本發(fā)明涉及機(jī)械設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種石英玻璃制砣機(jī)及石英玻璃制備系統(tǒng)。

背景技術(shù)：
石英玻璃具有特殊的光譜透過(guò)性能，熱膨脹系數(shù)低、耐高溫、耐激光損傷、耐射線輻照、耐化學(xué)腐蝕，在太陽(yáng)能半導(dǎo)體工業(yè)、超大規(guī)模集成電路光刻、激光工程、航天工業(yè)等領(lǐng)域均具有不可替代的應(yīng)用優(yōu)勢(shì)。隨著各領(lǐng)域光學(xué)系統(tǒng)對(duì)石英玻璃尺寸和光學(xué)均勻性要求的不斷提高，研制大尺寸、高均勻石英玻璃的需求劇增。石英玻璃的光學(xué)均勻性直接影響光學(xué)系統(tǒng)的成像質(zhì)量。用光學(xué)均勻性數(shù)值及分布圖可表征材料內(nèi)部折射率不均勻的程度。若玻璃存在光學(xué)不均勻，則光通過(guò)介質(zhì)后會(huì)產(chǎn)生相位差，可導(dǎo)致光學(xué)系統(tǒng)無(wú)法實(shí)現(xiàn)預(yù)期功能，甚至無(wú)法工作。石英玻璃制砣機(jī)是石英玻璃生產(chǎn)的關(guān)鍵設(shè)備，其結(jié)構(gòu)及性能直接影響石英玻璃的尺寸和光學(xué)均勻性。合成石英玻璃是以含硅前驅(qū)體(通常采用SiCl4)為原料,在氫氧焰中發(fā)生水解或氧化反應(yīng)生成SiO2納米顆粒，沉積并熔融于石英玻璃基底表面制備而成?，F(xiàn)有技術(shù)中公開(kāi)了一種合成石英玻璃的制砣機(jī)，它由上至下依次設(shè)置有驅(qū)動(dòng)電機(jī)、主軸箱、立柱及底座。在立柱內(nèi)垂設(shè)有滾珠絲杠，該滾珠絲杠的頂端與主軸箱連接，底端固定有軸承座。滾珠絲杠上套設(shè)有升降座，升降座上設(shè)置有主軸和主軸電機(jī)。主軸電機(jī)與主軸驅(qū)動(dòng)連接，以驅(qū)動(dòng)主軸轉(zhuǎn)動(dòng)。主軸上設(shè)置有用于安裝外部沉積基底的連接部，合成石英玻璃的熔制過(guò)程在沉積基底上進(jìn)行。在實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)方案的過(guò)程中，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)中至少存在如下問(wèn)題：(1)現(xiàn)有制砣機(jī)的立柱會(huì)對(duì)連接在主軸上的沉積基底的大小產(chǎn)生約束，由于沉積基底的大小受立柱的限制，使得沉積基底可熔制成形的玻璃直徑也受限，從而無(wú)法制備出大尺寸的石英玻璃。(2)現(xiàn)有制砣機(jī)僅具備沿Z軸方向升降和繞Z軸旋轉(zhuǎn)的功能，導(dǎo)致沉積面較小，合成出的石英玻璃結(jié)構(gòu)不均勻，光學(xué)均勻性較差。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
有鑒于此，本發(fā)明提供一種石英玻璃制砣機(jī)及石英玻璃制備系統(tǒng)，主要目的在于使制砣機(jī)能夠制備出大尺寸的石英玻璃，并且提高制砣機(jī)制備出的石英玻璃的光學(xué)均勻性。為達(dá)到上述目的，本發(fā)明主要提供如下技術(shù)方案：一方面，本發(fā)明的實(shí)施例提供一種石英玻璃制砣機(jī)，包括：底座；升降座；升降機(jī)構(gòu)，設(shè)置在所述底座上，所述升降機(jī)構(gòu)的輸出端與所述升降座連接，以驅(qū)動(dòng)所述升降座升降；第一滑座，設(shè)置在所述升降座上；第一驅(qū)動(dòng)裝置，其輸出端與所述第一滑座驅(qū)動(dòng)連接，用于驅(qū)動(dòng)所述第一滑座在所述升降座上沿第一軌跡直線運(yùn)動(dòng)；第二滑座，設(shè)置在所述第一滑座上；第二驅(qū)動(dòng)裝置，其輸出端與所述第二滑座驅(qū)動(dòng)連接，用于驅(qū)動(dòng)所述第二滑座在所述第一滑座上沿第二軌跡直線運(yùn)動(dòng)；所述第二軌跡的方向與所述第一軌跡的方向垂直；主軸，可轉(zhuǎn)動(dòng)地豎直設(shè)置在所述第二滑座上，所述主軸的頂端設(shè)有連接部，所述連接部用于安裝制備石英玻璃的沉積基底；其中，所述連接部置于所述石英玻璃制砣機(jī)的頂端。另一方面，本發(fā)明的實(shí)施例還提供一種石英玻璃制備系統(tǒng)，包括：石英玻璃制砣機(jī)，所述石英玻璃制砣機(jī)為上述任一種所述的石英玻璃制砣機(jī)；反應(yīng)爐，所述反應(yīng)爐的下端具有開(kāi)口；沉積基底，包括基礎(chǔ)桿和基礎(chǔ)底片，所述基礎(chǔ)桿的一端與所述基礎(chǔ)底片連接，所述基礎(chǔ)桿的另一端與所述石英玻璃制砣機(jī)的主軸上的連接部固定連接；所述基礎(chǔ)底片從所述反應(yīng)爐下端的開(kāi)口插入所述反應(yīng)爐內(nèi)，用于沉積石英玻璃；燃燒器，設(shè)置在所述反應(yīng)爐上，用于向所述反應(yīng)爐內(nèi)輸入氫氧焰。