一種負壓擴散爐用石英管的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及半導體真空加熱設備領域，尤其涉及一種負壓擴散爐用石英管。
【背景技術】
[0002]在光伏行業(yè)，高溫擴散爐與其內(nèi)的石英管相配合使用主要用于對單晶硅片、多晶硅片進行摻雜，形成PN結。目前常規(guī)的擴散爐用石英管設置在擴散爐的腔體內(nèi)，通過加熱擴散爐來升溫，并在石英管上設有進氣口和排氣口。在擴散工藝過程中，待擴散的硅片置于石英管中央，擴散爐開始升溫，雜質源氣體從進氣口進入管內(nèi)，雜質源氣體在高溫下反應并擴散進入硅片內(nèi)，由于目前常規(guī)的石英管固定方式十分簡單，僅僅在石英管與擴散爐壁間放置石英墊圈并在空隙處填入石英棉，這種固定方式使得石英管在使用過程中很容易發(fā)生位置移動甚至與擴散爐碰撞而損壞。
[0003]另一方面，在對硅片進行摻雜時，石英管內(nèi)的壓強很低，溫度很高，而現(xiàn)有的石英管尾部大部分為平面，無法承受石英管壁內(nèi)外的壓力差，很容易損壞，而且由于擴散在高溫下進行，石英管管口沒有隔熱裝置，易導致爐口石英管壁溫度過高，爐口密封圈因溫度過高密封效果下降，而擴散工藝對環(huán)境潔凈度要求嚴格，密封不好將造成石英管和硅片的污染，對硅片性能有很大的影響。
[0004]因此，設計出一種位置固定、耐高壓且密封良好的負壓擴散爐用石英管是業(yè)界亟待解決的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本實用新型為了解決石英管在使用過程中容易發(fā)生位置移動的問題，提供一種負壓擴散爐用石英管，包括上端的石英管尾部、中間帶有空腔的管體、下端的石英管口部、石英管尾部設有進氣管和出氣管，其特征在于，石英管尾部和口部均固定在負壓擴散爐上。
[0006]具體來說，石英管尾部設有一圈環(huán)狀結構，圓環(huán)狀結構和擴散爐內(nèi)壁可通過法蘭連接在一起，從而將石英管固定；石英管口部四周設有法蘭與爐壁法蘭連接用于固定石英管。
[0007]石英管口部四周設有一圈環(huán)狀空心腔體用于隔熱，環(huán)狀空心腔體內(nèi)可填充石英纖維棉、含鋯纖維、高鋁纖維以及納米二氧化硅微孔隔熱材料之中的一種或多種。
[0008]石英管尾部設有至少一個進氣口和一個排氣口且石英管尾部為外凸的曲面結構。
[0009]本實用新型石英管尾和石英管口都有固定裝置與擴散爐固定在一起，有效地避免了石英管在使用過程中發(fā)生位移，減少了石英管位置調(diào)整的次數(shù)。石英管口設有環(huán)狀腔體用于隔熱，使石英管口密封性能大幅提高，此外在石英管尾部使用外凸的曲面結構，耐壓能力較平面結構有所改進。
【附圖說明】
[0010]圖1是本實用新型一實施例剖面的主視圖。
【具體實施方式】
[0011]下面結合附圖對本實用新型進一步進行說明。
[0012]如圖1所示，是本實用新型在石英管尾左側設有一個進氣管，右側設有一個出氣管，且中間設有一預留進氣管的實施例，包括:位于石英管上端外凸曲面結構的石英管尾部1、位于石英管尾部左側的噴淋進氣管13、右側的出氣管14、中間預留的非噴淋方式進氣管15、石英管中間帶有空腔的圓柱形管體2和石英管下端圓形的石英管口部3，石英管尾部1通過外凸曲面上豎直方向上的圓環(huán)狀結構4上的法蘭5與擴散爐壁上的法蘭6固定在一起。石英管尾圓環(huán)狀結構上的法蘭5與擴散爐上的法蘭6中間裝有密封圈7。石英管口 3外側設有一圈圓環(huán)腔體8，圓環(huán)腔體內(nèi)部填充石英纖維棉9，填充石英纖維棉的圓環(huán)腔體可以有效地進行隔熱，避免石英管口溫度過高造成的密封不良。石英管口上的法蘭10與擴散爐壁上的法蘭11固定在一起，法蘭10與法蘭11之間裝有密封圈12。石英管尾以及石英管口通過法蘭與擴散爐固定之后，可以避免石英管在使用過程中發(fā)生位置移動，減少了設備位置的調(diào)試次數(shù)。
[0013]除了在圓環(huán)狀空心腔體內(nèi)填充石英纖維棉外，還可以填充含鋯纖維、高鋁纖維以及納米二氧化硅微孔隔熱材料。
[0014]以上的具體實施例僅用以舉例說明本實用新型的構思，本領域的普通技術人員在本實用新型的構思下可以做出多種變形和變化，這些變形和變化均包括在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【主權項】
1.一種負壓擴散爐用石英管，包括上端的石英管尾部、中間帶有空腔的管體、下端的石英管口部、進氣管和出氣管，其特征在于，石英管尾部和口部均固定在負壓擴散爐上。2.根據(jù)權利要求1所述的一種負壓擴散爐用石英管，其特征在于，所述石英管尾部設有與負壓擴散爐內(nèi)壁連接的一圈環(huán)狀結構，所述石英管口部四周設有與負壓擴散爐內(nèi)壁連接的法蘭。3.根據(jù)權利要求1或2所述的一種負壓擴散爐用石英管，其特征在于，所述石英管口部四周設有一圈用于隔熱的圓環(huán)狀空心腔體。4.根據(jù)權利要求3所述的一種負壓擴散爐用石英管，其特征在于，所述石英管口部的圓環(huán)狀空心腔體內(nèi)填充隔熱材料。5.根據(jù)權利要求4所述的一種負壓擴散爐用石英管，其特征在于，所述隔熱材料是石英纖維棉、含鋯纖維、高鋁纖維以及納米二氧化硅微孔隔熱材料之中的一種。6.根據(jù)權利要求1或2所述的一種負壓擴散爐用石英管，其特征在于，所述石英管尾部設有至少一個進氣口和一個排氣口。7.根據(jù)權利要求1或2所述的一種負壓擴散爐用石英管，其特征在于，所述石英管尾部為外凸的曲面結構。
【專利摘要】本實用新型公開了一種負壓擴散爐用石英管，包括上端的石英管尾部、中間帶有空腔的管體和下端的石英管口部，石英管尾部設有進氣管和出氣管，石英管尾部和口部均通過法蘭固定在擴散爐的主體機架上從而避免了石英管在設備使用過程中發(fā)生位移的問題。此外，本實用新型石英管口設有環(huán)狀空腔用于隔熱，采用外凸的曲面結構增強耐壓能力。本實用新型結構簡單，密封性良好、耐高壓并且因與擴散爐固定良好，使用壽命大大提高。
【IPC分類】C30B31/10
【公開號】CN205035499
【申請?zhí)枴緾N201520730986
【發(fā)明人】楊寶立, 常紅旺, 張勇
【申請人】深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司
【公開日】2016年2月17日
【申請日】2015年9月21日