專(zhuān)利名稱(chēng)：可聚合的組合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及官能化丙烯酸酯聚合物、其制備方法、包含這些聚合物的可光致聚合的組合物和該組合物特別是在電子元件生產(chǎn)中的用途。術(shù)語(yǔ)電子元件指用于電子設(shè)備中的元件，例如電路板或者光電子元件。
可光致聚合的組合物久已為人所知，例如用作光刻膠，作為用于任何需要的金屬表面的結(jié)構(gòu)化的抗蝕劑或者作為用于涂覆結(jié)構(gòu)化金屬表面的阻焊劑。此外，可光致聚合的組合物被用于激光直接成像(LDI)、微電子器件、薄膜晶體管(TFT)和液晶顯示(LCD)技術(shù)、印刷板的生產(chǎn)和作為油墨用于噴墨方法。
被用作可光致聚合組合物中的粘結(jié)劑聚合物的非光敏丙烯酸酯聚合物是已知的，如US 4,361,640和US 4,925,768所描述的。光敏丙烯酸酯聚合物是包含光反應(yīng)性雙鍵的聚合物。
光敏聚合物也被用作可光致聚合組合物中的粘結(jié)劑聚合物，如US5,296,334中的情形。然而，與包含(甲基)丙烯酸酯的官能化聚合物相比，它們?cè)诘淄繉?primary)或者抗蝕劑制劑中的適用性是有限的，如US 6,166,245，第1欄，第42-55行更詳細(xì)解釋的。
現(xiàn)有技術(shù)中已知的可光致聚合的組合物不能滿(mǎn)足所有對(duì)它們的要求。因此需要改進(jìn)的組合物。
對(duì)于可光致聚合組合物作為光刻膠的應(yīng)用，特別希望在以下方面得到改進(jìn)光敏性、表面硬度、可剝離性、冷流性狀和涂覆和干燥的基材的可堆垛性。
本發(fā)明的目的是提供滿(mǎn)足這些要求的組合物。
令人驚奇地，本發(fā)明的可光致聚合的組合物在干燥之后具有很大的硬度，同時(shí)具有高光敏性。在干燥之后涂層的很大的硬度對(duì)冷流性狀和由機(jī)械損傷所引起的缺損具有積極影響。與相應(yīng)的包含非官能化的粘結(jié)劑聚合物的組合物相比，該光反應(yīng)性的粘結(jié)劑聚合物能夠提高光敏組合物的光敏性，其在交聯(lián)或者固化之后具有較大的硬度，同時(shí)具有恒定的柔順性。盡管具有高光敏性，該光敏組合物還具有優(yōu)良的可剝離性。本發(fā)明的組合物的高先敏性容許減少光引發(fā)劑的量并且因此能更經(jīng)濟(jì)地制備。本發(fā)明的光刻膠組合物還具有很好的貯存期限的特征。
因此，本發(fā)明提供了至少包含以下成分的反應(yīng)產(chǎn)物a)丙烯酸或者甲基丙烯酸或者丙烯酸或者甲基丙烯酸的混合物，和b)取代或未取代的酚、C1-C8-羥基烷基苯或者C1-C8-羥基烷氧基苯的(甲基)丙烯酸酯，和(甲基)丙烯酸甲酯，該(甲基)丙烯酸酯與該(甲基)丙烯酸甲酯的摩爾比為5∶95到100∶0，5-90％和優(yōu)選15-70％的所述丙烯酸或者甲基丙烯酸單元已經(jīng)與縮水甘油基乙烯基化合物反應(yīng)。
此外，除非明確地另外確定，丙烯酸和丙烯酸酯還始終被理解為分別指甲基丙烯酸和甲基丙烯酸酯或者其混合物。
本發(fā)明的反應(yīng)產(chǎn)物對(duì)應(yīng)于包含以下通式(I)的結(jié)構(gòu)要素的丙烯酸酯聚合物 其中，R相互獨(dú)立地是H或者CH3；R1是被乙烯基基團(tuán)取代的有機(jī)基團(tuán)；R2是氫，或者與R1一起并且包括連接R1和R2的亞乙基基團(tuán)是六-到八-元碳環(huán)，該碳環(huán)帶有被乙烯基基團(tuán)取代的有機(jī)基團(tuán)；和R3相互獨(dú)立地是甲基、取代或未取代的苯基、取代或未取代的C1-C8-烷基苯基、取代或未取代的C1-C8-烷氧基苯基或者取代或未取代的環(huán)烷基，例如C5-C8-環(huán)烷基，條件是至少有一個(gè)單體單元的R3不同于甲基。
單體單元的順序在通式(I)中通過(guò)舉例的方式得到說(shuō)明，其由制備方法和選擇的摩爾比決定。
本發(fā)明使用的縮水甘油基乙烯基化合物各自具有環(huán)氧化物基團(tuán)和乙烯基基團(tuán)，作為乙烯基基團(tuán)，丙烯酸酯基團(tuán)是優(yōu)選的。這類(lèi)縮水甘油基乙烯基化合物的例子還尤其見(jiàn)于US 4,927,884，第12欄，第19及以下行。如此，R1作為被乙烯基基團(tuán)取代的有機(jī)基團(tuán)，是例如被乙烯基基團(tuán)取代的脂族、脂環(huán)族或者芳族基團(tuán)。R1作為脂族、脂環(huán)族或者芳族基團(tuán)，可以是例如取代或未取代的亞烷基例如C1-C8-亞烷基、取代或未取代的亞環(huán)烷基例如C5-C8-亞環(huán)烷基、取代或未取代的亞芳基例如亞苯基或者亞萘基或者取代或未取代的亞烯基例如C2-C8-亞烯基。
對(duì)于為R1和R3提到的基團(tuán)，適合的取代基是例如羥基基團(tuán)、C1-C8-烷基基團(tuán)和C1-C8-烷氧基基團(tuán)。
R1優(yōu)選是未取代的脂族、脂環(huán)族或者芳族基團(tuán)，C1-C8-亞烷基是優(yōu)選的，并且-CH2-是尤其優(yōu)選的。
本發(fā)明的優(yōu)選的反應(yīng)產(chǎn)物對(duì)應(yīng)于包含以下通式(Ia)的結(jié)構(gòu)單元的丙烯酸酯聚合物 其中，R相互獨(dú)立地是H或者CH3；R1’是取代或未取代的C1-C8-亞烷基；和R3是甲基、取代或未取代的苯基、取代或未取代的C1-C8-烷基苯基、取代或未取代的C1-C8-烷氧基苯基或者取代或來(lái)取代的環(huán)烷基，例如C5-C8-環(huán)烷基。
