一種用于去除六氟化鎢中金屬元素雜質(zhì)的裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于去除六氟化鎢中金屬元素雜質(zhì)的裝置，包括儲(chǔ)液罐(1)和冷卻罩(2)，儲(chǔ)液罐(1)為U形，冷卻罩(2)為倒U形，冷卻罩(2)內(nèi)徑大于儲(chǔ)液罐(1)外徑；儲(chǔ)液罐上敞口部位伸入到冷卻罩內(nèi)，冷卻罩下口與儲(chǔ)液罐外壁密封連接，儲(chǔ)液罐伸入到冷卻罩內(nèi)的罐體外壁與冷卻罩內(nèi)壁之間的空間形成集液區(qū)(3)；儲(chǔ)液罐內(nèi)未插入冷卻罩內(nèi)的部位有加熱棒組(4)，加熱棒組(4)安裝位置以下的儲(chǔ)液罐外壁設(shè)有冷夾套(5)；物料進(jìn)口(6)設(shè)在加熱棒組上方，集液區(qū)底部開(kāi)有物料出口(7)。本實(shí)用新型用于去除WF6中金屬元素雜質(zhì)，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、自動(dòng)進(jìn)料、連續(xù)生產(chǎn)的優(yōu)點(diǎn)。
【專利說(shuō)明】
一種用于去除六氟化鎢中金屬元素雜質(zhì)的裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本實(shí)用新型涉及六氟化鎢制備領(lǐng)域，特別涉及吸附純化工藝及設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002] 六氟化鎢(WF6)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)。近年來(lái)，隨著電子工業(yè)的不斷發(fā)展和進(jìn) 步，對(duì)WFs的純度要求也越來(lái)越高，其中對(duì)于金屬元素雜質(zhì)的要求更是苛刻到ppb級(jí)別，為WFs 的精制提純提出更尚的要求。
[0003] CN1281823中公開(kāi)一種生產(chǎn)超高純(UHP)六氟化鎢的方法，通過(guò)將一定量粗六氟化 鎢引入一個(gè)蒸發(fā)過(guò)程，分離為一定量含有揮發(fā)性雜質(zhì)的六氟化鎢和一定量的非揮發(fā)性金屬 雜質(zhì)。
[0004] CN101827788A中公開(kāi)一種用于純化WF6氣體的適用新設(shè)備和方法，具體提供使用 含碳材料通過(guò)去除基本所有高揮發(fā)性氣體雜質(zhì)和棘手的過(guò)渡金屬雜質(zhì)從而生產(chǎn)高純WF6的 設(shè)備和方法。但該發(fā)明只適合用于從WF6氣體去除鉻和鉬雜質(zhì)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是一種用于去除WF6中金屬元素雜質(zhì)的裝置。
[0006] 本實(shí)用新型所述的裝置，包括儲(chǔ)液罐1和冷卻罩2,儲(chǔ)液罐1為U形，冷卻罩2為倒U 形，冷卻罩2內(nèi)徑大于儲(chǔ)液罐1外徑;儲(chǔ)液罐上敞口部位伸入到冷卻罩內(nèi)，冷卻罩下口與儲(chǔ)液 罐外壁密封連接，儲(chǔ)液罐伸入到冷卻罩內(nèi)的罐體外壁與冷卻罩內(nèi)壁之間的空間形成集液區(qū) 3;儲(chǔ)液罐內(nèi)未插入冷卻罩內(nèi)的部位有加熱棒組4，加熱棒組4安裝位置以下的儲(chǔ)液罐外壁設(shè) 有冷夾套5;物料進(jìn)口 6設(shè)在加熱棒組上方，集液區(qū)底部開(kāi)有物料出口 7。
[0007] 集液區(qū)3的高度一般是冷卻罩高度的1/10~1/5。加熱棒組4距儲(chǔ)液罐底部的高度 一般占儲(chǔ)液罐高度的1/2~2/3。物料進(jìn)口 6-般安裝在加熱棒組4與集液區(qū)3底面間的居中 位置。
[0008] 為冷卻罩控溫方便，冷卻罩可設(shè)計(jì)帶有信號(hào)輸出的溫度表8;為觀察儲(chǔ)液罐液位， 儲(chǔ)液罐側(cè)面裝有帶信號(hào)輸出的液位計(jì)9;為排污方便，儲(chǔ)液罐底端設(shè)有排污口 10。
[0009] 適用冷媒可為乙二醇-乙醇混合溶液，通過(guò)冷液進(jìn)口閥和冷液出口閥控制冷卻罩 的溫度。加熱棒組和冷夾套共同調(diào)控儲(chǔ)液罐的溫度。
[0010] wf6粗氣通過(guò)物料進(jìn)口進(jìn)入到儲(chǔ)液罐，氣體經(jīng)加熱棒組和冷夾套控溫汽化上升到 冷卻罩內(nèi)，冷卻后進(jìn)入集液區(qū)，經(jīng)物料出口放出，得到低金屬元素雜質(zhì)的氣體。
[0011] 本實(shí)用新型用于去除WF6中金屬元素雜質(zhì)，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、自動(dòng)進(jìn)料、連續(xù)生 產(chǎn)的優(yōu)點(diǎn)，出料液完全滿足wf 6中金屬元素雜質(zhì)的去除要求。
【附圖說(shuō)明】
[0012] 圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013] 圖2是本實(shí)用新型標(biāo)尺寸的結(jié)構(gòu)圖。
[0014] 其中：1-儲(chǔ)液罐，2-冷卻罩，3-集液區(qū)，4-加熱棒組，5-冷夾套6-物料進(jìn)口，7-物料 出口 8-帶信號(hào)輸出的溫度表，9-帶信號(hào)輸出的液位計(jì)，10-排污口。
【具體實(shí)施方式】
[0015] 下面結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。
