1.一種鎵和鋯共摻雜氧化鋅靶材的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述鎵和鋯共摻雜氧化鋅靶材的制備方法，其特征在于，步驟s1中，氧化鋯占金屬氧化物總質(zhì)量的0.2%~3%，氧化鎵占金屬氧化物總質(zhì)量的0.5%~5%，分散劑占金屬氧化物總質(zhì)量的0.5%~0.8%，水占金屬氧化物總質(zhì)量的15%~50%。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述鎵和鋯共摻雜氧化鋅靶材的制備方法，其特征在于，步驟s2中，氧化鋅占金屬氧化物總質(zhì)量的92%~99.3%，水占金屬氧化物總質(zhì)量的30%~100%，分散劑占金屬氧化物總質(zhì)量的0.5%~1.5%，粘結(jié)劑占金屬氧化物總質(zhì)量的1%~5%，增塑劑占金屬氧化物總質(zhì)量的0.25%~1.25%。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述鎵和鋯共摻雜氧化鋅靶材的制備方法，其特征在于，所述分散劑為十六烷基磺酸鈉、羧酸鹽、六偏磷酸鈉中至少一種。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述鎵和鋯共摻雜氧化鋅靶材的制備方法，其特征在于，所述羧酸鹽為聚丙烯酸鈉。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述鎵和鋯共摻雜氧化鋅靶材的制備方法，其特征在于，所述粘結(jié)劑為聚丙烯酸、聚乙烯醇、羥丙基甲基纖維素中至少一種。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述鎵和鋯共摻雜氧化鋅靶材的制備方法，其特征在于，所述增塑劑為聚乙二醇、聚丙烯酸羥乙酯、醚類(lèi)中的至少一種。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述鎵和鋯共摻雜氧化鋅靶材的制備方法，其特征在于，所述醚類(lèi)為聚乙二醇醚。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述鎵和鋯共摻雜氧化鋅靶材的制備方法，其特征在于，步驟s5中，燒結(jié)溫度依次分為脫脂段，升溫段，保溫段，以及降溫段，分別對(duì)應(yīng)的燒結(jié)溫度為0~800℃，800~1400℃，1350~1400℃以及降至室溫，脫脂的速率在0.01~0.5℃/min，升溫速率在0.5~1.0℃/min，保溫時(shí)間為5~20h，降溫速率-3℃~-0.5℃/min，燒結(jié)過(guò)程中不通任何氣體。