借由上述技術(shù)方案，本發(fā)明石英玻璃制砣機(jī)至少具有以下有益效果：在本發(fā)明實(shí)施例提供的技術(shù)方案中，一方面，由于連接部置于本發(fā)明石英玻璃制砣機(jī)的頂端，當(dāng)該連接部與石英玻璃的沉積基底連接時(shí)，該沉積基底也置于本發(fā)明石英玻璃制砣機(jī)的頂端，相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明石英玻璃制砣機(jī)由于沒(méi)有立柱等部件的限制，沉積基底的外形尺寸在理論上可以做的無(wú)限大，從而可以制備出的石英玻璃的尺寸在理論上也沒(méi)有限制，進(jìn)而可以實(shí)現(xiàn)通過(guò)本發(fā)明石英玻璃制砣機(jī)制備大尺寸石英玻璃的目的。另一方面，由于第一驅(qū)動(dòng)裝置可以驅(qū)動(dòng)第一滑座在升降座上沿第一軌跡直線運(yùn)動(dòng)，第二驅(qū)動(dòng)裝置可以驅(qū)動(dòng)第二滑座在第一滑座上沿第二軌跡直線運(yùn)動(dòng)，又因?yàn)橹鬏S可轉(zhuǎn)動(dòng)地豎直設(shè)置在第二滑座上，從而主軸既可以通過(guò)升降座升降運(yùn)動(dòng)，又可以通過(guò)第一滑座沿第一軌跡直線運(yùn)動(dòng)，又可以通過(guò)第二滑座沿第二軌跡直線運(yùn)動(dòng)，又可以轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而使與主軸連接的沉積基底也可沿相應(yīng)的方向進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，沉積基底的沉積面擴(kuò)大，SiO2顆粒分布更均勻，溫度場(chǎng)也分布更均勻，使得制備出的石英玻璃產(chǎn)品的光學(xué)均勻性較佳。上述說(shuō)明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段，并可依照說(shuō)明書(shū)的內(nèi)容予以實(shí)施，以下以本發(fā)明的較佳實(shí)施例并配合附圖詳細(xì)說(shuō)明如后。附圖說(shuō)明圖1是本發(fā)明的一實(shí)施例提供的一種石英玻璃制砣機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本發(fā)明的一實(shí)施例提供的一種石英玻璃制砣機(jī)的傳動(dòng)箱的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是圖2中A處的放大結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是本發(fā)明的一實(shí)施例提供的一種石英玻璃制砣機(jī)的升降座與第一滑座的相對(duì)位置關(guān)系圖；圖5是本發(fā)明的一實(shí)施例提供的一種石英玻璃制砣機(jī)的傳動(dòng)箱的潤(rùn)滑系統(tǒng)的部分結(jié)構(gòu)示意圖；圖6是本發(fā)明的一實(shí)施例提供的一種石英玻璃制備系統(tǒng)的部分結(jié)構(gòu)示意圖。具體實(shí)施方式為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明為達(dá)成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功效,以下結(jié)合附圖及較佳實(shí)施例，對(duì)依據(jù)本發(fā)明申請(qǐng)的具體實(shí)施方式、結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細(xì)說(shuō)明如后。在下述說(shuō)明中，不同的“一實(shí)施例”或“實(shí)施例”指的不一定是同一實(shí)施例。此外，一或多個(gè)實(shí)施例中的特定特征、結(jié)構(gòu)、或特點(diǎn)可由任何合適形式組合。如圖1所示，本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例提出的一種石英玻璃制砣機(jī)，包括底座1、升降座8、升降機(jī)構(gòu)、第一滑座91、第一驅(qū)動(dòng)裝置、第二滑座92、第二驅(qū)動(dòng)裝置以及主軸17。升降機(jī)構(gòu)設(shè)置在底座1上，升降機(jī)構(gòu)的輸出端與升降座8連接，以驅(qū)動(dòng)升降座8升降。第一滑座91設(shè)置在升降座8上。第一驅(qū)動(dòng)裝置的輸出端與第一滑座91驅(qū)動(dòng)連接，第一驅(qū)動(dòng)裝置可以驅(qū)動(dòng)第一滑座91在升降座8上沿第一軌跡直線運(yùn)動(dòng)。