專利名稱：拋光粘片用液態(tài)蠟及其制備方法和拋光粘片的工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種液體蠟，尤其是一種拋光粘片用液態(tài)蠟及其制備方法和拋 光粘片的工藝。
背景技術(shù)：
目前，在拋光生產(chǎn)中，通常用固體蠟拋光粘片，它以石蠟、松香按照2: 1 的重量比配制，加熱熔化成型后方可使用，其缺點是，它們在粗拋機拋光時溫
度不能超過45T:，拋光片清洗困難，環(huán)境污染嚴重，生產(chǎn)效率低，不適應大規(guī)
模生產(chǎn)需求；而且蠟層存在缺陷附著有點、污物、顆粒、閃亮點，有氣泡， 魚眼，高爾夫球形，蠟層覆蓋不全，不平或有旋渦；蠟液崩濺，蠟層裂紋，條 紋或裂開。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服現(xiàn)有的固體蠟在拋光粘片中存在的不足，本發(fā)明的目的是提供一 種拋光粘片用液態(tài)蠟及其制備方法和拋光粘片的工藝，拋光粘片用液態(tài)蠟是水 溶性的高溫液體蠟，它能夠保證蠟液的均勻，粘度一致性，在粗拋機拋光時溫
度可以達到高溫6(TC，所以拋光速率高，適宜大批量生產(chǎn)需求，而且拋光片表 面質(zhì)量好。
為實現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案
所述的拋光粘片用液態(tài)蠟，其含有以下組份(按l萬克重量比)-
聚乙稀二醇 662. 3 665. 7
漆片 198. 5 201. 5
異丙醇 548. 7 551. 2
25%的氨水 307. 0 309. 718兆去離子水 2347. 8 2353. 4
8030樹脂 5913. 1 5940. 8
所述的拋光粘片用液態(tài)蠟，其組份中，重量在0 1000克的組份允許誤差 為±0. 5%，重量在1000克以上的組份允許誤差為士O. 2%。 所述的拋光粘片用液態(tài)蠟的制備方法，其制備步驟如下
(1) 、將一個容量為10升的配蠟桶放在稱重天平上，稱重天平置于通風櫥
內(nèi)；
(2) 、把聚乙稀二醇、漆片、異丙醇、25%的氨水、18兆去離子水、8030 樹脂，依次按順序和重量比，倒入配蠟桶之中，直至到達要求讀數(shù)為止；
(3) 、通過磁力攪拌使配料慢慢混勻，至少攪拌3小時；攪拌后，靜置3小
時；
(4) 、存放時要蓋緊配蠟桶的蓋子； 一桶配蠟料為10±0.3%公斤；
(5) 、蠟液使用前，使用50)im的過濾袋，予過濾。 所述的拋光粘片用液態(tài)蠟拋光粘片的工藝，其工藝步驟如下
(1) 、按照如上所述的制備方法制備液態(tài)蠟，并攪拌混合均勻；
(2) 、沖洗拋光載體板，去除原粘片殘剩蠟；粘片載體板直徑為287mm， 厚度為10.16mm;
(3) 、在載體板上上蠟、甩蠟；上蠟 一個周期為36.5秒，用蠟流速150士 5ml/分，每一載體板上供量16土lml，蠟層厚9土2^im;上蠟時，設(shè)定粘片載 體板轉(zhuǎn)速為200±5轉(zhuǎn)/分，甩蠟時，設(shè)定粘片載體板轉(zhuǎn)速為300±5轉(zhuǎn)/分；
(4) 、將上好蠟的載體板放在蒸汽加熱器上加熱，60秒內(nèi)載體板加熱至97 ±2°C;
(5) 、將所需粘的腐蝕硅片，沖洗甩干，立即使用；
(6 )、把硅片放入真空腔下的裝片臺模板孔內(nèi)，裝片、壓片；裝片①125mm 的可一次裝3片，OlOOmm的可一次裝5片， 一塊載體板上，腐蝕硅片厚度 之間最大誤差為2.0iim;壓片真空腔氣缸壓力為80 90PSI， B卩5.6 6.3公斤
