一種雙傳感器高靈敏度泡生法引晶系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種雙傳感器高靈敏度泡生法引晶系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]藍(lán)寶石晶體α -Α1203的物理、化學(xué)性能極為優(yōu)越，有很多其它材料無法比擬的特點(diǎn)，如熔點(diǎn)高、硬度高、耐腐蝕、光學(xué)透過率高等。由于這些優(yōu)點(diǎn)，大量手機(jī)、平板生產(chǎn)商開始用藍(lán)寶石作為其產(chǎn)品屏幕，導(dǎo)致近年來其需求量大增。藍(lán)寶石另一個(gè)重要的用途是用于LED芯片襯底，LED是新一代照明光源，憑借其節(jié)能、環(huán)保、使用壽命長，亮度高和可控性強(qiáng)等特點(diǎn)在民用，商業(yè)和軍事領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用，逐漸替代傳統(tǒng)的照明燈具。
[0003]引晶是藍(lán)寶石晶體生長中最關(guān)鍵的一步，也是最復(fù)雜和難度最高的，對(duì)晶體質(zhì)量起到?jīng)Q定性作用的，傳統(tǒng)引晶工作都過引晶工作人員的觀察和經(jīng)驗(yàn)進(jìn)行的，不同的人員甚至不同的狀態(tài)下，引晶質(zhì)量相差較大，不能實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)的控制，且引晶難度較大，浪費(fèi)大量人力，物力。
[0004]傳統(tǒng)晶體生長設(shè)備中稱重量程要達(dá)到數(shù)百公斤，所以其精度只能達(dá)到lg，更高的精度使得成本過高。但引晶初期藍(lán)寶石晶體生長速度很慢，且晶體生長在熔體中，重量變化小，Ig的精度不能準(zhǔn)確地反映引晶初期的生長狀況，不能幫助進(jìn)行引晶操作。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足之處，提供一種結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，用于晶體生長的雙傳感器高靈敏度泡生法引晶系統(tǒng)，使用該系統(tǒng)可以最低的成本在引晶階段和晶體生長初期準(zhǔn)確地判斷晶體生長狀況，極大的方便了引晶工作的進(jìn)行，和提高了引晶的精準(zhǔn)性，減少了人為主觀因素對(duì)晶體質(zhì)量的影響。
[0006]為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用以下方案:
[0007]—種雙傳感器高靈敏度泡生法引晶系統(tǒng)，其特征在于:包括有支撐平臺(tái)，在所述支撐平臺(tái)中設(shè)有籽晶桿安裝孔，在所述籽晶桿安裝孔兩側(cè)分別設(shè)有能支撐并稱量籽晶桿安裝孔中籽晶桿的重量的第一稱重傳感器和第二稱重傳感器，在所述第一稱重傳感器與支撐平臺(tái)之間設(shè)有能抬升第一稱重傳感器的第一壓電微位移驅(qū)動(dòng)器，在所述第二稱重傳感器與支撐平臺(tái)之間設(shè)有能抬升第二稱重傳感器的第二壓電微位移驅(qū)動(dòng)器。
[0008]如上所述的一種雙傳感器高靈敏度泡生法引晶系統(tǒng)，其特征在于所述第一稱重傳感器的精度為0.1g的S型重傳感器，最大量程為20kg。
[0009]如上所述的一種雙傳感器高靈敏度泡生法引晶系統(tǒng)，其特征在于所述第二稱重傳感器的精度為Ig的S型重傳感器，最大量程為120kg。
[0010]如上所述的一種雙傳感器高靈敏度泡生法引晶系統(tǒng)，其特征在于所述第一稱重傳感器和第二稱重傳感器分別與解碼器相連接。
[0011]綜上所述，本實(shí)用新型相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)其有益效果是:
[0012]本實(shí)用新型中包括一個(gè)精度為0.1g的S型稱重傳感器，其最大量程為20kg，可以滿足引晶階段的需求，一個(gè)精度為Ig的S型稱重傳感器，其最大量程為120kg，可以滿足晶體生長中后期需求；本實(shí)用新型通過調(diào)節(jié)第一壓電微位移驅(qū)動(dòng)器和第二壓電微位移驅(qū)動(dòng)器，可以精確測(cè)量晶體生長初期的重量，極大的方便了引晶工作，且成本較低，在晶體生長中后期，把傳感器換成量程較大的，能夠以最小的成本生長最大的晶體。
【附圖說明】
[0013]圖1為本實(shí)用新型的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0014]下面結(jié)合【附圖說明】和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述:
[0015]如圖1所示的一種雙傳感器高靈敏度泡生法引晶系統(tǒng)，包括有支撐平臺(tái)1，在所述支撐平臺(tái)I中設(shè)有籽晶桿安裝孔2，在所述籽晶桿安裝孔2兩側(cè)分別設(shè)有能支撐并稱量籽晶桿安裝孔2中籽晶桿10的重量的第一稱重傳感器3和第二稱重傳感器4，在所述第一稱重傳感器3與支撐平臺(tái)I之間設(shè)有能抬升第一稱重傳感器3的第一壓電微位移驅(qū)動(dòng)器5，在所述第二稱重傳感器4與支撐平臺(tái)I之間設(shè)有能抬升第二稱重傳感器4的第二壓電微位移驅(qū)動(dòng)器6。
[0016]本實(shí)用新型中所述第一稱重傳感器3的精度為0.1g的S型重傳感器，最大量程為20kgo
[0017]本實(shí)用新型中所述第二稱重傳感器4的精度為Ig的S型重傳感器，最大量程為120kgo
[0018]本實(shí)用新型中所述第一稱重傳感器3和第二稱重傳感器4分別與解碼器相連接。本實(shí)用新型中第一稱重傳感器3和第二稱重傳感器4可以共用同一個(gè)解碼器。
[0019]本實(shí)用新型中在晶體生長初期，通過調(diào)整第一壓電微位移驅(qū)動(dòng)器，使0.1g靈敏度的第一稱重傳感器3抬升，支撐籽晶桿，使其進(jìn)入工作狀態(tài)，進(jìn)行引晶操作；
[0020]引晶操作結(jié)束以后，調(diào)整第二壓電微位移驅(qū)動(dòng)器，使Ig靈敏度的第二稱重傳感器4進(jìn)入工作狀態(tài)，在晶體生長的中后期階段使用精度為Ig的第二稱重傳感器4;本發(fā)明可以精確測(cè)量晶體生長初期的重量，極大的方便了引晶工作，且成本較低，在晶體生長中后期，把傳感器換成量程較大的，能夠以最小的成本生長最大的晶體。
[0021]以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理和主要特征以及本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說明書中描述的只是說明本實(shí)用新型的原理，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下，本實(shí)用新型還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種雙傳感器高靈敏度泡生法引晶系統(tǒng)，其特征在于:包括有支撐平臺(tái)(I)，在所述支撐平臺(tái)(I)中設(shè)有籽晶桿安裝孔(2)，在所述籽晶桿安裝孔(2)兩側(cè)分別設(shè)有能支撐并稱量籽晶桿安裝孔(2)中籽晶桿(10)的重量的第一稱重傳感器(3)和第二稱重傳感器(4)，在所述第一稱重傳感器(3)與支撐平臺(tái)(I)之間設(shè)有能抬升第一稱重傳感器(3)的第一壓電微位移驅(qū)動(dòng)器(5)，在所述第二稱重傳感器(4)與支撐平臺(tái)(I)之間設(shè)有能抬升第二稱重傳感器(4)的第二壓電微位移驅(qū)動(dòng)器(6)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種雙傳感器高靈敏度泡生法引晶系統(tǒng)，其特征在于所述第一稱重傳感器(3)的精度為0.1g的S型重傳感器，最大量程為20kg。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種雙傳感器高靈敏度泡生法引晶系統(tǒng)，其特征在于所述第二稱重傳感器(4)的精度為Ig的S型重傳感器，最大量程為120kg。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種雙傳感器高靈敏度泡生法引晶系統(tǒng)，其特征在于所述第一稱重傳感器(3)和第二稱重傳感器(4)分別與解碼器相連接。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種雙傳感器高靈敏度泡生法引晶系統(tǒng)，包括有支撐平臺(tái)，在支撐平臺(tái)中設(shè)有籽晶桿安裝孔，在籽晶桿安裝孔兩側(cè)分別設(shè)有能支撐并稱量籽晶桿安裝孔中籽晶桿的重量的第一稱重傳感器和第二稱重傳感器，在第一稱重傳感器與支撐平臺(tái)之間設(shè)有能抬升第一稱重傳感器的第一壓電微位移驅(qū)動(dòng)器，在第二稱重傳感器與支撐平臺(tái)之間設(shè)有能抬升第二稱重傳感器的第二壓電微位移驅(qū)動(dòng)器。本實(shí)用新型的目的提供一種結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，用于晶體生長的雙傳感器高靈敏度泡生法引晶系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以最低的成本在引晶階段和晶體生長初期準(zhǔn)確地判斷晶體生長狀況，極大的方便了引晶工作的進(jìn)行，和提高了引晶的精準(zhǔn)性，減少了人為主觀因素對(duì)晶體質(zhì)量的影響。
【IPC分類】C30B29/20, C30B17/00
【公開號(hào)】CN204918841
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520518598
【發(fā)明人】王東陽, 翟劍龐, 黃鏡蓁
【申請(qǐng)人】中山兆龍光電科技有限公司
【公開日】2015年12月30日
【申請(qǐng)日】2015年7月16日