第二滑座92設(shè)置在第一滑座91上，第二驅(qū)動(dòng)裝置的輸出端與第二滑座92驅(qū)動(dòng)連接，第二驅(qū)動(dòng)裝置可以驅(qū)動(dòng)第二滑座92在第一滑座91上沿第二軌跡直線運(yùn)動(dòng)。第二軌跡的方向與第一軌跡的方向垂直。主軸17可轉(zhuǎn)動(dòng)地豎直設(shè)置在第二滑座92上，主軸17的頂端設(shè)有連接部18，該連接部18用于安裝石英玻璃的沉積基底。其中，連接部18置于石英玻璃制砣機(jī)的頂端。這里需要說(shuō)明的是：上述的連接部18可以為卡盤(pán)等，用于制備石英玻璃的沉積基底可以安裝在該卡盤(pán)上。在上述實(shí)施例中，可以定義第一軌跡的方向?yàn)閄軸方向，第二軌跡的方向?yàn)閅軸方向，升降的方向?yàn)閆軸方向。X軸方向、Y軸方向和Z軸方向三者相互垂直。在上述實(shí)施例提供的技術(shù)方案中，一方面，由于連接部18置于本發(fā)明石英玻璃制砣機(jī)的頂端，當(dāng)該連接部18與石英玻璃的沉積基底連接時(shí)，該沉積基底也置于本發(fā)明石英玻璃制砣機(jī)的頂端，相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明石英玻璃制砣機(jī)由于沒(méi)有立柱等部件的限制，沉積基底的外形尺寸在理論上可以做的無(wú)限大，從而可以制備出的石英玻璃的尺寸在理論上也沒(méi)有限制，進(jìn)而可以實(shí)現(xiàn)通過(guò)本發(fā)明石英玻璃制砣機(jī)制備大尺寸石英玻璃的目的。另一方面，由于第一驅(qū)動(dòng)裝置可以驅(qū)動(dòng)第一滑座91在升降座8上沿第一軌跡直線運(yùn)動(dòng)，第二驅(qū)動(dòng)裝置可以驅(qū)動(dòng)第二滑座92在第一滑座91上沿第二軌跡直線運(yùn)動(dòng)，又因?yàn)橹鬏S17可轉(zhuǎn)動(dòng)地豎直設(shè)置在第二滑座92上，從而主軸17既可以通過(guò)升降座8升降運(yùn)動(dòng)，又可以通過(guò)第一滑座91沿第一軌跡直線運(yùn)動(dòng)，又可以通過(guò)第二滑座92沿第二軌跡直線運(yùn)動(dòng)，又可以轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而使與主軸17連接的沉積基底可沿X-Y-Z軸移動(dòng)，并繞Z軸旋轉(zhuǎn)，沉積基底的沉積面擴(kuò)大，合成石英玻璃熔制過(guò)程中SiO2顆粒分布更均勻，溫度場(chǎng)也分布更均勻，使得制備出的石英玻璃產(chǎn)品的光學(xué)均勻性較佳。其中，通過(guò)本發(fā)明實(shí)施例石英玻璃制砣機(jī)合成的石英玻璃的光學(xué)均勻性由1×10-5提高到(2～5)×10-6。這里需要說(shuō)明的是：為了實(shí)現(xiàn)上述的主軸17可轉(zhuǎn)動(dòng)地豎直設(shè)置在第二滑座92上的目的，本發(fā)明實(shí)施例可以提供如下的實(shí)施方式：如圖1所示，第二滑座92上可以設(shè)置主軸箱12，該主軸箱12上可以設(shè)置蝸輪蝸桿減速機(jī)(圖中未標(biāo)示)和旋轉(zhuǎn)電機(jī)13。該蝸輪蝸桿減速機(jī)包括輸入端和輸出端，旋轉(zhuǎn)電機(jī)13的輸出端與蝸輪蝸桿減速機(jī)的輸入端驅(qū)動(dòng)連接，蝸輪蝸桿減速機(jī)的輸出端與主軸17驅(qū)動(dòng)連接，以驅(qū)動(dòng)主軸17轉(zhuǎn)動(dòng)。其中，主軸箱12上可以設(shè)置有注油孔15、泄油孔16和油位器14，以便于對(duì)主軸箱12內(nèi)部機(jī)構(gòu)進(jìn)行潤(rùn)滑。具體在實(shí)施時(shí)，如圖2和圖3所示，上述的升降機(jī)構(gòu)可以包括升降絲杠5、絲杠螺母23和升降動(dòng)力裝置。升降絲杠5可升降地豎直設(shè)置在底座1上。該升降絲杠5作為升降機(jī)構(gòu)的輸出端與升降座8連接。優(yōu)選的，升降絲杠5的頂端與升降座8連接(如圖1所示)。絲杠螺母23套設(shè)在升降絲杠5上，且與升降絲杠5的外壁螺紋連接。絲杠螺母23可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在底座1上，絲杠螺母23包括旋轉(zhuǎn)動(dòng)力輸入端。升降動(dòng)力裝置的輸出端與旋轉(zhuǎn)動(dòng)力輸入端驅(qū)動(dòng)連接。其中，升降絲杠5和絲杠螺母23形成絲杠螺母副。由于絲杠螺母23可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在底座1上，當(dāng)升降動(dòng)力裝置驅(qū)動(dòng)絲杠螺母23轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，升降絲杠5升降運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)升降座8一起升降運(yùn)動(dòng)。