本申請(qǐng)涉及晶體加工設(shè)備，尤其是指一種晶體生長(zhǎng)爐。

背景技術(shù)：

1、晶體生長(zhǎng)技術(shù)是利用物質(zhì)(液態(tài)、固態(tài)、氣態(tài))的物理化學(xué)性質(zhì)控制相變過(guò)程，獲得具有一定結(jié)構(gòu)、尺寸、形狀和性能的晶體的技術(shù)。

2、晶體生長(zhǎng)爐是一種用于晶體生長(zhǎng)培育工作的專業(yè)裝置，其目的是為了通過(guò)環(huán)境調(diào)控的方式，給晶體生長(zhǎng)提供必要條件，并提升晶體生長(zhǎng)的速度。

3、現(xiàn)有的晶體生長(zhǎng)爐，往往是通過(guò)直拉法制備單晶硅棒。直拉法制備單晶硅棒主要將原料多晶硅填入石英坩堝中，利用加熱器對(duì)石英坩堝加熱，以使石英坩堝中的原料多晶硅熔化為硅熔體，將籽晶(單晶)浸入硅熔體中，利用提拉系統(tǒng)邊旋轉(zhuǎn)邊拉動(dòng)籽晶，使硅熔體沿著拉動(dòng)方向生長(zhǎng)，從而獲得滿足直徑和長(zhǎng)度需求的晶棒。

4、在晶體生長(zhǎng)爐的實(shí)際工作過(guò)程中，隨著晶棒的生長(zhǎng)，石英坩堝內(nèi)的硅熔體逐漸消耗，此時(shí)需要向石英坩堝內(nèi)補(bǔ)充原料多晶硅。由于石英坩堝位于晶體生長(zhǎng)爐的主爐室內(nèi)，因此需要打開(kāi)主爐室，從而實(shí)現(xiàn)石英坩堝的原料補(bǔ)充。又由于打開(kāi)主爐室費(fèi)時(shí)費(fèi)力，不利于提高晶體生長(zhǎng)爐的加工效率，因此急需一種能夠不打開(kāi)主爐室即可向石英坩堝內(nèi)補(bǔ)充原料的裝置，從而能夠提高晶體生長(zhǎng)爐的加工效率。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為了解決現(xiàn)有技術(shù)的不足，本申請(qǐng)的目的在于提供一種加工效率較高的晶體生長(zhǎng)爐。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本申請(qǐng)采用如下的技術(shù)方案：

3、一種晶體生長(zhǎng)爐，該晶體生長(zhǎng)爐包括機(jī)架、提拉組件、副爐室、主爐室、坩堝和復(fù)投組件。提拉組件至少部分設(shè)置于機(jī)架上；副爐室由機(jī)架支撐并至少部分位于提拉組件的下側(cè)；主爐室由機(jī)架支撐并至少部分位于副爐室的下側(cè)；坩堝至少部分位于主爐室內(nèi)；復(fù)投組件包括料倉(cāng)、內(nèi)輸出軸、外輸出軸和傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，料倉(cāng)內(nèi)置有物料；內(nèi)輸出軸呈空心結(jié)構(gòu)并連通料倉(cāng)；外輸出軸呈空心結(jié)構(gòu)并套設(shè)于內(nèi)輸出軸上；傳動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)外輸出軸沿內(nèi)輸出軸的軸線移動(dòng)，以使外輸出軸具有收納位置和復(fù)投位置；當(dāng)外輸出軸處于收納位置時(shí)，外輸出軸位于主爐室外，當(dāng)外輸出軸處于復(fù)投位置時(shí)，外輸出軸至少部分位于主爐室內(nèi)并將物料輸送至坩堝中。

4、進(jìn)一步地，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括具有移動(dòng)自由度的傳動(dòng)件、驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)件以及位于傳動(dòng)件上的移動(dòng)塊，移動(dòng)塊連接至外輸出軸，傳動(dòng)件和驅(qū)動(dòng)件傳動(dòng)連接。

5、進(jìn)一步地，傳動(dòng)件為傳送帶，移動(dòng)塊套設(shè)并連接至傳送帶。

6、進(jìn)一步地，傳動(dòng)件為絲桿，移動(dòng)塊內(nèi)設(shè)置有螺母，絲桿穿設(shè)于螺母并驅(qū)動(dòng)螺母移動(dòng)。

7、進(jìn)一步地，復(fù)投組件還包括外殼，外殼的一端連接至料倉(cāng)，外殼的另一端連接至主爐室，外輸出軸和至少部分傳動(dòng)機(jī)構(gòu)位于外殼內(nèi)。

