專利名稱：有機抗反射聚合物及其制備方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種有機抗反射涂布(“ARC”)材料，其可穩(wěn)定地生成適用于64M、256M、1G、4G和16G DRAM半導(dǎo)體器件的超細(xì)圖案。更具體地說，本發(fā)明涉及一種有機抗反射涂布材料，其含有在亞微平版印刷術(shù)所用的波長處具有強吸收的發(fā)色團。在采用248nm KrF、193nmArF或157nm F2激光光源的亞微平版印刷方法中，所述的抗反射材料層可以防止光從半導(dǎo)體芯片的下層反射回來，也可消除由光和光刻膠層本身的厚度變換引起的駐波。本發(fā)明也涉及含有這種材料的抗反射涂料組合物、由該組合物得到的抗反射涂料及其制備方法。
在亞微平版印刷方法(制備高集成度半導(dǎo)體器件的一種最重要的方法)中，由于涂覆在晶片上的下層的光學(xué)性質(zhì)以及在其上面的光敏薄膜的厚度變化，將不可避免地產(chǎn)生駐波和波的反射陷波(reflectivenotching)。另外，亞微平版印刷方法通常存在由于光從下層衍射和反射而引起臨界尺寸改變的問題。
為了克服這些問題，已有人提議在基材和光敏薄膜之間引入一稱為抗反射涂料(此后常稱為“ARC”)的薄膜，以防止光從下層反射。根據(jù)所用的材料，ARC類化合物通常分為“有機”和“無機”；根據(jù)工作機理，將ARC類化合物分為“吸收性的”和“干涉性的”。在采用I—線(365nm波長)光源的亞微平版印刷方法中，當(dāng)以吸收機理為主時，通常采用無機的ARC類化合物，例如TiN或無定形碳涂層；當(dāng)使用干涉機理時，則采用SiON涂料。SiON ARC類化合物也適用于使用KrF光源的亞微平版印刷方法。
近來，廣泛而深刻的研究已經(jīng)并不斷地針對于將有機抗反射涂料應(yīng)用至此種亞微平版印刷術(shù)中。從目前的發(fā)展情況看，可使用的有機抗反射涂料必須滿足下列基本要求首先，在用有機抗反射涂料進(jìn)行平版印刷的過程中，不應(yīng)發(fā)生由于溶解在溶劑中而產(chǎn)生光刻膠層的剝離。就這點而言，必須設(shè)計有機抗反射涂料，以使它們的固化膜具有交聯(lián)結(jié)構(gòu)且無副產(chǎn)物。
其次，不應(yīng)有化學(xué)物質(zhì)如胺或酸遷移至有機抗反射涂料或從其中遷出。如果酸從有機抗反射涂料中遷移出，光敏圖案會出現(xiàn)劃痕，而當(dāng)堿如胺的逸出會引起沉渣(footing)現(xiàn)象。
第三，在有機抗反射涂料中的蝕刻速度應(yīng)比在上層光敏薄膜的蝕刻速度更快，這使得蝕刻過程能平穩(wěn)進(jìn)行，而光敏薄膜作為掩蔽。
最后，有機抗反射涂料在很好地阻止光反射的同時應(yīng)盡可能地薄。
盡管存在多種有機抗反射涂料，但迄今為止仍未發(fā)現(xiàn)可滿意地應(yīng)用在使用ArF光源的亞微平版印刷方法中的。對于無機抗反射涂料，還沒見有能控制在ArF波長，即193nm處的干涉的報導(dǎo)。因此，為開發(fā)能夠制成優(yōu)良抗反射涂料的有機材料，已進(jìn)行了積極的研究。事實上，在大多數(shù)亞微平版印刷術(shù)中，光敏層必須含有有機抗反射涂料，它可阻止曝光時駐波和反射陷波的產(chǎn)生，并可消除光從下層衍射和反射的影響。因此，開發(fā)在特定波長處表現(xiàn)出高吸收性的此種抗反射材料是本領(lǐng)域最熱門和最迫切的問題之一。
本發(fā)明克服了現(xiàn)有技術(shù)中遇到的問題，并提供一種新型的有機化合物，該有機化合物可在采用193nm ArF和248nm KrF激光光源的亞微平版印刷術(shù)的抗反射涂料中使用。
本發(fā)明提供了制備一種有機化合物的方法，該有機化合物可在亞微平版印刷術(shù)中防止因曝光而引起的漫射和反射。
本發(fā)明還提供了一種含有這種防漫射／反射化合物的抗反射涂料組合物及其制備方法。
本發(fā)明也提供了一種由這種組合物制成的抗反射涂料及其制備方法。
本發(fā)明涉及可用作抗反射涂料的丙烯酸酯聚合物樹脂(這里也稱作“聚合物”或“樹脂”)。該聚合物樹脂含有在198nm和248nm波長處具有高吸收的發(fā)色團。另外，將醇基與其它官能團之間的交聯(lián)機理引入至該聚合物樹脂中，使得當(dāng)聚合物樹脂涂層被“硬烘烤”時，也就是在100—300℃下加熱10—1000秒時，發(fā)生交聯(lián)反應(yīng)。從而，大大地提高了抗反射涂層的成膜、緊密度和溶解性能。特別是，在本發(fā)明的實施時，實現(xiàn)了交聯(lián)反應(yīng)最高的效率和貯存穩(wěn)定性。
為了制得涂料組合物，本發(fā)明的抗反射涂料樹脂在所有烴類溶劑中具有極佳的溶解性，但在硬烘烤后卻具有極高的耐溶劑性以致于它們根本不溶解在任何溶劑中。這些優(yōu)點使得所述樹脂可毫無問題地涂覆形成抗反射涂層，該涂層阻止了在光敏層上形成圖案時產(chǎn)生劃痕和沉渣問題。此外，由本發(fā)明的丙烯酸酯聚合物形成的涂層比光敏薄膜涂層具有更高的蝕刻速率，從而提高了它們之間的蝕刻選擇比率。
本發(fā)明的丙烯酸酯聚合物樹脂由下述化學(xué)式1和2表示
其中，Ra、Rb、Rc和Rd分別為氫或甲基；R1—R9可相同或不同，分別代表氫、羥基、甲氧基羰基、羧基、羥甲基，或取代或未取代的、直鏈或支鏈C1—C5烷基或烷氧基烷基；w、x、y和z分別為0．01—0．99的摩爾分?jǐn)?shù)；且m和n分別為1—5的整數(shù)。
將本發(fā)明的聚合物設(shè)計成在193nm和248nm波長處具有高吸收。為了實現(xiàn)這個結(jié)果，將能在193nm和248nm波長處吸收光的發(fā)色團取代基接枝到聚合物的主鏈上。
化學(xué)式1的聚合物可通過丙烯酸9—蒽甲肟酯型單體、丙烯酸羥烷基酯型單體和丙烯酸縮水甘油酯型單體借助于引發(fā)劑、在溶液中聚合制得。各個單體的摩爾分?jǐn)?shù)為0．01—0．99，優(yōu)選為0．1—0．9。
化學(xué)式2的聚合物可通過丙烯酸9—蒽甲肟酯型單體、丙烯酸羥基烷基酯型單體、丙烯酸縮水甘油酯型單體和甲基丙烯酸甲酯型單體聚合制得，各個單體的摩爾分?jǐn)?shù)為0．01—0．99，優(yōu)選為0．1—0．9。
為了引發(fā)制備化學(xué)式1和化學(xué)式2的聚合物的聚合反應(yīng)，可使用通常的自由基引發(fā)劑，優(yōu)選為2，2—偶氮二異丁腈(AIBN)、過氧化乙酰、過氧化月桂酰和叔丁基過氧化物。同時也可將普通的溶劑用于所述聚合反應(yīng)中，溶劑優(yōu)選選自于四氫呋喃、甲苯、苯、甲乙酮和二噁烷。