當(dāng)然，在一個(gè)替代的實(shí)施例中，前述的升降機(jī)構(gòu)也可以不包括升降絲杠5、絲杠螺母23和升降動(dòng)力裝置。在該替代的實(shí)施例中，前述的升降機(jī)構(gòu)可以包括驅(qū)動(dòng)缸，該驅(qū)動(dòng)缸可以為液壓缸或氣壓缸等。驅(qū)動(dòng)缸的輸出軸與升降座8連接，以驅(qū)動(dòng)升降座8升降。其中，升降機(jī)構(gòu)的具體結(jié)構(gòu)可以根據(jù)用戶的實(shí)際需求設(shè)置，只要保證升降機(jī)構(gòu)可以驅(qū)動(dòng)升降座8升降位移即可。具體在實(shí)施時(shí)，如圖2和圖3所示，前述的底座1可以包括基座102和傳動(dòng)箱101。傳動(dòng)箱101設(shè)置在基座102上。傳動(dòng)箱101具有內(nèi)腔。絲杠螺母23置于傳動(dòng)箱101內(nèi)部，升降絲杠5穿過(guò)該傳動(dòng)箱101?；?02具有供升降絲杠5升降的升降空間。在一個(gè)實(shí)施例中，絲杠螺母23可以整體為單個(gè)部件，絲杠螺母23下端的側(cè)壁沿徑向向內(nèi)凹陷形成第一卡臺(tái)(圖中未標(biāo)示)。內(nèi)腔的上腔壁上設(shè)有與絲杠螺母23的上端相適配的第一軸孔(圖中未標(biāo)示)。內(nèi)腔的下腔壁上設(shè)有與絲杠螺母23的下端相適配的第二軸孔(圖中未標(biāo)示)。絲杠螺母23的上端插入第一軸孔內(nèi)，絲杠螺母23的下端插入第二軸孔內(nèi)。第一卡臺(tái)與第二軸孔的上端面轉(zhuǎn)動(dòng)配合。絲杠螺母23在兩端之間的外環(huán)壁上設(shè)有驅(qū)動(dòng)連接結(jié)構(gòu)，該驅(qū)動(dòng)連接結(jié)構(gòu)作為前述的旋轉(zhuǎn)動(dòng)力輸入端。其中，第一軸孔和第二軸孔可以保證絲杠螺母23的自由轉(zhuǎn)動(dòng)，并且還可以對(duì)絲杠螺母23提供穩(wěn)定的徑向支撐。第二軸孔的上端面通過(guò)第一卡臺(tái)對(duì)絲杠螺母23提供軸向支撐。這里需要說(shuō)明的是：上述的基座102可以由水泥、鋼鐵等重量較重的材料制成，基座102的重量較大，可以為整個(gè)設(shè)備提供穩(wěn)定的支撐。水泥基座可以埋設(shè)在地面內(nèi)，水泥基座內(nèi)設(shè)有供升降絲杠5插入的導(dǎo)向筒(圖中未標(biāo)示)，該導(dǎo)向筒可以對(duì)升降絲杠5導(dǎo)向，以提高升降絲杠5的升降精度。進(jìn)一步的，為了減小絲杠螺母23在旋轉(zhuǎn)時(shí)，第一卡臺(tái)與第二軸孔的上端面之間的摩擦阻力，本發(fā)明實(shí)施例的石英玻璃制砣機(jī)還可以包括推力球軸承231。該推力球軸承231設(shè)置在傳動(dòng)箱101內(nèi)，推力球軸承231的內(nèi)圈作為前述的第二軸孔，推力球軸承231上環(huán)的端面作為第二軸孔的上端面。通過(guò)設(shè)置的推力球軸承231，當(dāng)絲杠螺母23轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，絲杠螺母23通過(guò)第一卡臺(tái)帶動(dòng)推力球軸承231的上環(huán)一起轉(zhuǎn)動(dòng)，從而可以將絲杠螺母23與第二軸孔上端面之間的滑動(dòng)摩擦轉(zhuǎn)化為推力球軸承231的滾動(dòng)摩擦，以減小摩擦阻力。推力球軸承231采用高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)可承受推力載荷的設(shè)計(jì)，由帶有球滾動(dòng)的滾道溝的墊圈狀套圈構(gòu)成。推力球軸承231可承受軸向載荷，以對(duì)絲杠螺母23提供支撐。如圖1和圖2所示，前述的升降動(dòng)力裝置可以包括諧波減速機(jī)4、第一升降電機(jī)2和第二升降電機(jī)3。諧波減速機(jī)4設(shè)置在傳動(dòng)箱101上，諧波減速機(jī)4包括第一輸入端、第二輸入端和輸出端。諧波減速機(jī)4的輸出端作為前述升降動(dòng)力裝置的輸出端。第一升降電機(jī)2輸出端與第一輸入端驅(qū)動(dòng)連接。第二升降電機(jī)3的輸出端與第二輸入端驅(qū)動(dòng)連接。其中，諧波減速機(jī)4的具體結(jié)構(gòu)為現(xiàn)有技術(shù)中的常用技術(shù)，可以根據(jù)需要在現(xiàn)有技術(shù)中選取，在此不再贅述。上述的諧波減速機(jī)4可以為雙速比諧波減速機(jī)，第一升降電機(jī)2和第二升降電機(jī)3分別通過(guò)該雙速比諧波減速機(jī)控制升降座8的快速升降和慢速升降。在一個(gè)具體的應(yīng)用示例中，該諧波減速機(jī)4的快速減速比為20，慢速減速比為10萬(wàn)。