本技術(shù)涉及單晶爐生產(chǎn)輔助設(shè)備,具體為一種單晶爐加熱器快速取出工裝。
背景技術(shù):
1、直拉法是拉制單晶硅棒的主要方法之一,該方法是將原料多晶硅放入單晶爐的石英坩堝內(nèi),利用石墨加熱器加熱熔化多晶硅原料,再經(jīng)過調(diào)溫、引晶、放肩、轉(zhuǎn)肩、等徑、收尾、停爐等過程完成單晶硅棒的拉制,隨著n型硅片市場需求增多,控氧成為行業(yè)一大難題,相應(yīng)熱場也進(jìn)行了整改優(yōu)化,如增加隔熱環(huán)、降低堝轉(zhuǎn)等,而且行業(yè)對于工時把控越來越嚴(yán),縮短拆爐時間是一個趨勢。
2、目前,拆爐時采用人工操作取出加熱器,由于爐內(nèi)溫度高,導(dǎo)致加熱器的取出時間延長,增加了無效工時,效率低,同時高溫環(huán)境容易燙傷操作人員。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本實(shí)用新型的目的在于提供一種單晶爐加熱器快速取出工裝,用于克服現(xiàn)有技術(shù)中的上述缺陷。
2、根據(jù)本實(shí)用新型的一種單晶爐加熱器快速取出工裝,包括加熱器與固定桿,所述加熱器的外周上開設(shè)有均勻分布的開槽,所述固定桿上滑動連接有滑動桿,所述固定桿的下端固設(shè)有固定架,所述滑動桿的下端固設(shè)有可拆卸的抵接盤,所述抵接盤的上端抵接有滑動架,所述固定架與所述滑動架上下分布、且均呈十字形設(shè)置,所述固定架與所述滑動架上分別開設(shè)有導(dǎo)滑槽與滑動槽,每個所述滑動槽上均滑動連接有滑桿,每個所述滑桿的外周上均轉(zhuǎn)動連接有兩個交錯設(shè)置的連接桿,所述連接桿的上端設(shè)有導(dǎo)滑桿與所述導(dǎo)滑槽滑動配合,所述連接桿的下端連接有連接塊,每個所述連接塊上均固設(shè)有夾板,所述夾板能夠與所述加熱器貼合,相鄰的兩個所述夾板相互靠近端均固設(shè)有磁鐵,所述磁鐵的外端設(shè)有隔熱套。
3、本實(shí)用新型的有益效果是:
4、在夾持過程中,能夠適應(yīng)不同規(guī)格尺寸的加熱器,且夾持工作自動控制,無需使用者進(jìn)行調(diào)節(jié),通過向上延伸的固定桿與滑動桿,使用者握持在固定桿與滑動桿上,能夠?qū)⒓訜崞鲗⑵淇焖偃〕?,避免了操作人員燙傷的風(fēng)險(xiǎn),提高了取出加熱器的效率,通過兩個磁鐵相互吸合,并通過磁鐵外端的隔熱套與開槽側(cè)壁處的抵接,能夠增加在取出加熱器過程中的穩(wěn)定性,保證加熱器在取出過程中的安全,同時該結(jié)構(gòu)能夠很好地保護(hù)加熱器,降低了加熱器損壞幾率。
1.一種單晶爐加熱器快速取出工裝,包括加熱器(10)與固定桿(12),所述加熱器(10)的外周上開設(shè)有均勻分布的開槽(11),其特征在于:所述固定桿(12)上滑動連接有滑動桿(13),所述固定桿(12)的下端固設(shè)有固定架(14),所述滑動桿(13)的外周上設(shè)有滑動架(15),所述固定架(14)與所述滑動架(15)上分別開設(shè)有導(dǎo)滑槽(16)與滑動槽(17),每個所述滑動槽(17)上均滑動連接有滑桿(19),每個所述滑桿(19)的外周上均轉(zhuǎn)動連接有兩個交錯設(shè)置的連接桿(18),所述連接桿(18)的上端設(shè)有導(dǎo)滑桿與所述導(dǎo)滑槽(16)滑動配合,所述連接桿(18)的下端連接有連接塊(20),每個所述連接塊(20)上均固設(shè)有夾板(21),所述夾板(21)能夠與所述加熱器(10)貼合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐加熱器快速取出工裝,其特征在于:所述滑動桿(13)的下端固設(shè)有可拆卸的抵接盤(23),所述滑動架(15)與所述抵接盤(23)的上端抵接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種單晶爐加熱器快速取出工裝,其特征在于:相鄰的兩個所述夾板(21)相互靠近端均固設(shè)有磁鐵(22),所述磁鐵(22)的外端設(shè)有隔熱套。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種單晶爐加熱器快速取出工裝,其特征在于:所述固定架(14)與所述滑動架(15)上下分布、且均呈十字形設(shè)置。