技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種多晶硅生產(chǎn)裝置。該裝置包括：臥式反應(yīng)管，其位于隔熱管中，并具有：出口，通過其供應(yīng)包含含硅反應(yīng)氣體和還原氣體的氣體原料，出口，通過其排出殘余氣體，與所述氣體原料接觸的反應(yīng)表面，以及多個底部開口，通過其排出由所述氣體原料的反應(yīng)而產(chǎn)生的熔融多晶硅；設(shè)置在所述臥式反應(yīng)管中以提供額外的反應(yīng)表面的一個或多個內(nèi)部構(gòu)件；以及適于加熱所述臥式反應(yīng)管的反應(yīng)表面的第一加熱設(shè)備。本發(fā)明還涉及一種使用所述裝置的多晶硅生產(chǎn)方法。

技術(shù)研發(fā)人員：張銀洙;金正奎;金庾錫;柳振炯;李正雨
受保護(hù)的技術(shù)使用者：株式會社LG化學(xué)
文檔號碼：201580024951
技術(shù)研發(fā)日：2015.05.11
技術(shù)公布日：2017.02.22