技術(shù)總結(jié)
本專利公開了一種高密閉性碲鎘汞氣相外延的石英套管，該石英套管由99.99999％的高純石英材料制成的石英外管、石英限位管和石英內(nèi)管和石英塞組成。石英外管是一端封閉，一端開口的圓柱體結(jié)構(gòu)，開口端與封閉門相連。石英限位管為圓柱體杯狀結(jié)構(gòu)，放置在石英外管內(nèi)部，靠近封閉端。石英內(nèi)管是一個(gè)一端封閉，一端帶有椎度開口的圓柱體結(jié)構(gòu)。石英塞也有帶錐度圓柱體的中空的磨砂口塞子，與石英內(nèi)管匹配，石英塞與帶彈簧的不銹鋼管相連。石英內(nèi)管和石英塞均放置在石英外管內(nèi)部，靠近封閉門。石英內(nèi)管內(nèi)部放置可以進(jìn)行氣相外延的石墨舟。該石英套管用于碲鎘汞氣相外延生長，實(shí)現(xiàn)高密閉性、快速升降溫的碲鎘汞氣相外延生長。

技術(shù)研發(fā)人員：王仍;焦翠靈;徐國慶;陸液;張可鋒;張莉萍;林杏潮;杜云辰;邵秀華
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所
文檔號碼：201621280035
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.25
技術(shù)公布日：2017.06.27