/cm2 ;壓片時間在60秒內(nèi)真空度達0.8 1.0托；
(7) 、將按照上述第(6)步操作后的硅片固定在載體板上；
(8) 、將按照上述第(7)步操作后的裝片臺的載體板，送至粗拋機處準備拋光。
由于采用了如上所述的技術(shù)方案，本發(fā)明具有如下優(yōu)越性 本發(fā)明拋光粘片用液態(tài)蠟，是一種高溫液體蠟，應用于大規(guī)模集成電路用 拋光片，由于其是水溶性的，因此拋光片清洗工藝簡單，無環(huán)境污染；它適用 粗拋機拋光時溫度可以達到高溫6(TC采用恒壓工藝，拋光去除量速率高，拋光 片表面的平行度TTV，彎曲度B0W，平整度TIR，局部平整度STIR質(zhì)量水平高； 拋光粘片用液態(tài)蠟能保證蠟液的均勻，粘度一致性，蠟層不存在點、污物、顆 粒、閃亮點，氣泡，魚眼，高爾夫球形；蠟液崩濺，蠟層裂紋，條紋或裂開， 不平或有旋渦，覆蓋不全的缺點。
本發(fā)明拋光粘片用液態(tài)蠟，使用條件要求高,在拋光粘片過程中，需要特定 又精良的裝片設(shè)備來完成的，在拋光載體板上的加蠟量、蠟層厚度，載體板加 熱，裝片，硅片定位、粘結(jié)整個裝片過程是重復性一致，受到設(shè)備的嚴格控制。 配蠟的準確和把硅片往載體板上裝片符合要求，將直接影響到拋光片的徑向錐 度，平整度等技術(shù)指標。


圖1是拋光粘片用液態(tài)蠟拋光粘片的工藝流程圖。
具體實施例方式
實施方式一
該拋光粘片用液態(tài)蠟，其含有以下組份(按l萬克重量比) 聚乙稀二醇 662. 3
漆片 198. 5
異丙醇 548. 7
25%的氨水 307, 0
18兆去離子水 2347. 8
8030樹脂 5913. 1
制備拋光粘片用液態(tài)蠟，其制備步驟如下
(1) 、將一個容量為10升的配蠟桶放在稱重天平上，稱重天平置于通風櫥
內(nèi)；
(2) 、把聚乙稀二醇、漆片、異丙醇、25%的氨水、18兆去離子水、8030 樹脂，依次按順序和質(zhì)量分數(shù)，倒入配蠟桶之中，直至到達要求讀數(shù)為止；
(3) 、通過磁力攪拌使配料慢慢混勻，至少攪拌3小時；攪拌后，靜置3小
時；
(4) 、存放時要蓋緊配蠟桶的蓋子； 一桶總配蠟料約為IO公斤；
(5) 、蠟液使用前，使用50)am的過濾袋，予過濾。 液態(tài)蠟拋光粘片的工藝，其工藝步驟如下
(1) 、按照如上所述的制備方法制備液態(tài)蠟，并攪拌混合均勻；
(2) 、沖洗拋光載體板，去除原粘片殘剩蠟，粘片載體板直徑為287mm， 厚度為10.16mm;
(3) 、在載體板上上蠟、甩蠟；上蠟 一個周期為36.5秒，用蠟流速148m1/ 分，每一載體板上供量15.8ml，蠟層厚8.5nm;上蠟時，設(shè)定粘片載體板 轉(zhuǎn)速為200轉(zhuǎn)/分甩蠟時，設(shè)定粘片載體板轉(zhuǎn)速為300轉(zhuǎn)/分；
(4) 、將上好蠟的載體板放在蒸汽加熱器上加熱，60秒內(nèi)載體板加熱至96
。C;
(5) 、將所需粘的腐蝕硅片，沖洗甩干，立即使用；
(6) 、把硅片放入真空腔下的裝片臺模板孔內(nèi)，裝3片①125mm的硅片， 壓片真空腔氣缸壓力為82PSI;
(7) 、將按照上述第(6)步操作后的硅片固定在載體板上；
(8) 、將按照上述第(7)步操作后的裝片臺的載體板，送至粗拋機處準備
拋光。
實施方式二
該拋光粘片用液態(tài)蠟，其含有以下組份(按l萬克重量比):
聚乙稀二醇 664. 0
漆片 200. 0
異丙醇 550. 0
25%的氨水 308. 4
