具有防腐蝕功效的去除劑的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種具有防腐蝕功效的光刻膠去除劑，其原料包括防腐劑、有機(jī)胺化合物、有機(jī)溶劑、去離子水和C2～C15一元醇。該去除劑能夠提供剝離性優(yōu)異、安全，且不會腐蝕導(dǎo)電體的防腐蝕性優(yōu)異。
【專利說明】具有防腐蝕功效的去除劑

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及光刻【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種光刻膠去除劑，其剝離性能優(yōu)異，安全， 不會腐蝕導(dǎo)電體的防腐蝕性。

【背景技術(shù)】
[0002] 1C、LSI等集成電路，IXD、EL兀件等顯不機(jī)器,打印基板等使用熱刻蝕技術(shù)制造。 在該熱刻蝕工序中，不需要的光刻膠使用光刻膠去除劑進(jìn)行除去。
[0003] 在該光刻膠剝離工序中，之前使用各種光刻膠去除劑。但是，近年來對應(yīng)液晶顯示 面板或半導(dǎo)體元件的工藝微細(xì)化或短時間處理的能力低，期待進(jìn)一步的性能。目前，含有剝 離性優(yōu)異的胺系化合物的光刻膠去除劑成為主力。
[0004] 該胺系去除劑可以分為溶劑系和水系。例如，作為溶劑系去除劑使用二甲基亞砜 (約30重量％) +單乙醇胺（約70重量％)或者單乙醇胺+N-甲基吡咯烷酮等。另一方面， 作為水系去除劑使用水（約20?30重量％ ) +二甘醇單丁基醚（約20?30重量％ ) +單 乙醇胺（約30?40重量％ )、烷基苯磺酸+功能水（臭氧水）、酸系（硫酸+過氧化氫）+ 功能水（臭氧水）等。
[0005] 近年來，能夠進(jìn)行水淋洗的水系去除劑的使用有所擴(kuò)大。其理由在于水系去除劑 的剝離性優(yōu)異、而且沒有可燃性，是不是危險品。然而，水系去除劑添加有單乙醇胺。因此， 水系去除劑具有會引起對配線等導(dǎo)電體的腐蝕的缺點(diǎn)。因而，實(shí)際上有必要考慮剝離性能 和腐蝕性調(diào)整單乙醇胺的含量。而且，以光刻膠剝離性能和防止對導(dǎo)電體的破壞（腐蝕） 為目的，開發(fā)了各種光刻膠去除劑。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006] 現(xiàn)有技術(shù)以提高光刻膠剝離性能和導(dǎo)電體（包含銅（Cu)、鋁（A1)等的配線等）的 防腐蝕為目的而開發(fā)。但是這些技術(shù)仍然具有無法完全滿足兩個目的的問題。本發(fā)明鑒于 上述問題而完成，其目的在于提供剝離性優(yōu)異、安全，且不會腐蝕導(dǎo)電體的防腐蝕性優(yōu)異的 光刻膠去除劑。
[0007] 為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種光刻膠去除劑，其原料包括防腐劑、有機(jī) 胺化合物、有機(jī)溶劑、去離子水和C2?c15 -元醇。
[0008] 其中，所述光刻膠去除劑中各原料的重量分別為防腐劑3g?5g、有機(jī)胺化合物 8g?12g、有機(jī)溶劑10g?20g、去離子水50g?70g和C2?C15 一元醇3g?6g。
[0009] 其中，所述光刻膠去除劑中各原料的重量分別為防腐劑4g、有機(jī)胺化合物10g、有 機(jī)溶劑15g、去離子水60g和C2?C15 -元醇5g。
[0010] 其中，所述c2?c15-元醇進(jìn)一步優(yōu)選為丁醇、乙醇、異丙醇、丙醇、庚醇、辛醇。