化學(xué)式1和化學(xué)式2的聚合物的聚合反應(yīng)優(yōu)選在50—90℃下進(jìn)行。
本發(fā)明也涉及一種抗反射涂料組合物，其包含化學(xué)式1或2的一種聚合物，和至少一種選自表1中所示的蒽衍生物的添加物
表1
表1中，R11、R12、R13、R14和R15分別代表氫、羥基、羥甲基，或經(jīng)取代或未取代的、直鏈或支鏈的C1—C5烷基或烷氧基烷基。
本發(fā)明的抗反射涂料組合物可按如下步驟制得將0．1—30重量％的選自表1的一種化合物添加至由化學(xué)式1或2的聚合物溶解在一種溶劑中所形成的溶液中，然后過濾所得溶液。將這種涂料組合物涂覆于晶片上，然后硬烘烤以制成交聯(lián)的抗反射涂層。然后由此可制得半導(dǎo)體器件。
制備該組合物可用通常有機溶劑，優(yōu)選3—乙氧基丙酸乙酯、3—甲氧基丙酸甲酯、環(huán)己酮和甲基醚乙酸丙二醇酯?；谒玫目狗瓷渫苛暇酆衔飿渲闹亓浚萌軇┑牧績?yōu)選為200—5000重量％。
已經(jīng)發(fā)現(xiàn)，本發(fā)明的抗反射涂料在采用248nm KrF、193nm ArF和157nm F2激光作為光源的亞微平版印刷方法中表現(xiàn)出優(yōu)異性質(zhì)。當(dāng)采用電子束(E—束)、超遠(yuǎn)紫外和離子束作為光源時，同樣表現(xiàn)出這些性質(zhì)。
下列實施例是用于更清楚地向本領(lǐng)域熟練人員展示本發(fā)明的原理和實施。因此，它們僅是某些優(yōu)選實施方式的說明，并不用于限制本發(fā)明。
實施例Ⅰ合成聚[丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸2—羥乙酯)—甲基丙烯酸縮水甘油酯]共聚物合成丙烯酸9—蒽甲肟酯將0．5mol 9—蒽甲肟和0．5mol吡啶溶于四氫呋喃中，且然后加入0．5mol丙烯酰氯。反應(yīng)完成后，過濾反應(yīng)溶液并用乙酸乙酯萃取。用蒸餾水洗滌萃取物數(shù)次，并在真空下通過蒸餾干燥，得到如下述化學(xué)式21所示的丙烯酸9—蒽甲肟酯。產(chǎn)率為80％。
(化學(xué)式21)合成聚[丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸2—羥乙酯)—甲基丙烯酸縮水甘油酯]共聚物在500ml圓底燒瓶中加入0．5mol上述合成的丙烯酸9—蒽甲肟酯、0．3mol丙烯酸2—羥乙酯和0．2mol甲基丙烯酸縮水甘油酯。在攪拌下，將該混合物加入至300克另外制得的四氫呋喃(THF)中。然后在0．1—3克2，2＇—偶氮二異丁腈(AIBN)存在下，在氮氣氛中，于60—75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5—20小時。聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀所述溶液并過濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到本發(fā)明的一種聚合物—聚[丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸2—羥乙酯)—甲基丙烯酸縮水甘油酯]共聚物，其由下述化學(xué)式22表示。產(chǎn)率為8l％。
(化學(xué)式22)實施例Ⅱ合成聚[丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸3—羥丙酯)—甲基丙烯酸縮水甘油酯]共聚物在500ml圓底燒瓶中加入0．5mol在實施例1中合成的丙烯酸9—蒽甲肟酯、0．3mol丙烯酸3—羥丙酯和0．2mol甲基丙烯酸縮水甘油酯。在攪拌下，將該混合物加入至300克另外制得的四氫呋喃中。然后在0．1—3克2，2′—偶氮二異丁腈(AIBN)存在下，在氮氣氛中，于60—75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5—20小時。聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀所述溶液并過濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到本發(fā)明的一種聚合物—聚[丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸3—羥丙酯)—甲基丙烯酸縮水甘油酯]共聚物，其由下述化學(xué)式23表示。產(chǎn)率為78％。
(化學(xué)式23)實施例Ⅲ合成聚[丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸2—羥乙酯)—丙烯酸縮水甘油酯]共聚物在500ml圓底燒瓶中加入0．5mol丙烯酸9—蒽甲肟酯、0．3mol丙烯酸2—羥乙酯和0．2mol丙烯酸縮水甘油酯。在攪拌下，將該反應(yīng)混合物加入至300克另外制得的四氫呋喃中。然后在0．1—3克2，2′—偶氮二異丁腈(AIBN)存在下，在氮氣氛中，于60—75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5—20小時。聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀所述溶液并過濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到本發(fā)明的一種聚合物—聚[丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸2—羥乙酯)—丙烯酸縮水甘油酯]共聚物，其由下述化學(xué)式24表示。產(chǎn)率為80％。
(化學(xué)式24)實施例Ⅳ合成聚[丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸3—羥丙酯)—丙烯酸縮水甘油酯]共聚物在500ml圓底燒瓶中加入0．5mol丙烯酸9—蒽甲肟酯、0．3mol丙烯酸3—羥丙酯和0．2mol丙烯酸縮水甘油酯。在攪拌下，將該反應(yīng)混合物加入至300克另外制得的四氫呋喃中。然后在0．1—3克2，2′—偶氮二異丁腈(AIBN)存在下，于氮氣氛中，使該反應(yīng)溶液于60—75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5—20小時。聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀所述溶液并過濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到本發(fā)明的一種聚合物—聚[丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸3—羥丙酯)—丙烯酸縮水甘油酯]共聚物，其由下述化學(xué)式25表示。產(chǎn)率為80％。
