了例如，管路3的長(zhǎng)度為數(shù)十厘米，管路4和7的合計(jì)長(zhǎng)度為Im以上。本實(shí)施例的儲(chǔ)存容器8的容量為1-500CC，緩沖罐21的容量為儲(chǔ)存容器8的1. 5 倍以上至不到10倍的范圍內(nèi)。具有儲(chǔ)存容器8以及噴嘴13的分注噴射器搭載于例如XYZ 機(jī)械手上。在本實(shí)施例的裝置中，調(diào)整為例如從壓縮氣體源1供應(yīng)3kg/cm2的壓力的氣體，并且通過(guò)減壓閥11減壓至0. 3-1. Okg/cm2范圍內(nèi)可選擇的一定壓力。在本實(shí)施例的裝置中，與相對(duì)于緩沖罐21的供應(yīng)側(cè)管徑相比，排出側(cè)管徑構(gòu)成細(xì)直徑。更具體地說(shuō)，形成在位于緩沖罐21的排出側(cè)的排出閥9內(nèi)設(shè)置管徑1 μ m-5mm的收縮部的構(gòu)成。在具有以上構(gòu)成的本實(shí)施例的裝置中，通過(guò)實(shí)施使排出閥9和減壓閥11連動(dòng)而進(jìn)行動(dòng)作的工序，從而排出液體材料。例如，通過(guò)實(shí)施下面的工序，從而排出液體材料的分配
/分注。i)通過(guò)打開(kāi)排出閥9從而緩沖罐21內(nèi)的空氣流出并且緩沖罐21內(nèi)的壓力降低的
工序；
ii)減壓閥11檢測(cè)緩沖罐21內(nèi)的壓力減少而開(kāi)始向緩沖罐21內(nèi)的供應(yīng)壓力的工序；iii)減壓后的緩沖罐內(nèi)的壓力通過(guò)減壓閥的作用而上升的工序。這里，在上述工序中，直到減壓閥11進(jìn)行動(dòng)作為止存在時(shí)間差，即在i)和ii)工序中會(huì)產(chǎn)生時(shí)滯。為了使該時(shí)滯為最小限度，將緩沖罐21的下游側(cè)的流動(dòng)阻力變大是有效的，再者，優(yōu)選的是盡量縮短連通緩沖罐21與減壓閥11的流路長(zhǎng)度。實(shí)施例2本實(shí)施例的排出裝置為圖4所示的構(gòu)成，為在實(shí)施例1的排出裝置中進(jìn)一步附加第2緩沖罐22和第2減壓閥12、以及管路5和6的構(gòu)成。在如實(shí)施例2的設(shè)置多個(gè)緩沖罐的構(gòu)成中，由于能夠避免減壓閥11、12的機(jī)械的調(diào)壓動(dòng)作所產(chǎn)生的壓力波動(dòng)直接施加于儲(chǔ)存容器8內(nèi)的液體材料上，因此，能夠供應(yīng)更穩(wěn)定的壓力。關(guān)于該點(diǎn)，在下面進(jìn)行補(bǔ)充說(shuō)明?！銇?lái)說(shuō)，減壓閥進(jìn)行作用，使得在減壓閥內(nèi)部對(duì)導(dǎo)入至減壓閥的一次壓力進(jìn)行調(diào)壓而變換為預(yù)期的二次壓力，為了產(chǎn)生精度良好的穩(wěn)定的二次壓力，優(yōu)選的是向減壓閥導(dǎo)入穩(wěn)定的一次壓力。這是因?yàn)楫?dāng)導(dǎo)入減壓閥的一次壓力發(fā)生變化時(shí)，產(chǎn)生的二次壓力也不穩(wěn)定，是因?yàn)橛纱藢?dǎo)致施加于儲(chǔ)存容器內(nèi)的液體的壓力也不穩(wěn)定的緣故。這樣，使一次壓力穩(wěn)定是為了使作用于儲(chǔ)存容器內(nèi)的液體的壓力穩(wěn)定的重要因素。這方面，通過(guò)連設(shè)減壓閥，能夠使一次壓力穩(wěn)定。在連設(shè)減壓閥的構(gòu)成中，當(dāng)從上游供應(yīng)不穩(wěn)定的壓力時(shí)，首先從上游側(cè)減壓閥的一次側(cè)供應(yīng)氣體(空氣)，被減壓的壓力從上游側(cè)減壓閥的二次側(cè)輸出。此時(shí)，從上游側(cè)減壓閥的二次側(cè)輸出的壓力被調(diào)整成在比供應(yīng)至一次側(cè)的壓力的不穩(wěn)定要小的范圍內(nèi)的不穩(wěn)定。