[0011] 其中，所述防腐劑由苯并噻唑化合物和苯并喹啉化合物按照質(zhì)量比3 ： 1的比例 混合獲得。
[0012] 其中,所述苯并噻唑化合物具體結(jié)構(gòu)為式1所示：

【權(quán)利要求】
1. 一種光刻膠去除劑，其特征在于：原料包括防腐劑、有機(jī)胺化合物、有機(jī)溶劑、去離 子水和c2?c15 -兀醇。
2.如權(quán)利要求1所述的去除劑，其特征在于：各原料的重量分別為防腐劑3g?5g、有 機(jī)胺化合物8g?12g、有機(jī)溶劑10g?20g、去離子水50g?70g和C2?C15 -元醇3g? 6g。
3.如權(quán)利要求1或2所述的去除劑，其特征在于：各原料的重量分別為防腐劑4g、有機(jī) 胺化合物10g、有機(jī)溶劑15g、去離子水60g和C2?C15 -元醇5g。
4.如權(quán)利要求1至3所述的去除劑，其特征在于：所述C2?C15 -元醇為丁醇、乙醇、異 丙醇、丙醇、庚醇、辛醇。
5.如權(quán)利要求1至4所述的去除劑，其特征在于：所述防腐劑由苯并噻唑化合物和苯 并喹啉化合物按照質(zhì)量比1:1的比例混合獲得。
6.如權(quán)利要求1至5所述的去除劑，其特征在于：所述苯并噻唑化合物的制備方法具 體為， 第一步，在250mL的三口燒瓶中，稱取4-苯二甲酰亞胺環(huán)己醇15g,溶解于160mL的乙 酸乙酯和5mL的水中，攪拌溶解。冰浴降溫至0°C，依次加入TEMPOO. 05g,溴化鈉 0. 8g于 反應(yīng)體系中，機(jī)械攪拌15min,原料完全溶解。分批加入漂白粉18. 5g(l. 2eq),控制反應(yīng)體 系的溫度不高于5°C，0. 5h內(nèi)加完，移去冰浴，在室溫下反應(yīng)，TLC檢測反應(yīng)的進(jìn)度，5h后顯 示原料轉(zhuǎn)化完畢，過濾去固體，有機(jī)相用飽和氯化鈉洗滌，經(jīng)無水硫酸鈉干燥，過濾、減壓除 去有機(jī)溶劑得到白色固體粗品14. lg，經(jīng)甲苯重結(jié)晶得到13. 6g，獲得4-苯二甲酰亞胺環(huán)己 酮； 第二步，100mL的三口燒瓶中，稱量第一步制備的4-苯二甲酰亞胺環(huán)己酮5. 0g溶解于 40mL的乙酸乙酯中，加入2. 6mL濃度為30%的H202于反應(yīng)體系中，升溫至50°C，緩慢滴加 1. 6mL濃度為42%的氫溴酸，0. 5h滴加完畢，升溫至回流，在此溫度下反應(yīng)2h。TLC顯示原 料反應(yīng)完畢，碳酸氫鈉調(diào)節(jié)pH = 7，析出大量白色固體，繼續(xù)攪拌15min，過濾得到白色固 體。用15mLX 3冷的甲醇洗滌濾餅，濾餅干燥至恒重，得到白色固體5. 4g，獲得2-溴-4-苯 二甲酰亞胺環(huán)己酮； 第三步，100mL的三口瓶中，稱量第二步制備的2-溴4-苯二甲酰亞胺環(huán)己酮5. 0g，然 后加入甲醇50mL, 二氯甲燒15mL,碳酸氫鈉 2. 0g,升溫至回流后，加入硫脲2. 5g于反應(yīng)體 系中。在此溫度下回流反應(yīng)液逐漸變澄清，TLC檢測，4h后原料反應(yīng)完畢。減壓除去有機(jī)溶 劑甲醇和二氯甲烷，過濾得到白色濾餅，濾餅用40mL熱水洗滌，甲醇重結(jié)晶，得到4. 2g2-氨 基-6苯二甲酰亞氨基-4，5，6，7-四氫苯并噻唑； 第四步，100mL的三口瓶中，稱量第三步制備的2. 5g懸浮于30mL的甲醇中，依次加入 水合肼0. 8mL，三乙胺0. 2mL,氮?dú)獗Ｗo(hù)條件下，升溫至回流，4h后TLC檢測反應(yīng)完畢，冷卻至 5°C，得到白色固狀物質(zhì)，將白色固狀物過濾，濾餅用10mLX3冷的甲醇洗滌，合并有機(jī)相， 經(jīng)無水硫酸鈉干燥，減壓除去溶劑，無水乙醇重結(jié)晶，得到白色粉末1. 2g。