(化學(xué)式25)
實施例Ⅴ合成聚[丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸4—羥丁酯)—丙烯酸縮水甘油酯]共聚物在500ml圓底燒瓶中加入0．5mol丙烯酸9—蒽甲肟酯、0．3mol丙烯酸4—羥丁酯和0．2mol丙烯酸縮水甘油酯。在攪拌下，將該反應(yīng)混合物加入至300克另外制得的四氫呋喃中。然后在0．1—3克2，2′—偶氮二異丁腈存在下，在氮氣氛中，使該反應(yīng)溶液于60—75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5—20小時。聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀所述溶液并過濾沉淀物，且經(jīng)干燥得到本發(fā)明的一種聚合物—聚[丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸4—羥丁酯)—丙烯酸縮水甘油酯]共聚物，其由下述化學(xué)式26表示。產(chǎn)率為81％。
(化學(xué)式26)實施例Ⅵ合成聚[甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸2—羥乙酯)—甲基丙烯酸縮水甘油酯]共聚物合成甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯將0．5mol 9—蒽甲肟和0．5mol吡啶溶于四氫呋喃中，然后加入0．5mol甲基丙烯酰氯。反應(yīng)完成后，過濾該反應(yīng)溶液并用乙酸乙酯萃取。用蒸餾水洗滌萃取物數(shù)次，并在真空下通過蒸餾干燥，得到如下述化學(xué)式27所示的甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯。產(chǎn)率為82％。
(化學(xué)式27)合成聚[甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸2—羥乙酯)—甲基丙烯酸縮水甘油酯]共聚物在500ml圓底燒瓶中加入0．5mol由上述合成的甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯、0．3mol丙烯酸2—羥乙酯和0．2甲基丙烯酸縮水甘油酯。在攪拌下，將該混合物加入至300克另外制得的四氫呋喃中。然后在0．1—3克2，2′—偶氮二異丁腈存在下，在氮氣氛中，使該反應(yīng)溶液于60—75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5—20小時。聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀所述溶液并過濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到本發(fā)明的一種聚合物—聚[甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸2—羥乙酯)—甲基丙烯酸縮水甘油酯]共聚物，其由下述化學(xué)式28表示。產(chǎn)率為78％。
(化學(xué)式28)實施例Ⅶ合成聚[甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸3—羥丙酯)—甲基丙烯酸縮水甘油酯]共聚物在500ml圓底燒瓶中加入0．5mol在實施例Ⅵ中合成的甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯、0．3mol丙烯酸3—羥丙酯和0．2mol甲基丙烯酸縮水甘油酯。在攪拌下，將該混合物加入至300克另外制得的四氫呋喃中。然后在0．1—3克2，2′—偶氮二異丁腈存在下，在氮氣氛中，使該反應(yīng)溶液于60—75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5—20小時。聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀所述溶液并過濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到本發(fā)明的一種聚合物—聚[甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸3—羥丙酯)—甲基丙烯酸縮水甘油酯]共聚物，其由下述化學(xué)式29表示。產(chǎn)率為81％。
(化學(xué)式29)實施例Ⅷ合成聚[甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸4—羥丁酯)—甲基丙烯酸縮水甘油酯]共聚物在500ml圓底燒瓶中加入0．5mol甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯、0．3mol丙烯酸4—羥丁酯和0．2mol甲基丙烯酸縮水甘油酯。在攪拌下，將該混合物加入至300克另外制得的四氫呋喃中。然后在0．1—3克2，2′—偶氮二異丁腈存在下，在氮氣氛中，使該反應(yīng)溶液于60—75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5—20小時。聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀所述溶液并過濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到本發(fā)明的一種聚合物—聚[甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸4—羥丁酯)—甲基丙烯酸縮水甘油酯]共聚物，其由下述化學(xué)式30表示。產(chǎn)率為80％。
(化學(xué)式30)