18兆去離子水 2350. 6
8030樹脂 5927. 0
制備拋光粘片用液態(tài)蠟，其制備步驟如下
(1) 、將一個容量為10升的配蠟桶放在稱重天平上，稱重天平置于通風櫥
內(nèi)；
(2) 、把聚乙稀二醇PEGE—200、漆片、異丙醇、25%的氨水、18兆去離子 水、8030樹脂，依次按順序和質(zhì)量分數(shù)，倒入配蠟桶之中，直至到達要求讀數(shù) 為止；
(3) 、通過磁力攪拌使配料慢慢混勻，至少攪拌3小時；攪拌后，靜置3小
時；
(4) 、存放時要蓋緊配蠟桶的蓋子； 一桶總配蠟料為10公斤；
(5) 、蠟液使用前，使用50pm的過濾袋，予過濾。 液態(tài)蠟拋光粘片的工藝，其工藝步驟如下
(1) 、按照如上所述的制備方法制備液態(tài)蠟，并攪拌混合均勻；
(2) 、沖洗拋光載體板，去除原粘片殘剩蠟，粘片載體板直徑為287mm， 厚度為10.16mm;
(3) 、在載體板上上蠟、甩蠟；上蠟 一個周期為36.5秒，用蠟流速152m1/ 分，每一載體板上供量16.2ml，蠟層厚9.(Him;上蠟時，設(shè)定粘片載體板 轉(zhuǎn)速為200轉(zhuǎn)/分甩蠟時，設(shè)定粘片載體板轉(zhuǎn)速為300轉(zhuǎn)/分；(4) 、將上好蠟的載體板放在蒸汽加熱器上加熱，60秒內(nèi)載體板加熱至97
°C;
(5) 、將所需粘的腐蝕硅片，沖洗甩干，立即使用；
(6) 、把硅片放入真空腔下的裝片臺模板孔內(nèi)，裝3片①125mm的硅片， 壓片真空腔氣缸壓力為85PSI;
(7) 、將按照上述第.(6)步操作后的硅片固定在載體板上；
(8) 、將按照上述第(7)步操作后的裝片臺的載體板，送至粗拋機處準備拋光。
實施方式三
該拋光粘片用液態(tài)蠟，其含有以下組份(按l萬克重量比)
聚乙稀二醇 665. 7
漆片 201. 5
異丙醇 551. 2
25%的氨水 309. 7
18兆去離子水 2353. 4
8030樹脂 5940. 8
制備拋光粘片用液態(tài)蠟，其制備步驟如下
(1)、將一個容量為10升的配蠟桶放在稱重天平上，稱重天平置于通風櫥
內(nèi)；
(2)、把聚乙稀二醇PEGE—200、漆片、異丙醇、25%的氨水、18兆去離 子水、8030樹脂，依次按順序和質(zhì)量分數(shù)，倒入配蠟桶之中，直至到達要求讀 數(shù)為止；
(3) 、通過磁力攪拌使配料慢慢混勻，至少攪拌3小時；攪拌后，靜置3小
時；
(4) 、存放時要蓋緊配蠟桶的蓋子； 一桶總配蠟料約為IO公斤；
(5) 、蠟液使用前，使用5(Him的過濾袋，予過濾。
液態(tài)蠟拋光粘片的工藝，其工藝步驟如下-
(1) 、按照如上所述的制備方法制備液態(tài)蠟，并攪拌混合均勻；
(2) 、沖洗拋光載體板，去除原粘片殘剩蠟，粘片載體板直徑為287mm， 厚度為10.16mm;
(3)、在載體板上上蠟、甩蠟；上蠟 一個周期為36.5秒，用蠟流速152ml/ 分，每一載體板上供量16.8ml，蠟層厚10.5pm;上蠟時，設(shè)定粘片載體板 轉(zhuǎn)速為204轉(zhuǎn)/分甩蠟時，設(shè)定粘片載體板轉(zhuǎn)速為305轉(zhuǎn)/分；
(4 )、將上好蠟的載體板放在蒸汽加熱器上加熱，60秒內(nèi)載體板加熱至98.5
°C;
(5) 、將所需粘的腐蝕硅片，沖洗甩干，立即使用；
(6) 、把硅片放入真空腔下的裝片臺模板孔內(nèi)，裝5片①100mm的硅片， 壓片真空腔氣缸壓力為85PSI;
(7) 、將按照上述第(6)步操作后的硅片固定在載體板上；