其中組分a)是甲基丙烯酸的本發(fā)明的反應(yīng)產(chǎn)物是優(yōu)選的。
其中組分b)的甲基丙烯酸酯是甲基丙烯酸芐基酯的本發(fā)明反應(yīng)產(chǎn)物是優(yōu)選的。
其中縮水甘油基乙烯基化合物是甲基丙烯酸縮水甘油酯的本發(fā)明的反應(yīng)產(chǎn)物是優(yōu)選的。
其中組分a)是甲基丙烯酸和所述官能化用甲基丙烯酸縮水甘油酯來(lái)進(jìn)行的本發(fā)明的反應(yīng)產(chǎn)物是優(yōu)選的。
特別地，如果需要在干燥之后具有提高的硬度，則對(duì)于組分b)優(yōu)選的是，取代或未取代的酚、C1-C8-羥基烷基苯或者C1-C8-羥基烷氧基苯的(甲基)丙烯酸酯與甲基丙烯酸甲酯的比率(重量百分?jǐn)?shù))為7.1∶92.9到50∶50。
此外優(yōu)選的是通式(I)的反應(yīng)產(chǎn)物，其中組分a)與組分b)的比率(重量百分?jǐn)?shù))為80∶20到20∶80，40∶60的比率是優(yōu)選的和30∶70的比率是尤其優(yōu)選的。
通式(I)的反應(yīng)產(chǎn)物的分子量?jī)?yōu)選為3000-120000g/mol、尤其優(yōu)選8000-90000g/mol。
通式(I)的反應(yīng)產(chǎn)物優(yōu)選具有0.4-5.0摩爾/千克的酸值，尤其優(yōu)選具有0.8-2.8摩爾/千克的酸值，相對(duì)于固體樹(shù)脂。
這類(lèi)反應(yīng)產(chǎn)物的制備原則上是已知的，并且描述于例如(J.M.G.Cowie，Chemie und Physik der synthetischen Polymeren[合成聚合物的化學(xué)和物理]，1997，由Friedr.Vieweg&Sohn出版)。用于合成直鏈丙烯酸酯聚合物的聚合步驟例如作為溶液聚合來(lái)進(jìn)行，然后用縮水甘油基乙烯基化合物將某些游離酸基團(tuán)縮水甘油基化。優(yōu)選的實(shí)施方案在實(shí)施例中有說(shuō)明。
除了對(duì)于a)和b)提到的丙烯酸酯化合物外，以下丙烯酸酯單體可以附加地用于制備本發(fā)明的反應(yīng)產(chǎn)物丙烯酸烯丙酯、甲基丙烯酸烯丙酯、甲基、乙基、正丙基、正丁基、異丁基、正己基、2-乙基己基、正辛基、正癸基和正十二烷基丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯、2-羥乙基和2-和3-羥丙基丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酰氧基-2-羥丙基甲基丙烯酸酯、2-甲氧基乙基、2-乙氧基乙基和2-或者3-乙氧基丙基丙烯酸酯、2-(2-乙氧基乙氧基)乙基丙烯酸酯、四氫化糠基甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酸環(huán)己酯、苯基甲基丙烯酸酯、苯乙基甲基丙烯酸酯、甲苯?；谆┧狨ァ⒓妆交一谆┧狨?、2-苯氧基乙基甲基丙烯酸酯、2-甲苯基氧乙基甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酸異癸基酯和甲基丙烯酸異冰片基酯。這類(lèi)產(chǎn)品同樣是已知的，并且它們中的某些是市售可得的，例如來(lái)自SARTOMER公司(美國(guó))。
作為附加的丙烯酸酯單體，以下是尤其優(yōu)選的甲基丙烯酸2-苯氧基乙酯、甲基丙烯酸環(huán)己酯和甲基丙烯酸異冰片酯。
例如，將2，3-環(huán)氧基丙基甲基丙烯酸酯、3，4-環(huán)氧基-1-丁烯、1-烯丙氧基-2，3-環(huán)氧丙烷、4-乙烯基-1-環(huán)己烯1，2-環(huán)氧化物和3，4-環(huán)氧環(huán)己基甲基(甲基)丙烯酸酯用于游離酸基團(tuán)的縮水甘油基化。2，3-環(huán)氧基丙基甲基丙烯酸酯、3，4-環(huán)氧環(huán)己基甲基(甲基)丙烯酸酯和4-乙烯基-1-環(huán)己烯1，2-環(huán)氧化物是尤其優(yōu)選的。
本發(fā)明尤其優(yōu)選的反應(yīng)產(chǎn)物具有以下結(jié)構(gòu)要素
本發(fā)明還提供了可光致聚合的組合物，其實(shí)質(zhì)上包含i)如上所述的本發(fā)明的反應(yīng)產(chǎn)物，ii)根據(jù)需要的單體的或者低聚的丙烯酸酯，其具有至少兩個(gè)烯屬不飽和末端基團(tuán)，iii)聚合引發(fā)劑體系，其生產(chǎn)自由基、陽(yáng)離子或者陰離子，可以由光化輻射活化并且可以另外地包含一種或多種敏化劑，和iv)根據(jù)需要的有機(jī)或者無(wú)機(jī)填料。
通常，組分(i)的量為15-70重量百分?jǐn)?shù)。
本發(fā)明的可光致聚合組合物包含(ii)單體的或者低聚的丙烯酸酯，其具有至少兩個(gè)烯屬不飽和末端基團(tuán)，所述組合物還可以包含兩種或多種丙烯酸酯的混合物。
例如，適合的丙烯酸酯化合物(ii)是脂族或者脂環(huán)族二醇的二丙烯酸酯和二甲基丙烯酸酯，所述二醇例如是1，3-丁二醇、1，4-丁二醇、新戊二醇、1，6-己二醇、二甘醇、三甘醇、四甘醇、聚乙二醇400、聚乙二醇600、三丙二醇、乙氧基化或者丙氧基化新戊二醇、1，4-二羥基甲基環(huán)己烷、2，2-雙(4-羥基環(huán)己基)丙烷或者雙(4-羥基環(huán)己基)甲烷。