實施例Ⅸ合成聚[甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸2—羥乙酯)—丙烯酸縮水甘油酯]共聚物在500ml圓底燒瓶中加入0．5mol甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯、0．3mol丙烯酸2—羥乙酯和0．2mol丙烯酸縮水甘油酯。在攪拌下，將該混合物加入至300克另外制得的四氫呋喃中。然后在0．1—3克2，2′—偶氮二異丁腈存在下，在氮氣氛中，使該反應(yīng)溶液于60—75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5—20小時。聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀所述溶液并過濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到本發(fā)明的一種聚合物—聚[甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸2—羥乙酯)—丙烯酸縮水甘油酯]共聚物，其由下述化學(xué)式31表示。產(chǎn)率為78％。
(化學(xué)式31)實施例Ⅹ合成聚[甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸3—羥丙酯)—丙烯酸縮水甘油酯]共聚物在500ml圓底燒瓶中加入0．5mol甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯、0．3mol丙烯酸3—羥丙酯和0．2mol丙烯酸縮水甘油酯。在攪拌下，將該混合物加入至300克另外制得的四氫呋喃中。然后在0．1—3克2，2′—偶氮二異丁腈存在下，在氮氣氛中，使該反應(yīng)溶液于60—75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5—20小時。聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀所述溶液并過濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到本發(fā)明的一種聚合物—聚[甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸3—羥丙酯)—丙烯酸縮水甘油酯]共聚物，其由下述化學(xué)式32表示。產(chǎn)率為80％。
(化學(xué)式32)實施例Ⅺ合成聚[甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸4—羥丁酯)—丙烯酸縮水甘油酯]共聚物在500ml圓底燒瓶中加入0．5mol甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯、0．3mol丙烯酸4—羥丁酯和0．2mol丙烯酸縮水甘油酯。在攪拌下，將該混合物加入至300克另外制得的四氫呋喃中。然后在0．1—3克2，2′—偶氮二異丁腈存在下，在氮氣氛中，使該反應(yīng)溶液于60—75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5—20小時。聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀溶液并過濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到本發(fā)明的一種聚合物—聚[甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸4—羥丁酯)—丙烯酸縮水甘油酯]共聚物，其由下述化學(xué)式33表示。產(chǎn)率為80％。
(化學(xué)式33)實施例Ⅻ合成聚[丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸2—羥乙酯)—甲基丙烯酸縮水甘油酯—甲基丙烯酸甲酯]共聚物在500ml圓底燒瓶中加入0．3mol丙烯酸9—蒽甲肟酯、0．3mol丙烯酸2—羥乙酯、0．2mol甲基丙烯酸縮水甘油酯和0．2mol甲基丙烯酸甲酯。在攪拌下，將該混合物加入至300克另外制得的四氫呋喃中。然后在0．1—3克2，2′—偶氮二異丁腈存在下，在氮氣氛中，使該反應(yīng)溶液于60—75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5—20小時。聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀溶液并過濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到本發(fā)明的一種聚合物—聚[丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸2—羥乙酯)—甲基丙烯酸縮水甘油酯—甲基丙烯酸甲酯]共聚物，其由下述化學(xué)式34表示。產(chǎn)率為80％。
(化學(xué)式34)實施例ⅫⅠ合成聚[丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸3—羥丙酯)—甲基丙烯酸縮水甘油酯—甲基丙烯酸甲酯]共聚物在500ml圓底燒瓶中加入0．3mol丙烯酸9—蒽甲肟酯、0．3mol丙烯酸3—羥丙酯、0．2mol甲基丙烯酸縮水甘油酯和0．2mol甲基丙烯酸甲酯。在攪拌下，將該混合物加入至300克另外制得的四氫呋喃中。然后在0．1—3克2，2′—偶氮二異丁腈存在下，在氮氣氛中，使該反應(yīng)溶液于60—75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5—20小時。聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀溶液并過濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到本發(fā)明的一種聚合物—聚[甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸3—羥丙酯)—甲基丙烯酸縮水甘油酯—甲基丙烯酸甲酯]共聚物，其由下述化學(xué)式35表示。產(chǎn)率為79％。
(化學(xué)式35)實施例ⅪⅤ合成聚[丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸2—羥乙酯)—丙烯酸縮水甘油酯—甲基丙烯酸甲酯]共聚物在500ml圓底燒瓶中加入0．3mol丙烯酸9—蒽甲肟酯、0．3mol丙烯酸2—羥乙酯、0．2mol丙烯酸縮水甘油酯和0．2mol甲基丙烯酸甲酯。在攪拌下，將該混合物加入至300克另外制得的四氫呋喃中。然后在0．1—3克AIBN存在下，在氮氣氛中，使該反應(yīng)溶液于60—75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5—20小時。聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀溶液并過濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到本發(fā)明的一種聚合物—聚[丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸2—羥乙酯)—丙烯酸縮水甘油酯—甲基丙烯酸甲酯]共聚物，其由下述化學(xué)式36表示。產(chǎn)率為81％。
