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一種壓電晶體的制造方法與流程

文檔序號(hào):12858596閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種壓電晶體的制造方法,使用泡生法來(lái)生長(zhǎng)壓電晶體,晶錠可掏出2~6英寸任意軸向的晶棒,所述泡生法是在長(zhǎng)晶過(guò)程進(jìn)入等徑段時(shí),采用停止向上提拉或微提拉的方式讓晶體自然生長(zhǎng),所述提拉速度<0.1mm/h,同時(shí)晶體不旋轉(zhuǎn),所述長(zhǎng)晶過(guò)程中,晶體頂端位置不高于坩堝口。本發(fā)明晶錠可掏出2~6英寸任意軸向的晶棒,來(lái)滿足聲表面波濾波器(SAW)設(shè)計(jì)時(shí)各種晶體軸向的要求,特別是解決一些傳統(tǒng)提拉法(CZ)無(wú)法生長(zhǎng)的晶體軸向。

技術(shù)研發(fā)人員:徐秋峰;張寒貧;張忠偉;張鴻;張堅(jiān);陳曉強(qiáng);沈禮東;陳鋮;沈曉燕
受保護(hù)的技術(shù)使用者:天通控股股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2017.06.16
技術(shù)公布日:2017.11.03
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