例如，以下化合物可以在本發(fā)明可光致聚合組合物中用作多官能丙烯酸酯1，1，1-三甲基丙烷三丙烯酸酯或者甲基丙烯酸酯、乙氧基化的1，1，1-三羥甲基丙烷三丙烯酸酯或者甲基丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、季戊四醇一羥基三丙烯酸酯或者甲基丙烯酸酯、二季戊四醇一羥基三丙烯酸酯或者甲基丙烯酸酯。這類(lèi)化合物是已知的并且它們中的某些是市售可得的，例如來(lái)自Sartomer公司(美國(guó))的以下產(chǎn)品SR-295、SR-350、SR-351、SR-367、SR-399、SR-444和SR-454。
對(duì)于本發(fā)明可光致聚合組合物，優(yōu)選將基于雙酚A和雙酚F的二(甲基)丙烯酸酯或者烷氧基化、優(yōu)選乙氧基化或者丙氧基化雙酚A或者雙酚F的二(甲基)丙烯酸酯用作芳族二(甲基)丙烯酸酯。這類(lèi)單體的或者低聚的二(甲基)丙烯酸酯同樣是已知的并且它們中的某些是市售可得的，例如來(lái)自Sartomer公司(美國(guó))的以下產(chǎn)品表示乙氧基化雙酚A二甲基丙烯酸酯的SR-348和表示乙氧基化雙酚A二丙烯酸酯的SR-349。
可以包含在本發(fā)明可光致聚合組合物中的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯同樣是本領(lǐng)域技術(shù)人員已知的并且可以已知方式進(jìn)行制備，例如通過(guò)羥基終端的聚氨酯與丙烯酸或者甲基丙烯酸反應(yīng)，給出相應(yīng)的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯，或者通過(guò)異氰酸酯終端的預(yù)聚物與羥烷基(甲基)丙烯酸酯反應(yīng)，給出相應(yīng)的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯。這類(lèi)制備方法公開(kāi)于例如公開(kāi)專(zhuān)利申請(qǐng)EP114982和EP133908。
本發(fā)明可光致聚合組合物作為組分(ii)優(yōu)選包含脂族丙烯酸酯、環(huán)脂族丙烯酸酯，以及根據(jù)需要的氨基甲酸酯丙烯酸酯。
通常，組分(ii)的量是0-30重量百分?jǐn)?shù)。
本發(fā)明可光致聚合組合物包含(iii)光致聚合引發(fā)劑體系，其包含一種或多種光引發(fā)劑，根據(jù)需要，其可以包含一種或多種敏化劑，使得組合物的固化可以?xún)?yōu)選地借助于UV/VIS曝光來(lái)引發(fā)。光致聚合引發(fā)劑體系的典型實(shí)例是苯偶姻類(lèi)、苯偶姻醚類(lèi)，例如苯偶姻、苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙醚和苯偶姻異丙醚、苯偶姻苯基醚和乙酰苯偶姻，苯乙酮類(lèi)、例如苯乙酮、2，2-二甲基苯乙酮和1，1-二氯苯乙酮，苯偶酰、苯偶酰酮縮醇類(lèi)，例如苯偶酰二甲基酮縮醇和苯偶酰二乙基酮縮醇，和2-甲基-1-(4-甲基硫代苯基)-2-嗎啉代-1-丙酮，其可以名稱(chēng)Irgacure購(gòu)自Ciba Spezialittenchemie(瑞士)，蒽醌類(lèi)，例如2-甲基蒽醌、2-乙基蒽醌、2-叔丁基蒽醌、1-氯蒽醌和2-戊基蒽醌、三苯基膦、苯甲酰基膦氧化物(Luzirin TPO，BASF)，二苯甲酮類(lèi)，例如二苯甲酮和4，4’-雙(N，N’-二甲氨基)二苯甲酮，噻噸酮類(lèi)和噸酮類(lèi)，吖啶衍生物，吩嗪衍生物，喹喔啉衍生物或者1-苯基-1，2-丙二酮2-O-苯甲?；?，1-氨基苯基酮類(lèi)或者1-羥苯基酮類(lèi)，例如1-羥基環(huán)己基苯基酮、苯基1-羥基異丙基酮和4-異丙基苯基1-羥基異丙基酮和2-芐基-2，2-二甲氨基-1-(4-N-嗎啉代苯基)-1-丁酮，這些是已知的化合物并且在某些情況下是市售可得的。這些化合物可以單獨(dú)地或者混合地包含在本發(fā)明組合物中。對(duì)于不同波長(zhǎng)的輻射具有不同反應(yīng)活性的不同的光致聚合引發(fā)劑和敏化劑的結(jié)合，可以例如較好地利用發(fā)射不同波長(zhǎng)的發(fā)射譜線(xiàn)的UV/VIS光源。
特別地，可以名稱(chēng)Irgacure購(gòu)得的光引發(fā)劑，例如苯偶酰二甲基酮縮醇、苯偶酰二乙基酮縮醇、2-芐基-2，2-二甲氨基-1-(4-N-嗎啉代苯基)-1-丁酮和2-甲基-1-(4-甲基硫代苯基)-2-嗎啉代-1-丙酮被特別地用作光致聚合引發(fā)劑(iii)。
光致聚合引發(fā)劑優(yōu)選以基于本發(fā)明組合物為0.1到15重量％的量存在。
此外，可以將光致聚合促進(jìn)劑與所述光致聚合引發(fā)劑一起加入到本發(fā)明組合物中。光致聚合促進(jìn)劑能夠加速聚合反應(yīng)。典型實(shí)例是叔胺，例如三乙胺、三乙醇胺、2-二甲氨基乙醇等等。
本發(fā)明組合物還可以包含填料，例如水相容性的、有機(jī)和無(wú)機(jī)性質(zhì)的填料，例如滑石、石英(SiO2)、硫酸鋇(BaSO4)、氧化鋁和碳酸鈣，其量為0到60％重量。