(化學(xué)式36)實施例ⅩⅤ合成聚[丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸3—羥丙酯)—丙烯酸縮水甘油酯—甲基丙烯酸甲酯]共聚物在500ml圓底燒瓶中加入0．3mol丙烯酸9—蒽甲肟酯、0．3mol丙烯酸3—羥丙酯、0．2mol丙烯酸縮水甘油酯和0．2mol甲基丙烯酸甲酯。在攪拌下，將該混合物加入至300克另外制得的四氫呋喃中。然后在0．1—3克2，2′—偶氮二異丁腈存在下，在氮氣氛中，使該反應(yīng)溶液于60—75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5—20小時。聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀所述溶液并過濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到本發(fā)明的一種聚合物—聚[丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸3—羥丙酯)—丙烯酸縮水甘油酯—甲基丙烯酸甲酯]共聚物，其由下述化學(xué)式37表示。產(chǎn)率為79％。
(化學(xué)式37)實施例ⅩⅤⅠ合成聚[丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸4—羥丁酯)—丙烯酸縮水甘油酯—甲基丙烯酸甲酯]共聚物在500ml圓底燒瓶中加入0．3mol丙烯酸9—蒽甲肟酯、0．3mol丙烯酸4—羥丁酯、0．2mol丙烯酸縮水甘油酯和0．2mol甲基丙烯酸甲酯。在攪拌下，將該混合物加入至300克另外制得的四氫呋喃中。然后在0．1—3克2，2′—偶氮二異丁腈存在下，在氮氣氛中，使該反應(yīng)溶液于60—75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5—20小時。聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀所述溶液并過濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到本發(fā)明的一種聚合物—聚[丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸4—羥丁酯)—丙烯酸縮水甘油酯—甲基丙烯酸甲酯]共聚物，其由下述化學(xué)式38表示。產(chǎn)率為80％。
(化學(xué)式38)實施例ⅩⅤⅡ合成聚[甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸2—羥乙酯)—甲基丙烯酸縮水甘油酯—甲基丙烯酸甲酯]共聚物在500ml圓底燒瓶中加入0．3mol甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯、0．3mol丙烯酸2—羥乙酯、0．2mol甲基丙烯酸縮水甘油酯和0．2mol甲基丙烯酸甲酯。在攪拌下，將該混合物加入至300克另外制得的四氫呋喃中。然后在0．1—3克2，2′—偶氮二異丁腈存在下，在氮氣氛中，使該反應(yīng)溶液于60—75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5—20小時。聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀所述溶液并過濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到本發(fā)明的一種聚合物—聚[甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸2—羥乙酯)—甲基丙烯酸縮水甘油酯—甲基丙烯酸甲酯]共聚物，其由下述化學(xué)式39表示。產(chǎn)率為80％。
(化學(xué)式39)實施例ⅩⅤⅢ合成聚[甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸3—羥丙酯)—甲基丙烯酸縮水甘油酯—甲基丙烯酸甲酯]共聚物在500ml圓底燒瓶中加入0．3mol甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯、0．3mol丙烯酸3—羥丙酯、0．2mol甲基丙烯酸縮水甘油酯和0．2mol甲基丙烯酸甲酯。在攪拌下，將該混合物加入至300克另外制得的四氫呋喃中。然后在0．1—3克2，2′—偶氮二異丁腈存在下，在氮氣氛中，使該反應(yīng)溶液于60—75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5—20小時。聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀所述溶液并過濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到本發(fā)明的一種聚合物—聚[甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸3—羥丙酯)—甲基丙烯酸縮水甘油酯—甲基丙烯酸甲酯]共聚物，其由下述化學(xué)式40表示。產(chǎn)率為78％。
(化學(xué)式40)實施例ⅩⅨ合成聚[甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸4—羥丁酯)—甲基丙烯酸縮水甘油酯—甲基丙烯酸甲酯]共聚物在500ml圓底燒瓶中加入0．3mol甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯、0．3mol丙烯酸4—羥丁酯、0．2mol甲基丙烯酸縮水甘油酯和0．2mol甲基丙烯酸甲酯。在攪拌下，將該混合物加入至300克另外制得的四氫呋喃中。然后在0．1—3克2，2′—偶氮二異丁腈存在下，在氮氣氛中，使該反應(yīng)溶液于60—75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5—20小時。聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀所述溶液并過濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到本發(fā)明的一種聚合物—聚[甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸4—羥丁酯)—甲基丙烯酸縮水甘油酯—甲基丙烯酸甲酯]共聚物，其由化學(xué)式41表示。產(chǎn)率為81％。