上述的第一升降電機(jī)2和第二升降電機(jī)3可以設(shè)置在諧波減速機(jī)4上，也可以單獨(dú)設(shè)置在一側(cè)，具體可以根據(jù)用戶的實(shí)際需求設(shè)置，只要保證第一升降電機(jī)2的輸出端與第一輸入端驅(qū)動(dòng)連接，第二升降電機(jī)3的輸出端與第二輸入端驅(qū)動(dòng)連接即可。上述的第一升降電機(jī)2和第二升降電機(jī)3可以均為伺服電機(jī)，用戶可以通過(guò)PLC和工控機(jī)對(duì)伺服電機(jī)進(jìn)行控制，可靈活編制沉積基地的運(yùn)行軌跡。其中，第一升降電機(jī)2上帶抱閘，以進(jìn)行急?？刂?。如圖2所示，諧波減速機(jī)4的輸出端連接有輸出軸。該輸出軸上固定地套置有主動(dòng)齒輪21。前述絲杠螺母23上的驅(qū)動(dòng)連接結(jié)構(gòu)為齒輪結(jié)構(gòu)。諧波減速機(jī)4的輸出端通過(guò)該主動(dòng)齒輪21與驅(qū)動(dòng)連接結(jié)構(gòu)驅(qū)動(dòng)連接。其中，采用齒輪驅(qū)動(dòng)連接，傳動(dòng)精度較高。如圖2和圖3所示，本發(fā)明實(shí)施例的石英玻璃制砣機(jī)可以包括旋轉(zhuǎn)編碼器24。旋轉(zhuǎn)編碼器24設(shè)置在傳動(dòng)箱101上。諧波減速機(jī)4的輸出端與旋轉(zhuǎn)編碼器24的輸入軸驅(qū)動(dòng)連接。因?yàn)橹C波減速機(jī)4還作為升降機(jī)構(gòu)的動(dòng)力輸入裝置，通過(guò)旋轉(zhuǎn)編碼器24對(duì)升降機(jī)構(gòu)的升降位置進(jìn)行測(cè)量定位。旋轉(zhuǎn)編碼器24是可以實(shí)現(xiàn)高精度速度和位移測(cè)試的裝置，光電式旋轉(zhuǎn)編碼器24通過(guò)光電轉(zhuǎn)換，可將輸出軸的角位移、角速度等機(jī)械量轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的電脈沖以數(shù)字量輸出(REP)。旋轉(zhuǎn)編碼器24精度高、體積小、易于密封，在工業(yè)環(huán)境下使用壽命長(zhǎng)。旋轉(zhuǎn)編碼器24的具體結(jié)構(gòu)為現(xiàn)有技術(shù)中的常用技術(shù)，可以根據(jù)需要在現(xiàn)有技術(shù)中進(jìn)行選取，在此不再贅述。這里需要說(shuō)明的是：上述的旋轉(zhuǎn)編碼器可以為增量式旋轉(zhuǎn)編碼器，增量式旋轉(zhuǎn)編碼器是將位移轉(zhuǎn)換成周期性的電信號(hào)，再把這個(gè)電信號(hào)轉(zhuǎn)變成計(jì)數(shù)脈沖，用脈沖的個(gè)數(shù)表示位移的大小。當(dāng)增量式旋轉(zhuǎn)編碼器不動(dòng)或停電時(shí)，依靠計(jì)數(shù)設(shè)備的內(nèi)部記憶來(lái)記住位置。上述的旋轉(zhuǎn)編碼器也可以為絕對(duì)式旋轉(zhuǎn)編碼器，具有與每個(gè)位置對(duì)應(yīng)的唯一性，無(wú)需掉電記憶。具體在實(shí)施時(shí)，如圖2和圖3所示，上述旋轉(zhuǎn)編碼器24的輸入軸上可以固定地套置有第一測(cè)距齒輪262。諧波減速機(jī)4上的主動(dòng)齒輪21與第一測(cè)距齒輪262驅(qū)動(dòng)連接。從上文的描述，如圖2和圖3所示，本發(fā)明實(shí)施例的石英玻璃制砣機(jī)可以包括第一傳動(dòng)軸25，第一傳動(dòng)軸25可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在傳動(dòng)箱101上。第一傳動(dòng)軸25上分別固定地套置有第一傳動(dòng)齒輪222和第二測(cè)距齒輪261。第二測(cè)距齒輪261與第一測(cè)距齒輪262嚙合傳動(dòng)。第一傳動(dòng)齒輪222置于主動(dòng)齒輪21和齒輪結(jié)構(gòu)之間，主動(dòng)齒輪21與第一傳動(dòng)齒輪222傳動(dòng)連接，第一傳動(dòng)齒輪222與齒輪結(jié)構(gòu)嚙合傳動(dòng)。進(jìn)一步的，如圖2和圖3所示，上述實(shí)施例的石英玻璃制砣機(jī)還可以包括第二傳動(dòng)軸(圖中未標(biāo)示)，第二傳動(dòng)軸可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在傳動(dòng)箱101上。第二傳動(dòng)軸上固定地套置有第二傳動(dòng)齒輪221，第二傳動(dòng)齒輪221置于第一傳動(dòng)齒輪222和主動(dòng)齒輪21之間。主動(dòng)齒輪21與第二傳動(dòng)齒輪221嚙合傳動(dòng)，第二傳動(dòng)齒輪221與第一傳動(dòng)齒輪222嚙合傳動(dòng)。其中，一方面，主動(dòng)齒輪21可以依次通過(guò)第二傳動(dòng)齒輪221、第一傳動(dòng)齒輪222、第二測(cè)距齒輪261和第一測(cè)距齒輪262驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)編碼器24轉(zhuǎn)動(dòng)。