[0016] 實(shí)施例1
[0017]如圖1所示，一種去除WF6中金屬元素雜質(zhì)的裝置，包括儲(chǔ)液罐1和冷卻罩2,儲(chǔ)液罐 1為U形，冷卻罩2為倒U形；儲(chǔ)液罐1上敞口部位伸入到冷卻罩2內(nèi)，儲(chǔ)液罐1與冷卻罩2同軸 心，冷卻罩下口與儲(chǔ)液罐外壁密封連接，儲(chǔ)液罐伸入到冷卻罩內(nèi)的罐體外壁與冷卻罩內(nèi)壁 之間的空間形成環(huán)形集液區(qū)3,集液區(qū)物料出口 7在集液區(qū)下方，冷卻罩內(nèi)有冷媒循環(huán)，冷卻 罩2上有帶信號(hào)輸出的溫度表8。冷卻罩內(nèi)直徑為〇426mm，高為1000mm，儲(chǔ)液罐外直徑為〇 377mm，高1200mm。集液區(qū)3高為200mm，加熱棒組在集液區(qū)下方200mm處，物料進(jìn)口 6設(shè)在加熱 棒組4上方100mm處，物料進(jìn)口的管道水平延伸至儲(chǔ)液罐1中心位置，并帶有向下彎管;儲(chǔ)液 罐1底部裝有排污閥10,側(cè)壁有帶信號(hào)輸出的液位計(jì)9,液位計(jì)下端法蘭接口位于排污閥10 上方200mm處，液位計(jì)上端法蘭接口位于加熱棒組下方100mm處。
[0018]使用本實(shí)用新型裝置去除WF6中金屬元素雜質(zhì)，粗品雜質(zhì)含量見(jiàn)表1(單位ppb)。 [0019]表1粗品雜質(zhì)含量
[0021 ]進(jìn)料前控制冷卻罩溫度在0~15°C，粗品WF6由物料進(jìn)口進(jìn)入儲(chǔ)液罐1，通過(guò)帶輸出 信號(hào)的液位計(jì)9控制液位在0~500mm，優(yōu)選200~400mm;通過(guò)加熱棒組4和冷夾套5控制儲(chǔ)液 罐1溫度在15~35°C，優(yōu)選20~30 °C;儲(chǔ)液罐液面物料沸騰汽化上升至冷卻罩冷凝富集至集 液區(qū)，由集液區(qū)通過(guò)物料出口進(jìn)入成品儲(chǔ)罐。由ICP-MS分析檢測(cè)物料出口產(chǎn)品中常見(jiàn)的9種 金屬元素雜質(zhì)含量見(jiàn)表2(單位ppb)。
[0022]表2產(chǎn)品雜質(zhì)含量
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種用于去除六氟化鎢中金屬元素雜質(zhì)的裝置，包括儲(chǔ)液罐（1)和冷卻罩(2)，儲(chǔ)液 罐(1)為U形，冷卻罩(2)為倒U形，冷卻罩(2)內(nèi)徑大于儲(chǔ)液罐(1)外徑;儲(chǔ)液罐上敞口部位伸 入到冷卻罩內(nèi)，冷卻罩下口與儲(chǔ)液罐外壁密封連接，儲(chǔ)液罐伸入到冷卻罩內(nèi)的罐體外壁與 冷卻罩內(nèi)壁之間的空間形成集液區(qū)（3);儲(chǔ)液罐內(nèi)未插入冷卻罩內(nèi)的部位有加熱棒組(4)， 加熱棒組(4)安裝位置以下的儲(chǔ)液罐外壁設(shè)有冷夾套(5);物料進(jìn)口（6)設(shè)在加熱棒組上方， 集液區(qū)底部開(kāi)有物料出口（7)。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征是集液區(qū)（3)的高度是冷卻罩高度的1/10~1/5。3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征是加熱棒組(4)距儲(chǔ)液罐（1)底部的高度占儲(chǔ)液 罐高度的1/2~2/3。4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征是物料進(jìn)口（6)安裝在加熱棒組(4)與集液區(qū)（3) 底面間的居中位置。5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征是冷卻罩上設(shè)計(jì)帶有信號(hào)輸出的溫度表(8)。6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征是儲(chǔ)液罐側(cè)面裝有帶信號(hào)輸出的液位計(jì)(9)。7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征是儲(chǔ)液罐底端設(shè)有排污口（ 10)。8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征是物料進(jìn)口的管道水平延伸至儲(chǔ)液罐（1)中心位 置，并帶有向下彎管。9. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征是儲(chǔ)液罐(1)與冷卻罩(2)同軸心連接。10. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征是冷卻罩和冷夾套內(nèi)有冷媒循環(huán)，冷媒為乙二 醇-乙醇混合溶液。
【文檔編號(hào)】C01G41/04GK205653183SQ201620297337
【公開(kāi)日】2016年10月19日
【申請(qǐng)日】2016年4月1日 公開(kāi)號(hào)201620297337.8, CN 201620297337, CN 205653183 U, CN 205653183U, CN-U-205653183, CN201620297337, CN201620297337.8, CN205653183 U, CN205653183U
【發(fā)明人】李賢武, 黃曉磊, 張金彪, 許福勝, 吳旭飛, 李立遠(yuǎn), 任章順, 李金勇, 鮑金強(qiáng), 牛鵬飛
【申請(qǐng)人】黎明化工研究設(shè)計(jì)院有限責(zé)任公司