1.一種臭氧發(fā)生系統(tǒng)，該臭氧發(fā)生系統(tǒng)具備：具有對置配置而形成放電空間的放電電極的臭氧發(fā)生裝置、向所述臭氧發(fā)生裝置供給含氧的原料氣體的氣體供給裝置、供給用于將所述放電電極冷卻的冷卻水的冷卻裝置、向所述放電電極供給用于放電的電力的電源裝置、和控制所述氣體供給裝置和所述電源裝置的控制部，該控制部進行形成使下述的期間交替地反復(fù)的間歇運轉(zhuǎn)的控制：從所述氣體供給裝置向所述臭氧發(fā)生裝置供給原料氣體且從所述電源裝置向所述放電電極供給電力而由此所述臭氧發(fā)生裝置發(fā)生臭氧的臭氧發(fā)生運轉(zhuǎn)期間、和停止從所述氣體供給裝置向所述臭氧發(fā)生裝置的氣體供給及從所述電源裝置向所述放電電極的電力供給而不發(fā)生臭氧的臭氧發(fā)生運轉(zhuǎn)待機期間，其特征在于，
具備一邊使所述臭氧發(fā)生裝置內(nèi)的氣體循環(huán)一邊至少將該循環(huán)的氣體中的硝酸除去的氣體循環(huán)裝置，
所述控制部以如下的方式進行控制：在所述臭氧發(fā)生運轉(zhuǎn)待機期間，通過所述原料氣體將所述臭氧發(fā)生裝置內(nèi)的氣體置換，使所述臭氧發(fā)生裝置內(nèi)為比大氣壓高的壓力后，將所述氣體循環(huán)裝置連接至所述臭氧發(fā)生裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的臭氧發(fā)生系統(tǒng)，其特征在于，具備多個所述臭氧發(fā)生裝置，所述控制部進行控制以使得所述多個臭氧發(fā)生裝置中的至少一個所述臭氧發(fā)生裝置形成所述間歇運轉(zhuǎn)，且在所述臭氧發(fā)生運轉(zhuǎn)待機期間將所述氣體循環(huán)裝置連接至該進行控制以使得成為間歇運轉(zhuǎn)的臭氧發(fā)生裝置。
3.一種臭氧發(fā)生系統(tǒng)，該臭氧發(fā)生系統(tǒng)具備：具有對置配置而形成放電空間的放電電極的臭氧發(fā)生裝置、向所述臭氧發(fā)生裝置供給含氧的原料氣體的氣體供給裝置、供給用于將所述放電電極冷卻的冷卻水的冷卻裝置、向所述放電電極供給用于放電的電力的電源裝置、和控制所述氣體供給裝置和所述電源裝置的控制部，該控制部進行形成使下述的期間交替地反復(fù)的間歇運轉(zhuǎn)的控制：從所述氣體供給裝置向所述臭氧發(fā)生裝置供給原料氣體且從所述電源裝置向所述放電電極供給電力而由此所述臭氧發(fā)生裝置發(fā)生臭氧的臭氧發(fā)生運轉(zhuǎn)期間、和停止從所述氣體供給裝置向所述臭氧發(fā)生裝置的氣體供給及從所述電源裝置向所述放電電極的電力供給而不發(fā)生臭氧的臭氧發(fā)生運轉(zhuǎn)待機期間，其特征在于，
具備：將所述臭氧發(fā)生裝置內(nèi)的氣體向大氣中排出的氣體排出裝置，
所述控制部以如下的方式進行控制：在所述臭氧發(fā)生運轉(zhuǎn)待機期間，通過所述原料氣體將所述臭氧發(fā)生裝置內(nèi)的氣體置換，使所述臭氧發(fā)生裝置內(nèi)為比大氣壓高的壓力后，一邊將所述臭氧發(fā)生裝置內(nèi)的壓力維持在比大氣壓高的壓力，一邊使所述臭氧發(fā)生裝置中的氣體經(jīng)由所述氣體排出裝置而泄漏到大氣中。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的臭氧發(fā)生系統(tǒng)，其特征在于，具備多個所述臭氧發(fā)生裝置，所述控制部進行控制以使得所述多個臭氧發(fā)生裝置中的至少一個所述臭氧發(fā)生裝置成為所述間歇運轉(zhuǎn)，且使該進行控制以使得成為間歇運轉(zhuǎn)的臭氧發(fā)生裝置在所述臭氧發(fā)生運轉(zhuǎn)待機期間經(jīng)由所述氣體排出裝置而泄漏到大氣中。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4的任一項所述的臭氧發(fā)生系統(tǒng)，其特征在于，所述原料氣體為干燥空氣。