(化學(xué)式41)實施例ⅩⅩ合成聚[甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸2—羥乙酯)—丙烯酸縮水甘油酯—甲基丙烯酸甲酯]共聚物在500ml圓底燒瓶中加入0．3mol甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯、0．3mol丙烯酸2—羥乙酯、0．2mol丙烯酸縮水甘油酯和0．2mol甲基丙烯酸甲酯。在攪拌下，將該混合物加入至300克另外制得的四氫呋喃中。然后在0．1—3克2，2′—偶氮二異丁腈存在下，在氮氣氛中，使該反應(yīng)溶液于60—75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5—20小時。聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀所述溶液并過濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到本發(fā)明的一種聚合物—聚[甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸2—羥乙酯)—丙烯酸縮水甘油酯—甲基丙烯酸甲酯]共聚物，其由下述化學(xué)式42表示。產(chǎn)率為79％。
(化學(xué)式42)實施例ⅩⅪ合成聚[甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸3—羥丙酯)—丙烯酸縮水甘油酯—甲基丙烯酸甲酯]共聚物在500ml圓底燒瓶中加入0．3mol甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯、0．3mol丙烯酸3—羥丙酯、0．2mol丙烯酸縮水甘油酯和0．2mol甲基丙烯酸甲酯。在攪拌下，將該混合物加入至300克另外制得的四氫呋喃中。然后在0．1—3克2，2′—偶氮二異丁腈存在下，在氮氣氛中，使該反應(yīng)溶液于60—75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5—20小時。聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀所述溶液并過濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到本發(fā)明的一種聚合物—聚[甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸3—羥丙酯)—丙烯酸縮水甘油酯—甲基丙烯酸甲酯]共聚物，其由下述化學(xué)式43表示。產(chǎn)率為81％。
(化學(xué)式43)實施例ⅩⅩⅡ合成聚[甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸4—羥丁酯)—丙烯酸縮水甘油酯—甲基丙烯酸甲酯]共聚物在500ml圓底燒瓶中加入0．3mol甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯、0．3mol丙烯酸4—羥丁酯、0．2mol丙烯酸縮水甘油酯和0．2mol甲基丙烯酸甲酯。在攪拌下，將該混合物加入至300克另外制得的四氫呋喃中。然后在0．1—3克2，2′—偶氮二異丁腈存在下，在氮氣氛中，使該反應(yīng)溶液于60—75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5—20小時。聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀所述溶液并過濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到本發(fā)明的一種聚合物—聚[甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸4—羥丁酯)—丙烯酸縮水甘油酯—甲基丙烯酸甲酯]共聚物，其由下述化學(xué)式44表示。產(chǎn)率為80％。
(化學(xué)式44)實施例ⅩⅩⅢ制備抗反射涂料將由實施例Ⅰ—ⅩⅩⅡ制備的、具有化學(xué)式1或2表示的化學(xué)結(jié)構(gòu)的一種聚合物(樹脂)溶于200—5000重量％的甲基醚乙酸丙二醇酯(PGMEA)中。將該溶液單獨地或者和0．1—30重量％的選自表1中化學(xué)式3—20化合物的至少一種添加物結(jié)合使用，將溶液過濾后，涂覆在晶片上，然后在100—300℃硬烘烤10—1000秒。光敏材料可涂覆于由此制得的抗反射涂層上，并可以常規(guī)方式作出超細(xì)圖案。
如上所述，本發(fā)明的抗反射涂料含有在適用于亞微平版印刷術(shù)的波長處具有足夠吸收的發(fā)色團取代基，該涂料可單獨地由化學(xué)式1或2的聚合物樹脂或者結(jié)合化學(xué)式3—20的一種添加物得到。因此，本發(fā)明的抗反射涂料在形成超細(xì)圖案中具有極佳的作用。例如，在使用248nm KrF、193nm ArF或157nm F2激光的亞微平版印刷方法中，上述抗反射涂料可阻止光從半導(dǎo)體器件的下層反射回來，同時也消除由光和光刻膠層本身的厚度變化而引起的駐波。從而可穩(wěn)定生成適用于64M、256M、1G、4G和16G DRAM半導(dǎo)體器件的超細(xì)圖案，并大大提高了產(chǎn)率。
雖然上面參照某些優(yōu)選實施方案詳細(xì)地描述了本發(fā)明，但應(yīng)該理解是在本發(fā)明的精神實質(zhì)和范圍內(nèi)可進(jìn)行多種變化。因此，本發(fā)明僅受下述的權(quán)利要求書限定。
權(quán)利要求
1.由下述化學(xué)式19表示的丙烯酸9—蒽甲肟酯
(化學(xué)式21)
2.一種制備丙烯酸9—蒽甲肟酯的方法，其包括在吡啶存在的情況下，將9—蒽甲肟和丙烯酰氯化合物在四氫呋喃中反應(yīng)。
3.由下述化學(xué)式27表示的甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯
(化學(xué)式27)