此外，本發(fā)明組合物可以包含有機(jī)溶劑。溶劑優(yōu)選選自酮，例如甲基乙基酮、環(huán)己酮等等；芳香族烴，例如甲苯、二甲苯、四甲苯等等；乙二醇醚，例如甲基溶纖劑、丁基溶纖劑、甲基卡必醇、丁基卡必醇、丙二醇單甲醚、二丙二醇單乙基醚、二丙二醇單甲醚、三甘醇單乙基醚等等；酯，例如乙酸乙酯、乙酸丁酯、乙酸甲氧基丙基酯、二甘醇醚乙酸酯、上述乙二醇醚的乙酸酯等等；醇，例如二丙酮醇、乙醇、丙醇、甲氧基丙醇、乙二醇、丙二醇等等；脂肪族烴，例如辛烷、癸烷等等；和石油溶劑，例如石油醚、石腦油、氫化石腦油、石腦油溶劑等等。這些有機(jī)溶劑起降低本發(fā)明組合物粘度的作用，從而導(dǎo)致施用性能的提高。
本發(fā)明組合物還可以包含添加劑，例如附加的聚合物、低聚物或者單體，其例如促進(jìn)焊劑遮蓋層的熱固化，染料(顏料)，增稠劑，防沫劑，均化劑，熱聚合抑制劑或者抗氧劑。促進(jìn)熱固化的可能的添加劑是固體的或者液體的、單體的、低聚的或者聚合的化合物，其包含至少2個(gè)游離環(huán)氧基團(tuán)，例如三縮水甘油基異氰脲酸酯、雙酚A或者F或者S環(huán)氧樹(shù)脂、雙酚A酚醛清漆類(lèi)型環(huán)氧樹(shù)脂(苯酚酚醛清漆類(lèi)型、鄰甲酚酚醛清漆類(lèi)型、對(duì)叔丁基苯酚酚醛清漆類(lèi)型)?？赡艿娜玖?顏料)是酞菁藍(lán)、酞菁綠、碘綠、雙偶氮黃、結(jié)晶紫、二氧化鈦、炭黑、萘黑等等。適合的增稠劑是例如Orben、Penton、蒙脫土等等。適合的防沫劑是例如氟硅氧烷-型、氟化物-型或者聚合物-型防沫劑?？赡艿臒峋酆弦种苿┦菍?duì)苯二酚、對(duì)苯二酚單甲醚、叔丁基鄰苯二酚、1，2，3-苯三酚、吩噻嗪等等。
本發(fā)明因此還提供可光致聚合的組合物，其實(shí)質(zhì)上包含i)如上所述的反應(yīng)產(chǎn)物，ii)根據(jù)需要的單體的或者低聚的丙烯酸酯，其具有至少兩個(gè)烯屬不飽和末端基團(tuán)，iii)聚合引發(fā)劑或者引發(fā)劑體系，其生產(chǎn)自由基、陽(yáng)離子或者陰離子并且可以借助于光化輻射來(lái)活化，iv)根據(jù)需要的有機(jī)或者無(wú)機(jī)填料，v)熱聚合抑制劑，和vi)溶劑或者溶劑體系。
本發(fā)明還提供可光致聚合的組合物，其實(shí)質(zhì)上包含i)15-70％重量的如上所述的反應(yīng)產(chǎn)物，ii)0-30％重量的單體的或者低聚的丙烯酸酯，其具有至少兩個(gè)烯屬不飽和末端基團(tuán)，iii)0.1-15％重量的聚合引發(fā)劑或者引發(fā)劑體系，其產(chǎn)生自由基、陽(yáng)離子或者陰離子并且可以借助于光化輻射來(lái)活化，iv)0-60％重量的有機(jī)或者無(wú)機(jī)填料，v)0.01-0.5％重量的熱聚合抑制劑，和vi)20-80％重量的溶劑或者溶劑體系，所述組分的百分?jǐn)?shù)基于總重量，條件是所述重量百分率的和是100。
本發(fā)明可光致聚合組合物例如通過(guò)以下過(guò)程來(lái)制備或者在攪拌下，根據(jù)需要在最高大約60℃的溫度下，將組分混合，或者借助于在基材表面上的原位混合來(lái)將組分混合，例如在噴墨式印刷方法中的情形。本發(fā)明可光致聚合組合物特別地用作光刻膠體系，其特別地用于金屬表面的結(jié)構(gòu)化和永久涂層。本發(fā)明的組合物可以例如用作主抗蝕劑或者用作焊劑遮蓋層，用于電路板的生產(chǎn)。該涂層可以通過(guò)任何已知方法被涂覆到基材上，特別地被涂覆到通常用銅敷層的清潔的板上，其中需排除具有光引發(fā)劑體系的吸收波長(zhǎng)的光。這類(lèi)涂覆方法的例子是旋涂、絲網(wǎng)印刷、刷涂、噴涂例如靜電噴涂、輥涂、浸涂和刮刀涂布、噴墨式印刷和幕涂方法。涂覆的量取決于應(yīng)用。為了獲得要求的層厚度和涂層的均勻性可能需要許多涂覆方法的結(jié)合。本發(fā)明組合物可以0.1微米到幾百微米來(lái)涂覆。然后，在空氣中將涂層干燥大約1到60分鐘，然后在60-120℃下干燥大約3到30分鐘。該涂層還可以在不進(jìn)行空氣干燥的情況下直接在烘箱中干燥或者通過(guò)IR輻射來(lái)干燥。
A)抗蝕劑在干燥之后，將光致抗蝕涂層通過(guò)例如光掩模暴露于或者直接暴露于激光，然后進(jìn)行顯影，例如用含水堿性顯影液(例如0.3-3％碳酸鈉溶液)或者有機(jī)溶劑(例如丁基二甘醇、乙基二甘醇或者？-丁內(nèi)酯)。涂層的未曝光的非交聯(lián)部分被除去。然后利用蝕刻溶液將金屬?gòu)幕牡倪@些未曝光部分除去，結(jié)果獲得了限定的結(jié)構(gòu)。然后通過(guò)洗提溶液將殘余的先刻膠除去，例如2-5％強(qiáng)度的氫氧化鈉溶液，根據(jù)需要可以在升高的溫度下進(jìn)行。
B)永久涂層在干燥之后，將光致抗蝕涂層通過(guò)例如光掩模暴露于或者直接暴露于激光，然后進(jìn)行顯影，例如用含水堿性顯影液(例如0.3-3％碳酸鈉溶液)或者有機(jī)溶劑(例如丁基二甘醇、乙基二甘醇或者？-丁內(nèi)酯)。因此將涂層的未曝光的非交聯(lián)部分除去，并且根據(jù)需要，將曝光的圖像部分在120-200℃的溫度范圍內(nèi)加熱最多3小時(shí)，以便進(jìn)行涂層的后固化。