(8) 、將按照上述第(7)步操作后的裝片臺的載體板，送至粗拋機處準備拋光。
權(quán)利要求
1、一種拋光粘片用液態(tài)蠟，其特征在于其含有以下組份(按1萬克重量比)聚乙稀二醇 662.3～665.7漆片198.5～201.5異丙醇 548.7～551.225％的氨水 307.0～309.718兆去離子水2347.8～2353.48030樹脂5913.1～5940.8。
2、 如權(quán)利要求1所述的拋光粘片用液態(tài)蠟，其特征在于其組份中，重量 在0 1000克的組份允許誤差為士O. 5%，重量在1000克以上的組份允許誤差 為±0.2%。
3、 一種如權(quán)利要求1所述的拋光粘片用液態(tài)蠟的制備方法，其特征在于 其制備步驟如下(1) 、將一個容量為10升的配蠟桶放在稱重天平上，稱重天平置于通風櫥內(nèi)；(2) 、把聚乙稀二醇、漆片、異丙醇、25%的氨水、18兆去離子水、8030 樹脂，依次按順序和重量比，倒入配蠟桶之中，直至到達要求讀數(shù)為止；(3) 、通過磁力攪拌使配料慢慢混勻，至少攪拌3小時；攪拌后，靜置3小時；(4) 、存放時要蓋緊配蠟桶的蓋子； 一桶配蠟料為10±0.3%公斤；(5) 、蠟液使用前，使用50pm的過濾袋，予過濾。
4、 一種如權(quán)利要求1所述的拋光粘片用液態(tài)蠟拋光粘片的工藝，其特征在 于其工藝步驟如下(1) 、按照如上所述的制備方法制備液態(tài)蠟，并攪拌混合均勻；(2) 、沖洗拋光載體板，去除原粘片殘剩蠟；粘片載體板直徑為287mm， 厚度為10.16mm;(3) 、在載體板上上蠟、甩蠟；上蠟 一個周期為36.5秒，用蠟流速150士 5ml/分，每一載體板上供量16±lml，蠟層厚9±2|tim;上蠟時，設(shè)定粘片載 體板轉(zhuǎn)速為200±5轉(zhuǎn)/分，甩蠟時，設(shè)定粘片載體板轉(zhuǎn)速為300±5轉(zhuǎn)/分；(4) 、將上好蠟的載體板放在蒸汽加熱器上加熱，60秒內(nèi)載體板加熱至97±2°C;(5) 、將所需粘的腐蝕硅片，沖洗甩干，立即使用；(6) 、把硅片放入真空腔下的裝片臺模板孔內(nèi)，裝片、壓片；裝片①125mm 的可一次裝3片，OlOOmm的可一次裝5片， 一塊載體板上，腐蝕硅片厚度 之間最大誤差為2.0 |im;壓片真空腔氣缸壓力為80 90PSI，即5.6 6.3公斤 /cm2 ;壓片時間在60秒內(nèi)真空度達0.8 1.0托；(7) 、將按照上述第(6)步操作后的硅片固定在載體板上；(8) 、將按照上述第(7)步操作后的裝片臺的載體板，送至粗拋機處準備拋光。
全文摘要
本發(fā)明公開一種拋光粘片用液態(tài)蠟及其制備方法和拋光粘片的工藝，液態(tài)蠟含有的組份(按1萬克重量比)662.3～665.7的聚乙烯二醇、198.5～201.5的漆片、548.7～551.2的異丙醇、307.0～309.7的25％的氨水、2347.8～2353.4的18兆去離子水、5913.1～5940.8的8030樹脂；將各組份依次按順序和重量比，倒入配蠟桶之中，通過磁力攪拌使配料慢慢混勻即可制得；該液態(tài)蠟能夠保證蠟液的均勻，粘度一致性，拋光速率高，適宜大批量生產(chǎn)需求，而且拋光片表面質(zhì)量好。
文檔編號C09G1/00GK101376793SQ20071005508
公開日2009年3月4日 申請日期2007年8月29日 優(yōu)先權(quán)日2007年8月29日
發(fā)明者舸 史, 李科技, 文 王, 王文衛(wèi), 郭體強, 陳興邦 申請人:麥斯克電子材料有限公司