另一方面，主動(dòng)齒輪21可以依次通過(guò)第二傳動(dòng)齒輪221、第一傳動(dòng)齒輪222和齒輪結(jié)構(gòu)驅(qū)動(dòng)絲杠螺母23轉(zhuǎn)動(dòng)。在本實(shí)施例中，通過(guò)齒輪進(jìn)行傳動(dòng)，傳動(dòng)精度較高。如圖1和圖2所示，本發(fā)明實(shí)施例的石英玻璃制砣機(jī)還可以包括導(dǎo)向柱6。傳動(dòng)箱101上設(shè)有貫穿的導(dǎo)向孔(圖中未標(biāo)示)。導(dǎo)向柱6豎直地插入導(dǎo)向孔內(nèi)，導(dǎo)向柱6的上端與升降座8連接。在本實(shí)施例中，導(dǎo)向柱6可以為升降座8的升降導(dǎo)向，以提高升降座8的升降精度。進(jìn)一步的，本發(fā)明實(shí)施例的石英玻璃制砣機(jī)還可以包括直線導(dǎo)軌，該直線導(dǎo)軌設(shè)置在傳動(dòng)箱101內(nèi)，直線導(dǎo)軌的內(nèi)圈可以作為前述的導(dǎo)向孔。導(dǎo)向柱6插入直線導(dǎo)軌的內(nèi)圈，且可相對(duì)直線導(dǎo)軌升降。其中，直線導(dǎo)軌的具體結(jié)構(gòu)為現(xiàn)有技術(shù)中的常用技術(shù)，可以根據(jù)需要在現(xiàn)有技術(shù)中進(jìn)行選取，在此不再贅述。這里需要說(shuō)明的是：如圖5所示，前述導(dǎo)向柱6的數(shù)量為可以多個(gè)，該多個(gè)導(dǎo)向柱6繞升降絲杠5均勻分布。該多個(gè)導(dǎo)向柱6共同為升降座8導(dǎo)向，導(dǎo)向精度較佳。如圖1所示，前述升降絲杠5的外壁和導(dǎo)向柱6的外壁兩者在升降座8和傳動(dòng)箱101之間的部分均包覆有鋁箔布7?？梢圆捎每p制的方式將鋁箔布7制成套筒，以套設(shè)在升降絲杠5和導(dǎo)向柱6上，帶有防火、防塵的技術(shù)效果，可以減少設(shè)備故障，延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命，且該鋁箔布7防護(hù)罩易于更換。具體在實(shí)施時(shí)，如圖1和圖5所示本發(fā)明的石英玻璃制砣機(jī)還可以包括自動(dòng)潤(rùn)滑泵19和分油器27。自動(dòng)潤(rùn)滑泵19的輸出口與分油器27的輸入口連接，用于將自動(dòng)潤(rùn)滑泵19內(nèi)的潤(rùn)滑油泵至分油器27內(nèi)部。分油器27的輸出口通過(guò)油管20將潤(rùn)滑油分別傳輸至升降絲杠5和導(dǎo)向柱6。該自動(dòng)潤(rùn)滑泵19可以通過(guò)分油器27對(duì)絲杠5和導(dǎo)向柱6間歇式自動(dòng)注油，操作簡(jiǎn)單，省去了人工操作，潤(rùn)滑效果好。具體在實(shí)施時(shí)，如圖4所示，前述的第一驅(qū)動(dòng)裝置可以包括第一平移絲杠28和第一平移電機(jī)10。第一平移絲杠28可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在升降座8上。第一平移電機(jī)10設(shè)置在升降座8上。第一平移電機(jī)10的輸出端與第一平移絲杠28驅(qū)動(dòng)連接，用于驅(qū)動(dòng)第一平移絲杠28轉(zhuǎn)動(dòng)。前述的第一滑座91套設(shè)在第一平移絲杠28的外壁上，且與第一平移絲杠28螺紋連接，第一平移絲杠28形成前述的第一軌跡。在本實(shí)施例中，第一滑座91和第一平移絲杠28相互配合，且構(gòu)成絲杠螺母副結(jié)構(gòu)。第一平移電機(jī)10驅(qū)動(dòng)第一平移絲杠28轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，第一滑座91沿第一平移絲杠28移動(dòng)。當(dāng)然，在一個(gè)替代的實(shí)施例中，前述的第一驅(qū)動(dòng)裝置也可以不包括第一平移絲杠28和第一平移電機(jī)10。在該替代的實(shí)施例中，第一驅(qū)動(dòng)裝置可以包括第一驅(qū)動(dòng)缸，第一驅(qū)動(dòng)缸可以為液壓缸或氣壓缸等。第一驅(qū)動(dòng)缸的輸出軸與第一滑座91連接，以驅(qū)動(dòng)第一滑座91沿第一軌跡直線運(yùn)動(dòng)，該第一軌跡為第一驅(qū)動(dòng)缸的輸出軸的伸縮方向。其中，第一驅(qū)動(dòng)裝置的具體結(jié)構(gòu)可以根據(jù)用戶的實(shí)際需求設(shè)置，只要保證第一驅(qū)動(dòng)裝置可以驅(qū)動(dòng)第一滑座91在升降座8上沿第一軌跡直線運(yùn)動(dòng)即可。這里需要補(bǔ)充的是：如圖4所示，本發(fā)明實(shí)施例的石英玻璃制砣機(jī)還可以包括第一直線滑軌30。該第一直線滑軌30設(shè)置在升降座8上，第一直線滑軌30的方向與第一軌跡的方向平行。第一滑座91與第一直線滑軌30的滑塊連接。