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-4的任一項所述的臭氧發(fā)生系統(tǒng)，其特征在于，所述原料氣體為通過真空壓力轉(zhuǎn)換吸附式氧發(fā)生裝置或壓力轉(zhuǎn)換吸附式氧發(fā)生裝置而生成的氧氣。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-6的任一項所述的臭氧發(fā)生系統(tǒng)，其特征在于，所述對置配置的放電電極的間隔為0.1mm以上且0.6mm以下。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-7的任一項所述的臭氧發(fā)生系統(tǒng)，其特征在于，所述放電電極的一者在電介體管的內(nèi)面形成導(dǎo)電膜而構(gòu)成，所述電介體管的直徑為30mm以下。
9.一種臭氧發(fā)生系統(tǒng)的運轉(zhuǎn)方法，所述臭氧發(fā)生系統(tǒng)具備：具有對置配置而形成放電空間的放電電極的臭氧發(fā)生裝置、向所述臭氧發(fā)生裝置供給含氧的原料氣體的氣體供給裝置；供給用于將所述放電電極冷卻的冷卻水的冷卻裝置；向所述放電電極供給用于放電的電力的電源裝置；和與所述臭氧發(fā)生裝置連接、一邊使所述臭氧發(fā)生裝置內(nèi)的氣體循環(huán)一邊至少將該循環(huán)的氣體中的硝酸除去的氣體循環(huán)裝置，其特征在于,所述臭氧發(fā)生系統(tǒng)的運轉(zhuǎn)方法具有：
從所述氣體供給裝置向所述臭氧發(fā)生裝置供給原料氣體且從所述電源裝置向所述放電電極供給電力而由此所述臭氧發(fā)生裝置發(fā)生臭氧、所述氣體循環(huán)裝置停止運轉(zhuǎn)的臭氧發(fā)生運轉(zhuǎn)期間的工序；和
停止從所述氣體供給裝置向所述臭氧發(fā)生裝置的氣體供給及從所述電源裝置向所述放電電極的電力供給、通過所述原料氣體使所述臭氧發(fā)生裝置內(nèi)的氣體置換、使所述臭氧發(fā)生裝置內(nèi)為比大氣壓高的壓力后、所述氣體循環(huán)裝置進行運轉(zhuǎn)的臭氧發(fā)生運轉(zhuǎn)待機期間的工序。
10.一種臭氧發(fā)生系統(tǒng)的運轉(zhuǎn)方法，所述臭氧發(fā)生系統(tǒng)具備：具有對置配置而形成放電空間的放電電極的臭氧發(fā)生裝置、向所述臭氧發(fā)生裝置供給含氧的原料氣體的氣體供給裝置、供給用于將所述放電電極冷卻的冷卻水的冷卻裝置、向所述放電電極供給用于放電的電力的電源裝置、和將所述臭氧發(fā)生裝置內(nèi)的氣體排出到大氣中的氣體排出裝置，其特征在于,所述臭氧發(fā)生系統(tǒng)的運轉(zhuǎn)方法具有：
從所述氣體供給裝置向所述臭氧發(fā)生裝置供給原料氣體且從所述電源裝置向所述放電電極供給電力而由此所述臭氧發(fā)生裝置發(fā)生臭氧、不將氣體從所述氣體排出裝置排出到大氣中的臭氧發(fā)生運轉(zhuǎn)期間的工序；和
停止從所述氣體供給裝置向所述臭氧發(fā)生裝置的氣體供給及從所述電源裝置向所述放電電極的電力供給、通過所述原料氣體使所述臭氧發(fā)生裝置內(nèi)的氣體置換、使所述臭氧發(fā)生裝置內(nèi)為比大氣壓高的壓力后一邊將所述臭氧發(fā)生裝置內(nèi)的壓力維持在比大氣壓高的壓力一邊使所述臭氧發(fā)生裝置中的氣體經(jīng)由所述氣體排出裝置而泄漏到大氣中的臭氧發(fā)生運轉(zhuǎn)待機期間的工序。
11.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的臭氧發(fā)生系統(tǒng)的運轉(zhuǎn)方法，其特征在于，具有多個所述臭氧發(fā)生裝置，至少一個所述臭氧發(fā)生裝置具有所述臭氧發(fā)生運轉(zhuǎn)待機期間的工序。