專利名稱：制備大面積透明導(dǎo)電膜專用超聲噴霧發(fā)生器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光電子薄膜材料鍍膜領(lǐng)域，特別是涉及一種制備大面積透明導(dǎo)電膜專用超 聲噴霧發(fā)生器。
背景技術(shù)：
非晶硅薄膜太陽能電池有良好的半導(dǎo)體光電子學(xué)性能，并且低成本、大規(guī)模的生產(chǎn)使 之在與其它半導(dǎo)體器件的競爭中具有突出的優(yōu)勢，此外，薄膜電池制造工藝技術(shù)簡單，便
于大面積連續(xù)化生產(chǎn)，而透明導(dǎo)電膜是薄膜太陽能電池所需要的最為基礎(chǔ)的材料。
太陽能電池透明導(dǎo)電膜是一種透明半導(dǎo)體材料，具有優(yōu)異的光學(xué)和電學(xué)性能，在其它 電子器件、顯示器件以及建筑材料領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。現(xiàn)在制備太陽能電池透明導(dǎo) 電膜所采用的主要沉積技術(shù)為物理氣相沉積技術(shù)(具體以射頻和直流磁控濺射為主)和真 空條件下的化學(xué)氣相沉積技術(shù)(以低壓化學(xué)氣相沉積法LPCVD和等離子體化學(xué)氣相沉積 法PECVD為主)。鑒于化學(xué)氣相沉積(CVD)技術(shù)所需要的設(shè)備復(fù)雜，且進(jìn)行導(dǎo)電膜生 產(chǎn)的成本高，因此目前太陽能電池透明導(dǎo)電膜的生產(chǎn)成本仍然是太陽能電池大規(guī)模推廣應(yīng) 用的瓶頸。
超聲噴霧快速沉積技術(shù)利用納米霧狀顆粒在化學(xué)成膜中的特有性質(zhì)大大改善了傳統(tǒng)沉 積技術(shù)的不足。該技術(shù)制備太陽電池透明導(dǎo)電膜的方法采用超聲霧化快速沉積技術(shù)，與其 它鍍膜工藝相比，該技術(shù)具有生產(chǎn)設(shè)備、工藝簡單；均勻性和重復(fù)性好的優(yōu)點(diǎn)，而且其制 造工藝可以達(dá)到與其它的鍍膜法相同的效果，具體可以參見專利號為ZL99116819.4的中 國發(fā)明專利。但是，由于該發(fā)明專利所采用的超聲噴霧發(fā)生器功率小，而且超聲波必須穿 透專用的起霧瓶，因此其起霧效率低，并不適合制備大面積透明導(dǎo)電膜，目前其僅可以為 實(shí)驗(yàn)室內(nèi)小面積試驗(yàn)所使用。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明的目的是提供一種起霧效率高的制備大面積透明導(dǎo)電膜專用超聲噴
3霧發(fā)生器，可以實(shí)現(xiàn)高效、穩(wěn)定地制備大面積透明導(dǎo)電膜。
為此，本發(fā)明提供了一種制備大面積透明導(dǎo)電膜專用超聲噴霧發(fā)生器，包括箱體和安 裝在箱體底部底板上的多個(gè)超聲霧化器，在所述箱體頂部四周設(shè)置有外翻邊，在所述箱體 頂部外翻邊上安裝有上蓋，同時(shí)在所述箱體的外翻邊和所述上蓋之間安裝有耐腐蝕橡膠 墊，在所述箱體側(cè)面設(shè)置有載氣進(jìn)口，另外在箱體底部四邊分別設(shè)置有地腳；所述箱體上 蓋通過螺栓、耐腐蝕橡膠墊和箱體密封連接；在所述箱體上蓋上分別設(shè)置有載氣進(jìn)口、溶 液進(jìn)口和噴霧出口，所述多個(gè)超聲霧化器為耐腐蝕型的超聲霧化器。
優(yōu)選地，用于固定所述超聲霧化器的箱體底板為聚乙烯板。
優(yōu)選地，所述超聲霧化器通過自攻螺絲在所述箱體的底板反面進(jìn)行固定，所述自攻螺 絲以不透過所述箱體1的底板正面為限。
優(yōu)選地，所述外翻邊通過所述螺栓、所述耐腐蝕橡膠墊與所述上蓋密封連接。 優(yōu)選地，所述箱體外翻邊和上蓋的材質(zhì)均為透明聚乙烯。 優(yōu)選地，在所述箱體側(cè)面設(shè)置有螺紋連接的載氣進(jìn)口。
優(yōu)選地，在所述上蓋上設(shè)置的所述溶液進(jìn)口和絲堵螺紋連接，所述噴霧出口與噴氣管 道一端螺紋連接，所述噴氣管道另一端連接有一個(gè)噴嘴。