該第一直線滑軌30可以輔助第一平移絲杠28對(duì)第一滑座91提供支撐和導(dǎo)向，使第一滑座91能夠運(yùn)行地更加平穩(wěn)。優(yōu)選的，第一直線滑軌30的數(shù)量可以為偶數(shù)個(gè)，該偶數(shù)個(gè)第一直線滑軌30關(guān)于第一平移絲杠28對(duì)稱設(shè)置，以進(jìn)一步對(duì)第一滑座91提供支撐和導(dǎo)向。為了實(shí)現(xiàn)前述第一平移絲杠28可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在升降座8上的目的，本發(fā)明實(shí)施例提供如下的實(shí)施方式：升降座8上設(shè)有第一軸承座(圖中未標(biāo)示)。第一平移絲杠28的一端插入第一軸承座的軸孔內(nèi)。第一平移電機(jī)10包括第一輸出軸，第一輸出軸作為第一平移電機(jī)10的輸出端。第一平移絲杠28的另一端通過(guò)聯(lián)軸器與第一輸出軸連接。在本實(shí)施例中，第一軸承座可以為第一平移絲杠28提供支撐，使第一平移絲杠28能夠相對(duì)升降座8轉(zhuǎn)動(dòng)。其中，第一軸承座的具體結(jié)構(gòu)為現(xiàn)有技術(shù)中的常用技術(shù)，可以根據(jù)需要在現(xiàn)有技術(shù)中進(jìn)行選取，在此不再贅述。具體在實(shí)施時(shí)，如圖4所示，前述的第二驅(qū)動(dòng)裝置可以包括第二平移絲杠29和第二平移電機(jī)11。第二平移絲杠29可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在第一滑座91上。第二平移電機(jī)11設(shè)置在第一滑座91上。第二平移電機(jī)11的輸出端與第二平移絲杠29驅(qū)動(dòng)連接，用于驅(qū)動(dòng)第二平移絲杠29轉(zhuǎn)動(dòng)。第二滑座92套設(shè)在第二平移絲杠29的外壁上，且與第二平移絲杠29螺紋連接。具體地，第二滑座92通過(guò)螺母座32套設(shè)在第二平移絲杠29上，且與第二平移絲杠29螺紋連接。第二平移絲杠29形成前述的第二軌跡。在本實(shí)施例中，第二滑座92和第二平移絲杠29相互配合，且構(gòu)成絲杠螺母副結(jié)構(gòu)。第二平移電機(jī)11驅(qū)動(dòng)第二平移絲杠29轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，第二滑座92沿第二平移絲杠29移動(dòng)。當(dāng)然，在一個(gè)替代的實(shí)施例中，前述的第二驅(qū)動(dòng)裝置也可以不包括第二平移絲杠29和第二平移電機(jī)11。在該替代的實(shí)施例中，第二驅(qū)動(dòng)裝置可以包括第二驅(qū)動(dòng)缸，第二驅(qū)動(dòng)缸可以為液壓缸或氣壓缸等。第二驅(qū)動(dòng)缸的輸出軸與第二滑座92連接，以驅(qū)動(dòng)第二滑座92沿第二軌跡直線運(yùn)動(dòng)，該第二軌跡為第二驅(qū)動(dòng)缸的輸出軸的伸縮方向。其中，第二驅(qū)動(dòng)裝置的具體結(jié)構(gòu)可以根據(jù)用戶的實(shí)際需求設(shè)置，只要保證第二驅(qū)動(dòng)裝置可以驅(qū)動(dòng)第二滑座92在升降座8上沿第二軌跡直線運(yùn)動(dòng)即可。這里需要補(bǔ)充的是：如圖4所示，本發(fā)明實(shí)施例的石英玻璃制砣機(jī)還可以包括第二直線滑軌31。該第二直線滑軌31設(shè)置在第一滑座91上，第二直線滑軌31的方向與第二軌跡的方向平行。第二滑座92與第二直線滑軌31的滑塊連接。該第二直線滑軌31可以輔助第二平移絲杠29對(duì)第二滑座92提供支撐和導(dǎo)向，使第二滑座92能夠運(yùn)行地更加平穩(wěn)。優(yōu)選的，第二直線滑軌31的數(shù)量可以為偶數(shù)個(gè)，該偶數(shù)個(gè)第二直線滑軌31關(guān)于第二平移絲杠29對(duì)稱設(shè)置，以進(jìn)二步對(duì)第二滑座92提供支撐和導(dǎo)向。為了實(shí)現(xiàn)前述第二平移絲杠29可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在第一滑座91上的目的，本發(fā)明實(shí)施例提供如下的實(shí)施方式：如圖4所示，第一滑座91上設(shè)有第二軸承座33。第二平移絲杠29的一端插入第二軸承座33的軸孔內(nèi)。第二平移電機(jī)11包括第二輸出軸，第二輸出軸作為第二平移電機(jī)11的輸出端。第二平移絲杠29的另一端通過(guò)聯(lián)軸器與第二輸出軸連接。在本實(shí)施例中，第二軸承座33可以為第二平移絲杠29提供支撐，使第二平移絲杠29能夠相對(duì)第一滑座91轉(zhuǎn)動(dòng)。其中，第二軸承座33的具體結(jié)構(gòu)為現(xiàn)有技術(shù)中的常用技術(shù)，可以根據(jù)需要在現(xiàn)有技術(shù)中進(jìn)行選取，在此不再贅述。