4.一種制備甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯的方法，其包括在吡啶存在的情況下，將9—蒽甲肟和甲基丙烯酰氯化合物在四氫呋喃中反應(yīng)。
5.由下述化學(xué)式1表示的一種聚合物
(化學(xué)式1)其中，Ra、Rb、Rc和Rd分別為氫或甲基；R1—R9可相同或不同，分別代表氫、羥基、甲氧基羰基、羧基、羥甲基，或取代或未取代的、直鏈或支鏈C1—C5烷基或烷氧基烷基；w、x、y和z分別為0．01—0．99的摩爾分?jǐn)?shù)；且m和n分別為1—5的整數(shù)。
6.如權(quán)利要求5所述的聚合物，其中，Ra和Rb均為氫，Rc是甲基，R1—R9均為氫，w∶x∶y的摩爾比為0．5∶0．3∶0．2，且m和n分別為2和1，由此得到聚[丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸2—羥乙酯)—甲基丙烯酸縮水甘油酯]。
7.如權(quán)利要求5所述的聚合物，其中，Ra和Rb均為氫，Rc是甲基，R1—R9均為氫，w∶x∶y的摩爾比為0．5∶0．3∶0．2，且m和n分別為3和1，由此得到聚[丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸3—羥丙酯)—甲基丙烯酸縮水甘油酯]。
8.如權(quán)利要求5所述的聚合物，其中，Ra、Rb和Rc均為氫，R1—R9均為氫，w∶x∶y的摩爾比為0．5∶0．3∶0．2，且m和n分別為2和1，由此得到聚[丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸2—羥乙酯)—丙烯酸縮水甘油酯]。
9.如權(quán)利要求5所述的聚合物，其中，Ra、Rb和Rc均為氫，R1—R9均為氫，w∶x∶y的摩爾比為0．5∶0．3∶0．2，且m和n分別為3和1，由此得到聚[丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸3—羥丙酯)—丙烯酸縮水甘油酯]。
10.如權(quán)利要求5所述的聚合物，其中，Ra、Rb和Rc均為氫，R1—R9均為氫，w∶x∶y的摩爾比為0．5∶0．3∶0．2，且m和n分別為4和1，由此得到聚[丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸4—羥丁酯)—丙烯酸縮水甘油酯]。
11.如權(quán)利要求5所述的聚合物，其中，Ra和Rc均為甲基，Rb為氫，R1—R9均為氫，w∶x∶y的摩爾比為0．5∶0．3∶0．2，且m和n分別為2和1，由此得到聚[甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸2—羥乙酯)—甲基丙烯酸縮水甘油酯]。
12.如權(quán)利要求5所述的聚合物，其中，Ra和Rc均為甲基，Rb為氫，R1—R9均為氫，w∶x∶y的摩爾比為0．5∶0．3∶0．2，且m和n分別為3和1，由此得到聚[甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸3—羥丙酯)—甲基丙烯酸縮水甘油酯]。
13.如權(quán)利要求5所述的聚合物，其中，Ra和Rc均為甲基，Rb為氫，R1—R9均為氫，w∶x∶y的摩爾比為0．5∶0．3∶0．2，且m和n分別為4和1，由此得到聚[甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸4—羥丁酯)—甲基丙烯酸縮水甘油酯]。
14.如權(quán)利要求5所述的聚合物，其中，Ra為甲基，Rb和Rc均為氫，R1—R9均為氫，w∶x∶y的摩爾比為0．5∶0．3∶0．2，且m和n分別為2和1，由此得到聚[甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸2—羥乙酯)—丙烯酸縮水甘油酯]。
15.如權(quán)利要求5所述的聚合物，其中，Ra為甲基，Rb和Rc均為氫，R1—R9均為氫，w∶x∶y的摩爾比為0．5∶0．3∶0．2，且m和n分別為3和1，由此得到聚[甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸3—羥丙酯)—丙烯酸縮水甘油酯]。
16.如權(quán)利要求5所述的聚合物，其中，Ra為甲基，Rb和Rc均為氫，R1—R9均為氫，w∶x∶y的摩爾比為0．5∶0．3∶0．2，且m和n分別為4和1，由此得到聚[甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸4—羥丁酯)—丙烯酸縮水甘油酯]。
17.制備如權(quán)利要求5所述的聚合物的方法，其包括在一種溶劑中，借助于一種引發(fā)劑使丙烯酸9—蒽甲肟酯型單體，丙烯酸羥烷基酯型單體和丙烯酸縮水甘油酯型單體進(jìn)行聚合反應(yīng)。
18.如權(quán)利要求17所述的方法，其中丙烯酸9—蒽甲肟酯型單體丙烯酸羥烷基酯型單體丙烯酸縮水甘油酯型單體的摩爾比范圍為0．1—0．99∶0．1—0．99∶0．1—0．99。
19.如權(quán)利要求17所述的方法，其中所述引發(fā)劑選自于2，2—偶氮二異丁腈、過氧化乙酰、過氧化月桂酰和叔丁基過氧化物。
20.如權(quán)利要求17所述的方法，其中所述溶劑選自于四氫呋喃、甲苯、苯、甲乙酮和二噁烷。
21.如權(quán)利要求17所述的方法，其中所述聚合反應(yīng)在50—90℃下進(jìn)行。
22.由下述化學(xué)式2表示的一種聚合物
(化學(xué)式2)其中，Ra、Rb、Rc和Rd分別為氫或甲基；R1—R9分別代表氫、羥基、甲氧基羰基、羧基、羥甲基，或取代或未取代的、直鏈或支鏈C1—C5烷基或烷氧基烷基；w、x、y和z分別為0．01—0．99的摩爾分?jǐn)?shù)；且m和n分別為1—5的整數(shù)。
23.如權(quán)利要求22所述的聚合物，其中，Ra，Rb均為氫，Rc和Rd均為甲基，R1—R9均為氫，w∶x∶y∶z的摩爾比為0．3∶0．3∶0．2∶0．2，且m和n分別為2和1，由此得到聚[丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸2—羥乙酯)—甲基丙烯酸縮水甘油酯—甲基丙烯酸甲酯]。
24.如權(quán)利要求22所述的聚合物，其中，Ra，Rb均為氫，Rc和Rd均為甲基，R1—R9均為氫，w∶x∶y∶z的摩爾比為0．3∶0．3∶0．2∶0．2，且m和n分別為3和1，由此得到聚[丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸3—羥丙酯)—甲基丙烯酸縮水甘油酯—甲基丙烯酸甲酯]。