7.如權(quán)利要求1至6所述的去除劑，其特征在于：所述苯并喹啉化合物的制備方法具 體為， 第一步，對氯苯胺鹽酸鹽的制備，將對氯苯胺2. 0g加入到5ml蒸餾水和37%的濃鹽酸 5ml中，室溫下攪拌30min，過濾晶體并用乙醇洗3次，烘干，得1. 98g固體，即為對氯苯胺鹽 酸鹽； 第二步，重氮化，取對氯苯胺鹽酸鹽0. 72g在5ml蒸餾水和37%的濃鹽酸5ml中溶解， 冷卻到0-5°C (冰水浴），緩慢滴加 NaN02水溶液（0. 5g NaN02溶于10ml水中），至淀粉碘化 鉀試紙剛剛變藍(lán)為止，維持0-5°C繼續(xù)反應(yīng)30min ； 第三步，偶氮化，取0. 5g的10-羥基苯并喹啉（HBQ)，溶于10ml蒸餾水和10ml 二氧六 環(huán)的混合溶液中，保持0-5°C，體系用氫氧化鈉調(diào)節(jié)至pH = 8，劇烈攪拌下將10-羥基苯并 喹啉溶液緩慢加入第二步獲得的產(chǎn)物中，繼續(xù)反應(yīng)2-3h ;冰水浴中靜置2h，減壓過濾，得橙 色固體，依次用水、苯-正己烷（1 ： 10)洗滌，紅外干燥，得粗品，隨后經(jīng)過氯仿-石油醚體 系（3 : 2)柱層析分離，經(jīng)干燥后得產(chǎn)品0.48g。
8.如權(quán)利要求1至7所述的去除劑，其特征在于：所述有機(jī)溶劑包括一種或多種選自 以下的物質(zhì)：N-甲基吡咯烷酮（NMP)、1，3-二甲基-2-咪唑啉酮（DMI)、二甲基亞砜（DMSO)、 二甲基乙酰胺（DMAc)、二甲基甲酰胺（DMF)、N-甲基甲酰胺（NMF)、環(huán)丁砜、丁基二乙二醇 (BDG)、乙基二乙二醇（EDG)、甲基二乙二醇（MDG)、三乙二醇（TEG)、二乙二醇單乙醚（DEM)、 二乙二醇單丁醚、及其混合物。
9.如權(quán)利要求1至8所述的去除劑，其特征在于：所述有機(jī)胺由羥乙基哌嗪和哌嗪羥 酰氯按照質(zhì)量比1:1混合而成。
10.如權(quán)利要求1至9所述的去除劑，其特征在于：所述哌嗪羥酰氯為4-乙基-2， 3-雙氧哌嗪基-1-羰酰氯，所述哌嗪羥酰氯的制備方法具體為：在配有電動攪拌、溫度計和 滴液漏斗的500mL干燥三頸瓶中，加入N-乙基-2，3-雙氧哌嗪（28. 8g，0. 2mol)和三氯甲 烷（300mL)，攪拌，使之溶解，室溫下加入三甲基氯硅烷（23g，0. 2mol)，攪拌lOmin后冷卻 到-10°C，滴加三乙胺（24g，0. 23mol)，在滴加過程中有白色三乙胺鹽酸鹽固體析出，在此 溫度下反應(yīng)lh，冷卻到_30°C，滴加氯甲酸三氯甲酯(23. 8g，0. 12mol)，在20min內(nèi)加完，反 應(yīng)液變紅而褐，升溫到_20°C反應(yīng)lh，過濾，除去不溶物。濾液計量（280mL)并在_10°C時滴 加正己烷（140mL)，加入約1/3的正己烷時即有結(jié)晶析出，放慢滴加速度并繼續(xù)保持_10°C， 此時大量結(jié)晶析出，繼續(xù)加完剩余的正己烷。在_15°C攪拌0.5h，過濾，濾餅用小量冷正己 烷洗滌，在40°C?50°C真空干燥3h，得淡黃色針狀結(jié)晶。
【文檔編號】C07D277/60GK104049475SQ201410236102
【公開日】2014年9月17日 申請日期:2014年5月30日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月30日
【發(fā)明者】不公告發(fā)明人 申請人:青島華仁技術(shù)孵化器有限公司