具體在實(shí)施時(shí)，如圖1所示，本發(fā)明實(shí)施例的石英玻璃制砣機(jī)還可以包括重量傳感器40。重量傳感器40設(shè)置在升降座8上，重量傳感器40可以感應(yīng)第一滑座91上的重量并輸出信號(hào)。該重量傳感器40可以實(shí)時(shí)地對(duì)第一滑座91上的沉積基底內(nèi)的石英玻璃產(chǎn)品進(jìn)行重量監(jiān)控，以方便用戶對(duì)石英玻璃產(chǎn)品的狀態(tài)進(jìn)行控制。進(jìn)一步的，上述的重量傳感器40的數(shù)量可以為四個(gè)，該四個(gè)重量傳感器均布在第一滑座91的四個(gè)邊角處。如圖6所示，本發(fā)明的實(shí)施例還提供一種石英玻璃制備系統(tǒng)，包括石英玻璃制砣機(jī)。其中，石英玻璃制砣機(jī)，包括底座、升降座、升降機(jī)構(gòu)、第一滑座、第一驅(qū)動(dòng)裝置、第二滑座、第二驅(qū)動(dòng)裝置和主軸。升降機(jī)構(gòu)設(shè)置在底座上，升降機(jī)構(gòu)的輸出端與升降座連接，以驅(qū)動(dòng)升降座升降；第一滑座設(shè)置在升降座上；第一驅(qū)動(dòng)裝置的輸出端與第一滑座驅(qū)動(dòng)連接，用于驅(qū)動(dòng)第一滑座在升降座上沿第一軌跡直線運(yùn)動(dòng)；第二滑座設(shè)置在第一滑座上；第二驅(qū)動(dòng)裝置的輸出端與第二滑座驅(qū)動(dòng)連接，用于驅(qū)動(dòng)第二滑座在第一滑座上沿第二軌跡直線運(yùn)動(dòng)；第二軌跡的方向與第一軌跡的方向垂直；主軸可轉(zhuǎn)動(dòng)地豎直設(shè)置在第二滑座上，主軸的頂端設(shè)有用于安裝石英玻璃的沉積基底的連接部；其中，連接部置于石英玻璃制砣機(jī)的頂端。這里需要說(shuō)明的是：本實(shí)施例所提供的石英玻璃制備系統(tǒng)中所涉及的石英玻璃制砣機(jī)可采用上述實(shí)施例中的所描述的石英玻璃制砣機(jī)結(jié)構(gòu)，具體的實(shí)現(xiàn)和工作原理可參見(jiàn)上述實(shí)施例中的相應(yīng)的內(nèi)容，此處不再贅述。如圖6所示，上述實(shí)施例所提供的石英玻璃制備系統(tǒng)還包括反應(yīng)爐201、沉積基底(圖中未標(biāo)示)、燃燒器204。反應(yīng)爐201的下端具有開(kāi)口。沉積基底包括基礎(chǔ)桿202和基礎(chǔ)底片203?；A(chǔ)桿202的一端與基礎(chǔ)底片203連接，基礎(chǔ)桿202的另一端與石英玻璃制砣機(jī)的主軸上的連接部18固定連接?；A(chǔ)底片203從反應(yīng)爐201下端的開(kāi)口插入反應(yīng)爐201內(nèi)，用于沉積石英玻璃。燃燒器204設(shè)置在反應(yīng)爐201上，用于向反應(yīng)爐201內(nèi)輸入氫氧焰。進(jìn)一步的，前述的石英玻璃制備系統(tǒng)還可以包括另一燃燒器205，燃燒器205設(shè)置在反應(yīng)爐201上，燃燒器205與燃燒器204間隔設(shè)置，用于向反應(yīng)爐201內(nèi)輸入氫氧焰。在上述實(shí)施例中，含硅前驅(qū)體(通常采用SiCl4)原料在反應(yīng)爐201內(nèi)的氫氧焰中發(fā)生水解或氧化反應(yīng)生成SiO2納米顆粒，SiO2納米顆粒沉積并熔融在沉積基底的基底底片上形成所需的石英玻璃。SiO2顆粒在基礎(chǔ)底片203上沉積熔融成為石英玻璃，SiO2顆粒束在基礎(chǔ)底片203上的落點(diǎn)，稱為“料點(diǎn)”。在一個(gè)具體的應(yīng)用示例中，如圖6所示，基礎(chǔ)底片203呈圓柱狀，基礎(chǔ)底片203的外徑為600mm。燃燒器204的料點(diǎn)位于基礎(chǔ)底片203的中心，燃燒器205的料點(diǎn)位于距基礎(chǔ)底片203中心120mm。當(dāng)基礎(chǔ)底片203繞Z軸旋轉(zhuǎn)，并沿X軸和Y軸勻速平移時(shí)，兩個(gè)料點(diǎn)以基礎(chǔ)底片203的中心為圓心，燃燒器204的料點(diǎn)以基礎(chǔ)底片203的中心為起點(diǎn)向四周螺旋移動(dòng)，燃燒器205的料點(diǎn)以距基礎(chǔ)底片203中心120mm為起點(diǎn)向四周螺旋移動(dòng)。此種方式同時(shí)保證了料點(diǎn)和高溫面的分布，利于大尺寸、高均勻石英玻璃的制備。這里需要說(shuō)明的是：上述燃燒器的數(shù)量還可以為兩個(gè)以上，不局限于兩個(gè)，燃燒器的數(shù)量可以根據(jù)用戶的實(shí)際需求以及反應(yīng)爐的具體尺寸進(jìn)行確定。以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本發(fā)明作任何形式上的限制，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。