該被減壓并被調(diào)整的壓力被供應(yīng)至下游側(cè)減壓閥的一次側(cè)。并且，供應(yīng)至下游側(cè)減壓閥的一次側(cè)的空氣在下游側(cè)減壓閥被進(jìn)一步減壓而從二次側(cè)輸出。此時(shí)，從下游側(cè)減壓閥的二次側(cè)輸出的壓力的不穩(wěn)定被調(diào)整在比上游側(cè)減壓閥中的壓力的不穩(wěn)定更小的范圍內(nèi)。這樣，與單獨(dú)使用減壓閥的情況相比，在連設(shè)減壓閥的構(gòu)成中，能夠供應(yīng)更穩(wěn)定的壓力。因此，即使在不設(shè)置第2緩沖罐而是僅增設(shè)第2減壓閥的構(gòu)成中，也能夠得到一定的調(diào)整壓力的效果。但是，通過(guò)將被第2減壓閥調(diào)整壓力的空氣供應(yīng)至第2緩沖罐22，從而能夠進(jìn)一步使緩沖罐22的下游側(cè)流路的壓力穩(wěn)定。在具有以上構(gòu)成的本實(shí)施例的裝置中，盡管與實(shí)施例1的裝置相比裝置的大小變大，但是能夠以更高的精度進(jìn)行液體材料的分配/分注。產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明不僅限于導(dǎo)電性粘接劑等的液體材料的排出/涂布，還能夠應(yīng)用于所有以輸送液體為目的的情況。
權(quán)利要求
1.一種液體定量排出方法，所使用的裝置包括減壓閥，將由壓縮氣體源供應(yīng)的壓縮氣體減壓；排出閥，控制被減壓閥減壓的氣體的通過(guò)量；液體儲(chǔ)存容器，通過(guò)經(jīng)由排出閥供應(yīng)的氣體的擠壓，而從噴嘴將液體排出；以及緩沖罐，配置在減壓閥與排出閥之間，具有比液體儲(chǔ)存容器的容積大的容積；所述液體定量排出方法的特征在于，通過(guò)使連通所述緩沖罐與所述儲(chǔ)存容器的流路的流動(dòng)阻力大于連通所述緩沖罐與所述減壓閥的流路的流動(dòng)阻力，從而減少在所述減壓閥動(dòng)作時(shí)所產(chǎn)生的向所述液體儲(chǔ)存容器供應(yīng)壓縮氣體的流路的壓力降低。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液體定量排出方法，其特征在于，通過(guò)使連通所述緩沖罐與所述儲(chǔ)存容器的流路的一部分或者全部比連通所述緩沖罐與所述減壓閥的流路的最小內(nèi)徑直徑小，從而減少在所述減壓閥動(dòng)作時(shí)所產(chǎn)生的向所述液體儲(chǔ)存容器供應(yīng)壓縮氣體的流路的壓力降低。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的液體定量排出方法，其特征在于，通過(guò)在所述排出閥的內(nèi)部流路中設(shè)置比連通所述緩沖罐與所述減壓閥的流路中的最小內(nèi)徑直徑小的部分，從而減少在所述減壓閥動(dòng)作時(shí)所產(chǎn)生的向所述液體儲(chǔ)存容器供應(yīng)壓縮氣體的流路的壓力降低。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的液體定量排出方法，其特征在于，通過(guò)構(gòu)成使連通所述緩沖罐與所述減壓閥的流路長(zhǎng)度比連通所述緩沖罐與所述液體儲(chǔ)存容器的流路長(zhǎng)度短，從而減少在所述減壓閥動(dòng)作時(shí)所產(chǎn)生的向所述液體儲(chǔ)存容器供應(yīng)壓縮氣體的流路的壓力降低。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的液體定量排出方法，其特征在于，通過(guò)在所述減壓閥與所述壓縮氣體源之間還設(shè)置第2減壓閥，從而減少在所述減壓閥動(dòng)作時(shí)所產(chǎn)生的向所述液體儲(chǔ)存容器供應(yīng)壓縮氣體的流路的壓力降低。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的液體定量排出方法，其特征在于，通過(guò)在所述減壓閥與所述第2減壓閥之間還設(shè)置第2緩沖罐，從而減少在所述減壓閥動(dòng)作時(shí)所產(chǎn)生的向所述液體儲(chǔ)存容器供應(yīng)壓縮氣體的流路的壓力降低。