由以上本發(fā)明提供的技術(shù)方案可見，本發(fā)明提供的超聲噴霧發(fā)生器由于采用多個(gè)^腐 蝕性霧化器安裝在箱體內(nèi)和化學(xué)溶液直接接觸，從而使得超聲噴霧發(fā)生器內(nèi)的溶液霧化非 常均勻，且由于無需像現(xiàn)有超聲噴霧方法一樣超聲波必須穿透霧化瓶后進(jìn)行溶液霧化，而 是將超聲噴霧前驅(qū)溶液直接倒入超聲噴霧發(fā)生器箱體內(nèi)，從而可以使得前驅(qū)溶液的霧化非 常均勻，并使得霧化量增大，并且本發(fā)明的超聲噴霧發(fā)生器對前驅(qū)溶液的霧化過程無功率 損失，從而本發(fā)明提供的超聲噴霧發(fā)生器可供大面積的噴嘴連續(xù)工作，具有功率大、效率 高、霧化均勻和穩(wěn)定性好的特點(diǎn)。
此外，由于本發(fā)明的超聲噴霧發(fā)生器的上蓋和側(cè)面設(shè)置有兩個(gè)互相垂直載氣進(jìn)氣口， 從而使得在霧化更加均勻同時(shí)可以使得載氣流量的調(diào)節(jié)范圍加大，提高載氣調(diào)節(jié)的精度。 并且，本發(fā)明超聲噴霧發(fā)生器所包含的多個(gè)超聲霧化器可以全部工作，也可根據(jù)功率需要 部分工作，因此本發(fā)明的超聲噴霧發(fā)生器使用靈活方便，霧化量的調(diào)整范圍大。


圖1是本發(fā)明提供的一種制備大面積透明導(dǎo)電膜專用超聲噴霧發(fā)生器的立體圖。 圖中箱體l上蓋2超聲霧化器3載氣進(jìn)口4溶液進(jìn)口5噴霧出口6地腳 7耐腐蝕橡膠墊8外翻邊9螺栓IO
具體實(shí)施例方式
為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好地理解本發(fā)明方案，下面結(jié)合附圖和實(shí)施方式對本發(fā)明 作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。
圖1是本發(fā)明提供的一種制備大面積透明導(dǎo)電膜專用超聲噴霧發(fā)生器的立體圖，參
見圖l，本發(fā)明提供的大面積透明導(dǎo)電膜超聲噴霧發(fā)生器包括有箱體l和安裝在所述箱
體1底部底板上的18個(gè)超聲霧化器3、位于所述箱體1頂部四周的外翻邊9、安裝于所述 外翻邊9上的上蓋2、位于所述箱體1的外翻邊9和所述上蓋2之間的耐腐蝕橡膠墊8、 在所述箱體1的側(cè)面和所述上蓋2上設(shè)置的載氣進(jìn)口 4、在所述箱體1的上蓋2上所設(shè)置 的噴霧出口 6和溶液入口 5，以及位于所述箱體1底部四邊的地腳7。
需要說明的是，所述噴霧出口6與一個(gè)噴氣管道的一端螺紋連接，而在所述噴氣管道 的另一端還連接有一個(gè)噴嘴，通過所述噴嘴最后實(shí)現(xiàn)噴霧。
本發(fā)明的超聲噴霧發(fā)生器在倒入前驅(qū)溶液后開啟電源，從而該溶液在超聲波的作用f 迅速霧化，待霧化氣充滿該超聲噴霧發(fā)生器的整個(gè)箱體后，開通載氣氣源，從而使得載氣 氣源所導(dǎo)入的載氣攜帶著霧化氣從噴霧出口 6噴出。
本發(fā)明的特點(diǎn)在于本發(fā)明的超聲噴霧發(fā)生器在接通電源后，其內(nèi)裝的溶液可以在超 聲波的作用下迅速霧化，待霧化氣充滿整個(gè)發(fā)生器箱體后，通過開通載氣氣源使得載氣通 過相互垂直的載氣進(jìn)口 4分別進(jìn)入箱體1，從而使得載氣攜帶霧化氣從噴霧出口 6噴出， 然后通過與噴霧出口 6相連的噴氣管道連接進(jìn)入噴嘴，從而最終實(shí)現(xiàn)噴霧。
鑒于目前一般的超聲噴霧方法是將溶液裝入霧化瓶；然后將霧化瓶放在加入清水的超 聲霧化器內(nèi)，使超聲波穿透霧化瓶來達(dá)到溶液霧化的目的。該超聲噴霧方法由于需要使超 聲波穿透霧化瓶對溶液進(jìn)行霧化，因此該方法的霧化效果不理想，并且超聲波的功率損失 較大。而本發(fā)明的超聲噴霧發(fā)生器由于采用耐腐蝕型的超聲霧化器，從而本發(fā)明無需借助霧化瓶進(jìn)行前驅(qū)溶液的存放，而可以將超聲噴霧前驅(qū)溶液直接倒入超聲噴霧發(fā)生器箱體內(nèi) 進(jìn)行霧化，從而可以使得前驅(qū)溶液的霧化非常均勻，并使得霧化量增大。由于本發(fā)明的超 聲噴霧發(fā)生器的溶液霧化過程直接在霧化器內(nèi)進(jìn)行，因此所進(jìn)行的霧化過程無功率損失， 從而意味著本發(fā)明提供的超聲噴霧發(fā)生器起霧效率高，可以供大面積的噴嘴進(jìn)行連續(xù)噴霧 工作。因此在具體實(shí)踐上，本發(fā)明的超聲噴霧發(fā)生器可以滿足制備大面積透明導(dǎo)電薄膜的需求。