本發(fā)明組合物的涂覆通常通過(guò)光化輻射來(lái)進(jìn)行，或者在利用噴墨式印刷機(jī)情況下，根據(jù)需要可以完全省去。可以使用所有本身已知的輻射源，例如高壓水銀燈或者UV/VIS激光器，用于所述輻照。通常，這些產(chǎn)生優(yōu)選具有大約220到550納米、特別是220到450納米波長(zhǎng)的UV和/或VIS輻射。過(guò)程參數(shù)，例如輻照時(shí)間和輻射源和輻射-敏感層的距離，通常取決于輻射-敏感組合物的類(lèi)型和所需要的涂層的性能，并且可以由本領(lǐng)域技術(shù)人員通過(guò)初步實(shí)驗(yàn)進(jìn)行確定。成像方式曝光可以例如通過(guò)光掩模進(jìn)行或者通過(guò)用激光束在輻射-敏感層上直接寫(xiě)入來(lái)進(jìn)行。
本發(fā)明組合物還可以通過(guò)噴墨方法被涂覆到基材上，如例如US5,738,916、US 6,040,002和WO02/01929中更詳細(xì)描述的。根據(jù)需要，組分的事先混合可以被省去，并且單獨(dú)組分或者組分混合物可以通過(guò)不同的壓力通道被涂覆到基材上。
在通常均勻的曝光之后，可以進(jìn)行蝕刻和剝離或者熱固化步驟，結(jié)果獲得了抗蝕或者永久涂層，而不經(jīng)過(guò)顯影步驟。使用的曝光劑量通?？梢源蟠蟮陀谠诔Ｒ?guī)光掩模曝光情況下的曝光劑量，或者取決于聚合物組合物，還可能完全省去。
本發(fā)明提供了生產(chǎn)蝕刻抗蝕劑圖像或者抗焊劑圖像的方法，其包括以下工藝步驟I.將本發(fā)明可光致聚合組合物涂覆到基材上；II.從涂覆的組合物中除去溶劑，在基材上形成可光致聚合組合物的薄膜；III.根據(jù)需要將涂覆的基材曝光到光化輻射；IV.根據(jù)需要，借助于堿性水溶液或者有機(jī)溶劑除去涂層的未曝光部分，使基材剝離；和V.將保留在基材上的涂層根據(jù)需要熱固化和根據(jù)需要UV固化。
還優(yōu)選的是產(chǎn)生蝕刻抗蝕劑圖像或者抗焊劑圖像的方法，其包括以下工藝步驟
I.通過(guò)噴墨方法將本發(fā)明可光致聚合組合物涂覆到基材上；II.從涂覆的組合物除去溶劑，在基材上形成干燥的可光致聚合組合物；III.根據(jù)需要，將涂覆的或者結(jié)構(gòu)化的基材均勻地曝光到光化輻射；和IV.將保留在基材上的涂層根據(jù)需要熱固化和根據(jù)需要UV固化。
除用于生產(chǎn)電路板的方法之外，本發(fā)明的反應(yīng)產(chǎn)物還可以用于生產(chǎn)印刷板的方法(如例如US 4,361,640，特別地第4欄第67行到第7欄第68行中所描述的)和用于生產(chǎn)LCD顯示器的方法(如例如US 5,925,484中所描述的)。
本發(fā)明還提供可光致聚合的元件，其包括基材，該基材帶有可光致聚合的層，該可光致聚合的層實(shí)質(zhì)上包含A)25-85％重量的如上所述的本發(fā)明的反應(yīng)產(chǎn)物；B)5-40％重量的單體的或者低聚的丙烯酸酯，其具有至少兩個(gè)烯屬不飽和末端基團(tuán)；C)1-25％重量的加成聚合引發(fā)劑或者引發(fā)劑體系，其產(chǎn)生自由基、陽(yáng)離子或者陰離子并且可以通過(guò)光化輻射被活化；D)0-60％重量的有機(jī)或者無(wú)機(jī)填料，和E)0.025-1.0％重量的熱聚合抑制劑；所述組分的百分?jǐn)?shù)基于總重量，條件是所述重量百分率的和是100，該可光致聚合的層具有0.1-400微米的厚度。
層厚度為3-50微米是優(yōu)選的。
以下實(shí)施例進(jìn)一步說(shuō)明本發(fā)明。
使用的縮寫(xiě)具有以下含義MAA 甲基丙烯酸MMA 甲基丙烯酸甲酯BzMA 甲基丙烯酸芐基酯MAGMA 甲基丙烯酰氧基-2-羥丙基甲基丙烯酸酯MGIP 甲基丙烯酰氧基-2-羥丙基異丙基醚MPA＝PMA 甲氧基丙基乙酸酯MP甲氧基丙醇
Cr-Hex-CEM 鉻(III)2-乙基己酸鹽TMPTA 三羥甲基丙烷三丙烯酸酯(CrayValley)Ebecryl 160聚[氧-1，2-乙烷二基，α，氫-ω-[(1-氧代-2-丙烯基)氧]]醚和2-乙基-2(羥甲基)-1，3-丙二醇(3∶1)，(UCB)Irgacure 907 2-甲基-1-(4-甲硫基)苯基-2-嗎啉代-1-丙酮(Ciba)Orasolblau GN 酞菁染料，CibaQuantacure ITX 2，4-異丙基噻噸酮，RahnSilbond FW 600AST SiO2，Quartzwerk FrechenDyhard UR 200 取代的芳族脲，(Rahn)Tego 900 聚硅氧烷(Tego)Syloid161 無(wú)定形二氧化硅，SiO2，(Grace)DER 331雙酚A環(huán)氧樹(shù)脂，(Dow)Lionol Green 2Y-301酞菁染料，(Toyo)合成實(shí)施例合成實(shí)施例1將包含35重量份的甲基丙烯酸甲酯、35重量份的甲基丙烯酸芐基酯和30重量份的甲基丙烯酸的充分混合的溶液的10％引入反應(yīng)器，其中已經(jīng)最初加入了200毫升的溶劑混合物MPA/MP(70∶30)。將100毫升MPA/MP和2重量份的2，2’-偶氮雙(2-甲基丁腈)加入剩余的單體溶液。在氮?dú)庀?，將反?yīng)器中的最初加入的混合物加熱到90℃，在2小時(shí)時(shí)間內(nèi)向反應(yīng)器中最初加入的混合物中滴加上述充分混合的單體/引發(fā)劑溶液。在單體混合物的加入結(jié)束之后，使反應(yīng)溶液在90℃下反應(yīng)另外的5小時(shí)，然后在135℃下反應(yīng)1小時(shí)。