25.如權(quán)利要求22所述的聚合物，其中，Ra，Rb和Rc均為氫，Rd是甲基，R1—R9均為氫，w∶x∶y∶z的摩爾比為0．3∶0．3∶0．2∶0．2，且m和n分別為2和1，由此得到聚[丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸2—羥乙酯)—丙烯酸縮水甘油酯—甲基丙烯酸甲酯]。
26.如權(quán)利要求22所述的聚合物，其中，Ra，Rb和Rc均為氫，Rd是甲基，R1—R9均為氫，w∶x∶y∶z的摩爾比為0．3∶0．3∶0．2∶0．2，且m和n分別為3和1，由此得到聚[丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸3—羥丙酯)—丙烯酸縮水甘油酯—甲基丙烯酸甲酯]。
27.如權(quán)利要求22所述的聚合物，其中，Ra，Rb和Rc均為氫，Rd是甲基，R1—R9均為氫，w∶x∶y∶z的摩爾比為0．3∶0．3∶0．2∶0．2，且m和n分別為4和1，由此得到聚[丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸4—羥丁酯)—丙烯酸縮水甘油酯—甲基丙烯酸甲酯]。
28.如權(quán)利要求22所述的聚合物，其中，Ra，Rc和Rd均為甲基，且Rb是氫，R1—R9均為氫，w∶x∶y∶z的摩爾比為0．3∶0．3∶0．2∶0．2，且m和n分別為2和1，由此得到聚[甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸2—羥乙酯)—甲基丙烯酸縮水甘油酯—甲基丙烯酸甲酯]。
29.如權(quán)利要求22所述的聚合物，其中，Ra，Rc和Rd均為甲基，且Rb是氫，R1—R9均為氫，w∶x∶y∶z的摩爾比為0．3∶0．3∶0．2∶0．2，且m和n分別為3和1，由此得到聚[甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸3—羥丙酯)—甲基丙烯酸縮水甘油酯—甲基丙烯酸甲酯]。
30.如權(quán)利要求22所述的聚合物，其中，Ra，Rc和Rd均為甲基，且Rb是氫，R1—R9均為氫，w∶x∶y∶z的摩爾比為0．3∶0．3∶0．2∶0．2，且m和n分別為4和1，由此得到聚[甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸4—羥丁酯)—甲基丙烯酸縮水甘油酯—甲基丙烯酸甲酯]。
31.如權(quán)利要求22所述的聚合物，其中，Ra和Rd均為甲基，且Rb和Rc均為氫，R1—R9均為氫，w∶x∶y∶z的摩爾比為0．3∶0．3∶0．2∶0．2，且m和n分別為2和1，由此得到聚[甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸2—羥乙酯)—丙烯酸縮水甘油酯—甲基丙烯酸甲酯]。
32.如權(quán)利要求22所述的聚合物，其中，Ra和Rd均為甲基，且Rb和Rc均為氫，R1—R9均為氫，w∶x∶y∶z的摩爾比為0．3∶0．3∶0．2∶0．2，且m和n分別為3和1，由此得到聚[甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸3—羥丙酯)—丙烯酸縮水甘油酯—甲基丙烯酸甲酯]。
33.如權(quán)利要求22所述的聚合物，其中，Ra和Rd均為甲基，且Rb和Rc均為氫，R1—R9均為氫，w∶x∶y∶z的摩爾比為0．3∶0．3∶0．2∶0．2，且m和n分別為4和1，由此得到聚[甲基丙烯酸9—蒽甲肟酯—(丙烯酸4—羥丁酯)—丙烯酸縮水甘油酯—甲基丙烯酸甲酯]。
34.制備如權(quán)利要求22所述聚合物的方法，其包括在一種溶劑中，借助于一種引發(fā)劑使丙烯酸9—蒽甲肟酯型單體，丙烯酸羥烷基酯型單體，丙烯酸縮水甘油酯型單體和甲基丙烯酸甲酯進(jìn)行聚合反應(yīng)。
35.如權(quán)利要求34所述的方法，其中丙烯酸9—蒽甲肟酯型單體丙烯酸羥烷基酯型單體丙烯酸縮水甘油酯型單體甲基丙烯酸甲酯的摩爾比范圍為0．1—0．99∶0．1—0．99∶0．1—0．99∶0．1—0．99。
36.如權(quán)利要求34所述的方法，其中所述引發(fā)劑選自于2，2—偶氮二異丁腈、過氧化乙酰、過氧化月桂酰和叔丁基過氧化物。
37.如權(quán)利要求34所述的方法，其中所述溶劑選自于四氫呋喃、甲苯、苯、甲乙酮和二噁烷。
38.如權(quán)利要求34所述的方法，其中所述聚合反應(yīng)在50—90℃下進(jìn)行。
39.一種含有如權(quán)利要求5所述聚合物的抗反射涂料。
40.一種含有如權(quán)利要求22所述聚合物的抗反射涂料。
41.如權(quán)利要求39或40所述的抗反射涂料，其還包含至少一種選自下表1中的化合物表1
其中，R11、R12、R13、R14和R15各自獨立地表示氫、羥基、羥甲基，或取代或未取代的、直鏈或支鏈C1—C5烷基或烷氧基烷基。
42.一種制備抗反射涂層的方法，其包括將權(quán)利要求5的聚合物或權(quán)利要求22的聚合物溶解在一種有機溶劑中，過濾所得的溶液，將溶液涂覆到晶片上，并硬烘烤經(jīng)涂覆的晶片。
43.如權(quán)利要求42所述的方法，其中所述有機溶劑選自于3—乙氧基丙酸乙酯、3—甲氧基丙酸甲酯、環(huán)己酮和甲基醚乙酸丙二醇酯，且基于聚合物樹脂的重量，所用溶劑的量為200—5000重量％。
44.如權(quán)利要求42所述的方法，其中所述硬烘烤步驟在100—300℃下進(jìn)行。
45.一種制備如權(quán)利要求42所述抗反射涂料的方法，其還包括添加至少一種選自下表1中的化合物表1
其中，R11、R12、R13、R14和R15各自獨立地表示氫、羥基、羥甲基，或取代或未取代的、直鏈或支鏈C1—C5烷基或烷氧基烷基。
46.如權(quán)利要求45所述的方法，其中所述有機溶劑選自于3—乙氧基丙酸乙酯、3—甲氧基丙酸甲酯、環(huán)己酮和甲基醚乙酸丙二醇酯，且基于聚合物樹脂的重量，所用溶劑的量為200—5000重量％。
47.如權(quán)利要求45所述的方法，其中所述硬烘烤步驟在100—300℃下進(jìn)行。
48.如權(quán)利要求45所述的方法，其中所述添加物的用量為0．1—30重量％。
49.包含一種包括權(quán)利要求5或22的聚合物的抗反射涂料的半導(dǎo)體器件。
全文摘要
本發(fā)明公開了具有化學(xué)式1或2的聚合物。該聚合物可用作采用248nm krF、193nm ArF或157nmF
文檔編號C09K3/00GK1278529SQ0010784
公開日2001年1月3日 申請日期2000年6月22日 優(yōu)先權(quán)日1999年6月22日
發(fā)明者鄭旼鎬, 洪圣恩, 白基鎬 申請人:現(xiàn)代電子產(chǎn)業(yè)株式會社