8、進(jìn)一步地，復(fù)投組件還包括第一閥門，第一閥門位于外殼和主爐室的連接處，并分別連接至外殼和主爐室。

9、進(jìn)一步地，復(fù)投組件還包括第一波紋管段，第一波紋管段位于第一閥門和外殼之間，并分別連接至第一閥門和外殼。

10、進(jìn)一步地，主爐室的上側(cè)開(kāi)設(shè)有連通口，復(fù)投組件還包括連接法蘭，連接法蘭分別連接連通口和第一閥門。

11、進(jìn)一步地，復(fù)投組件還包括第二波紋管段，第二波紋管段位于連接法蘭和第一閥門之間，并分別連接至連接法蘭和第一閥門。

12、進(jìn)一步地，復(fù)投組件還包括第二閥門，第二閥門位于內(nèi)輸出軸和料倉(cāng)之間，第二閥門還分別連接至外殼和料倉(cāng)。

13、上述晶體生長(zhǎng)爐可以使得外輸出軸能夠根據(jù)實(shí)際工作需求調(diào)整與內(nèi)輸出軸的相對(duì)位置，從而實(shí)現(xiàn)復(fù)投組件的復(fù)投作用，以提高晶體生長(zhǎng)爐的加工效率；并在復(fù)投組件處于非工作狀態(tài)時(shí)，使得復(fù)投組件能夠節(jié)省空間占用率，以提高復(fù)投組件的結(jié)構(gòu)緊湊性。

技術(shù)特征：

1.一種晶體生長(zhǎng)爐，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體生長(zhǎng)爐，其特征在于，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括具有移動(dòng)自由度的傳動(dòng)件、驅(qū)動(dòng)所述傳動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)件以及位于所述傳動(dòng)件上的移動(dòng)塊，所述移動(dòng)塊連接至所述外輸出軸，所述傳動(dòng)件和所述驅(qū)動(dòng)件傳動(dòng)連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶體生長(zhǎng)爐，其特征在于，所述傳動(dòng)件為傳送帶，所述移動(dòng)塊套設(shè)并連接至所述傳送帶。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶體生長(zhǎng)爐，其特征在于，所述傳動(dòng)件為絲桿，所述移動(dòng)塊內(nèi)設(shè)置有螺母，所述絲桿穿設(shè)于所述螺母并驅(qū)動(dòng)所述螺母移動(dòng)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體生長(zhǎng)爐，其特征在于，所述復(fù)投組件還包括外殼，所述外殼的一端連接至所述料倉(cāng)，所述外殼的另一端連接至所述主爐室，所述外輸出軸和至少部分所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)位于所述外殼內(nèi)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶體生長(zhǎng)爐，其特征在于，所述復(fù)投組件還包括第一閥門，所述第一閥門位于所述外殼和所述主爐室的連接處，并分別連接至所述外殼和所述主爐室。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶體生長(zhǎng)爐，其特征在于，所述復(fù)投組件還包括第一波紋管段，所述第一波紋管段位于所述第一閥門和所述外殼之間，并分別連接至所述第一閥門和所述外殼。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶體生長(zhǎng)爐，其特征在于，所述主爐室的上側(cè)開(kāi)設(shè)有連通口，所述復(fù)投組件還包括連接法蘭，所述連接法蘭分別連接所述連通口和所述第一閥門。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的晶體生長(zhǎng)爐，其特征在于，所述復(fù)投組件還包括第二波紋管段，所述第二波紋管段位于所述連接法蘭和所述第一閥門之間，并分別連接至所述連接法蘭和所述第一閥門。

10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶體生長(zhǎng)爐，其特征在于，所述復(fù)投組件還包括第二閥門，所述第二閥門位于所述內(nèi)輸出軸和所述料倉(cāng)之間，所述第二閥門還分別連接至所述外殼和所述料倉(cāng)。

技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)公開(kāi)了一種晶體生長(zhǎng)爐，該晶體生長(zhǎng)爐包括機(jī)架、提拉組件、副爐室、主爐室、坩堝和復(fù)投組件。提拉組件設(shè)置于機(jī)架上；副爐室位于提拉組件的下側(cè)；主爐室位于副爐室的下側(cè)；坩堝位于主爐室內(nèi)；復(fù)投組件包括料倉(cāng)、內(nèi)輸出軸、外輸出軸和傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，內(nèi)輸出軸呈空心結(jié)構(gòu)并連通料倉(cāng)；外輸出軸呈空心結(jié)構(gòu)并套設(shè)于內(nèi)輸出軸上；傳動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)外輸出軸沿內(nèi)輸出軸的軸線移動(dòng)，以使外輸出軸具有收納位置和復(fù)投位置；當(dāng)外輸出軸處于收納位置時(shí)，外輸出軸位于主爐室外，當(dāng)外輸出軸處于復(fù)投位置時(shí)，外輸出軸至少部分位于主爐室內(nèi)并將物料輸送至坩堝中。通過(guò)上述設(shè)置，可以實(shí)現(xiàn)復(fù)投組件的復(fù)投作用，從而提高晶體生長(zhǎng)爐的加工效率。

技術(shù)研發(fā)人員：曹建偉,朱亮,倪軍夫,馮賢劍,黃偉,阮文星,王佳琪
受保護(hù)的技術(shù)使用者：浙江晶盛機(jī)電股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240410
技術(shù)公布日：2025/1/2