然后，將反應(yīng)冷卻到90℃，將空氣在反應(yīng)面下面通過(guò)。在加入0.2重量百分?jǐn)?shù)的二-叔丁基-對(duì)甲酚和0.2重量百分?jǐn)?shù)的Cr-Hex-CEM之后，在40分鐘時(shí)間內(nèi)滴加12.4重量份的甲基丙烯酸縮水甘油酯。在加入結(jié)束之后，使反應(yīng)溶液在90℃反應(yīng)另外的10分鐘。通過(guò)酸滴定、環(huán)氧化物滴定、GPC和固體含量分析，對(duì)如此獲得的聚合物溶液進(jìn)行表征。
表1官能化的樹(shù)脂
對(duì)比合成實(shí)施例2(非官能化的樹(shù)脂)按照合成實(shí)施例1中的描述合成樹(shù)脂，但是省略與甲基丙烯酸縮水甘油酯的反應(yīng)。
表2本發(fā)明同構(gòu)9-脫氧-9a-氮雜-9a-甲基-9a-高紅霉素A假多晶型物的制備條件
1. 9a-DeMet＝9-脫氧-9a-氮雜-9a-甲基-9a-高紅霉素A
表3用于液體蝕刻抗蝕劑的制劑
制劑實(shí)施例2將示于表中的兩種組分的成分混合，并且利用三輥磨機(jī)進(jìn)行研磨，給出均質(zhì)材料。重復(fù)該過(guò)程三次，使得制備的制劑的最大固體成分的粒度不大于3微米。以所述的比率將樹(shù)脂組分和固化劑組分混合，并立即涂覆。
表4用于焊劑遮蓋層的制劑
制劑實(shí)施例3在用于蝕刻抗蝕劑應(yīng)用的制劑中，將官能化不飽和樹(shù)脂和具有相同單體組成的非官能化的樹(shù)脂用作粘結(jié)劑聚合物。制劑的制備如制劑表5用于對(duì)比實(shí)施例的制劑
制劑實(shí)施例4如制劑實(shí)施例2所描述的，將示于表6中的組分混合。
表6用于LDI焊劑遮蓋層應(yīng)用的制劑
制劑實(shí)施例5用于噴墨-蝕刻抗蝕劑應(yīng)用的制劑如制劑實(shí)施例1所描述的，將示于表7中的成分處理，給出均勻溶液。
表7用于噴墨-蝕刻抗蝕劑應(yīng)用的制劑
應(yīng)用實(shí)施例應(yīng)用實(shí)施例1(常規(guī)蝕刻抗蝕劑)利用水平輥涂機(jī)將制劑涂覆到銅包的玻璃纖維增強(qiáng)的環(huán)氧層壓材料上。將涂覆的板在對(duì)流烘箱中在80℃下干燥3分鐘，然后通過(guò)掩模暴露于紫外線(xiàn)(365納米，120mJ/cm2)。通過(guò)同位素探傷儀(Fischer)測(cè)定涂層的層厚度(9-11微米)。用1％Na2CO3水溶液在2.0kg/cm2的噴霧壓力下經(jīng)過(guò)60秒鐘除去涂層的非交聯(lián)部分。板上未復(fù)蓋的銅用蝕刻溶液(2-3N HCl水溶液，80-140克銅/I)在2巴噴霧壓力下除去。進(jìn)行一系列測(cè)試，以便確定制劑在液體蝕刻抗蝕劑應(yīng)用中的性能。所有測(cè)試與作為內(nèi)部標(biāo)準(zhǔn)的參比制劑對(duì)比進(jìn)行。
在液體蝕刻抗蝕劑應(yīng)用情況下，進(jìn)行了以下測(cè)試1.干燥之后的硬度將制劑涂覆到銅包板上，并且在室溫下預(yù)先干燥5分鐘。然后，將該板在對(duì)流烘箱中在80℃干燥3分鐘并冷卻到室溫。通過(guò)確定鉛筆硬度來(lái)測(cè)定涂層的硬度。所述鉛筆硬度基于鉛筆的硬度，該鉛筆在其沿著表面移動(dòng)時(shí)，以45度角度施加平緩的恒定壓力，不對(duì)表面造成可能的破壞。使用的鉛筆的硬度是6B、5B、4B、3B、2B、B、HB、H、2H和3H，其中6B是最軟的鉛筆，3H是最硬的鉛筆。
2.在顯影劑中的硬度在暴露于紫外線(xiàn)之后，將涂覆的銅板放入30℃下的顯影液中一分鐘。將該板從浴中取出，然后按照第1點(diǎn)中的描述測(cè)定濕表面的鉛筆硬度。
3.涂層的光反應(yīng)性將涂覆和干燥的板通過(guò)掩模暴露于紫外線(xiàn)(365納米，120mJ/cm2)。使用Stouffer敏感度標(biāo)尺21(SSG21)測(cè)定涂層的光反應(yīng)性。
4.分辨率將涂覆和干燥的板通過(guò)掩模暴露于紫外線(xiàn)(365納米，120mJ/cm2)。使用Stouffer分辨率標(biāo)尺(SRG)測(cè)定分辨率。
5.顯影將涂覆和干燥的板放入輕輕攪拌的浴中，該浴包含顯影液(1％強(qiáng)度的Na2CO3水溶液)，溫度為30℃，測(cè)定涂層開(kāi)始與板分離所需要的時(shí)間。
6.可剝離性將涂覆、干燥和曝光的板放入劇烈攪拌的浴中，該浴包含洗提溶液(4％強(qiáng)度NaOH水溶液)，溫度為45℃，測(cè)定涂層開(kāi)始與板分離所需要的時(shí)間。
7.蝕刻在蝕刻之后，通過(guò)光學(xué)顯微法和電子顯微技術(shù)(...，DSM950，Zeiss)兩者評(píng)價(jià)銅線(xiàn)的質(zhì)量。
評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)oo...恒定銅厚度的直線(xiàn)形o...銅厚度有輕微偏差的直線(xiàn)形x...恒定銅厚度的波狀線(xiàn)xx...銅厚度有輕微偏差的波狀線(xiàn)表8應(yīng)用實(shí)施例1的結(jié)果
表9對(duì)比實(shí)施例的結(jié)果
應(yīng)用實(shí)施例2(常規(guī)焊劑遮蓋層)利用刮墨刀片將制劑涂覆到銅包板的表面，并在對(duì)流烘箱中在80℃下干燥20分鐘。將涂覆的表面通過(guò)光掩模暴露于紫外線(xiàn)(365納米，120mJ/cm2)。用1％強(qiáng)度Na2CO3水溶液在2kg/cm2的噴霧壓力下，經(jīng)過(guò)60秒鐘將涂層的未曝光部分從板上除去。然后將涂層熱固化(150℃，60分鐘)。