7.一種液體定量排出裝置，包括減壓閥，將由壓縮氣體源供應(yīng)的壓縮氣體減壓；排出閥，控制被減壓閥減壓的氣體的通過(guò)量；液體儲(chǔ)存容器，通過(guò)經(jīng)由排出閥供應(yīng)的氣體的擠壓，而從噴嘴將液體排出；以及緩沖罐，配置在減壓閥與排出閥之間，具有比液體儲(chǔ)存容器的容積大的容積；所述液體定量排出裝置的特征在于，構(gòu)成為連通所述緩沖罐與所述儲(chǔ)存容器的流路的流動(dòng)阻力大于連通所述緩沖罐與所述減壓閥的流路的流動(dòng)阻力。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的液體定量排出裝置，其特征在于，設(shè)為使連通所述緩沖罐與所述儲(chǔ)存容器的流路的一部分或者全部比連通所述緩沖罐與所述減壓閥的流路的最小內(nèi)徑直徑小。
9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的液體定量排出裝置，其特征在于，在所述排出閥的內(nèi)部流路中設(shè)置比連通所述緩沖罐與所述減壓閥的流路中的最小內(nèi)徑直徑小的部分。
10.根據(jù)權(quán)利要求7至9中任一項(xiàng)所述的液體定量排出裝置，其特征在于，構(gòu)成使連通所述緩沖罐與所述減壓閥的流路長(zhǎng)度比連通所述緩沖罐與所述液體儲(chǔ)存容器的流路長(zhǎng)度短。
11.根據(jù)權(quán)利要求7至10中任一項(xiàng)所述的液體定量排出裝置，其特征在于，在所述減壓閥與所述壓縮氣體源之間還設(shè)置第2減壓閥。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的液體定量排出裝置，其特征在于，在所述減壓閥與所述第2 減壓閥之間還設(shè)置第2緩沖罐。
13.根據(jù)權(quán)利要求7至12中任一項(xiàng)所述的液體定量排出裝置，其特征在于，所述緩沖罐的內(nèi)容積為所述儲(chǔ)存容器的內(nèi)容積的1. 5倍以上至不到10倍的大小。
全文摘要
本發(fā)明提供一種液體定量排出方法以及裝置，與現(xiàn)有裝置相比，能夠以更高的精度進(jìn)行液體材料的分配/分注。液體定量排出方法所使用的裝置包括減壓閥，將由壓縮氣體源供應(yīng)的壓縮氣體減壓；排出閥，控制被減壓閥減壓的氣體的通過(guò)量；液體儲(chǔ)存容器，通過(guò)經(jīng)由排出閥供應(yīng)的氣體的擠壓，而從噴嘴將液體排出；以及緩沖罐，配置在減壓閥和排出閥之間，具有比液體儲(chǔ)存容器的容積大的容積；所述液體定量排出方法及其裝置的特征在于，通過(guò)使連通所述緩沖罐與所述儲(chǔ)存容器的流路的流動(dòng)阻力大于連通所述緩沖罐與所述減壓閥的流路的流動(dòng)阻力，減少在所述減壓閥動(dòng)作時(shí)所產(chǎn)生的向所述液體儲(chǔ)存容器供應(yīng)壓縮氣體的流路的壓力降低。
文檔編號(hào)B05C5/00GK102448620SQ20108002389
公開(kāi)日2012年5月9日 申請(qǐng)日期2010年6月2日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月3日
發(fā)明者生島和正 申請(qǐng)人:武藏工業(yè)株式會(huì)社