具體生產(chǎn)實(shí)踐上，本發(fā)明的超聲噴霧發(fā)生器的箱體可以設(shè)置為長度為450mm (毫 米)，寬度為230mm，高度為180mm。本發(fā)明的超聲噴霧發(fā)生器在箱體底部設(shè)置有18個(gè) 超聲霧化器，并且用自攻螺絲由底板進(jìn)行反面周定，以螺絲不透過所述箱體1的底板正面 和不漏溶液為準(zhǔn)，具體實(shí)現(xiàn)上，固定超聲霧化器(3)的箱體底板可以采用厚度為20mm 的聚乙烯板，每個(gè)霧化器的霧化量可以為300ML/H (毫升/小時(shí))，工作頻率為1.7MHZ (兆赫茲)，工作電流為800MA (毫安)，并且霧化器的電源全部并聯(lián)連接.由24V的直 流電源進(jìn)行供電。
需要說明的是，在具體實(shí)現(xiàn)上，本發(fā)明提供的超聲噴霧發(fā)生器所需要使用的直流電源 可選用市售產(chǎn)品，此外，本發(fā)明提供的超聲噴霧發(fā)生器的電路簡單、可以進(jìn)行自制。 下面介紹本發(fā)明提供的超聲噴霧發(fā)生器的具體工作過程-
首先，將配置好一定量的超聲噴霧前驅(qū)溶液通過溶液進(jìn)口 5倒入本發(fā)明超聲噴霧發(fā)生 器的箱體1內(nèi)，然后旋緊溶液進(jìn)口 5上的絲堵；
在倒入前驅(qū)溶液并開啟超聲噴霧發(fā)生器電源后，前驅(qū)溶液在超聲波的作用下迅速實(shí)現(xiàn) 霧化，待霧化氣充滿整個(gè)發(fā)生器箱體1后，開通載氣氣源，使得載氣通過設(shè)在上蓋2和箱 體1側(cè)面的兩個(gè)相互垂直的載氣進(jìn)口 4分別進(jìn)入箱體1，然后載氣均勻攜帶霧化氣由噴霧 出口6噴出，并通過相連的噴氣管道連接進(jìn)入噴嘴，從而最終實(shí)現(xiàn)噴霧。
具體實(shí)現(xiàn)上，本發(fā)明采用的載氣可以為干燥的壓縮空氣。
需要說明的是，本發(fā)明提供的超聲噴霧發(fā)生器的箱體l采用透明聚乙烯板材制作。由 于箱體1采用透明聚乙烯板材制作，因此用戶可以直接觀察到每個(gè)霧化發(fā)生器的工作狀 態(tài)，并同時(shí)可以根據(jù)所需要的功率靈活地改變具體霧化器的接入個(gè)數(shù)，從而本發(fā)明的超聲 噴霧發(fā)生器可以滿足不同霧化量的需要。由于本發(fā)明提供的超聲噴霧發(fā)生器的載氣通過在上蓋2和箱體1側(cè)面的兩個(gè)相互垂直 的載氣進(jìn)口進(jìn)入箱體內(nèi)，從而克服了一般的霧化瓶單管進(jìn)氣量不易調(diào)節(jié)的不足，并使得所 噴出的霧化氣可以更加均勻，同時(shí)使本發(fā)明提供的超聲噴霧發(fā)生器對進(jìn)氣量的調(diào)整更加容 易。
綜上所述，由于本發(fā)明的超聲噴霧發(fā)生器內(nèi)前驅(qū)溶液的霧化過程無需穿過霧化瓶，而 是直接在霧化器內(nèi)進(jìn)行溶液的超聲波霧化，從而可以使得前驅(qū)溶液的霧化非常均勻，并使 得霧化量增大，且所進(jìn)行的霧化過程無功率損失，從而意味著本發(fā)明提供的超聲噴霧發(fā)生 器起霧效率高，可以供大面積的噴嘴進(jìn)行連續(xù)噴霧工作，從而采用本發(fā)明提供的超聲噴霧 發(fā)生器可以滿足制備大面積透明導(dǎo)電薄膜的需求，制備出的大面積透明導(dǎo)電薄膜的各項(xiàng)技 術(shù)指標(biāo)均達(dá)到應(yīng)用要求，可以為工業(yè)化的大規(guī)模生產(chǎn)打下基礎(chǔ)。