在焊劑遮蓋層應(yīng)用中進(jìn)行以下測(cè)試。
A.干燥之后的非粘性涂層表面如果在曝光之后光掩模不顯示對(duì)表面的粘合性，則將表面涂層評(píng)定為非粘性的(nt)。
B.涂層的光反應(yīng)性將涂覆和干燥的板通過(guò)掩模暴露于紫外線(xiàn)(365納米，120mJ/cm2)。使用Stouffer敏感度標(biāo)尺21(SSG21)測(cè)定涂層的光反應(yīng)性。
C.顯影將涂覆、干燥和紫外線(xiàn)曝光的板在0.65m/min下、使用1％強(qiáng)度Na2CO3水溶液在30℃溫度、3巴的噴霧壓力下顯影。
D.涂層對(duì)銅表面的粘合性將涂覆和干燥的板通過(guò)掩模暴露于紫外線(xiàn)(365納米，120mJ/cm2)。在顯影之后，將涂覆的表面在150℃下熱固化60分鐘。通過(guò)進(jìn)行交叉影線(xiàn)(crosshatch)測(cè)試，測(cè)定固化涂層對(duì)銅表面的粘合性。為此目的，將涂覆的表面首先以限定的圖案刮傷，然后將膠帶(Scotch Brand9898)壓在得到的圖案上，然后再次除去(膠帶測(cè)試)。
粘合性質(zhì)量按照以下評(píng)價(jià)oo...在刮傷的圖案的角處涂層邊緣沒(méi)有破壞o...在刮傷的圖案的角處涂層邊緣輕微破壞x...在刮傷的圖案的角處涂層邊緣嚴(yán)重破壞xx...在刮傷的圖案的角處涂層被完全除去E.耐溶劑性將涂覆、干燥、曝光、顯影和熱固化的板在室溫下在CH2Cl2中放置5分鐘。在放置之后，通過(guò)測(cè)定鉛筆硬度(參見(jiàn)液體蝕刻抗蝕劑應(yīng)用，1)來(lái)評(píng)價(jià)涂層的狀態(tài)oo...涂覆表面的鉛筆硬度相當(dāng)于在放置之前測(cè)定的鉛筆硬度o...在放置之后鉛筆硬度有輕微的偏差x...在放置之后鉛筆硬度有大的偏差xx...形成氣泡、溶脹和涂層與表面分離F.對(duì)化學(xué)Ni-Au表面涂層的抵抗性通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)化方法(Shipley，Atotech)對(duì)處理的板進(jìn)行化學(xué)Ni-Au表面涂覆。焊劑遮蓋層對(duì)銅表面的粘合性損失通過(guò)進(jìn)行膠帶測(cè)試(參見(jiàn)D)來(lái)測(cè)定，并且按照以下進(jìn)行評(píng)價(jià)oo...沒(méi)有粘合性損失
o...粘合性輕微損失x...大的粘合性損失xx...粘合性完全損失G.對(duì)焊接工藝的耐受性將涂覆、干燥、曝光、顯影和熱固化的板首先浸于焊劑中(在異丙醇中25％的松香)。然后將板干燥60秒鐘，并且在焊錫槽(265℃)中浸漬三次，每次10秒鐘。然后按照以下評(píng)價(jià)涂層的狀態(tài)oo...涂覆表面無(wú)變化o...涂覆表面輕微變化x...涂覆表面變化很大xx...涂覆表面形成氣泡、溶脹和分離H.分辨率將涂覆和干燥的板通過(guò)掩模暴露于紫外線(xiàn)(365納米，120mJ/cm2)。使用Stouffer分辨率標(biāo)尺(SRG)測(cè)定分辨率。
I.高壓鍋測(cè)試將涂覆和干燥的板通過(guò)掩模暴露于紫外線(xiàn)(365納米，120mJ/cm2)，然后在120℃和1.5巴的高壓鍋中放置72小時(shí)。然后按照以下評(píng)價(jià)涂覆表面的狀態(tài)oo...涂覆表面無(wú)變化o...涂覆表面輕微變化x...涂覆表面變化很大xx...涂覆表面形成氣泡、溶脹和分離表10應(yīng)用實(shí)施例2的結(jié)果
應(yīng)用實(shí)施例3(LDI-焊劑遮蓋層)通過(guò)絲網(wǎng)印法將制劑涂覆到銅包玻璃纖維增強(qiáng)環(huán)氧層壓材料上(層壓1毫米，鉆有0.2毫米孔，具有40微米銅)。在于80℃干燥40分鐘之后，利用曝光能量為50mJ的LDI單元/Etek進(jìn)行曝光。然后如應(yīng)用實(shí)施例2(常規(guī)焊劑遮蓋層應(yīng)用)所述，進(jìn)行板的其它加工。
表11應(yīng)用實(shí)施例3的結(jié)果
應(yīng)用實(shí)施例4(噴墨-蝕刻抗蝕劑)利用噴墨式印刷設(shè)備(來(lái)自Stork，Mühlheim；壓力印刷頭，256個(gè)噴嘴，直徑為48微米，Spectra)施加制劑。在35℃和2到8kHz的起動(dòng)脈沖頻率下，在預(yù)先清潔的銅包玻璃纖維增強(qiáng)環(huán)氧層壓材料(1.2毫米，35微米銅)上進(jìn)行涂覆。然后將涂覆的板在80℃干燥2分鐘，冷卻，然后均勻地曝光(Hg燈，25-30mJ/cm2)，和如應(yīng)用實(shí)施例1(常規(guī)蝕刻抗蝕劑)所描述的進(jìn)行蝕刻。獲得了可與表8的應(yīng)用實(shí)施例1中所描述的結(jié)果相比的結(jié)果。
權(quán)利要求
1.一種反應(yīng)產(chǎn)物，其包含至少a)丙烯酸或者甲基丙烯酸或者丙烯酸或者甲基丙烯酸的混合物，和b)取代或未取代的酚、C1-C8-羥基烷基苯或者C1-C8-羥基烷氧基苯的(甲基)丙烯酸酯和(甲基)丙烯酸甲酯，所述(甲基)丙烯酸酯與所述(甲基)丙烯酸甲酯的摩爾比為5∶95到100∶0，5-90％的丙烯酸或者甲基丙烯酸單元已經(jīng)與縮水甘油基乙烯基化合物反應(yīng)。
