用于分子束外延生長和角分辨光電子能譜測試的樣品托的制作方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及超高真空設備領域，特別是涉及一種既可以用于分子束外延原位生長同時又可適用于角分辨光電子能譜儀原位測試的樣品托。
【背景技術】
[0002]分子束外延系統(tǒng)(MBE)是新發(fā)展起來的在超高真空環(huán)境下制備高質量單晶薄膜的新技術，由于可以實現(xiàn)精確控制膜層組分、摻雜濃度以及量子阱、超晶格等超薄層量子結構材料而受到越來越多的科學研宄工作者的青睞。而角分辨光電子能譜儀(ARPES)是在超高真空環(huán)境下利用光電效應直接觀測固體材料的電子結構的方法，被譽為“一個可以看見電子結構的顯微鏡”，是觀察電子結構的最佳利器。分子束外延和角分辨光電子能譜儀的集成系統(tǒng)(MBE/ARPES)由于其可以解決在材料生長、器件工藝環(huán)節(jié)、測試分析過程中由于在樣品轉移過程中導致的雜質污染等問題，以及可實現(xiàn)原位生長原位測試的獨特的優(yōu)勢而越來越受到科研人員的青睞。分子束外延/角分辨光電子能譜儀超高真空集成系統(tǒng)就是把MBE超高真空薄膜生長室和ARPES超高真空測量腔通過超高真空緩沖腔實現(xiàn)連接，從而實現(xiàn)在超高真空下環(huán)境下對人工材料薄膜的原位生長和測量，這樣可以大大降低材料表面二次污染所導致的不確定因素，同時也解決了傳統(tǒng)ARPES系統(tǒng)對不可解理的樣品電子結構無法直接測量的問題。
[0003]目前，商業(yè)化的分子束外延設備的樣品托都是由鉬材料制成圓形托，而用于角分辨光電子能譜儀的樣品托是由具有良好導電性的銅材料制成的方形托，樣品托的不兼容導致了樣品原位生長和原位測量的困難。
[0004]為了解決這一問題就需要設計一種樣品托，其既可以適用于分子束外延生長同時又可適用于角分辨光電子能譜儀的測量。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]鑒于以上所述現(xiàn)有技術的缺點，本發(fā)明的目的在于提供一種用于分子束外延生長和角分辨光電子能譜測試的樣品托，用于解決現(xiàn)有技術中分子束外延生長的樣品托和角分辨光電子能譜測試的樣品托不兼容的問題。
[0006]為實現(xiàn)上述目的及其他相關目的，本發(fā)明提供一種用于分子束外延生長和角分辨光電子能譜測試的樣品托，所述樣品托至少包括:圓形托、壓片、方形托；
[0007]所述壓片通過固定件固定在所述圓形托上；
[0008]所述方形托包括樣品承載部和與所述樣品承載部相連的手柄，所述樣品承載部壓在所述壓片和圓形托之間。
[0009]作為本發(fā)明用于分子束外延生長和角分辨光電子能譜測試的樣品托的一種優(yōu)化的方案，所述圓形托上還設置有機械手進出的槽體和觀察機械手是否抓取到所述方形托的觀察孔。
[0010]作為本發(fā)明用于分子束外延生長和角分辨光電子能譜測試的樣品托的一種優(yōu)化的方案，所述手柄上設置有抓取孔，機械手通過抓取孔抓取并抽出方形托。
[0011]作為本發(fā)明用于分子束外延生長和角分辨光電子能譜測試的樣品托的一種優(yōu)化的方案，所述抓取孔的圓心和觀察孔的圓心在垂直方向上重疊。
[0012]作為本發(fā)明用于分子束外延生長和角分辨光電子能譜測試的樣品托的一種優(yōu)化的方案，所述方形托的樣品承載部部分或者全部壓在所述壓片和圓形托之間。
[0013]作為本發(fā)明用于分子束外延生長和角分辨光電子能譜測試的樣品托的一種優(yōu)化的方案，所述槽體的形狀為條狀，深度范圍為1.5?2.5mm。