以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來 說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視 為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1、一種制備大面積透明導(dǎo)電膜專用超聲噴霧發(fā)生器，包括箱體(1)和安裝在箱體(1)底部底板上的多個(gè)超聲霧化器(3)，其特征在于，在所述箱體(1)頂部四周設(shè)置有外翻邊(9)，在所述箱體(1)頂部外翻邊(9)上安裝有上蓋(2)，同時(shí)在所述箱體(1)的外翻邊(9)和所述上蓋(2)之間安裝有耐腐蝕橡膠墊(8)，在所述箱體(1)側(cè)面設(shè)置有載氣進(jìn)口(4)，另外在箱體(1)底部四邊分別設(shè)置有地腳(7)；所述箱體上蓋(2)通過螺栓(10)、耐腐蝕橡膠墊(8)和箱體(1)密封連接；在所述箱體上蓋(2)上分別設(shè)置有載氣進(jìn)口(4)、溶液進(jìn)口(5)和噴霧出口(6)，所述多個(gè)超聲霧化器(3)為耐腐蝕型的超聲霧化器。
2、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的制備大面積透明導(dǎo)電膜專用超聲噴霧發(fā)生器，其特征在于， 固定所述超聲霧化器(3)的箱體底板為聚乙烯板。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的制備大面積透明導(dǎo)電膜專用超聲噴霧發(fā)生器，其特征 在于，所述超聲霧化器(3)通過自攻螺絲在所述箱體(1)的底板反面進(jìn)行固定，所述自 攻螺絲以不透過所述箱體(1)的底板正面為限。
4、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的制備大面積透明導(dǎo)電膜專用超聲噴霧發(fā)生器，其特征在于， 所述外翻邊(9)通過所述螺栓(10)、所述耐腐蝕橡膠墊(8)與所述上蓋(2)密封連接。
5、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的制備大面積透明導(dǎo)電膜專用超聲噴霧發(fā)生器，其特征在于， 所述箱體(1)、外翻邊(9)和上蓋(2)的材質(zhì)均為透明聚乙烯。
6、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的制備大面積透明導(dǎo)電膜專用超聲噴霧發(fā)生器，其特征在于， 在所述箱體(1)側(cè)面設(shè)置有螺紋連接的載氣進(jìn)口 (4)。
7、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備大面積透明導(dǎo)電膜專用超聲噴霧發(fā)生器，其特征在于， 在所述上蓋(2)上設(shè)置的所述溶液進(jìn)口 (5)和絲堵螺紋連接，所述噴霧出口 (6)與噴 氣管道一端螺紋連接，所述噴氣管道另一端連接有一個(gè)噴嘴。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種制備大面積透明導(dǎo)電膜專用超聲噴霧發(fā)生器，包括箱體和安裝在箱體底部底板上的多個(gè)超聲霧化器，在所述箱體頂部四周設(shè)置有外翻邊，在所述箱體頂部外翻邊上安裝有上蓋，同時(shí)在所述箱體的外翻邊和所述上蓋之間安裝有耐腐蝕橡膠墊，在所述箱體側(cè)面設(shè)置有載氣進(jìn)口，另外在箱體底部四邊分別設(shè)置有地腳；所述箱體上蓋通過螺栓、耐腐蝕橡膠墊和箱體密封連接；在所述箱體上蓋上分別設(shè)置有載氣進(jìn)口、溶液進(jìn)口和噴霧出口，所述多個(gè)超聲霧化器為耐腐蝕型的超聲霧化器。本發(fā)明提供的超聲噴霧發(fā)生器采用多個(gè)耐腐蝕性霧化器安裝在箱體內(nèi)和化學(xué)溶液直接接觸，具有溶液霧化均勻，起霧效率高的優(yōu)點(diǎn)，可以滿足高效、穩(wěn)定地制備大面積的透明導(dǎo)電膜的需要。
文檔編號B05B17/04GK101318166SQ20081005350
公開日2008年12月10日 申請日期2008年6月13日 優(yōu)先權(quán)日2008年6月13日
發(fā)明者凱 梁, 王慶章, 趙二剛, 趙庚申, 郭天勇 申請人:南開大學(xué)