技術(shù)總結(jié)
采用AFM金剛石探針對陶瓷材料進(jìn)行納米條紋陣列加工的方法，它涉及一種對超硬陶瓷材料局部進(jìn)行超細(xì)納米條紋陣列結(jié)構(gòu)加工的方法。本發(fā)明是為了解決超硬陶瓷材料化學(xué)惰性高、硬度大，難加工的技術(shù)問題。本方法如下：一、制備AFM金剛石針尖；二、AFM金剛石針尖對超硬陶瓷材料(SiC單晶)表面刻劃。本發(fā)明是一種對超硬陶瓷材料進(jìn)行超細(xì)納米條紋陣列結(jié)構(gòu)加工的方法，能直觀地觀察金剛石晶體對超硬陶瓷材料的刻劃情況，在超硬陶瓷材料表面刻劃出超細(xì)納米條紋陣列(條紋寬度低至15nm)，具有重復(fù)性好、效率高等優(yōu)點(diǎn)。本發(fā)明屬于對超硬陶瓷材料進(jìn)行超細(xì)納米條紋陣列結(jié)構(gòu)加工的領(lǐng)域。

技術(shù)研發(fā)人員：甘陽;申健;張丹;朱玉蓉;張飛虎
受保護(hù)的技術(shù)使用者：哈爾濱工業(yè)大學(xué)
文檔號碼：201610629882
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.03
技術(shù)公布日：2017.01.11