2.權(quán)利要求1的反應(yīng)產(chǎn)物，其中組分(a)是甲基丙烯酸。
3.權(quán)利要求1的反應(yīng)產(chǎn)物，其中組分(b)的(甲基)丙烯酸酯是甲基丙烯酸芐基酯。
4.權(quán)利要求1的反應(yīng)產(chǎn)物，其中縮水甘油基乙烯基化合物是甲基丙烯酸縮水甘油酯。
5.權(quán)利要求1的反應(yīng)產(chǎn)物，其中組分a)與組分b)的摩爾比為85∶15到15∶85。
6.權(quán)利要求1的反應(yīng)產(chǎn)物，其中反應(yīng)產(chǎn)物的分子量是10000-120000g/mol。
7.權(quán)利要求1的反應(yīng)產(chǎn)物，其中反應(yīng)產(chǎn)物的分子量是20000-90000g/mol。
8.權(quán)利要求1的反應(yīng)產(chǎn)物，其具有0.4-5.0摩爾/千克的酸值，相對(duì)于反應(yīng)產(chǎn)物。
9.一種可光致聚合的組合物，其實(shí)質(zhì)上包含i)權(quán)利要求1的反應(yīng)產(chǎn)物，ii)單體的或者低聚的丙烯酸酯，其具有至少兩個(gè)烯屬不飽和末端基團(tuán)，iii)聚合引發(fā)劑或者引發(fā)劑體系，其產(chǎn)生自由基、陽(yáng)離子或者陰離子并且可以通過(guò)光化輻射被活化，和iv)根據(jù)需要的有機(jī)或者無(wú)機(jī)填料。
10.一種可光致聚合的組合物，其實(shí)質(zhì)上包含i)權(quán)利要求1的反應(yīng)產(chǎn)物，ii)根據(jù)需要的單體的或者低聚的丙烯酸酯，其具有至少兩個(gè)烯屬不飽和末端基團(tuán)，iii)聚合引發(fā)劑或者引發(fā)劑體系，其產(chǎn)生自由基、陽(yáng)離子或者陰離子并且可以通過(guò)光化輻射被活化，iv)根據(jù)需要的有機(jī)或者無(wú)機(jī)填料，v)熱聚合抑制劑，和vi)溶劑或者溶劑體系。
11.一種可光致聚合的組合物，其實(shí)質(zhì)上包含i)15-70％重量的權(quán)利要求1的反應(yīng)產(chǎn)物，ii)0-30％重量的單體的或者低聚的丙烯酸酯，其具有至少兩個(gè)烯屬不飽和末端基團(tuán)，iii)0.1-15％重量的聚合引發(fā)劑或者引發(fā)劑體系，其產(chǎn)生自由基、陽(yáng)離子或者陰離子并且可以通過(guò)光化輻射被活化，iv)0-60％重量的有機(jī)或者無(wú)機(jī)填料，v)0.01-0.5％重量的熱聚合抑制劑，和vi)20-80％重量的溶劑或者溶劑體系，所述組分的百分?jǐn)?shù)是基于總重量，條件是所述重量百分率的和是100。
12.一種用于產(chǎn)生蝕刻抗蝕劑圖像或者抗焊劑圖像的方法，其包括以下工藝步驟I.將權(quán)利要求10的可光致聚合的組合物涂覆到基材上；II.從涂覆的組合物中除去溶劑，在基材上形成可光致聚合的組合物的薄膜；III.根據(jù)需要將涂覆的基材曝光到光化輻射；IV.根據(jù)需要借助于堿性水溶液或者有機(jī)溶劑除去涂層的未曝光的部分，以剝離基材；和V.將基材上保留的涂層根據(jù)需要熱固化和根據(jù)需要紫外線(xiàn)固化。
13.權(quán)利要求12的方法，其中曝光(III)借助于光掩模進(jìn)行或者利用激光器直接進(jìn)行。
14.用于產(chǎn)生蝕刻抗蝕劑圖像或者抗焊劑圖像的方法，其包括以下工藝步驟I.利用噴墨方法將權(quán)利要求10的可光致聚合的組合物涂覆到基材上；II.從涂覆組合物中除去溶劑，在基材上形成干燥的可光致聚合的組合物；III.根據(jù)需要將涂覆或者結(jié)構(gòu)化的基材均勻地曝光到光化輻射；和IV.將基材上保留的涂層根據(jù)需要熱固化和根據(jù)需要紫外線(xiàn)固化。
15.一種可光致聚合的元件，其包括基材，該基材帶有可光致聚合的層，該可光致聚合的層實(shí)質(zhì)上包含A)25-85％重量的權(quán)利要求1的反應(yīng)產(chǎn)物；B)5-40％重量的單體的或者低聚的丙烯酸酯，其具有至少兩個(gè)烯屬不飽和末端基團(tuán)；C)1-25％重量的加成聚合引發(fā)劑或者引發(fā)劑體系，其產(chǎn)生自由基、陽(yáng)離子或者陰離子并且可以通過(guò)光化輻射被活化；D)0-60％重量的有機(jī)或者無(wú)機(jī)填料，和E)0.025-1.0％重量的熱聚合抑制劑；所述組分的百分?jǐn)?shù)基于總重量，條件是所述重量百分率的和是100，該可光致聚合的層具有0.1-400微米的厚度。
16.權(quán)利要求15的可光致聚合的元件，其中可光致聚合的層的厚度為3-50微米。
全文摘要
本發(fā)明涉及官能化丙烯酸酯聚合物、其制備方法、包含這些聚合物的可光致聚合的組合物和該組合物特別是在電子元件生產(chǎn)中的用途。所述官能化丙烯酸酯聚合物是反應(yīng)產(chǎn)物，該反應(yīng)產(chǎn)物包括a)丙烯酸或者甲基丙烯酸或者丙烯酸和甲基丙烯酸的混合物，和b)取代或未取代的酚、C
文檔編號(hào)C09D133/04GK1643007SQ03807139
公開(kāi)日2005年7月20日 申請(qǐng)日期2003年3月21日 優(yōu)先權(quán)日2002年3月28日
發(fā)明者M·羅思, B·賽勒, C·舍南貝格, O·策倫科 申請(qǐng)人:亨斯邁先進(jìn)材料(瑞士)有限公司