[0014]作為本發(fā)明用于分子束外延生長和角分辨光電子能譜測試的樣品托的一種優(yōu)化的方案，所述壓片的材質為耐高溫低蒸氣壓的彈性材料，所述壓片的形狀為方形、梯形或者圓形。
[0015]作為本發(fā)明用于分子束外延生長和角分辨光電子能譜測試的樣品托的一種優(yōu)化的方案，所述圓形托和固定件的材質一致。
[0016]作為本發(fā)明用于分子束外延生長和角分辨光電子能譜測試的樣品托的一種優(yōu)化的方案，所述圓形托和固定件的材質為鉬金屬。
[0017]作為本發(fā)明用于分子束外延生長和角分辨光電子能譜測試的樣品托的一種優(yōu)化的方案，所述方形托的材質為銅金屬。
[0018]如上所述，本發(fā)明的用于分子束外延生長和角分辨光電子能譜測試的樣品托，包括:圓形托、壓片、方形托；所述壓片通過固定件固定在所述圓形托上；所述方形托包括樣品承載部和與所述樣品承載部相連的手柄，所述樣品承載部壓在所述壓片和圓形托之間。本發(fā)明設計的樣品托既可以適用于分子束外延設備中的樣品架，同時也適用于角分辨光電子能譜測試中的樣品架，從而實現(xiàn)分子束外延/角分辨光電子能譜儀集成系統(tǒng)原位生長和原位電子結構測量的目的。
【附圖說明】
[0019]圖1為本發(fā)明中角分辨光電子能譜測試用的方形托示意圖。
[0020]圖2為本發(fā)明用于分子束外延生長和角分辨光電子能譜測試的樣品托整體俯視示意圖。
[0021]元件標號說明
[0022]I 圓形托
[0023]2 壓片
[0024]3 方形托
[0025]31樣品承載部
[0026]32 手柄
[0027]321抓取孔
[0028]4 固定件
[0029]5 槽體
[0030]6 觀察孔
【具體實施方式】
[0031]以下通過特定的具體實例說明本發(fā)明的實施方式，本領域技術人員可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本發(fā)明的其他優(yōu)點與功效。本發(fā)明還可以通過另外不同的【具體實施方式】加以實施或應用，本說明書中的各項細節(jié)也可以基于不同觀點與應用，在沒有背離本發(fā)明的精神下進行各種修飾或改變。
[0032]請參閱附圖1?圖2。需要說明的是，本實施例中所提供的圖示僅以示意方式說明本發(fā)明的基本構想，遂圖式中僅顯示與本發(fā)明中有關的組件而非按照實際實施時的組件數(shù)目、形狀及尺寸繪制，其實際實施時各組件的型態(tài)、數(shù)量及比例可為一種隨意的改變，且其組件布局型態(tài)也可能更為復雜。
[0033]如圖1所示，本發(fā)明提供一種用于分子束外延生長(MBE)和角分辨率光電子能譜(ARPES)測試的樣品托，所述樣品托至少包括:圓形托1、壓片2和方形托3，所述壓片2通過固定件4固定在所述圓形托I上；所述方形托3包括樣品承載部31和與所述樣品承載部31相連的手柄32，所述樣品承載部31壓在所述壓片2和圓形托I之間。
[0034]所述圓形托I可以是商業(yè)化的分子束外延設備的樣品托，一般為2英寸。所述圓形托I的材質可以是耐高溫的鉬金屬，當然，也可選擇其他合適的耐高溫高壓的材料。在所述圓形托I的邊緣可以設置若干用于與分子束外延設備的樣品架固定相連的結構。
[0035]所述壓片2固定在所述圓形托I上，根據(jù)分子束外延設備本身的結構設計以及生長薄膜的工藝要求，所述壓片2最好固定于所述圓形托I的中心位置。用來固定壓片2的固定件4可以是螺絲，當然，也可以為其他合適的固定方式，在此不限。所述固定件的材質可